专利名称：石英晶圆切割机的置物台改良构造的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种石英晶圆切割机的置物台改良构造，尤指一种在切割机上具有纵向及横向驱动机构的置物台，可依该置物台固定一石英晶圆，再控制其切割的进刀量及切削速度，而能达到自动操作及精确控制的加工特性。
背景技术：
请参阅图3所示，习知石英晶圆切割机的构造，其中主要包括有一机台a、带锯b及马达c等构成，而在该机台a的工作台面d上设有一能沿切削路径往复移动的置物台e；当在该习知构造的置物台e上固定一石英晶圆f欲进行切割时，必须以人工方式调整好欲切割的进刀量后，才启动置物台e作缓慢前进，以达自动切削的功能与目的。然而，如上述的习知构造使用时，因其中最多仅于切削时能自动前进以维持其切削路径的直线精准度；至于其它有关在作进刀调整方面则十分困难，尤其是一般石英晶圆的体积及重量相当大，所以其调整起来更是困难，因而常造成进刀量左右倾斜或每次进刀量(厚薄)不一的缺失，故而易造成报废，浪费材料与工时的情况，致影响该产品的市场竞争力，故对之实有再改良的必要。
发明内容
本发明人乃针对上述习知石英晶圆切割机的构造在实际使用时的缺失，精心研究发展，并积个人从事该项行业多年的经验，终创作出一种崭新的石英晶圆切割机的置物台改良构造。
本实用新型主要目的在提供一种石英晶圆切割机的置物台改良构造，系为提升该产品切割加工时的方便性与准确度，而于工作台上设置了具纵向及横向驱动机构的复合式置物台，以能提升该产品的加工品质与经济效益。
为达上述的目的，本实用新型采用如下所述的技术方案石英晶圆切割机的置物台改良构造，该石英晶圆切割机系包含由机台、带锯及马达等构造组成，该切割机的工作台面上设有一横(纵)向线性轴承，并于该线性轴承上固定有一座板，在该座板与工作台面间设有一线性驱动机构以带动座板作横(纵)向往复运动，再于座板之上设有一纵(横)向线性轴承，并于该线性轴承上固定有一置物台，在该置物台与座板间设有一线性驱动机构以带动置物台作纵(横)向往复运动，而于该置物台上面沿其纵(横)向且设有二道平行的T型槽与二道平行的导槽，在该置物台上可由二T型槽架设有冂型压制构造，及设置有一垂直于导槽的顶板，该顶板与置物台间设有一线性驱动机构以带动顶板沿导槽方向作纵(横)向往复运动。
采用上述结构的本实用新型在加工时因各部调整及运动机构均受导槽或线性轴承的限制，致其运动路线准确且移动量精度高，而可方便且有效的达到切割石英晶圆的功效，进而可减少物料因加工不当的浪费，及提升产品的经济效益。
图2为本实用新型的石英晶圆切割机置物台构造立体分解图。
图3为习知石英晶圆切割机整体示意图。
图中部件标号的说明
10机台20带锯 30马达40座板50置物台60冂型压制构造70顶板80石英晶圆 11工作台面12、41线性轴承13、42、53线性驱动机构 51T型槽52导槽61螺栓 62压杆63螺母又如上述的冂型压制构造60得由二支螺栓61分别以其头端置入置物台50上的T型槽引内可移动调整，再于该二螺栓61上端由上向下套设一压杆62，再分别于螺栓61上以螺母63锁合，据而可在压杆62下方具有石英晶圆80时，经螺母63锁紧以达夹持固定石英晶圆80的目的。另外，该等冂型压制构造60得依石英晶圆80的大小而沿T型槽引方向移动，调整至最佳的夹持固定状态。再者，于前段所述的线性驱动机构13及42、53等构造，在实际实施时以使用一种滚珠螺杆配合伺服马达及光学尺等(以上零件均为习知构造，固于此不再赘述)组成，可得最佳的控制与运动功效，进而提升产品的精密度而降低其不良率。
据上述构造使用时，于置物台上放置一石英晶圆80并使该石英晶圆80抵靠于顶板70后，并可以冂型压制构造60框设于石英晶圆80之上夹持固定，以便进行切割加工；当欲开始切割时，则可先由顶板70底部所设的线性驱动机构53推进以使石英晶圆80前端突出置物台50一段距离，并经调紧冂型压制构造60的螺母63以夹持固定好石英晶圆之后，即可由置物台50底部所设的线性驱动机构42驱使该置物台50向前移动至第一刀切割位置后停止，随即由座板40底部所设的线性驱动机构13驱使座板40连带其上的置物板50与石英晶圆80等向高速转动的带锯20以等速而缓慢的前进，以达到对石英晶圆进行切削的工作，其后每切割好一片即由置物板50底部所设的线性驱动机构42驱使该置物台50向前移动一步(即欲切割石英晶圆的厚度)，再由座板40底部所设的线性驱动机构13驱使石英晶圆80以等速而缓慢移动进行切割，而一片片的自动切割石英晶圆，另于切割到接近置物台50前端时，亦可再放松冂型压制构造60并使顶板70底部所设的线性驱动机构53推进以使石英晶圆80前端突出置物板50一段距离，以便重复进行上述的切割工作。
如上述，本实用新型在加工时因各部调整及运动机构均受导槽或线性轴承的限制，致其运动路线准确且移动量精度高，而可方便且有效的达到切割石英晶圆的功效，进而可减少物料因加工不当的浪费，及提升产品的经济效益。
综上所述，本实用新型的石英晶圆切割机的置物台改良构造，其确实能达到方便操作及取得精确加工尺寸的目的，而具方便、实用及降低成本的功效。
权利要求1.一种石英晶圆切割机的置物台改良构造，该石英晶圆切割机系包含由机台、带锯及马达等构造组成，其特征在于该切割机的工作台面上设有一横(纵)向线性轴承，并于该线性轴承上固定有一座板，在该座板与工作台面间设有一线性驱动机构以带动座板作横(纵)向往复运动，再于座板之上设有一纵(横)向线性轴承，并于该线性轴承上固定有一置物台，在该置物台与座板间设有一线性驱动机构以带动置物台作纵(横)向往复运动，而于该置物台上面沿其纵(横)向且设有二道平行的T型槽与二道平行的导槽，在该置物台上可由二T型槽架设有冂型压制构造，及设置有一垂直于导槽的顶板，该顶板与置物台间设有一线性驱动机构以带动顶板沿导槽方向作纵(横)向往复运动。
专利摘要一种石英晶圆切割机的置物台改良构造,其主要在一石英晶圆切割机的工作台上设有一复合式置物台,该置物台在固定好待加工的石英晶圆后,得经伺服马达的控制而自动进行切割及进刀量的加工动作。
文档编号B28D7/04GK2510267SQ0126619
公开日2002年9月11日 申请日期2001年11月12日 优先权日2001年11月12日
发明者杨嘉丰 申请人:熔晶有限公司