探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法

文档序号:1417602阅读:308来源:国知局
专利名称:探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法
探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法技术领域
本发明是关于一种探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法。
背景技术
如图1所示,在公知的发光二极管点测程序中,探针在使用一段时间之后往往会 在其表面上残留灰尘或污染物等微粒,这些微粒可能会影响点测的可靠度。因此,操作者必 须定期将探针拆下并利用人工进行清洁,此种人工清洁方式虽然可使探针恢复清洁,但必 须是在此点测设备停机的情况下才可进行,再者由于此人工清洁方式相当耗费时间,所以 势必会降低产能。如TW200935063揭露一种探针清洁装置,其是利用毛刷来进行探针清洁 作业,然而,毛刷清针的方向只会在探针的两侧,其无法全面性地清除探针上面的残金与微 粒。因此,亟需一种可在线清洁探针的探针清洁装置,此探针清洁装置可在此点测设备不停 机的情况下,直接对探针进行全面性清洁,因此可以节省拆装探针的时间,并且可节省人工 清洁的时间。发明内容
为解决上述问题,依照本发明的一实施态样,提供一种探针清洁装置,其是设置在 一发光二极管点测设备上以执行在线探针清洁作业,该点测设备包含设有探针的一探针单 元、以及能够在水平方向与垂直方向上移动的一移动机构,该探针清洁装置包含一连接 部,与该移动机构连接,并随着该移动机构移动;一清洁海棉,由三聚氰胺所制造,并用以清 洁该探针单元的探针;以及一容器,设置在该连接部上,并用以容纳该清洁海棉,其中当该 清洁海棉容纳在该容器内时,该清洁海棉是凸出该容器的上表面一距离。
依照本发明的另一实施态样,提供一种在线探针清洁方法,其是使用上述探针清 洁装置,此方法包含下列步骤通过该移动机构使该探针清洁装置与该探针对正;通过该 移动机构使该探针清洁装置在垂直方向上朝该探针移动,以使该清洁海棉与该探针接触; 通过该移动机构使该探针清洁装置在水平方向上移动一位移量;以及通过该移动机构使该 探针清洁装置在垂直方向上移动,以使该清洁海棉离开该探针。
本发明的其他实施样态以及优点可从以下与用以例示本发明原理范例的随附图 式相结合的详细说明而更显明白。此外,为了不对本发明造成不必要的混淆,在本说明书中 将不再赘述为人所熟知的组件与原理。


图1显示探针在使用一段时间之后于其表面上残留微粒的示意图。
图2显示依照本发明的一实施例的探针清洁装置的立体图。
图3是图2的探针清洁装置的局部放大图。
图4A显示探针在使用本发明的探针清洁装置进行清洁之前的电子显微影像。
图4B显示探针在使用本发明的探针清洁装置进行清洁之后的电子显微影像。
图5显示依照本发明的一实施例具有切割道的清洁海棉的立体图。
具体实施方式
图2显示依照本发明的一实施例的探针清洁装置I的立体图。探针清洁装置I是 设置在一发光二极管(LED)点测设备上以执行在线探针清洁作业。此点测设备可包含设有 探针3a的探针单元3、以及能够在水平方向(即,X、Y方向)与垂直方向(即,Z方向)上 移动的移动机构5。此点测设备亦包含可与移动机构5连接并相对于探针单元3移动的点 测台7,其中,于点测台7上放置待测LED组件。探针清洁装置I可包含连接部9,与移动 机构5连接,并随着移动机构5移动;清洁海棉11 (图3),由三聚氰胺(melamine)所制造, 并用以清洁探针单元3的探针3a ;以及容器10,设置在连接部9上,并用以容纳清洁海棉 11。
图3是图2的探针清洁装置I的局部放大图。如图3所示,当清洁海棉11容纳在 容器10内时,清洁海棉11可凸出容器10的上表面一距离h。举例而言,此距离h较佳是至 少为1mm。
如图3所示,在本发明的一实施例中,容器10可由容器本体IOa与上盖IOb所组 成。上盖IOb可具有开口 13,以及清洁海棉11可具有约略与开口 13的宽度等宽的切割道 15 (图5),如此能在上盖IOb挤压清洁海棉11的两侧时,使清洁海棉11凸出容器10的上 表面一距离h。在本发明的实施例中,容器本体IOa与上盖IOb可通过螺栓固定在一起,或 者可通过扣合方式固定在一起。
以下将说明使用本发明的探针清洁装置I的在线探针清洁方法。
使用探针清洁装置I的在线探针清洁方法可包含下列步骤通过移动机构5使探 针清洁装置I与探针3a对正;通过移动机构5使探针清洁装置I在垂直方向(即,图2的Z 方向)上朝探针3a移动,以使清洁海棉11与探针3a接触;通过移动机构5使探针清洁装 置I在水平方向(即,图2的X或Y方向)移动一位移量,俾能使清洁海棉11在水平方向 上清洁探针3a ;以及通过移动机构5使探针清洁装置I在垂直方向(即,图2的Z方向)上 移动,以使清洁海棉11离开探针3a。当探针清洁装置I在垂直方向(即,图2的Z方向) 上移动而使清洁海棉11接触与离开探针3a时,即可完成探针3a在垂直方向上的清洁。上 述位移量是指在不使探针3a发生变形或损坏的情况下的位移量,此位移量通常是依据例 如探针的针径而订定。虽然,本发明的图式中的探针3a是呈现弯针的型态,但其仅为例示 而非限制,我们应了解本发明的探针清洁装置亦可用在弯针以外的探针(例如直针等等) 的在线清洁。当清洁海棉11与探针3a接触时,清洁海棉11可包覆探针3a的整个表面,因 此可达到探针3a的全面性清洁。
图4A显示探针在使用本发明的探针清洁装置进行清洁之前的电子显微影像;以 及图4B显示探针在使用本发明的探针清洁装置进行清洁之后的电子显微影像。
本发明的探针清洁装置可在此点测设备不停机的情况下,直接对探针进行清洁, 因此可以节省拆装探针的时间,并且可节省人工清洁的时间。
上述实施例仅是为了方便说明而举例,虽遭所属技术领域的技术人员任意进行修 改,均不会脱离如权利要求书中所欲保护的范围。
权利要求
1.一种探针清洁装置,其特征在于,其是设置在一发光二极管点测设备上以执行在线探针清洁作业,该点测设备包含设有探针的一探针单元、以及能够在水平方向与垂直方向上移动的一移动机构,该探针清洁装置包含 一连接部,与该移动机构连接,并随着该移动机构移动; 一清洁海棉,由三聚氰胺所制造,并用以清洁该探针单元的探针 '及 一容器,设置在该连接部上,并用以容纳该清洁海棉, 其中当该清洁海棉容纳在该容器内时,该清洁海棉是凸出该容器的上表面一距离。
2.如权利要求1所述的探针清洁装置,其特征在于,所述距离至少为1_。
3.如权利要求1所述的探针清洁装置,其特征在于,所述容器是由一容器本体与一上盖所组成,其中该上盖具有一开口。
4.如权利要求3所述的探针清洁装置,其特征在于,所述清洁海棉具有与该开口的宽度近似等宽的切割道。
5.如权利要求3所述的探针清洁装置,其特征在于,所述容器本体与该上盖是通过螺栓固定在一起。
6.如权利要求3所述的探针清洁装置,其特征在于,所述容器本体与该上盖是通过扣合方式固定在一起。
7.—种在线探针清洁方法,其是使用如权利要求1所述的探针清洁装置,其特征在于,该方法包含下列步骤 通过移动机构使探针清洁装置与探针对正; 通过该移动机构使该探针清洁装置在垂直方向上朝该探针移动,以使清洁海棉与该探针接触; 通过该移动机构使该探针清洁装置在水平方向上移动一位移量;及 通过该移动机构使该探针清洁装置在垂直方向上移动,以使该清洁海棉离开该探针。
全文摘要
本发明是关于一种探针清洁装置,其是设置在一发光二极管(LED,light emitting diode)点测设备上以执行在线(on-line)探针清洁作业,该点测设备可包含设有探针的一探针单元、以及能够在水平方向与垂直方向上移动的一移动机构,该探针清洁装置包含一连接部,与该移动机构连接,并随着该移动机构移动;一清洁海棉,由三聚氰胺所制造,并用以清洁该探针单元的探针;以及一容器,设置在该连接部上,并用以容纳该清洁海棉,其中当该清洁海棉容纳在该容器内时,该清洁海棉是凸出该容器的上表面一距离。
文档编号B08B1/00GK103008265SQ20111028222
公开日2013年4月3日 申请日期2011年9月21日 优先权日2011年9月21日
发明者廖惇材, 洪嘉宏, 张书祥, 陈建羽 申请人:旺矽科技股份有限公司
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