专利名称：线切割机硅片收集槽的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种单晶硅生产过程中使用的线切割 机硅片收集槽。
背景技术：
在单晶硅生产过程中需要通过线切割机将硅棒切成硅 片，切割后的硅片落入硅片收集槽中。在硅片下落至收集槽 时会产生相互挤压、重叠，拾取时极易导致硅片破损。 发明内容
本实用新型的目的是要解决现有技术存在的上述问题， 提供一种可防止硅片下落后挤压、重叠，确保捡取时硅片完 好无损的线切割机硅片收集槽。
本实用新型是这样实现的它有一个槽体，在槽体两个 端面设有扶手，其特殊之处是在槽体内放置有支架，在支 架上部设置有横向隔筋，在支架下部设置有纵向支撑筋。
本实用新型的优点是通过设置在收集槽中的支架，可 使被切割的硅片沿二个相邻的横向隔筋之间落入支架中并 通过纵向支撑筋支撑，降低硅片下落高度，防止硅片挤压、 重叠、平落，确保硅片完好无损，并且方便捡取。
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图所示，本实用新型有一个槽体l，槽体l一端为活 动门结构，在槽体1两个端面上设有扶手2，以便于取出单 晶硅片。在槽体1内放置有支架3，在支架3上部沿水平方
向设置有横向隔筋4，在支架3下部沿水平方向设置有纵向 支撑筋5。
权利要求1、一种线切割机硅片收集槽，包括一个槽体，在槽体两个端面设有扶手，其特征是在槽体内放置有支架，在支架上部设置有横向隔筋，在支架下部设置有纵向支撑筋。
专利摘要一种线切割机硅片收集槽，解决了在单晶硅生产过程中将硅棒进行线切割时硅片落入硅片收集槽中会产生相互挤压、重叠，拾取时极易导致硅片破损的问题。它有一个槽体，在槽体两个端面设有扶手，其特殊之处是在槽体内放置有支架，在支架上部设置有横向隔筋，在支架下部设置有纵向支撑筋。优点是可防止硅片下落后挤压、重叠，确保捡取时硅片完好无损。
文档编号B28D5/04GK201325127SQ200820232270
公开日2009年10月14日 申请日期2008年12月25日 优先权日2008年12月25日
发明者马军正 申请人:锦州日鑫硅材料有限公司