专利名称：工作台摆动机构的制作方法
技术领域：
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本发明涉及一种工作台摆动机构，特别是一种适用于半导体专用 设备的工作台摆动机构。
背景技术：
半导体专用设备在切割较硬材料的过程中，需要切割线相对工作 台摆动，可以增加材料的去除率，降低线的磨损，提高加工表面的质 量。常见的摆动装置是切割线摆动，由电机带动摆动板上的导向滑轮 上下摆动，由于摆动板的运动惯量较大，不易控制，常常导致材料被 切割表面的质量不稳定。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种使用方便、结构简单、易 于操作的工作台摆动机构。
本发明解决上述问题所采用的技术方案如下
本发明包括驱动电机、切割工作台和底座，其特征是所说切割工 作台下部与底座铰接，驱动电机的壳体与底座铰接，切割工作台的一 侧固定有一摆臂，摆臂与驱动电机的电机轴间设置有螺旋传动装置， 且螺旋传动装置中的螺母与摆臂铰接，螺杆与电机的电机轴固定。
本发明所说切割工作台下部与底座铰接是切割工作台下部设铰
轴与一固定座铰接，固定座与底座固定；所说驱动电机的壳体与底座 铰接是驱动电机的壳体与一电机座固定，电机座设铰轴与底座铰接。 本发明所说螺杆与电机的电机轴固定是螺杆下端与电机轴间设 有联轴器连接。
本发明所说螺母与摆臂铰接是螺母与一螺母座固定，螺母座设铰 轴与摆臂端部铰接。
本发明所说螺母座上设有供铰轴润滑的注油孔。 本发明所说电机座上设有供铰轴润滑的注油孔。
本发明的有益效果使用本发明动作灵活、使用方便，整个机构 采用螺旋传动装置和摆杆装置，可用较小功率和较小惯量的驱动电机
带动切割工作台摆动，可以切割大尺寸的半导体材料；螺杆轴承和步 进电机均安装在龟机座内，在加工时可很好的保证同轴度；摆臂的铰轴由两对轴承支撑，摩擦小，旋转精度高，寿命长；在电机座和螺母 座的上端面设计有注油孔，平时用紧定螺钉密封，需要润滑时将螺钉 取出，滴入润滑油，方便快捷。同时本机构结构简单紧凑，体积小， 工作的可靠性和稳定性高，且成本较低，降低了设备制造和用户的使 用成本。■
附图1为本发明一种实施例的主视结构示意图； 附图2为图1的A-A剖面结构示意图； 附图3为本发明的机械原理图。
在附图中l驱动电机、2电机座、3联轴器、4底座、5铰轴、 6螺杆、7螺母座、8铰轴、9摆臂、IO铰轴、ll固定座、12切割工 作台、13螺母、14注油孔、15注油孔。
具体实施方式
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下面将结合实施例附图对本发明作进一步详述
参见附图，驱动龟机1通过联轴器3与螺杆6的下轴端联结，驱 动电机1通过螺钉安装在电机座2的下阶梯孔内，螺杆6靠轴承支撑 在电机座2的上阶梯孔内，电机座2通过两个铰轴5支撑在底座4右 端的方孔内，铰轴5通过螺钉固定在底座4右端两侧，螺母座7通过 两个铰轴8支撑在摆臂9的前端，铰轴8通过螺钉固定在摆臂9右端 两侧，摆臂9通过胀套固定在铰轴10上，铰轴10为阶梯轴，通过轴 承支撑在固定座U中，固定座U通过螺钉固定在底座4上，摆臂9 的上端面通过螺钉与切割工作台12相连。
电机座2可通过铰轴5绕底座4摆动，螺母座7可通过铰轴8绕 摆臂9摆动；电机座2和螺母座7上端面上均分别设有注油孔15、 14。
本发明由驱动电机1提供动力，通过摆杆装置和螺旋传动装置带 动切割工作台12摆动，以完成对晶片的旋转切割。通过调节驱动电 机1的旋转速度和角度，可以调节切割工作台12的摆动角度和频率。 本机构的螺旋传动装置既可采用滑动螺旋传动装置，也可采用滚动螺 旋传动装置。
权利要求
1、一种工作台摆动机构，它包括驱动电机、切割工作台和底座，其特征是所说切割工作台(12)下部与底座(4)铰接，驱动电机(1)的壳体与底座(4)铰接，切割工作台(12)的一侧固定有一摆臂(9)，摆臂(9)与驱动电机(1)的电机轴间设置有螺旋传动装置，且螺旋传动装置中的螺母(13)与摆臂(9)铰接，螺杆(6)与电机(1)的电机轴固定。
2、 根据权利要求1所述的工作台摆动机构，其特征是所说切割工作台(12)下部与底座(4)铰接是切割工作台(12)下部设铰轴(10)与一固定座(11)铰接，固定座(11)与底座(4)固定；所说驱动电机(1)的壳体与底座(4)铰接是驱动电机(1)的壳体与一电机座.(2)固定，电机座(2)设铰轴(5)与底座(4)铰接。
3、 根据权利要求1所述的工作台摆动机构，其特征是所说螺杆(6) 与电机(1)的电机轴固定是螺杆(6)下端与电机轴间设有联轴器(3)连接。
4、 根据权利要求1所述的工作台摆动机构，其特征是所说螺母(13)与摆臂(9)铰接是螺母(13)与一螺母座(7)固定，螺母座(7) 设铰轴(8)与摆臂(9)端部铰接。
5、 根据权利要求4所述的工作台摆动机构，其特征是所说螺母座(7)上设有供铰轴(8)润滑的注油孔(14)。
6、 根据权利要求2所述的工作台摆动机构，其特征是所说电机座(2)上设有供铰轴(5)润滑的注油孔(15)。
全文摘要
本发明涉及一种工作台摆动机构，它包括驱动电机、切割工作台和底座，所说切割工作台下部与底座铰接，驱动电机的壳体与底座铰接，切割工作台的一侧固定有一摆臂，摆臂与驱动电机的电机轴间设置有螺旋传动装置，且螺旋传动装置中的螺母与摆臂铰接，螺杆与电机的电机轴固定。使用本发明动作灵活、使用方便，摆臂的铰轴由两对轴承支撑，摩擦小，旋转精度高，寿命长；在电机座和螺母座的上端面设计有注油孔，平时用紧定螺钉密封，需要润滑时将螺钉取出，滴入润滑油，方便快捷。同时本机构结构简单紧凑，体积小，工作的可靠性和稳定性高，且成本较低，降低了设备制造和用户的使用成本。
文档编号B28D5/04GK101653972SQ200910075359
公开日2010年2月24日 申请日期2009年9月11日 优先权日2009年9月11日
发明者杨生荣, 王仲康, 袁立伟 申请人:中国电子科技集团公司第四十五研究所