节能型高洁净度洁净室系统的制作方法

本发明涉及洁净室技术领域，特别涉及一种节能型高洁净度洁净室系统。

背景技术：

随着科学技术的发展，人们对纳米、微电子、生物、生命科学等领域的研究也越来越广泛与深入，很多高校和科研机构都投入到这些高精尖领域的研究中，为科学技术的不断发展做出了巨大贡献。在这些尖端科学的研究中，除了本专业的科学知识外，一个与该研究工艺相适合的研究环境是保证研究结果的一致性、可靠性并最终取得成功的重要保证手段。高洁净度等级的洁净室及是这一手段的重要体现形式，这些洁净室的洁净度一般都要高于iso5级，温度、相对湿度、噪音、防静电、防屏蔽性能等指标都有严苛的要求，这就给洁净室的建造和运行提出的严格的要求。现在的洁净室系统普遍存在以下问题：建造费用和运行费用都相当高昂；洁净室内的洁净度难以等级不够，难以满足用户需求。所以现在需要一种节能型高洁净度洁净室系统，在满足纳米、微电子、生物、生命科学等领域高洁净度等级洁净室相关工艺参数的同时，实现系统的节能化，降低系统能耗，节约运行成本。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种节能型高洁净度洁净室系统。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种节能型高洁净度洁净室系统，包括：

洁净室结构系统，其包括洁净室房间、架设在所述洁净室房间地面上的多孔高架地板、设置在所述多孔高架地板上的内洁净隔断室、设置于所述洁净室房间入口处的风淋室、设置在所述多孔高架地板上且与所述风淋室连通的缓冲走廊和设置在所述洁净室房间内的侧部的回风夹道；

空气调节系统，其包括空调室外机、间隔设置于所述高架地板底面上的多个空调室内处理机组、设置于所述内洁净隔断室顶部的风机滤器机组、设置于所述风机滤器机组上的上回风静压箱和设置于所述高架地板底面上的下回风静压箱；

及智能控制系统，其包括触摸控制屏和控制器。

优选的是，所述内洁净隔断室包括架设在所述高架地板上且前后两端分别与所述洁净室房间的前后墙面密封连接的两块侧向隔板及连接于所述两侧向隔板顶部且前后两端分别与所述洁净室房间的前后墙面密封连接的顶部隔板。

优选的是，所述多孔高架地板的下方与所述洁净室房间之间形成回风腔；所述两块侧向隔板、顶部隔板、洁净室房间的前后墙面及高架地板围绕形成所述内洁净隔断室，所述内洁净隔断室通过其底部的多孔高架地板与下方的回风腔连通，所述内洁净隔断室中的空气通过所述多孔高架地板向下进入到所述回风腔内。

优选的是，所述回风夹道处于所述风淋室的对侧，所述回风夹道下端与所述回风腔连通，上端连通至所述上回风静压箱；所述缓冲走廊底部与所述回风腔连通，顶部连通至所述上回风静压箱；所述回风腔内的空气通过所述回风夹道和缓冲走廊回流到所述上回风静压箱内。

优选的是，所述内洁净隔断室上与所述风淋室连接的侧向隔板上设置有密封门。

优选的是，所述空调室内处理机组包括风机、表冷器、加热器、加湿器、凝水盘和冷凝水排水泵，所述空调室外机与所述空调室内处理机组连接，所述空调室外机为所述空调室内处理机组提供冷媒。

优选的是，所述风机滤器机组包括风机和高效空气过滤器，用于将室外新风和室内回风过滤后吹入到内洁净隔断室内。

优选的是，所述空调室内处理机组上还设置有检测装置，所述检测装置包括温度传感器、湿度传感器、粉尘传感器。

优选的是，所述多孔高架地板的底面上覆盖设置有空气过滤网。

优选的是，所述空气过滤网包括依次设置的ptfe纤维层、聚醚砜滤膜层、纳米碳纤维布层、聚苯硫醚纤维层、竹炭纤维层、玻璃纤维层和无纺布层。

本发明至少包括以下有益效果：

1)本发明的节能型高洁净度洁净室系统，通过在内洁净隔断室前设置风淋室和缓冲间，能有效去除进入洁净室内人员身体上附着的尘埃粒子，降低内洁净隔断室的处理符合，降低能耗，同时还能提高内洁净隔断室内的洁净度；

2)通过将风机、表冷器、加热器、加湿器、凝水盘和冷凝水排水泵集中一体化设置在多孔高架地板下，直接对洁净室内的气流进行降温、加热、除湿、加湿等处理，能大大减小系统阻力，同时避免管道运输带来的能量损失，能大大降低系统的运行能耗；

3)通过智能控制系统对洁净室内的空气进行实时监测和控制，能保证洁净室内的空气的高洁净度，同时还能节约能耗；

4)通过设置过滤网，能对洁净室内的空气进行深度净化，提高室内空气的洁净度。

5)本发明能耗低、控制精度高，能有效保证洁净室内空气的高洁净度，具有很高的推广应用价值。

附图说明

图1为本发明的节能型高洁净度洁净室系统的正视方向的结构示意图；

图2为本发明的节能型高洁净度洁净室系统的俯视图；

图3为本发明的过滤网的厚度方向的剖视图。

附图标记说明：

1—洁净室房间；2—多孔高架地板；3—内洁净隔断室；4—风淋室；5—缓冲走廊；6—回风夹道；7—空调室外机；8—空调室内处理机组；9—风机滤器机组；10—上回风静压箱；11—下回风静压箱；12—回风腔；13—密封门；14—过滤网；30—侧向隔板；31—顶部隔板；140—ptfe纤维层；141—聚醚砜滤膜层；142—纳米碳纤维布层；143—聚苯硫醚纤维层；144—竹炭纤维层；145—玻璃纤维层；146—无纺布层。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。

如图1-3所示，本实施例的一种节能型高洁净度洁净室系统，其特征在于，包括：洁净室结构系统，其包括洁净室房间1、架设在洁净室房间1地面上的多孔高架地板2、设置在多孔高架地板2上的内洁净隔断室3、设置于洁净室房间1入口处的风淋室4、设置在多孔高架地板2上且与风淋室4连通的缓冲走廊5和设置在洁净室房间1内的侧部的回风夹道6；

空气调节系统，其包括空调室外机7、间隔设置于高架地板底面上的多个空调室内处理机组8、设置于内洁净隔断室3顶部的风机滤器机组9、设置于风机滤器机组9上的上回风静压箱10和设置于高架地板底面上的下回风静压箱11；

及智能控制系统，其包括触摸控制屏和控制器。

风机滤器机组9包括风机和高效空气过滤器，用于将室外新风和室内回风过滤后吹入到内洁净隔断室3内。风机滤器机组9与外部通过进风管道连通。

多孔高架地板2上密集设置开孔，以供空气通过。

内洁净隔断室3包括架设在高架地板上且前后两端分别与洁净室房间1的前后墙面密封连接的两块侧向隔板30及连接于两侧向隔板30顶部且前后两端分别与洁净室房间1的前后墙面密封连接的顶部隔板31。多孔高架地板2的下方与洁净室房间1之间形成回风腔12；两块侧向隔板30、顶部隔板31、洁净室房间1的前后墙面及高架地板围绕形成内洁净隔断室3，内洁净隔断室3通过其底部的多孔高架地板2与下方的回风腔12连通，内洁净隔断室3中的空气通过多孔高架地板2向下进入到回风腔12内。附图1中的箭头方向表示空气流动方向。

其中，内洁净隔断室3除底面外均保持密封，由内洁净隔断室3上方的风机滤器机组9进入的空气经过内洁净隔断室3后，通过内洁净隔断室3底部的多孔高架地板2向下流动。侧向隔板30采用透明材质，洁净室房间1的侧部墙面也选用透明材质。

回风夹道6处于风淋室4的对侧，回风夹道6下端与回风腔12连通，上端连通至上回风静压箱10；缓冲走廊5底部与回风腔12连通，顶部连通至上回风静压箱10；回风腔12内的空气通过回风夹道6和缓冲走廊5回流到上回风静压箱10内。上回风静压箱10表面设置有供空气进入的贯通孔。

其中，空气经风机滤器机组9进入内洁净隔断室3，再从内洁净隔断室3底部的多孔高架地板2向下后流至回风腔12，回风腔12内的空气向两侧流动，一侧的空气通过回风夹道6向上回流至上回风静压箱10，另一侧的空气通过缓冲走廊5后回流到上回风静压箱10内。室内回风和室外新风共同进入上回风静压箱10，并再经过风机滤器机组9重新进入内洁净隔断室3，形成空气循环。

内洁净隔断室3上与风淋室4连接的侧向隔板30上设置有密封门13。通过密封门13进入内洁净隔断室3。

其中，缓冲间前设风淋室4，可有效去除进入洁净室内人员身体上附着的尘埃粒子，降低缓冲间的尘埃粒子负荷，进而减少净化系统所需要的风量，实现节能的目的。由于风淋室4只有在人员进入是才开启运行，运行能耗非常低。通过将洁净室的回风系统与缓冲间结合，利用洁净室的回风对缓冲间的空气进行处理，缓冲间所需要的风量，实现了节能目的。且缓冲间能进一步除去进入洁净室内的人员身体上附着的尘埃粒子，保证内洁净隔断室3内的洁净度。

空调室内处理机组8包括风机、表冷器、加热器、加湿器、凝水盘和冷凝水排水泵，空调室外机7与空调室内处理机组8连接，空调室外机7为空调室内处理机组8提供冷媒。空调室内处理机组8上还设置有检测装置，检测装置包括温度传感器、湿度传感器、粉尘传感器。

其中，温度传感器、湿度传感器、粉尘传感器分别用于检测其所处的空调室内处理机组8附近的空气的温度、湿度和粉尘含量。空调室内处理机组8用于对空气的温度和湿度进行调节处理。控制器与检测装置、空调室内处理机组8和空调室外机7均电连接。控制器根据每个空调室内处理机组8上的温度传感器和湿度传感器的检测值与预先设定的空气温度和湿度的要求的范围的差值，对该空调室内处理机组8和空调室外机7进行控制，直至该空调室内处理机组8上的温度传感器和湿度传感器的检测值到达要求的范围。

具体的，以温度控制为例：通过触摸控制屏预先设定要求的温度范围，并启动系统进行工作；当某一空调室内处理机组8上的温度传感器检测到附近的温度高于设定的范围时，控制器控制空调室外机7启动、为空调室内处理机组8的表冷器提供冷媒；并控制表冷器和风机，调整流经表冷器的风量和冷媒压力以降低温度，直至温度传感器检测的温度值达到设定的范围；控制器将温度传感器的检测值与设定范围不断对比，并对空调室内处理机组8进行不断控制调整，以使空调室内处理机组8附近的温度始终保持在要求范围内。室内的多个空调室内处理机组8同时工作，对室内温度进行控制。

同理，对洁净室室内的湿度进行控制时，控制器根据湿度检测结果不断对表冷器和加湿器等进行调整，使室内的湿度始终保持在要求范围。

其中，室内间隔设置有多个空调室内处理机，且设置在热源附近，每个空调室内处理机组8上设置一个检测装置，且两者唯一对应，控制器提取检测装置的检测结果，并对与该检测装置唯一对应的空调室内处理机进行控制。控制器对室内的多个空调室内处理机组8分别同时进行控制，最终使洁净室室内的温度和湿度保持在要求的范围内。每个空调室内处理机组8单独检测并调节其附近区域的空气，使之到达要求范围，能有效保证室内温度、湿度的精确控制和高度的均匀性。当室内温度、湿度符合要求时，控制器可调节空调室内处理机组8和空调室外机7的运行参数，以节约能耗。

通过将风机、表冷器、加热器、加湿器、凝水盘和冷凝水排水泵集中一体化设置在多孔高架地板2下，直接对洁净室内的气流进行降温、加热、除湿、加湿等处理，能大大减小系统阻力，同时避免管道运输带来的能量损失，能大大降低系统的运行能耗。

多孔高架地板2的底面上覆盖设置有空气过滤网14。空气过滤网14包括由多孔高架地板2底面向下依次设置的ptfe纤维层140、聚醚砜滤膜层141、纳米碳纤维布层142、聚苯硫醚纤维层143、竹炭纤维层144、玻璃纤维层145和无纺布层146。ptfe纤维层140紧贴多孔高架地板2的底面，其余层依次设置在其下方。空气过滤网14对流经的空气进行过滤处理，除去空气中的粉尘和污染物，提高室内空气的洁净度。

其中，ptfe纤维层140具有优秀的吸附性能及良好的机械性能，能大量吸收空气中的粉尘与多种有害物质，还能有效提高过滤网14的强度；聚苯硫醚纤维层143孔隙率高、纳污量大、耐压性好、可反冲和高温消毒，能对空气进行深层过滤；纳米碳纤维布层142具有较好的吸附性能，还能有效增强折叠滤网的韧性和耐磨性，将其设置于内层，能显著提高过滤网14的机械强度，延长其使用寿命；聚醚砜滤膜层141能对空气进行深层过滤；竹炭纤维层144具有超强的吸附力，对有害物质和粉尘具有很好的吸收、分解效果，能有效消除异味；玻璃纤维层145对空气进行进一步净化，确保空气品质；无纺布层146形成外层保护。通过依次设置ptfe纤维层140、聚醚砜滤膜层141、纳米碳纤维布层142、聚苯硫醚纤维层143、竹炭纤维层144、玻璃纤维层145和无纺布层146，使该过滤网14具有极强的空气净化效果，同时还具有较高的机械强度，且使用寿命长。

本发明的节能型高洁净度洁净室系统工作时：室外新风和室内回风进入上回风静压箱10，再流入风机滤器机组9，经空气经风机滤器机组9过滤处理后向下进入内洁净隔断室3，再从内洁净隔断室3底部的多孔高架地板2向下流动，经过多孔高架地板2上设置的过滤网14过滤，再流至回风腔12；经回风腔12内的设置在多孔高架地板2上的多个空调室内处理机组8处理，进行温度和湿度调节后，向两侧流动；一侧的空气通过回风夹道6向上回流至上回风静压箱10；另一侧的空气通过缓冲走廊5后回流到上回风静压箱10内；室内回风和室外新风再进入上回风静压箱10，形成空气循环。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节。