专利名称：清洁系统以及清洁一板件的方法
技术领域：
本发明涉及一种清洁系统，特别是用于除去一板件的四个侧边上的异物 的清洁系统及方法。
背景技术：
一般电路板制造过程中，用于倒装芯片(Flip Chip)的基板半成品于制 作完成后，并未先进行基板侧边除尘的动作，便直接进行下一道曝光制程， 于曝光制程中，若是附着于基板侧边的铜屑剥离，容易造成光罩压垫损伤， 并产生曝光杂质进而导致线路短路，不但降低制程的合格率，光罩亦容易损坏。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种清洁系统，其可利用除尘机构进行板件的 板边清洁，除去板边的异物或灰尘，因此当板件在进行光罩制程时，可大幅 降低损伤光罩的可能性，以及提高制程的合格率。
有鉴于此，本发明提供一种清洁系统，用以清洁一板件，其中板件具有 一第一侧边、 一第二侧边、 一第三侧边以及一第四侧边。清洁系统包括一输 送装置以及一除尘机构。输送装置包括一主体以及多个滚动轴，滚动轴以可 旋转的方式平行设置于主体上。除尘机构设置于主体上，当板件置放于滚动 轴上时，通过滚动轴的转动可输送板件，当板件通过除尘机构时，板件与除 尘机构接触以进行除尘。
本发明又提供一种清洁一板件的方法，其中板件具有一第一侧边、 一第 二侧边、 一第三侧边以及一第四侧边。该方法包括，提供一输送装置，输送 装置包括一主体以及多个滚动轴，滚动轴以可旋转的方式平行设置于主体 上；提供一除尘机构，设置于主体上；将板件置放于滚动轴上；转动滚动轴 以移动板件使板件通过除尘机构，且当板件通过除尘机构时，板件与除尘机构接触以进行除尘。
本发明的有益技术效果在于，根据测试的结果，板件在经过本发明的清 洁系统除尘后，造成光罩压垫损伤的比率为0.5%，而未经过除尘的板件所造 成的光罩压垫损伤的比率为2.08%，也就是说，使用本发明的清洁系统可降
低76%的光罩压垫损伤。本发明的清洁系统利用除尘机构进行板件的板边清
洁，除去板边的异物或灰尘，因此当板件在进行光罩制程时，可大幅降低损 伤光罩的可能性，以及提高制程的合格率。
图1A为本发明的清洁系统的俯视图1B为图1A中沿A-A'切线的剖视图2A为本发明的清洁系统的俯视图2B为图2A中沿B-B'切线的剖视图3为本发明一变化例的示意图。
其中，附图标记说明如下
以及
ioo清洁系统
110输送装置 113滚动轴 133控制单元 13YY轴除尘单元 150曝光机 Pl第一侧边 P3第三侧边 Sl弹性元件 XI导轨
X3 X轴清洁机构 X32轴芯 Yll前挡板机构 Y2压板机构 Y31黏尘巻
100'清洁系统 111主体 131感测单元 13XX轴除尘单元 140翻板机 P板件 P2第二侧边 P4第四侧边 S2弹性元件 X2固定座 X31黏尘巻 X33滑动座 Y12后推板机构 Y3 Y轴清洁机构 Y32轴芯
7Y33滑动座 Y34固定座
具体实施例方式
参见图1A、图1B、图2A、及图2B，本发明的清洁系统100用于清洁 倒装芯片的载板P(以下称板件)的板边，板边包括一第一侧边P1、 一第二侧 边P2、 一第三侧边P3以及一第四侧边P4，且第一侧边P1与第二侧边P2为 相对边，而第三侧边P3与第四侧边P4为相对边。
清洁系统100包括一输送装置110以及一除尘机构。于图1A中，仅显 示一部分的输送装置110，板件P可置放于输送装置110上，输送装置110 输送板件P往一输送方向(如图1A、图2A中箭头所示)前进，并通过除尘机 构进行板边的除尘，其中当板件P置放于输送装置110上时，板件P的第一 侧边P1以及第二侧边P2与输送方向平行，而板件P的第三侧边P3以及第 四侧边P4与输送方向垂直。
输送装置110包括一主体111以及多个滚动轴113，滚动轴113以可旋 转的方式平行设置于主体lll上，当板件P置放于滚动轴113上时，通过滚 动轴113的转动可移动并输送板件P。
配合参见图1B，除尘机构包括一 X轴除尘单元13X,用以清洁板件P 的第一侧边P1以及第二侧边P2。 X轴除尘单元13 X包括一导轨X1、两个 固定座X2、两个X轴清洁机构X3以及两个弹性元件Sl。导轨XI设置于 主体111上，并位于两个滚动轴113之间，两个固定座X2设置于导轨XI 上，两个X轴清洁机构X3设置于导轨X1上，并通过弹性元件Sl分别与两 个固定座X2连接。
参见图1B，每一个X轴清洁机构X3分别包括一黏尘巻X31、 一轴芯 X32以及一滑动座X33。具有黏性的黏尘巻X31以轴芯X32为中心旋转的方 式设置于轴芯X32上，并由两个滚动轴113之间延伸突出，轴芯X32设置 于滑动座X33上，而滑动座X33则以可移动的方式设置于导轨X1上，通过 每一个弹性元件Sl分别连接一固定座X2与一滑动座X33，使两个X轴清 洁机构X3分别与两个固定座X2连接，当黏尘巻X31受一外力影响时，黏 尘巻X31移动并带动滑动座X33于导轨XI上移动，之后通过弹性元件Sl 的弹力使X轴清洁机构回复原位。另外，当板件P被输送至通过X轴除尘
8单元13X时，两个X轴清洁机构X3上的黏尘巻X31分别对应于板件P的 第一侧边P1以及第二侧边P2，且黏尘巻X31之间的距离约略小于第一侧边 P1至第二侧边P2的距离。
请同时参见图1A、图1B，滚动轴113转动使板件P通过X轴除尘单元 13X，板件P的第一侧边Pl以及第二侧边P2分别抵顶与其相对应的黏尘巻 X31，使两个黏尘巻X31朝彼此相反的方向少量地位移，此时，弹性元件S1 提供X轴清洁机构与黏尘巻X31位移方向相反的一作用力，使黏尘巻X31 分别与第一侧边P1以及第二侧边P2更加紧密接触，板件P继续前进，同时 带动两个黏尘巻X31旋转，使黏尘巻X31分别沿着第一侧边Pl与第二侧边 P2滚动，以黏取板边上的异物与灰尘，当板件P与黏尘巻X31分离后，通 过弹性元件Sl的弹力使X轴清洁机构X3回复原位。
当与板件P接触的部分黏尘巻X31的黏性消耗怠尽时，调整黏尘巻X31 的高度，使黏尘巻X31于轴芯X32上轴向移动，改变板件P侧边与黏尘巻 X31的接触面，可重复使用黏尘巻X31直到整个黏尘巻X31的黏性皆消耗 怠尽为止。
请参见图2A与图2B，图2A表示另一部分输送装置110，除尘机构还 包括一感测单元131、 一控制单元133、以及一 Y轴除尘单元13Y。感测单 元131设置于主体111上，控制单元133分别与感测单元131、滚动轴113 以及Y轴除尘单元13Y电性连接，Y轴除尘单元13Y亦设置于主体111上， 用以清洁板件P的第三侧边P3以及第四侧边P4。当板件P被输送至一第一 位置时(如图2A所示)，板件P触动感测单元131，感测单元131发射一信号 至控制单元133以控制滚动轴113与Y轴除尘单元13Y的动作，停止滚动 轴113的转动，并使Y轴除尘单元13Y可分别于板件P的第三侧边P3与第 四侧边P4上滚动，以进行清洁除尘。
配合参见图2B，Y轴除尘单元13Y包括两个整板机构(一前挡板机构Y11 与一后推板机构Y12)、两个压板机构Y2以及两个Y轴清洁机构Y3。整板 机构Yll、 Y12以可伸縮的方式设置于主体111中，并位于滚动轴113的上 方(为清楚表示前挡板机构Yll的动作方式，于图2B中，部分与前挡板机构 Yl 1相对应的Y轴清洁机构Y3的绘制将省略)，两个压板机构Y2以及两个 Y轴清洁机构Y3亦设置于主体111上，且当板件P位于第一位置时(如图2A、图2B所示)，前挡板机构Yll对应于板件P的第三侧边P3，而后推板机构 Y12对应于板件P的第四侧边P4，压板机构Y2则分别对应于板件P的第一 侧边Pl以及第二侧边P2， Y轴清洁机构Y3则可于板件P的第三侧边P3与 第四侧边P4上滚动。
每一个Y轴清洁机构Y3分别包括一黏尘巻Y31、 一轴芯Y32、 一滑动 座Y33、 一固定座Y34以及一弹性元件S2。具有黏性的黏尘巻Y31以轴芯 Y32为中心旋转的方式设置于轴芯Y32上，并延伸突出于滚动轴113，且两 个Y轴清洁机构Y3的两个黏尘巻Y31之间的距离约略小于第三侧边至第四 侧边的距离。轴芯Y32设置于一滑动座Y33上，而滑动座Y33则以可移动 的方式设置于固定座Y34上。固定座Y34为一气压缸，设置于主体lll上， 利用气压的方式移动设置其上的滑动座Y33，且通过滑动座Y33于固定座 Y34上移动，带动轴芯Y32于滚动轴113之间往复移动，且黏尘巻Y31沿 着第三侧边P3或是第四侧边P4滚动。弹性元件S2分别连接轴芯Y32与滑 动座Y33，当黏尘巻Y31受一外力影响时，黏尘巻Y31移动并带动轴芯Y32 朝彼此相反的方向位移后，弹性元件S2可提供轴芯Y32与该位移方向相反 的一作用力，当板件P与黏尘巻Y31分离后，通过弹性元件S2的弹力使轴 芯Y32回复原位。
当板件P被输送至第一位置时，控制单元133停止滚动轴113的转动， 并启动Y轴除尘单元13Y。滚动轴113停止转动后，Y轴除尘单元13Y的前 挡板机构Yll延伸而与第三侧边P3抵接，后推板机构Y12延伸而与第四侧 边P4抵接，以调整板件P的位置，接着，两个压板机构Y2朝板件P下压， 使板件P固定于压板机构Y2与滚动轴113之间，在固定板件P的位置后， 整板机构Yll、 Y12分别与第三侧边P3以及第四侧边P4分离，最后Y轴清 洁机构Y3的滑动座Y33于固定座Y34上往复移动，带动轴芯Y32于滚动轴 113之间往复移动，并使黏尘巻Y31分别抵顶第三侧边P3以及第四侧边P4， 使两个轴芯Y32朝彼此相反的方向位移，此时，弹性元件S2提供轴芯与位 移方向相反的作用力，使黏尘巻Y31分别与第三侧边P3以及第四侧边P4 更加紧密接触。另外，当轴芯Y32移动时，可带动黏尘巻Y31分别沿着第 三侧边P3以及第四侧边P4滚动，黏取板边上的异物或灰尘，以进行清洁除 尘。接着，在黏尘巻Y31回到原位时，板件P与黏尘巻Y31分离，通过弹
10性元件S2的弹力使轴芯Y32回复原位，压板机构Y2亦与板件P分离回到 原位，滚动轴113重新启动，使板件P继续前进。
与X轴除尘单元相同的是，当与板件P接触的部分黏尘巻Y31的黏性 消耗怠尽时，调整黏尘巻Y31的高度，使黏尘巻Y31于轴芯Y32上轴向移 动，改变板件P的侧边与黏尘巻Y31的接触面，可重复使用黏尘巻Y31直 到整个黏尘巻Y31的黏性皆消耗怠尽为止。
请配合参见图1A、图2A以及图3，应注意的是，于本实施例中，清洁 系统100可单独包括X轴除尘单元13X(如图1A所示)或是Y轴除尘单元 13Y(如图2B所示)，亦或是同时将X轴除尘单元13X与Y轴除尘单元13Y 设置于一输送装置110上(如图3所示)。
另外，本发明的清洁系统亦可配合原有机台使用，如图3所示，清洁系 统100'应用于光罩制程之前，清洁系统100，的除尘单元13X、 13Y设置于原 有机台的输送装置110上，板件P在通过一翻板机140后由输送装置110输 送至一曝光机150，在进入曝光机150之前便可完成板边的清洁。
根据测试的结果，板件P在经过本发明的清洁系统100、 IOO，除尘后， 造成光罩压垫损伤的比率为0.5%，而未经过除尘的板件所造成的光罩压垫损 伤的比率为2.08%，也就是说，使用本发明的清洁系统可降低76%的光罩压 垫损伤。本发明的清洁系统IOO、 IOO，利用除尘机构进行板件P的板边清洁， 除去板边的异物或灰尘，因此当板件P在进行光罩制程时，可大幅降低损伤 光罩的可能性，以及提高制程的合格率。
虽然本发明已以较佳实施例公开如上，然而其并非用以限定本发明，任 何熟悉此项技术的人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，仍可作一 些更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求书所界定的保护 范围为准。
ii
权利要求
1. 一种清洁系统，用以清洁一板件，其中该板件具有一第一侧边、一第二侧边、一第三侧边以及一第四侧边，包括一输送装置，包括一主体以及多个滚动轴，以可旋转的方式平行设置于该主体上；以及一除尘机构，设置于该主体上；其中当该板件置放于所述滚动轴上时，通过所述滚动轴的转动以输送该板件，当该板件通过该除尘机构时，该板件与该除尘机构接触以进行除尘。
2. 如权利要求1所述的清洁系统，其中该板件的该第一侧边与该第二侧边为相对边，且该除尘机构包括一X轴除尘单元，当该板件通过该除尘机构时，该第一侧边以及该第二侧边与该X轴除尘单元抵接。
3. 如权利要求2所述的清洁系统，其中该X轴除尘单元包括一导轨，设置于该主体上；两个固定座，设置于该导轨上；以及两个X轴清洁机构，以可移动的方式设置于该导轨上，并分别与所述固定座连接；其中当该板件通过该除尘单元时，该第一侧边与该第二侧边分别抵顶所述X轴清洁机构。
4. 如权利要求3所述的清洁系统，其中所述X轴清洁机构分别包括一黏尘巻、 一轴芯以及一滑动座，该黏尘巻设置于该轴芯上，该轴芯设置于该滑动座上，且该滑动座可于该导轨上滑动，且当所述黏尘巻受一外力影响时，该黏尘巻带动该滑动座于该滑轨上移动。
5. 如权利要求4所述的清洁系统，其中当该板件通过该X轴除尘单元时，该第一侧边与该第二侧边分别抵顶所述黏尘巻，使所述黏尘巻朝彼此相反的方向位移。
6. 如权利要求4所述的清洁系统，其中当该板件通过该X轴除尘单元时，该第一侧边与该第二侧边分别抵顶所述黏尘巻，并由所述黏尘巻之间通过，带动所述黏尘巻旋转。
7. 如权利要求4所述的清洁系统，其中所述黏尘巻之间的距离约略小于该第一侧边至该第二侧边的距离。
8. 如权利要求3所述的清洁系统，其中该第一侧边与该第二侧边分别抵顶所述X轴清洁机构，使所述X轴清洁机构朝彼此相反的方向位移。
9. 如权利要求8所述的清洁系统，其中该X轴除尘单元还包括两个弹性 元件，所述两个弹性元件分别连接每一个所述固定座与每一个所述X轴清洁 机构，所述弹性元件提供所述X轴清洁机构与该位移方向相反的作用力。
10. 如权利要求4所述的清洁系统，其中该黏尘巻可于该轴芯上轴向移动。
11. 如权利要求1所述的清洁系统，其中该板件的该第三侧边与该第四侧 边为相对边，且该除尘机构包括一Y轴除尘单元，当该板件被输送至一第一 位置时，该Y轴除尘单元可于该第三侧边与该第四侧边上滚动。
12. 如权利要求11所述的清洁系统，其中该Y轴除尘单元包括 两个整板机构，以可伸縮的方式设置于该主体，当该板件位于该第一位置时，分别对应于该板件的该第一侧边与该第二侧边，且所述整板机构分别 伸长抵顶该第一侧边以及该第二侧边；两个压板机构，设置于该主体，当该板件位于该第一位置时，分别对应 于该板件的该第三侧边与该第四侧边，将所述压板机构朝该板件的方向加 压，以固定该板件的位置；两个Y轴清洁机构，设置于该主体，当该板件位于该第一位置时，所述 Y轴清洁机构分别于该第三侧边与该第四侧边上滚动。
13. 如权利要求12所述的清洁系统，其中每一个所述Y轴清洁机构分别 包括一黏尘巻、 一轴芯、 一滑动座以及一固定座，该黏尘巻设置于该轴芯上， 该轴芯设置于该滑动座上，该滑动座以可于该固定座上移动的方式设置于该 固定座上，通过该滑动座于该固定座上移动，带动轴芯以及该黏尘巻移动。
14. 如权利要求13所述的清洁系统，其中该固定座为一气压缸，设置于 该主体上，利用气压的方式使该轴芯往复移动。
15. 如权利要求14所述的清洁系统，其中所述轴芯分别于所述气压缸上 往复移动，从而带动所述黏尘巻分别沿着该第三侧边与该第四侧边滚动。
16. 如权利要求13所述的清洁系统，其中当所述Y轴清洁机构分别于该 第三侧边与该第四侧边上滚动时，所述黏尘巻分别抵顶该第三侧边与该第四侧边，使所述轴芯朝彼此相反的方向位移。
17. 如权利要求13所述的清洁系统，其中该Y轴清洁机构还包括两个弹 性元件，所述两个弹性元件分别连接每一个所述轴芯与每一个所述滑动座， 当所述轴芯朝彼此相反的方向位移后，所述弹性元件提供所述轴芯与该位移 方向相反的作用力。
18. 如权利要求13所述的清洁系统，其中该黏尘巻可于该轴芯上轴向移动。
19. 如权利要求13所述的清洁系统，其中所述黏尘巻之间的距离约略小 于该第三侧边至该第四侧边的距离。
20. 如权利要求11所述的清洁系统，其中该除尘机构还包括一感测单元 以及一控制单元，该感测单元设置于该主体上，该控制单元分别与该感测单 元、所述滚动轴以及该Y轴除尘单元电性连接，当该板件被输送至该第一位 置时，该板件触动该感测单元，该感测单元发射一信号至该控制单元以控制 该滚动轴与该Y轴除尘单元的动作。
21. —种清洁一板件的方法，其中该板件具有一第一侧边、 一第二侧边、 -一第三侧边以及一第四侧边，该方法包括提供一输送装置，包括一主体以及多个滚动轴，以可旋转的方式平行设 置于该主体上；以及提供一除尘机构，设置于该主体上； 将该板件置放于所述滚动轴上；转动所述滚动轴以移动该板件使该板件通过该除尘机构，且当该板件通 过该除尘机构时，该板件与该除尘机构接触以进行除尘。
22. 如权利要求21所述的清洁一板件的方法，其中该板件的该第一侧边 与该第二侧边为相对边，且该除尘机构包括一X轴除尘单元，当该板件通过 该除尘机构时，该第一侧边以及该第二侧边与该X轴除尘单元抵接，并带动 该X轴除尘单元于该第一侧边与该第二侧边上滚动。
23. 如权利要求21所述的清洁一板件的方法，其中该板件的该第三侧边 与该第四侧边为相对边，且该除尘机构包括一Y轴除尘单元，当该板件被辅I 送至一第一位置时，该滚动轴停止滚动，该Y轴除尘单元可于该第三侧边与 该第四侧边上滚动。
24. 如权利要求23所述的清洁一板件的方法，其中该除尘机构包括一感 测单元、 一控制单元，该控制单元分别与该感测单元、所述滚动轴以及该Y 轴除尘单元电性连接。
25. 如权利要求24所述的清洁一板件的方法，其中当该板件被输送至该 第一位置时，触动该感测单元，该感测单元发射一信号至该控制单元，该控 制单元停止该滚动轴的转动并启动该Y轴除尘单元。
26. 如权利要求25所述的清洁一板件的方法，其中该Y轴除尘单元包括 一前挡板机构、 一后推板机构、两个压板机构以及两个Y轴清洁机构，当该 滚动轴停止转动时，该前挡板机构延伸而与该第三侧边抵接，该后推板机构 延伸而与该第四侧边抵接，所述压板机构朝该板件下压，该前挡板机构以及 该后推板机构分别与该第三侧边以及该第四侧边分离，所述Y轴清洁机构分 别沿着该第三侧边以及该第四侧边往复移动，所述压板机构回复原位，所述 滚动轴重新启动。
全文摘要
一种清洁系统以及清洁一板件的方法。清洁系统用以清洁一板件。清洁系统包括一输送装置以及一除尘机构。输送装置包括一主体以及多个滚动轴，滚动轴以可旋转的方式平行设置于主体上。除尘机构设置于主体上，当板件置放于滚动轴上时，通过滚动轴的转动可输送板件，当板件通过除尘机构时，板件与除尘机构接触以进行除尘。清洁一板件的方法包括提供一输送装置；提供一除尘机构，设置于输送装置上；将板件置放于输送装置上；转动输送装置的滚动轴移动板件使板件通过除尘机构，且当板件通过除尘机构时，板件与除尘机构接触以进行除尘。该清洁系统可除去板边的异物或灰尘，因此当板件在进行光罩制程时，可大幅降低损伤光罩的可能性，提高制程的合格率。
文档编号B08B7/00GK101486037SQ20081000129
公开日2009年7月22日 申请日期2008年1月17日 优先权日2008年1月17日
发明者徐正贤, 蔡志福 申请人:南亚电路板股份有限公司