专利名称：基板分割系统及基板分割方法
技术领域：
本发明涉及对由相互贴合的一对构成的基板进行分割的基板分割系统及基板分割方法。
背景技术：
使用于液晶显示装置(Liquid Crystal Display Apparatus)等的显示面板(Display Panel)的基板，由形成有薄膜晶体管等的脆性材料的第一基板和形成有彩色滤光片等的脆性材料的第二基板构成，通过在第一基板和第二基板之间形成液晶层之后，贴合第一基板和第二基板进行制造。并且，IXD面板在第一基板及第二基板分别执行必要的工序而分别形成需要的层，贴合第一基板和第二基板而形成基板之后，分割为适当的尺寸而制造。基板的分割工序包括:利用硬度高于基板的钻石材质的刀轮在基板的表面形成裂纹的划线工序、和在形成有裂纹的基板施加负荷来分割基板的折断工序。过去，为了分割第一基板和第二基板贴合而成的基板，当操作者从存储有基板的卡匣中取出基板，以使第一基板朝上的方式将基板搭载到划线装置，划线装置在第一基板上形成裂纹。然后，操作 者翻转基板而使形成有裂纹的第一基板朝下并搭载到折断装置时，折断装置的头部从上侧向下侧对基板施加负荷来分割第一基板。并且，当操作者翻转基板而使第二基板朝上并搭载到划线装置时，划线装置在第二基板上形成裂纹。然后，操作者翻转基板而使形成有裂纹的第二基板朝下并搭载到折断装置时，折断装置的头部从上侧向下侧对基板施加负荷而分割第二基板。这样,分割了第一基板和第二基板贴合而成的基板。如上所述的现有的基板分割系统及基板分割方法通过操作者的手动工作而翻转基板，或运送到划线装置及折断装置。因此，具有降低生产性的缺点。并且，基板为大面积基板的情况下，操作者不能通过手动工作翻转及运送基板。在韩国公开专利公报10 - 2003 - 0086727号及韩国公开专利公报10 — 2006 一0040281号等公开了与基板分割系统及基板分割方法相关的现有技术。
发明内容
本发明是为了解决如上所述的现有技术的问题而提出的，本发明的目的在于，提供一种基板分割系统及基板分割方法，自动执行为分割基板而运送或翻转基板的工序，从而可以提高生产性。为了实现上述目的，根据本发明，公开一种基板分割系统，将存储在卡匣中的基板取出并进行分割，上述基板由成对的第一基板和第二基板贴合而成，其特征在于，包括:第一机械手，支承上述基板的朝下的面而从上述卡匣中取出上述基板，并将取出的上述基板翻转而进行运送；划线(Scribe)装置，搭载上述基板，在上述基板的朝上的面以预定图案形成裂纹；翻转装置，从上述划线装置接收上述基板并将上述基板翻转，以使上述基板中需要分割的、形成有裂纹的面朝向下侧；折断(Break)装置，从上述翻转装置接收上述基板，搭载上述基板的需要分割的、形成有裂纹的面，从上侧施加负载而折断上述基板的形成有裂纹的面；及第二机械手，对搭载于上述划线装置、上述翻转装置或上述折断装置上的上述基板的面中的朝上的面进行支承，从而将上述基板从上述划线装置运送到上述翻转装置，或从上述翻转装置运送到上述折断装置，或从上述折断装置运送到上述划线装置，或者从上述折断装置运送到传送带。另外，为了实现上述目的，根据本发明的基板分割方法，将存储在卡匣中的基板取出并进行分割，上述基板由成对的第一基板和第二基板贴合而成，且上述第一基板朝下，其特征在于，执行如下步骤:用第一机械手支承存储在上述卡匣中的上述基板的第一基板而取出上述基板，翻转上述基板使上述第一基板朝向上侧之后，向形成裂纹的第一划线装置运送上述基板，从而在上述第一基板以预定图案形成裂纹的步骤；用第二机械手支承形成有裂纹的上述第一基板之后，运送到使上述基板翻转的翻转装置，翻转上述基板使上述第一基板朝向下侧的步骤；用上述第二机械手支承上述基板中的在上述翻转装置中被翻转而朝上的上述第二基板，将上述基板运送到折断上述基板的朝下的上述第一基板的第一折断装置，从而分割上述第一基板的步骤；用上述第二机械手支承朝上的上述第二基板之后，将上述基板运送到在上述第二基板以预定图案形成裂纹的第二划线装置，从而在上述第二基板形成裂纹的步骤；用上述第二机械手支承朝上的上述第二基板而将上述基板运送到上述翻转装置之后，翻转上述基板使上述第二基板朝向下侧的步骤；用上述第二机械手支承朝上的上述第一基板之后，将上述基板运送到折断朝下的上述第二基板的第二折断装置，从而分割上述第二基板的步骤；用上述第二机械手支承朝上的上述第一基板，并运送到传送带的步骤。根据本发明的基板分割系统及基板分割方法利用第一机械手自动运送基板的同时翻转，利用第二机械手及翻转装置在自动运送及翻转基板的同时分割基板，从而具有提高生产性的效果。并且，利用第一机械手、第二机械手及翻转装置运送及翻转基板的同时进行分割，从而具有还能够处理大面积 的基板的效果。
图1是表示根据本发明的一实施例的基板分割系统的结构的图。图2是图1所示的卡匣的主视图，是表示基板被存储的状态的图。图3是表示根据本发明的一实施例的基板分割系统的其它使用状态的图。图4是表示根据本发明的一实施例的基板分割方法的流程图。附图标记110:第一机械手120:划线装置130:折断装置140:翻转装置150:第二机械手160:传送带
具体实施例方式后述的对本发明的详细说明参照作为例子表示可实施本发明的特定实施例的附图。充分详细地说明这些实施例，以便本领域普通技术人员可以实施本发明。本发明的多样的实施例相互不同，但是应当理解为并非相互排斥。例如，关于一个实施例，这里记载的特定形状、结构及特性不脱离本发明的精神及范围的同时，也可以体现为其它实施例。并且，应当理解分别公开的实施例内的个别构成因素的位置及配置在不脱离本发明的精神及范围的同时可以变更。因此，后述的详细的说明的意义不在于限定，若适当说明，本发明的范围仅由与其权利要求所主张的均等的范围及所附的权利要求限定。在附图中类似的参照符号表示在各方面相同或类似的功能，长度及面积、厚度等以及其形态，为了方便可能被夸张表现。以下，参照附图详细说明根据本发明的一实施例的基板分割系统及基板分割方法。首先，参照图1及图2对根据本发明的一实施例的基板分割系统进行说明。图1是表示根据本发明的一实施例的基板分割系统的结构的图，图2是图1所示的卡匣的主视图，是表示基板被存储的状态的图。后述的基板50以使用于LCD面板的基板为例进行说明。基板50是成对的形成有薄膜晶体管等脆性材料的第一基板51和形成有彩色滤光片等脆性材料的第二基板55成对地相互贴合而构成的，在第一基板51和第二基板55之间形成液晶层。当然，基板50应该不限于使用于LCD面板的基板。如图所示，多个基板50在卡匣60的内部以相互隔着间隔层叠的方式存储，且以第一基板51朝向下侧、第二基板55朝向上侧的方式存储。当然，基板50也可以是以第一基板51朝向上侧、第二基板55朝向下 侧的方式存储在卡匣60中。存储有基板50的卡匣60被导轨71支承，并通过进行直线运动、升降运动及旋转运动的机械手75移动到适当位置，被存储在卡匣60中的基板50被取出到外部进行分割。对此，详细说明如下。根据本实施例的基板分割系统包括从卡匣60取出基板50的第一机械手110。第一机械手Iio支承朝下的第一基板51而从卡匣60中取出基板50之后,翻转基板50使第一基板51朝上、第二基板55朝下并进行运送。被存储在卡匣60中的各基板50相互具有间隔，因此可以将第一机械手110的臂111向基板50的下侧插入而用臂111搭载第一基板51。但是，在臂111位于基板50的下侧的状态下将基板50搭载于其它装置的上表面时，臂111接触于其它装置的上表面，所以难以将搭载于臂111而位于臂111上侧的基板50搭载到其它装置的上表面。但是，若使臂111旋转而翻转基板50，则臂111位于上侧而基板50位于下侧，从而可以简便地在需要搭载基板50的其它装置的上表面搭载基板50。翻转基板50就是出于上述理由。为了在基板50翻转时防止基板50掉落，第一机械手110的臂111通过真空吸附方式支承第一基板51。并且，第一机械手110形成为可进行直线运动、旋转运动及升降运动。根据本实施例的基板分割系统包括划线(Scribe)装置120和折断(Break)装置130。划线装置120沿着标识于基板50上的预定图案的分割线，利用硬度高于基板50的钻石材质的刀轮(未图示)在基板的表面形成裂纹。此时，由划线装置120搭载基板50，并在基板50的朝上的表面形成裂纹。折断装置130在将形成有裂纹的要分割的基板50的面朝下的状态下，利用位于基板50的上侧的折断条(未图示)从基板50的上侧向下侧施加负荷，从而分割基板50的相应的面。基板50由相互贴合的第一基板51和第二基板55构成,所以为了分割基板50,需要对应地分别分割第一基板51和第二基板55。为此，划线装置120具有分别在第一基板51及第二基板55形成裂纹的第一划线装置121及第二划线装置125，折断装置130具备分别折断第一基板51及第二基板55的第一折断装置131及第二折断装置135。详细说明如下，被支承于第一机械手110而取出的基板50搭载在第一划线装置121。此时，基板50被第一机械手110翻转，从而第二基板55搭载于第一划线装置121的划线平台121a上，而第一基板51朝上。由此，第一划线装置121在第一基板51形成裂纹。在第一基板51形成裂纹,所以需要以第一基板51朝下的方式被搭载于第一折断装置131的划线平台131a，才能通过第一折断装置131分割第一基板51。因此，本实施例的基板分割系统包括翻转基板50的翻转装置140和运送基板50的第二机械手150。第二机械手150支承搭载于第一划线装置121的基板50并运送到翻转装置140。这时，第二机械手150真空吸附被搭载于第一划线装置121而朝上的第一基板51之后，使基板50搭载于翻转装置140。被搭载于翻转装置140的基板50的第二基板55朝向下侧。接着，翻转装置140翻转基板50使第一基板51朝下，第二机械手150吸附支承被翻转装置140翻转而朝上的基板50的第二基板55，将基板50运送到第一折断装置131的划线平台131a。被搭载于第一折断装置131的基板50的第二基板55朝向上侧，第一折断装置131从朝上的第二基 板55向朝下的第一基板51施加负荷，从而分割形成有裂纹的第一基板51。然后，第二机械手I50将基板50运送到第一折断装置131 —第二划线装置125 —翻转装置140—第二折断装置135之后，运送到后述的传送带160。若观察在该过程中执行的工作，第二划线装置125在第二基板55形成裂纹，翻转装置140翻转基板50而使第二基板55朝下,第二折断装置135从第一基板51向第二基板55施加负荷而分割第二基板55。由此，基板50被分割为适当的尺寸。更具体为，当第二机械手150从第一折断装置131向第二划线装置125运送基板50时，以及从第二划线装置125向翻转装置140运送基板时，分别吸附支承朝上的第二基板55，当从翻转装置140向第二折断装置135运送时及从第二折断装置135向传送带160运送时，吸附支承朝上的第一基板51。并且，翻转装置140通过第二机械手150，从第一划线装置121接收基板50并翻转基板50而使形成有裂纹的第一基板51朝下，从第二划线装置125接收基板50并翻转基板50而使形成有裂纹的第二基板55朝下。翻转装置140可以应用一般使用的翻转装置。第二机械手150也设置成可以进行直线运动、旋转运动及升降运动。并且，第二机械手150的臂151也吸附支承基板50，从而防止基板50从臂151掉落。这时，臂151优选形成为一个板状，以便牢固地吸附以预定图案分割的各基板50。传送带160将被分割的基板50运送到下一工序的必要位置。卡匣60可以横向排列而配置多个，虽图示出划线装置120和折断装置130以第一折断装置131、第一划线装置121、第二划线装置125、第二折断装置135的顺序横向排列配置，当然可以变更顺序。另一方面，划线装置120和折断装置130可以配置成其一侧隔着第一机械手110与卡匣60相对的方式对置。这时，卡匣60的个数与第一折断装置131、第一划线装置121、第二划线装置125、第二折断装置135的个数并不一定是1:1对应。并且，传送带160可以横向排列而配置多个，优选隔着第二机械手150以与第一折断装置131、第一划线装置121、第二划线装置125和第二折断装置135的另一侧相对的方式对置。传送带160的个数与第一折断装置131、第一划线装置121、第二划线装置125及第二折断装置135的个数并不一定是1:1对应。翻转装置140可以设置在传送带160的一侧。图3是表示根据本发明的一实施例的基板分割系统的其它使用状态的图，对其进行说明。如图所示，将划线装置120、折断装置130、翻转装置140、第二机械手150和传送带160作为一个单元200时，可以由两个单元200共用一个第一机械手110。对利用如上构成的本实施例的基板分割系统分割基板的方法参照图1、图2及图4进行说明。图4是表示根据本发明的一实施例的基板分割方法的流程图。如图所示，在步骤 SllO用第一机械手110的臂111吸附支承朝下的第一基板51而从卡匣60中取出基板50之后,翻转基板50使第一基板51朝向上侧之后,将基板50运送到第一划线装置121。这样，基板50以第二基板55朝下的方式被搭载于第一划线装置121。在步骤S120，利用第一划线装置121在朝上的第一基板51以预定图案形成裂纹。在步骤S130，用第二机械手150吸附支承搭载于第一划线装置121的基板50的第一基板51之后，运送到翻转装置140，翻转基板50使第一基板51朝下。在翻转装置140翻转的基板50的第二基板55朝向上侧。在步骤S140，用第二机械手150吸附支承朝上的基板50的第二基板55，搭载于第一折断装置131之后，分割第一基板51。被搭载于第一折断装置131的基板50中，第一基板51朝向下侧，而第二基板55朝向上侧。在该状态下，从第二基板55向第一基板51施加负荷而分割第一基板51。在步骤S150，用第二机械手150吸附被支承于第一折断装置131的朝上的基板50的第二基板55并搭载至第二折断装置125之后，在第二基板55以预定图案形成裂纹。并且，在步骤S160，用第二机械手150吸附被搭载于第二划线装置125的、朝上的基板50的第二基板55之后，运送到翻转装置140并翻转基板50而使第二基板55朝下、第一基板51朝上。在步骤S170中，用第二机械手150吸附被支承于翻转装置140的、基板50的朝上的第一基板51而运送到第二折断装置135之后，从朝上的第一基板51向朝下的第二基板55施加负荷而分割第二基板55。这样，基板50被分割为预定尺寸。最后，在步骤S180，用第二机械手150吸附支承第一基板51，将基板50搭载于传送带160而运送到下一工序的必
要位置。
根据本实施例的基板分割系统及基板分割方法，在利用第一机械手110自动运送基板50的同时使其翻转，利用第二机械手150及翻转装置140自动运送及翻转基板50的同时分割，从而提高生产性的同时可以处理大面积的基板50。关于如上所述的本发明的实施例的附图是省略了详细的轮廓线的图，其简要表示，以便容易理解属于本发明的技术思想的部分。并且，上述实施例不能成为限定本发明的技术思想的基准，只不过是用于理解本发明的权利要求书所包含的技术事项的参照性事项 。
权利要求
1.一种基板分割系统，将存储在卡匣中的基板取出并进行分割，上述基板由成对的第一基板和第二基板贴合而成， 其特征在于，包括: 第一机械手，支承上述基板的朝下的面而从上述卡匣中取出上述基板，并将取出的上述基板翻转而进行运送； 划线装置，搭载上述基板，在上述基板的朝上的面以预定图案形成裂纹； 翻转装置，从上述划线装置接收上述基板并将上述基板翻转，以使上述基板中需要分割的、形成有裂纹的面朝向下侧； 折断装置，从上述翻转装置接收上述基板，搭载上述基板的需要分割的、形成有裂纹的面，从上侧施加负载而折断上述基板的形成有裂纹的面；及 第二机械手，对搭载于上述划线装置、上述翻转装置或上述折断装置上的上述基板的面中的朝上的面进行支承，从而将上述基板从上述划线装置运送到上述翻转装置，或从上述翻转装置运送到上述折断装置，或从上述折断装置运送到上述划线装置，或者从上述折断装置运送到传送带。
2.如权利要求1所述的基板分割系统，其特征在于， 当处于上述基板的上述第一基板及上述第二基板均未被分割的状态时，上述划线装置从上述第一机械手接收上述基板，而当处于上述基板的上述第一基板及上述第二基板中只有一侧的基板被分割的状态时，上述划线装置通过上述第二机械手从上述折断装置接收上述基板。
3.如权利要求1所述的基板分割系统，其特征在于， 上述基板以上述第一基板朝下、上述第二基板朝上的方式存储在上述卡匣中； 上述划线装置具备分别在上述第一基板及第二基板形成裂纹的第一划线装置及第二划线装置； 上述折断装置具备分别折断上述第一基板及第二基板的第一折断装置及第二折断装置。
4.如权利要求3所述的基板分割系统，其特征在于， 横向排列配置有多个上述卡匣； 上述第一折断装置、上述第二折断装置、上述第一划线装置和上述第二划线装置，按照上述第一折断装置、上述第一划线装置、上述第二划线装置、上述第二折断装置的顺序横向排列配置，且一侧隔着上述第一机械手与上述卡匣相对； 横向排列配置有多个上述传送带，上述传送带隔着上述第二机械手而与上述第一折断装置、上述第一划线装置、上述第二划线装置和上述第二折断装置的另一侧相对； 上述翻转装置设置于上述传送带的一侧。
5.如权利要求4所述的基板分割系统，其特征在于， 上述第一机械手支承上述第一基板并使上述基板翻转后，进行运送而使上述第二基板搭载于上述第一划线装置； 上述第二机械手按照上述第一划线装置、上述翻转装置、上述第一折断装置、上述第二划线装置、上述翻转装置、上述第二折断装置以及上述传送带的顺序进行运送上述基板。
6.如权利要求5所述的基板分割系统,其特征在于，将上述划线装置、上述折断装置、上述翻转装置、上述第二机械手和上述传送带作为一个单元时， 两个上述单元共用一个上述第一机械手。
7.如权利要求1至6中的任一项所述的基板分割系统，其特征在于， 上述第一机械手吸附支承上述第一基板； 上述第二机械手吸附支承上述第一基板和上述第二基板中的朝上的部位。
8.如权利要求7所述的基板分割系统，其特征在于， 吸附支承上述基板的上述第二机械手的臂形成为板状，以吸附被分割的各基板。
9.如权利要求1所述的基板分割系统，其特征在于， 上述传送带从上述第二机械手接收朝上及朝下的面全部被分割的上述基板，并将上述基板运送到使用位置。
10.一种基板分割方法，将存储在卡匣中的基板取出并进行分割，上述基板由成对的第一基板和第二基板贴合而成，且上述第一基板朝下， 其特征在于，执行如下步骤: 用第一机械手支承存储在上述卡匣中的上述第一基板而取出上述基板，翻转上述基板使上述第一基板朝向上侧之后，向形成裂纹的第一划线装置运送上述基板，从而在上述第一基板以预定图案形成裂纹的步骤； 用第二机械手支承形成有裂 纹的上述第一基板之后，运送到使上述基板翻转的翻转装置，翻转上述基板使上述第一基板朝向下侧的步骤； 用上述第二机械手支承上述基板中的在上述翻转装置中被翻转而朝上的上述第二基板，将上述基板运送到折断上述基板的朝下的上述第一基板的第一折断装置，从而分割上述第一基板的步骤； 用上述第二机械手支承朝上的上述第二基板之后，将上述基板运送到在上述第二基板以预定图案形成裂纹的第二划线装置，从而在上述第二基板形成裂纹的步骤； 用上述第二机械手支承朝上的上述第二基板而将上述基板运送到上述翻转装置之后，翻转上述基板使上述第二基板朝向下侧的步骤； 用上述第二机械手支承朝上的上述第一基板之后，将上述基板运送到折断朝下的上述第二基板的第二折断装置，从而分割上述第二基板的步骤； 用上述第二机械手支承朝上的上述第一基板，并运送到传送带的步骤。
11.如权利要求10所述的基板分割方法，其特征在于， 上述第一机械手吸附支承上述第一基板； 上述第二机械手吸附支承上述第一基板和上述第二基板中的朝上的部位。
全文摘要
本发明公开基板分割系统及基板分割方法。根据本发明的基板分割系统及基板分割方法利用第一机械手自动运送基板的同时进行翻转，利用第二机械手及翻转装置一边自动运送及翻转基板，一边分割基板，所以具有提高生产性的效果。并且，利用第一机械手、第二机械手及翻转装置，将基板一边运送及翻转，一边进行分割，所以具有能够处理大面积基板的效果。
文档编号C03B33/02GK103224323SQ20121051795
公开日2013年7月31日 申请日期2012年12月5日 优先权日2012年1月31日
发明者安承旭, 姜明一, 白承渶 申请人:株式会社Tes