专利名称：高温直流磁控溅镀ito之厚玻璃防裂保温塔的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃的加工技术，尤 其与厚玻璃的防裂保温塔结构有关。
背景技术：
高温直流磁控溅镀ITO(氧化铟锡)工艺，是一种利用300 380 。C高温条件下溅镀ITO薄膜到基材上的工艺。当基材为厚玻璃(厚度 大于3mm)时，厚玻璃存储热量大，造成此玻璃出真空腔体后，厚玻 璃表面温度仍然在150。C以上，在无尘室环境温度22X:环境下，玻璃 受剧烈温差而极易破裂，裂片率高于50%，成品率低下。因此，该工 艺确实有待改进。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种高温直流磁控溅镀ITO之厚玻 璃防裂保温塔，以改善高温直流磁控溅镀ITO工艺厚玻璃裂片问题。 为了实现上述目的，本实用新型的解决方案是-高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃防裂保温塔，设置在真空腔体的 出口段，由铝型材框架、不锈钢外板、有机玻璃内板和保温石棉内衬 组成，铝型材框架的前、后两面之间形成供厚玻璃进入保温的隔离空间，铝型材框架的左、右两面为供厚玻璃进、出隔离空间的进口和出 口 ，铝型材框架的前、后两面上都嵌置有不锈钢外板和有机玻璃内板， 前、后两面的有机玻璃内板都分为顶部、中部和底部，且底部的厚度 大于中部的厚度，中部的厚度大于顶部的厚度，底部的内侧还增加保 温石棉内衬。
所述有机玻璃内板的底部与保温石棉内衬之间保留间隙，间隙大
小为5毫米(mm)。
所述铝型材框架的前、后两面上仅在有机玻璃内板的底部外侧嵌 置有不锈钢外板，即对应有机玻璃内板的顶部和中部形成用于观察厚 玻璃的观察窗。
所述有机玻璃内板的顶部厚度为5皿，中部厚度为8mm，底部厚 度为lOmm，保温石棉内衬的厚度为lOmm，铝型材框架的型材截面为 40mmX40mm，不锈钢外板厚度为l,。
采用上述方案后，本实用新型因为设置在真空腔体的出口段，当 载有厚玻璃的台车从真空腔体出来后，停留在保温塔内缓冲2-3分 钟，可以调节厚玻璃热温差，防止玻璃受剧烈温差而造成玻璃破裂， 大大降低裂片率，提高成品率，从而改善高温直流磁控溅镀ITO工艺 厚玻璃裂片问题。
图1是本实用新型的立体结构示意图2是本实用新型的侧视图3是本实用新型的正视图。
具体实施方式
如图1至图3所示，是本实用新型揭示的较佳实施例及使用示意。
此高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃防裂保温塔，是设置在真空腔 体的出口段，由铝型材框架l、不锈钢外板2、有机玻璃内板3和保 温石棉内衬4组成。
其中，铝型材框架l是由铝型材连接固定而成，且型材截面选择 40mmX40mm为最佳。铝型材框架1的前、后两面之间形成供厚玻璃 进入保温的隔离空间ll。铝型材框架l的左、右两面为供厚玻璃进、 出隔离空间11的进口 12和出口 13。
有机玻璃内板3嵌置在铝型材框架1的前、后两面上。前、后两 面的有机玻璃内板3都分为顶部31、中部32和底部33，且底部33 的厚度大于中部32的厚度，中部32的厚度大于顶部31的厚度。有 机玻璃内板3的厚度具体可以设计为顶部5腿，中部8mm，底部10mm。
不锈钢外板2也嵌置在铝型材框架1的前、后两面上。为了便于 观察厚玻璃的变化，此实施例仅在有机玻璃内板3的底部33外侧嵌 置有不锈钢外板2，而在对应有机玻璃内板3的顶部31和中部32形 成用于观察厚玻璃的观察窗21。不锈钢外板2的厚度具体可以设计
为l腿c
保温石棉内衬4增设在有机玻璃内板3底部33的内侧。保温石 棉内衬4与有机玻璃内板3的底部33之间最好保留5 mm间隙。保温 石棉内衬4的厚度具体可以设计为10mm。
本实用新型的保温原理
1)从前到后，自封式形成隔离空间ll:载有厚玻璃的台车进入 保温塔后，台车前、后柱起到闭门作用，防止外界环境对厚玻璃从行进方向的剧烈热冲击。同时，由于不完全密封，厚玻璃热量可缓慢向 外释放，以达到逐步降温目的。
2)从上到下，三段式保温设计底部33用厚度为lOmra有机玻 璃且内侧贴附10mm保温石棉内衬4，确保保温石棉与厚玻璃距离约 5ram，达到底部热量最大限度保留，实现底部玻璃热量减少最小；中 部32用8mm有机玻璃，隔离外界环境对厚玻璃的侧面方向剧烈热冲 击，通过底部玻璃起到类似底部保温石棉之作用；顶部31采用5mm 有机玻璃，隔离外界环境对厚玻璃的侧面方向剧烈热冲击，通过中部 和底部玻璃起到类似底部保温石棉之作用，同时，多于热量缓慢透过 较薄的5mm有机玻璃向外释放。
试验证明，未采用本实用新型改善前投入3. 2mm厚玻璃100片， 裂片55片，裂片率55%，采用本实用新型改善后投入3.2ram厚玻 璃100片，裂片2片，裂片率2%。
权利要求1、高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃防裂保温塔，其特征在于设置在真空腔体的出口段，由铝型材框架、不锈钢外板、有机玻璃内板和保温石棉内衬组成，铝型材框架的前、后两面之间形成供厚玻璃进入保温的隔离空间，铝型材框架的左、右两面为供厚玻璃进、出隔离空间的进口和出口，铝型材框架的前、后两面上都嵌置有不锈钢外板和有机玻璃内板，前、后两面的有机玻璃内板都分为顶部、中部和底部，且底部的厚度大于中部的厚度，中部的厚度大于顶部的厚度，底部的内侧还增加保温石棉内衬。
2、 如权利要求1所述的高温直流磁控溅镀IT0之厚玻璃防裂保温塔，其特征在于所述有机玻璃内板的底部与保温石棉内衬之间保 留间隙。
3、 如权利要求2所述的高温直流磁控溅镀IT0之厚玻璃防裂保温塔，其特征在于所述有机玻璃内板的底部与保温石棉内衬之间的间隙大小为5 mm。
4、 如权利要求1所述的高温直流磁控溅镀IT0之厚玻璃防裂保 温塔，其特征在于所述铝型材框架的前、后两面上仅在有机玻璃内 板的底部外侧嵌置有不锈钢外板，即对应有机玻璃内板的顶部和中部 形成用于观察厚玻璃的观察窗。
5、 如权利要求1所述的高温直流磁控溅镀IT0之厚玻璃防裂保 温塔，其特征在于所述有机玻璃内板的顶部厚度为5 mm，中部厚 度为8mm，底部厚度为10mm，保温石棉内衬的厚度为10mm，铝型材 框架的型材截面为40mmX40mm，不锈钢外板厚度为lmm。
专利摘要本实用新型公开一种高温直流磁控溅镀ITO之厚玻璃防裂保温塔，设置在真空腔体的出口段，由铝型材框架、不锈钢外板、有机玻璃内板和保温石棉内衬组成，铝型材框架的前、后两面之间形成供厚玻璃进入保温的隔离空间，铝型材框架的左、右两面为供厚玻璃进、出隔离空间的进口和出口，铝型材框架的前、后两面上都嵌置有不锈钢外板和有机玻璃内板，前、后两面的有机玻璃内板都分为顶部、中部和底部，且底部的厚度大于中部的厚度，中部的厚度大于顶部的厚度，底部的内侧还增加保温石棉内衬。此结构可以改善高温直流磁控溅镀ITO工艺厚玻璃裂片问题，降低裂片率，提高成品率。
文档编号C03C17/245GK201334434SQ200820183960
公开日2009年10月28日 申请日期2008年12月30日 优先权日2008年12月11日
发明者旭 章, 谭逢桃, 黄邦熊 申请人:宸阳光电科技(厦门)有限公司