光阻预烤炉加热器温度控制装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种光阻预烤炉加热器温度控制装置，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉加热装置，能使加热区域的热板达到均温，以提升产品品质及生产合格率。其主要由腔体、加热器、热板及温度感应器所组成，该腔体为一容槽状，位于支撑底板上方设有加热器，并可对热板进行加热，而该热板内设置有复数个温度感应器，以侦测热板各区域的温度，再利用每一温度感应器所侦测的温度作为参考值，以调整加热器的温度，使热板中央、环边或端边的温度一致，能将放置于热板上烘烤的玻璃基板都能达到均匀受热。
【专利说明】光阻预烤炉加热器温度控制装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种光阻预烤炉加热器温度控制装置，其是利用复数个温度感应器，以调整加热器使热板表面的温度均匀一致。
【背景技术】
[0002]按，玻璃基板是液晶显示装置(TFT-1XD)的主要制程原料，就是俗称的母玻璃或素玻璃，是一种高精密透明的电子零件，玻璃在液晶显示装置(TFT-LCD)产业中扮演的角色好比是半导体产业中的晶圆，因此液晶显示装置(TFT-LCD)产业对玻璃基板表面精度的要求近乎完美。
[0003]其次，液晶显示装置(TFT-LCD)的制程是分别利用两块无碱玻璃基板，于无碱玻璃基板表面构装彩色滤色片与IC电路，并将玻璃基板表面经过干式蚀刻，将红、蓝、绿三原色与黑色以微细的结构建置于玻璃表面，成为彩色滤色片，IC驱动电路则利用半导体制程，再将CMOS电路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能是做为彩色滤色片与IC驱动电路的承载材料，而液晶显示装置(TFT-1XD)制程需要真空蒸镀与蚀刻，所以玻璃基板，必须要能忍受强酸强碱的腐蚀、高温的制程环境，并且必须具备非常精密的表面平整度与平面起伏度。
[0004]因此，玻璃基板在制造过程中的每个流程都非常精细，其中，当涂抹光阻液后，需经过烘烤将感光剂及光阻液等化学物质挥发，此时，请配合参阅图1所示，该基板I进行烘烤时，先是将基板I放在热板11上，再凭借热板11的热度使玻璃基板I表面的化学物质挥发，在此过程中，其温度高达约摄氏70?150°C，且热板11的热源来自于底部的加热器12，而该加热器12则以I?15个区域设置在热板11下方，使热板11中央、环边或端边能尽量保持均衡的温度，然而，尽管热板11已经设置I?15个区域来控制温度，却还是无法在烘烤过程中保持均温，加上每一相邻区域的温度会互相干扰，使得烘烤效果不佳，而影响液晶显示装置的生产品质。
[0005]有鉴于此，发明人特别针对加热装置进行改良，而研发一种凭借输入多点测量温度来使单一加热器可以进行更加精确的温度控制，以提升加热区域内的温度控制精度，当加热区域在温度偏离设定值时可以更快速的进行回复至设定范围内，以增加热板的均温性，并提高产品生产合格率，显为一理想的光阻预烤炉热板加热性性能提升的结构及控制方式的改良。
实用新型内容
[0006]本实用新型涉及一种光阻预烤炉其加热器的加热性能提升的改良，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉，能使加热区域的热板达到均温，以提升产品生产合格率。
[0007]为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是:
[0008]一种光阻预烤炉加热器温度控制装置，其主要由腔体、加热器、热板及温度感应器所组成，该腔体为容槽状，底部设有一支撑底板，顶端面利用上盖板将其封闭成一加热空间，而该腔体一侧设有入口，供置入玻璃基板，在该腔体任一侧边开设有排风口，而该支撑底板上设有加热器，其利用电热丝产生热源，并在加热器上设置一热板，该热板为具有导热性的金属板，其特征在于:该热板上分成有复数个小分区，其由复数个独立的加热器投影于热板背面所产生，使得加热器能对每一小分区各别进行独立加热，且于每一小分区内或对应小分区的加热器内设置有复数个温度感应器，以侦测每一小分区内的热板的温度，并以此参考数据来调整加热器的加热与否。
[0009]所述的光阻预烤炉加热器温度控制装置中:该热板分成16至60个小分区，热板的小分区底部各自设有相对应的加热器。
[0010]当光阻预烤炉腔体内进行烘烤作业时，是先将玻璃基板由入口置入腔体内，然后将入口封闭，使腔体形成一封闭空间，仅保留侧边的排风口，以便于空气流通，而位于腔体内的热板，受加热器的加温，使其达到约70?150°C的温度，以将玻璃基板进行加热并使光阻内的溶剂挥发，当烘烤一段时间后，该热板每一小分区的温度会有些微的变化，一般来说，位于热板中央的温度通常高于端边，而容易导致玻璃基板的受热不均，此时维持热板的均温相当重要，虽然将热板分成多区加热可达到小分区的温度改善，但针对热板的小分区的温度调整，则需凭借在加热器或热板内设置的复数个温度感应器，其是能侦测加热器涵盖范围的热板内的温度，然后使该加热器能微调该涵盖范围内的温度，使热板上相对应的小分区内的温度达到均匀受热，有效提升产品生产合格率。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是现有烘烤玻璃基板的剖面示意图；
[0012]图2是本实用新型的立体图；
[0013]图3是本实用新型的立体分解图；
[0014]图4是本实用新型另一实施例图；
[0015]图5是本实用新型烘烤时的剖面示意图；
[0016]图6是本实用新型使用的示意图；
[0017]图7是本实用新型多区域使用的示意图。
[0018]附图标记说明:〔现有技术〕1-基板；11-热板；12-加热器；〔本实用新型〕2-腔体；20-上盖板；201-支撑底板；202-排风口 ；203-入口；21-加热器;22_热板；221~小分区；23-温度感应器；3_玻璃基板。
【具体实施方式】
[0019]首先，请参阅图2并配合图3所示，其主要由腔体2、热板22、加热器21及温度感应器23所组成，该腔体2为容槽状，位于底部设有支撑底板201，顶端面则利用上盖板20将其封闭成一加热空间，位于腔体2 —侧设有入口 203，供置入玻璃基板3，而于任一侧边开设有排风口 202，并于支撑底板201上方设置有加热器21，其是利用电热丝来产生热源，再于加热器21上放置一热板22，使加热器21以复数个独立装置设置在热板22背面，而热板22为具有导热性的金属板，并凭借加热器21的数量投影在热板22背面，而形成复数个小分区221，即能利用加热器21以分区方式对热板22进行加热，尤其加热器21都是独立的温度控制，所以每一小分区221的温度可各别进行设定，特别在热板22及其每一小分区221内设置复数个温度感应器23，能侦测每一小分区221内不同位置的温度，并以此参考数据来调整加热器21的加热与否，而该温度感应器23也能设置在加热器21内，请配合参阅图4，该加热器21是以对应热板22的小分区221的数量设置，其每一小分区221设置的数量为一个以上。
[0020]当腔体2内进行烘烤作业时，请仍然参阅图5并配合图6所示，是先将玻璃基板3由入口 203置入腔体2内，(请回顾图4所示)然后将入口 203封闭，使腔体2形成一封闭空间，仅保留侧边的排风口 202，以便于空气进行流通，而位于腔体2内的热板22受加热器21的加温，使其达到约摄氏70?150°C，以将玻璃基板3表面的光阻溶剂使其挥发，当烘烤一段时间后，请配合参阅图7所示，该热板22的每一小分区221的温度会有些微的变化，一般来说，位于小分区221中央的温度通常高于端边，而容易导致玻璃基板3的受热不均，此时维持小分区221的均温相当重要，虽然将加热器小分区221分成多区(16至60区)加热可达到小分区221的温度改善，但针对热板22的小分区221的温度控制，则需凭借每一小分区221设置的复数个感应器23来调整，其设置在加热器21内或热板的小分区221内，并分布在环边或端边的区域，以侦测小分区221在中央、环边或端边的温度，并撷取每一温度感应器23的数值，再经过演算后取得一温度，此时，再依据计算出的温度微调该小分区221其相对应的加热器21的温度，促使热板22的每一小分区221上的温度都能达到均匀受热，有效提升玻璃基板3的品质，有效提升玻璃基板3的加热性及生产合格率，进一步降低不合格率的发生。
[0021]综上所述，本实用新型是于热板内或其下方每一小分区设置复数个温度感应器，再凭借温度感应器所侦测的温度来调整该小分区的加热器温度，使每一小分区能达到均温，且每一小分区都是独立的温度控制，所以温度可以各别进行设定，而能令热板的整体表面都可达到均匀加热，使位于热板上的玻璃基板的烘烤温度相当一致，不会过高或过低，以达到最佳的效能。
【权利要求】
1.一种光阻预烤炉加热器温度控制装置，其主要由腔体、加热器、热板及温度感应器所组成，该腔体为容槽状，底部设有一支撑底板，顶端面利用上盖板将其封闭成一加热空间，而该腔体一侧设有入口，供置入玻璃基板，在该腔体任一侧边开设有排风口，而该支撑底板上设有加热器，其利用电热丝产生热源，并在加热器上设置一热板，该热板为具有导热性的金属板，其特征在于:该热板上分成有复数个小分区，其由复数个独立的加热器投影于热板背面所产生，使得加热器能对每一小分区各别进行独立加热，且于每一小分区内或对应小分区的加热器内设置有复数个温度感应器，以侦测每一小分区内的热板的温度。
2.根据权利要求1所述的光阻预烤炉加热器温度控制装置，其特征在于:该热板分成16至60个小分区，热板的小分区底部各自设有相对应的加热器。
【文档编号】C03C17/00GK204241988SQ201420635826
【公开日】2015年4月1日 申请日期:2014年10月29日 优先权日:2014年10月29日
【发明者】李东明 申请人:李东明