集成电路生产车间的制作方法

文档序号:12350474阅读:1319来源:国知局

本发明涉及集成电路的生产车间。



背景技术:

现代发达国家经济发展的重要支柱之一--集成电路(以下称IC)产业发展十分迅速。IC设计、IC制造、IC封装和IC测试已成为微电子产业中相互独立又互相关联的四大产业。微电子已成为当今世界各项尖端技术和新兴产业发展的前导和基础。有了微电子技术的超前发展,便能够更有效地推动其它前沿技术的进步。随着IC的集成度和复杂性越来越高,污染控制、环境保护和静电防护技术就越盲膨响或制约微电子技术的发展。同时,随着我国国民经济的持续稳定增长和生产技术的不断创新发展,生产工艺对生产环境的要求越来越高。大规模和超大规模Ic生产中的前后道各工序对生产环境提出了更高要求,不仅仅要保持一定的温、湿度、洁净度,还需要对静电防护引起足够的重视。

目前,集成电路生产车间中,除尘设备的布置不合理,多个除尘管布置杂乱,除尘效果不佳,并且,还会与照明灯具的安装发生干涉。



技术实现要素:

本申请人针对现有集成电路生产车间存在的上述缺点,提供一种除尘效果好、布置整洁的集成电路生产车间。

本发明所采用的技术方案如下:

一种集成电路生产车间,所述车间中设有操作台、灯具及除尘系统,所述操作台间隔布置于所述车间中,操作台的上方的车间顶部设有除尘隔腔并间隔安装有悬吊式除尘管,所述除尘隔腔中安装有除尘器,所述悬吊式除尘管为可伸缩管,悬吊式除尘管的下部的伸缩管套上安装有支撑盘,所述支撑盘位于操作台的正上方,支撑盘上安装有多个灯具。

作为上述技术方案的进一步改进:

所述悬吊式除尘管的最下端的管壁上设有吸尘孔。

本发明的有益效果如下:

本发明中,采用可伸缩的悬吊式除尘管,易于安装和布置,可根据需要灵活调节;灯具巧妙的设置于除尘管上,结构紧凑,保证车间整体布局简单、整洁;悬吊式除尘管的设置,将灰尘的吸入口引入操作台上,其吸尘效果好。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图中:1、操作台;2、灯具;3、除尘隔腔;4、悬吊式除尘管;5、伸缩管套;6、支撑盘;7、吸尘孔。

具体实施方式

下面结合附图,说明本发明的具体实施方式。

如图1所示,本实施例的集成电路生产车间,车间中设有操作台1、灯具2及除尘系统,操作台1间隔布置于车间中,操作台1的上方的车间顶部设有除尘隔腔3并间隔安装有悬吊式除尘管4,除尘隔腔3中安装有除尘器,除尘器与悬吊式除尘管4连接,悬吊式除尘管4为可伸缩管,可根据需要进行伸长或缩短,悬吊式除尘管4的下部的伸缩管套5上安装有支撑盘6,支撑盘6位于操作台1的正上方,支撑盘6上安装有多个灯具2,支撑盘6的形状根据需要进行设定,如可设置为圆盘状,灯具2为LED灯或者贴片灯,均匀的布置于支撑盘6的下表面周侧。

为提高吸尘效果,悬吊式除尘管4的最下端的管壁上设有吸尘孔7。吸尘孔7朝向管体中心倾斜设置(非径向布置于管壁上)。

以上描述是对本发明的解释,不是对发明的限定,本发明所限定的范围参见权利要求,在不违背本发明的精神的情况下,本发明可以作任何形式的修改。

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