石英晶圆切割机的带锯夹持结构的制作方法

文档序号:1832790阅读:354来源:国知局
专利名称:石英晶圆切割机的带锯夹持结构的制作方法
技术领域
本实用新型有关于一种石英晶圆切割机的带锯夹持结构,尤指一种可使该带锯于切割时具有定位、高平整度、偏摆幅度小以及不易扭曲的功效,而达到增加切割速度及延长带锯寿命的石英晶圆切割机的带锯夹持结构。
背景技术
一般现有的石英晶圆切割机,如图8所示,其由一机台6、二设置于机台6内的致动元件61以及一环设于二致动元件61上的带锯62所构成,而该机台6具有一工作区间63,且该工作区间63的一面具有一平台64,而该带锯62由工作区间63穿过于平台64上,且该带锯62具有一平面部及一锯齿部(图未示);可将石英晶圆放置于平台64上,通过该带锯62的锯齿部进行石英晶圆的切割。
虽然上述现有的石英晶圆切割机,可将石英晶圆放置于平台64上,通过该带锯62进行石英晶圆的切割,但是由于该带锯62于进行切割时,会因带锯62作快速的环绕转动以及与切割物产生的应力,而使带锯62朝较大面积二平面的方向偏摆,故而,易导致该带锯62于切割时造成偏摆较大,使切割时较不稳定及平整,且易扭曲,进而缩短带锯的使用寿命,而使带锯62的切割速度较慢。
实用新型内容本实用新型的主要目的在于为解决上述缺点、避免缺点存在而提供一种石英晶圆切割机的带锯夹持结构,可通过设置于带锯二平面上的夹持单元,并配合顶持件,使该夹持单元与带锯的二平面保持一定的间距,让该带锯于切割时具有定位、高平整度、偏摆幅度小以及不易扭曲的功效,而能增加切割速度及延长带锯的寿命。
为达上述的目的,本实用新型的一种石英晶圆切割机的带锯夹持结构,由一机台、至少一致动元件及一带锯所构成,该机台具有工作区间及平台;该致动元件设置于机台内;该带锯具有一平面部及锯齿部,且与致动元件连接,并由工作区间穿过于平台上;并于机台内且邻近于工作区间二端的位置处分别设置至少一夹持单元,而该夹持单元夹持于带锯的二平面上,且该夹持单元的二侧分别设置有一顶持件,使该夹持单元与带锯的二平面保持一定的间距。
根据上述方案,本实用新型的石英晶圆切割机的带锯夹持结构可有效改善现有结构的种种缺点,该带锯具有定位、高平整度、偏摆幅度小以及不易扭曲的功效,而能增加切割速度及延长带锯的寿命,进而使本实用新型的产生能更进步、更实用、更符合使用者的需要。


图1为本实用新型的立体外观示意图。
图2为本实用新型沿图1的A-A向剖面示意图。
图3为本实用新型沿图1的B-B向剖面示意图。
图4为本实用新型夹持单元的立体外观示意图。
图5为本实用新型顶持件的立体外观示意图。
图6为本实用新型顶持件的剖面状态示意图。
图7为本实用新型的切割状态剖面示意图。
图8为现有结构的状态剖面示意图。
元件标号对照本实用新型部分1……机台 11……工作区间
12……平台2……致动元件3……带锯 31……平面部32……锯齿部 4……夹持单元41、42……夹块411、421……缓冲部5……顶持件 51……开口52……封闭面 521……凹槽53……中空部 54……外螺纹部55……顶珠56……弹性元件现有结构部分6……机台 61……致动元件62……带锯63……工作区间64……平台具体实施方式
请参阅图16所示,本实用新型为一种石英晶圆切割机的带锯夹持结构,该切割机由一机台1、至少一致动元件2及一带锯3所构成,该机台1具有一工作区间11,且该工作区间11的一面具有一平台12;该致动元件2设置于机台1内,且于机台1内的二端适当处各设置一个;该带锯3具有一平面部31及一锯齿部32,且该带锯3环设于机台1内的二致动元件2上,使该二致动元件2可连动该带锯3,并由工作区间11穿过于平台12上;其中该机台1内且邻近于工作区间11二端的位置处分别设置至少一夹持单元4,该夹持单元4夹持于带锯3的二平面上,而该夹持单元4由二夹块41、42所构成,且该夹块41、42上具有与带锯3对应的缓冲部411、421,如图4所示,且该夹持单元4的二侧分别设置有一顶持件5,该顶持件5为一端具有开口51而另一端为封闭面52的中空部53,而该封闭面52的外侧具有一凹槽521,且该顶持件5设有外螺纹部54,并于该中空部53的该开口51内设置有一顶珠55,而该顶珠55及封闭面52之间设置一弹性元件56,如图6所示,通过该顶珠55配合弹性元件56,以使该夹持单元5与带锯3的二平面保持一定的间距。如此,通过上述的结构构成一全新的石英晶圆切割机的带锯夹持结构。
请参阅图7所示,为本实用新型的切割状态剖面示意图。如图所示当本实用新型于进行切割运用时,启动该致动元件2,使该环设于致动元件2上的带锯3作环绕转动,而使带锯3于工作区间11产生锯动的效果,让使用者可于机台1的平台12上将作切割物(石英晶圆)应于锯齿部32进行切割;当该带锯3的锯齿部32切割时,会因带锯3作快速的环绕转动以及与切割物产生的应力,而使带锯3朝较大面积二平面的方向偏摆,此时,即可通过该带锯3的二平面上所夹持的夹持单元4,并配合顶持件5的顶珠55及弹性元件56,而使该带锯3作快速的环绕转动以及切割时,被夹持单元4定位于预定处,使该带锯于动作时达到具有高平整度、偏摆幅度小以及不易扭曲的功效,而能增加切割速度及延长带锯的寿命。
另当带锯3使用一段时间之后,若二夹持单元4间的间隙增大时,使用者即可以一工具(图未示),对应于该顶持件5的凹槽521后旋转,使该顶持件5通过其外螺纹部54,而达到调整夹持单元5与带锯3的二平面保持于一定间距的功效。
但以上所述,仅为本实用新型的较佳实施例而已,当不能以此限定本实用新型实施的范围;凡依本实用新型所作的简单等效变化与修饰,皆应仍属本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种石英晶圆切割机的带锯夹持结构,该切割机包括有一机台,该机台具有一工作区间,且该工作区间的一面具有一平台;至少一致动元件,设置于机台内;一带锯,具有一平面部及一锯齿部,该带锯设置于机台内且与致动元件连接,并由工作区间穿过于平台上;其特征在于该机台内且邻近于工作区间二端的位置处分别设置至少一夹持单元,而该夹持单元夹持于带锯的二平面上,且该夹持单元的二侧分别设置有一顶持件,构成该夹持单元与带锯的二平面保持一定的间距。
2.如权利要求1所述的石英晶圆切割机的带锯夹持结构,其特征在于该夹持单元由二夹块所构成。
3.如权利要求2所述的石英晶圆切割机的带锯夹持结构,其特征在于该夹块上具有与带锯对应的缓冲部。
4.如权利要求1所述的石英晶圆切割机的带锯夹持结构,其特征在于该顶持件为一端具有开口而另一端为封闭面的中空部,而该封闭面的外侧具有一凹槽,且该顶持件设有外螺纹部,并于该中空部的该开口内设置有一顶珠,而该顶珠及封闭面之间设置一弹性元件。
专利摘要本实用新型公开了一种石英晶圆切割机的带锯夹持结构,由一机台、至少一致动元件及一带锯所构成,该机台具有工作区间及平台;该致动元件设置于机台内;该带锯具有一平面部及一锯齿部,且与致动元件连接,并由工作区间穿过于平台上;于机台内且邻近于工作区间二端的位置处分别设置至少一夹持单元,而该夹持单元夹持于带锯的二平面上,且该夹持单元的二侧分别设置有一顶持件,使该夹持单元与带锯的二平面保持一定的间距。由此,可使该带锯于切割时具有定位、高平整度、偏摆幅度小以及不易扭曲的功效,而达到增加切割速度及延长带锯寿命的效果。
文档编号B28D1/02GK2776653SQ20052001115
公开日2006年5月3日 申请日期2005年3月29日 优先权日2005年3月29日
发明者杨嘉丰 申请人:熔晶有限公司
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