一种多线切割机中的晶棒安装方法

文档序号:1997394阅读:335来源:国知局
专利名称:一种多线切割机中的晶棒安装方法
技术领域
本发明涉及一种多线切割机中的晶棒安装方法。
背景技术
目前,在多线切割硅片的生产过程中,我们一般先将两晶棒安装于同一水平位置, 但由于钢线受压后会变成弧形,使切割面产生夹角,把砂浆甩出,而不会流入切割的晶棒 中,导致易出现进刀口卷边现象,造成产品报废,给企业带来损失。

发明内容
本发明的目的是提供能消除多线切割机进刀口卷边现象的一种多线切割机中的 晶棒安装方法。本发明采取的技术方案是一种多线切割机中的晶棒安装方法,其特征在于将两 晶棒并列装入线切割机中,且从两晶棒的截面看,应当使两晶棒相靠近的内侧均向内倾斜 处于低位,而相远离的外侧则向上高翘处于高位。采用本发明方法,钢线受压后仍会变成弧形,虽然使切割面产生夹角,但由于两晶 棒的位置处于中间低,两端高,在钢线来回切割硅片时,砂浆会流入晶棒中,就不会出现进 刀口卷边现象,从而提高了成品率。
具体实施例方式下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。1、准备好两根晶棒,将其相并列连接在连接板上。2、采用加垫的方法,调整两晶棒的位置至从两晶棒的截面看,两晶棒相靠近的内 侧向内倾斜,处于低位,而相远离的外侧向上高翘,处于高位。3、然后,将两晶棒连同连接板一起装入多线切割机中即可。
权利要求
一种多线切割机中的晶棒安装方法,其特征在于将两晶棒并列装入线切割机中,且从两晶棒的截面看,应当使两晶棒相靠近的内侧均向内倾斜处于低位,而相远离的外侧则向上高翘处于高位。
全文摘要
本发明涉及一种多线切割机中的晶棒安装方法,该方法将两晶棒并列装入线切割机中,且从两晶棒的截面看,应当使两晶棒相靠近的内侧均向内倾斜处于低位,而相远离的外侧则向上高翘处于高位。采用本发明方法,在钢线来回切割硅片时,砂浆会流入晶棒中而不至于甩出,就不会出现进刀口卷边现象,从而提高了成品率。
文档编号B28D5/04GK101879758SQ20101013989
公开日2010年11月10日 申请日期2010年4月1日 优先权日2010年4月1日
发明者周景文, 徐增宏 申请人:浙江硅宏电子科技有限公司
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