刀片夹具的制作方法

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种刀片夹具。

背景技术：

晶圆切割(Sawing)是半导体封装中常用的技术之一，其工作原理是利用刀片刀刃上的钻石颗粒进行划片晶圆(Wafer)，同时容屑槽带离碎屑废物，及时清理。其目的是将整个晶圆上每个独立的芯片(IC)通过高速旋转的钻石刀片切割开来，并分离IC，为后续的PNP、ILB等工序方便提取IC做准备。图1是现有技术中刀片夹具的结构示意图，在将刀片12安装到切割装置的过程中，由于刀片夹具的结构过于简单，刀片12的刀刃是暴露于刀片夹具的外侧，刀片夹具并没有给刀片的刀刃任何保护措施。在切割制造工序之前，必须将特定刀片安装在特定的切割装置上，在安装过程中需要用专用刀片夹具将刀片安装在切割装置上。而且，切割过程所使用的刀片主要由钻石颗粒及粘合剂构成，价格昂贵。在采用刀片夹具安装刀片的过程中，如果受到外力的轻微撞击或碰撞，刀片12的刀刃就会产生变形或破损，导致刀片不良、报废，进而使得制造成本较高，且刀片报废后，需要更换刀片再次进行安装，步骤繁琐，浪费时间，安装效率较低。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种刀片夹具，用以保护刀片的刀刃，降低生产成本，提高切割装置的安装效率。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种刀片夹具，包括多个夹臂和一连接架，多个所述夹臂环绕一所述连接架连接为一体，相邻夹臂之间形成有一间隙，由多个所述夹臂的一端形成用于夹持刀片的夹持部，其特征在于，所述夹持部还设置有外罩，所述外罩与至少一个夹臂的底部连接，且所述外罩呈圆环状环绕于刀片刀刃的边缘。

优选的，所述外罩由多个圆弧形支罩构成，每个所述支罩分别与一所述夹臂连接。

优选的，相邻的所述支罩之间具有一间隙。

优选的，所述多个夹臂呈均匀弯曲的板状结构。

优选的，相邻夹臂之间的间隙大于相邻保护板之间的间隙。

优选的，所述外罩为一体成型的圆环状结构，其与至少一所述夹臂的底部连接。

优选的，所述连接架由多个支架组成，每个所述支架分别连接一夹臂的中部。

优选的，所述刀刃的边缘与保护板的最短距离为2～4mm。

采用本实用新型所述的刀片夹具，通过刀片夹具的外罩保护刀片刀刃，避免因刀片的刀刃暴露在外而受到的碰撞，从而提高切割装置的安装效率，降低生产成本。

附图说明

图1是现有技术中刀片夹具的结构示意图；

图2是本实用新型具体实施方式的刀片夹具结构示意图；

图3是本实用新型具体实施方式的刀片置于刀片夹具上时的结构示意图；

附图标记说明：11,21-夹臂、12,32-刀片、23-外罩、24-连接架、25-支架、26-支罩。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型的方案做详细说明。

本实用新型提供一种刀片夹具，图2是本实用新型具体实施方式的刀片夹具结构示意图，图3是本实用新型具体实施方式的刀片置于刀片夹具上时的结构示意图。

如图2、3所示，本实用新型所述的刀片夹具包括多个夹臂21、连接架24及外罩23，多个所述夹臂21环绕所述连接架24连接为一体，由多个所述夹臂的一端形成用于夹持刀片的夹持部。所述连接架24包括多个支架25，每个所述夹臂21的中部分别与连接架24的一支架25连接。本实用新型实施方式以三个夹臂为例进行说明，当然，本领域技术人员可以根据实际需要改变夹臂的数，与所述夹臂数量对应的，所述连接架具有三个支架25，三个所述夹臂21在其中部分别与三个所述支架25连接。为了便于操作者抓握，所述的夹臂21呈均匀弯曲的板状结构，即夹臂21上任何位置的曲率一致，本实施方式附图2、3中以所述夹臂21的弯曲弧度为120度为例进行说明，且所述三个夹臂21的结构完全相同。为了便于夹持刀片，且使得操作者可以观察到刀片安装情况，相邻的夹臂并不相互接触，而是形成有一间隙。所述刀片夹具的一端形成用于夹持刀片的夹持部，另一端用于操作者抓握。夹臂和连接架的形状不限于上述描述的形式，本领域技术人员可以根据实际需要改变夹臂和连接架的形状及连接方式。

为了保护刀片的刀刃免受碰撞，本实用新型所述的刀片夹具上还设置外罩23。所述外罩23与至少一个夹臂21的底部连接，且所述外罩23呈圆环状环绕于刀片32的刀刃的边缘。所述圆环状的外罩23可以为一个完整的圆环状，可以由多个圆弧状支罩构成。如图2、3所示，本实用新型实施方式以所述外罩23由三个支罩26构成为例进行说明，所述支罩26是呈圆弧状结构，三个所述支罩26分别与三个所述夹臂21的底部连接，三个所述支罩26组成一圆环状，相邻所述支罩26之间存在一间隙，且该间隙小于相邻夹臂21之间的间隙，三个所述支罩26形成的圆环状外罩23环绕在刀片2的刀刃的边缘。当然，本领域技术人员在其掌握的普通技术知识基础之上可以知晓，所述外罩可以为一体成型的不具有间隙的完整的圆环状结构，此时，该外罩与至少一所述夹臂21连接。

如图3所示，所述外罩23的直径应大于刀片32的直径，使得刀片32能够完全容纳在外罩23的圆环形区域中，但是为了便于将刀片32安装在切割装置上，刀片32的刀刃边缘与外罩23的距离也不宜过大，优选的，所述刀片32的刀刃的边缘与外罩23的最短距离为2～4mm。

采用本实用新型所述的刀片夹具，通过刀片夹具的外罩保护刀片刀刃，避免因刀片的刀刃暴露在外而受到的碰撞，从而提高切割装置的安装效率，降低生产成本。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。