硅片切割系统的制作方法

文档序号:16257814发布日期:2018-12-12 00:50阅读:159来源:国知局
硅片切割系统的制作方法

本发明涉及硅片切割领域,特别是涉及一种硅片切割系统。

背景技术

目前硅片切割领域,金刚线硅片切割技术具有许多优点,但是传统的金刚线切割硅片的装置的金刚线经常发生断线现象,不仅增加原料成本,而且降低生产效率。



技术实现要素:

基于此,有必要针对传统的切割硅片的装置的金刚线经常发生断线的问题,提供一种可提前进行断线预判的硅片切割系统。

一种硅片切割系统,包括依次设置的送线轮、若干个送线端滑轮、主辊、若干个收线端滑轮、收线轮,

所述系统还包括缠绕于所述送线轮的金刚线,所述金刚线依次经过所述送线端滑轮的滑轨、所述主辊、所述收线端滑轮的滑轨至收线轮,

所述系统还包括附于若干所述送线端滑轮之间的金刚线上的标识条,

当所述金刚线偏离所述送线端滑轮的滑轨,所述标识条旋转。

上述系统可以在金刚线断线前进行提前预判,避免断线发生。具体而言,当金刚线偏离送线端滑轮的滑轨,因受到扭力作用,附于若干所述送线端滑轮之间的金刚线上的标识条发生相应的旋转,操作人员只需通过观察标识条的旋转频率,就可以预测金刚线偏离送线端滑轮的滑轨的偏离程度,进而提示操作人员是否有必要调整金刚线的位置,这样也就可以防止金刚线因偏离滑轨受到扭力过大,扭断金刚线。

在其中一个实施例中,所述系统还包括:

位于所述送线端滑轮附近的检测装置,用于统计所述标识条的旋转频率,且所述标识条的旋转频率达到既定阈值时发出检测信号;

以及与所述检测装置电连接的报警器,所述报警器包含用于接收所述检测装置发出检测信号的信号接收器。

在其中一个实施例中,所述检测装置为用于统计所述标识条的旋转频率的频率计数器以及标识条的旋转频率达到既定阈值时用于发出检测信号的提示器。

在其中一个实施例中,所述标识条为美纹胶带贴纸。

在其中一个实施例中,所述标识条为黄色美纹胶带贴纸。

在其中一个实施例中,所述标识条的旋转频率的既定阈值为13-15圈/min。

在其中一个实施例中,所述送线端滑轮包括依次设置的送线端动滑轮、送线端第一定滑轮和位于主辊一侧的送线端第二定滑轮;所述收线端滑轮包括依次设置的收线端第一定滑轮、收线端第二定滑轮和位于收线轮一侧的收线端动滑轮。

在其中一个实施例中,所述系统还包括连接送线端动滑轮的第一张力臂。

在其中一个实施例中,所述系统还包括连接收线端动滑轮的第二张力臂。

在其中一个实施例中,所述送线轮与所述送线端动滑轮之间还设有送线端储线轮,所述送线端储线轮上开设有若干条等间距的金刚线容纳槽,金刚线容纳槽依次连通形成螺旋形状。

附图说明

图1为硅片切割系统的侧视面结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,以下结合具体实施方式,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。

除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的,不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

参阅图1,本发明一实施例为一种硅片切割系统100,包括依次设置的送线轮110、若干个送线端滑轮120、主辊130、若干个收线端滑轮140、收线轮150、缠绕于所述送线轮110的金刚线210,所述金刚线210依次经过所述送线端滑轮120的滑轨、所述主辊130、所述收线端滑轮140的滑轨至收线轮150、以及附于若干所述送线端滑轮120之间的金刚线210上的标识条310。

其中,送线轮110的主要作用是为硅片切割提供金刚线210。

其中,送线端滑轮120的主要作用是在送线轮110与主辊130之间对金钢线进行定位及调整金钢线的走向。

其中,收线端滑轮140的主要作用是在收线轮150与主辊130之间对金钢线进行定位及调整金钢线的走向。

其中,收线轮150的主要作用是接收硅片切割后的金刚线210。

当然可以理解的是,在实际切割过程中,金刚线可以往复切割,即送线轮110也可收线端,收线轮150也可作为放线端。

其中,在金刚线210偏离送线端滑轮120的滑轨时,因受到扭力作用,附于若干所述送线端滑轮120之间的金刚线210上的标识条310发生相应的旋转。通过判断标识条310的旋转频率,就可以预测金刚线210偏离送线端滑轮120的滑轨的偏离程度。进而对金刚线断线进行提前提示的作用,操作者根据标识条310的旋转频率即可作出是否调整金刚线210位置的判断。防止金刚线210因偏离滑轨受到扭力过大,扭断金刚线210。

需要说明的是,本文所称的标识条的旋转频率是指标识条随金刚线每前进1m,标识条的自转圈数。

在一优选的实施方式中,硅片切割系统100还包括:位于所述送线端滑轮120附近的检测装置(图中未示出),用于统计所述标识条310的旋转频率,且所述标识条310的旋转频率达到既定阈值时发出检测信号,以及与所述检测装置电连接的报警器(图中未示出),所述报警器包含用于接收所述检测装置发出检测信号的信号接收器。这样设置的好处是用自动化的检测装置和报警装置替代操作人员用肉眼观察标识条310的旋转频率,如达到既定阈值时,会发出报警提示,降低因人为统计过程中产生的误差。

优选地,所述检测装置为用于统计所述标识条的旋转频率的频率计数器以及标识条的旋转频率达到既定阈值时用于发出检测信号的提示器。

优选地,所述检测信号为电信号。电信号传输快,进而可以快速报警。

当然可以理解的是,还可设有与报警装置连通的自动停机装置,接收报警信号,自动停机,防止因金刚线偏离滑轨过大,无人监控,造成断线。

在一优选的实施方式中,所述标识条310为美纹胶带贴纸。易于肉眼观察。

在一优选的实施方式中,所述标识条310为黄色美纹胶带贴纸。

在一优选的实施方式中,所述标识条310的旋转频率的既定阈值为13-15圈/m。

在一优选地实施方式中,所述标识条310的尺寸为5mm*5mm-10mm*10mm之间。

在一优选的实施方式中,所述送线端滑轮120包括依次设置的送线端动滑轮121、送线端第一定滑轮122和位于主辊一侧的送线端第二定滑轮123;所述收线端滑轮包括依次设置的收线端第一定滑轮141、收线端第二定滑轮142和位于收线轮一侧的收线端动滑轮143。其中,送线端动滑轮121和收线端动滑轮143可以根据金刚线210的送线或收线的多少,适当调解动滑轮,便于与定滑轮相互配合,便于传输金刚线,此外,通过适当调解动滑轮,以使送线端动滑轮121、送线端第一定滑轮122与送线端第二定滑轮123之间或收线端第一定滑轮141、收线端第二定滑轮142与收线端动滑轮143之间形成三点共面,防止因滑轮之间的位置偏差过大,扭断金刚线。

在一优选的实施方式中,所述系统100还包括连接送线端动滑轮121的第一张力臂125。第一张力臂125可带动送线端动滑轮121移动,更利于调解送线端动滑轮121的角度和位置,便于送线和共面。

在一优选的实施方式中,所述系统100还包括连接收线端动滑轮的第二张力臂145。第二张力臂145可带动收线端动滑轮143移动,更利于调解送线端动滑轮143的角度和位置,便于收线和共面。

在一优选的实施方式中,所述送线轮110与所述送线端动滑轮121之间还设有送线端储线轮112,所述送线端储线轮112上开设有若干条等间距的金刚线容纳槽114,金刚线容纳槽114依次连通形成螺旋形状。这样设计使得金刚线可排布在金刚线容纳槽114内。在送线过程中,可有效减少金刚线与金刚线之间的接触,也就可以有效避免由于金刚线与金刚线之间的接触而发生的磨损。从而有利于提高金刚线的使用寿命。

优选地,所述金刚线容纳槽114的首尾两端各安装有卡扣116,用于将金刚线分段卡合于所述金刚线容纳槽114内。进而减少该段金刚线与对应的金刚线容纳槽114的相互摩擦,还可以防止金刚线因快速送线或放线造成的不同金刚线容纳槽114内的金刚线相互缠绕的问题。

在一优选的实施方式中,所述收线轮150与所述收线端动滑轮143之间还设有收线端储线轮152,所述收线端储线轮152上开设有若干条等间距的金刚线容纳槽154,金刚线容纳槽154依次连通形成螺旋形状。这样设计使得金刚线可排布在金刚线容纳槽114内。在收线过程中,可有效减少金刚线与金刚线之间的接触,也就可以有效避免由于金刚线与金刚线之间的接触而发生的磨损。从而有利于提高金刚线的使用寿命。

优选地,所述金刚线容纳槽154的首尾两端各安装有卡扣156,用于将金刚线分段卡合于所述金刚线容纳槽154内。进而减少该段金刚线与对应的金刚线容纳槽154的相互摩擦,还可以防止金刚线因快速送线或放线造成的不同金刚线容纳槽154内的金刚线相互缠绕的问题。

上述系统可以在金刚线断线前进行提前预判,避免断线发生。具体而言,当金刚线偏离送线端滑轮的滑轨,因受到扭力作用,附于若干所述送线端滑轮之间的金刚线上的标识条发生相应的旋转,操作人员只需通过观察标识条的旋转频率,就可以预测金刚线偏离送线端滑轮的滑轨的偏离程度,进而提示操作人员是否有必要调整金刚线的位置,这样也就可以防止金刚线因偏离滑轨受到扭力过大,扭断金刚线。

实施例1

标识条选用黄色美纹胶带贴纸,尺寸为7mm*7mm。运行硅片切割系统,当标识条的旋转频率达到13圈/m时,调节金刚线与送线端滑轮的滑轨的相对位置,以使金刚线重新装入送线端滑轮的滑轨中。测试50次,金刚线的断线率为2.82%。

实施例2

标识条选用黄色美纹胶带贴纸,尺寸为10mm*10mm。运行硅片切割系统,当标识条的旋转频率达到15圈/m时,调节金刚线与送线端滑轮的滑轨的相对位置,以使金刚线重新装入送线端滑轮的滑轨中。测试50次,金刚线的断线率为2.84%。

对比例1

运行普通无标识条的硅片切割系统,测试50次,金刚线的断线率为3.56%。

可见,采用本申请实施例中的硅片切割系统对硅片进行切割,其断线率明显低于普通无标识条的硅片切割系统。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

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