一种晶棒在多线切割机中的安装方法

文档序号:1997393阅读:474来源:国知局
专利名称:一种晶棒在多线切割机中的安装方法
技术领域
本发明涉及一种晶棒在多线切割机中的安装方法。
背景技术
目前,在多线切割晶棒生产硅片的过程中,两晶棒在多线切割机中的安装方法是 只要线网的宽度大于晶棒的长度,晶棒及其两端完全置于线网的线切割范围内即可;这种 方法我们无法确保晶棒的截面百分之百的垂直于水平面,以及一刀晶棒(两根)的长度绝 对相等,当晶棒在线网的中间部分切割,晶棒的两端就会有碎片、厚薄片、线痕片的产生,对 钢线造成挤压产生跳线,钢线在跳线时,一旦产生碰撞或多根线挤压在同一条槽内时就会 造成断线,特别是新线的进线端的断线,将导致一刀晶棒报废,并影响晶片的质量;同时,由 于晶棒的长短不一,头尾切出的硅片往往是次品,既浪费了材料,又增加了成本。

发明内容
本发明的目的是提供能避免跳线、断线现象,提高成品率的一种晶棒在多线切割 机中的安装方法。本发明采取的技术方案是一种晶棒在多线切割机中的安装方法,其特征在于在 安装晶棒时,先使两根晶棒的一端对齐,之后,将位于进刀线一侧的两根晶棒的另一端略微 超出线网即可。采用本发明方法,在安装两根晶棒时,先将晶棒截面超出新线进线侧的线网,由于 是超出线网,在新线进线侧有一片厚片挡着,钢线没有受到挤压,因此就不会产生上述的问 题,而在钢线的收线端,让一根晶棒的端面与另一根晶棒的端面对齐垂直,这样可以尽量减 少跳线、厚薄片、线痕片、断线情况的产生,提高成品率,又可以降低硅料的损失。
具体实施例方式下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。1、取两根晶棒。2、将两根晶棒的一端对齐,将两根晶棒的另一端安装在位于进刀线一侧,并略微 超出线网即可即可。上述对齐的一端可以在线网内,也可在线网外。
权利要求
一种晶棒在多线切割机中的安装方法,其特征在于在安装晶棒时,先使两根晶棒的一端对齐,之后,将位于进刀线一侧的两根晶棒的另一端略微超出线网即可。
全文摘要
本发明涉及一种晶棒在多线切割机中的安装方法,该方法在安装晶棒时,先使两根晶棒的一端对齐,之后,将位于进刀线一侧的两根晶棒的另一端略微超出线网即可。采用本发明方法,可以减少因跳线甚至断线而产生的次品,且在一端对齐的情况下,可以降低硅料的损失。
文档编号B28D5/04GK101879757SQ201010139870
公开日2010年11月10日 申请日期2010年4月1日 优先权日2010年4月1日
发明者周景文, 徐增宏 申请人:浙江硅宏电子科技有限公司
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