本发明涉及磨削技术领域,具体说一种切割锯片。
背景技术:
一个晶圆上,通常有几百个甚至数千个芯片连载一起。它们之间留有80μm至150μm的间隙,此间隙被称为划片街区。将每一个具有独立电气性能的芯片分离出来的过程叫做划片。
目前,机械式金刚石切割是划片的主流技术,现有的树脂超薄锯片成型方式多采用模压成型,很难满足高精度超薄的划片工艺,因此迫切需要一种用于划片的高精度树脂超薄切割锯片。
技术实现要素:
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为解决上述问题,本发明的目的是提供一种高精度树脂超薄切割锯片。具体内容如下:
一种高精度树脂超薄切割锯片,所述切割锯片厚度为48-50μm,直径为40-42mm;工作磨料层成分按重量比为:光固化树脂结合剂50-70,纳米级sio210-20,纳米级al2o35-15,纳米级tio21-10,纳米级锡粉1-5,金刚石10-20。
工作磨料层成分最佳按重量比为:树脂结合剂50,纳米级sio212,纳米级al2o38,纳米级tio26,纳米级锡粉4,金刚石20。
制备方法如下:按预定配方准备各种原料;将各种原料混合后形成厚度为48-50μm,直径为40-42mm的圆形,光固化快速成型,外圆修整、动平衡、外观处理、最终检查。
本发明还公开一种所诉的高精度树脂超薄切割锯片的应用:用于晶圆的划片。
本发明有以下特点:
(1)本发明采用磨具光固化树脂作为结合剂。
(2)采用独特的成型工艺,减小切割锯片的厚度,独特的配方体系增加磨料层韧性,有效增加切割锯片线速度,保证工作时安全系数。
(3)原材料价格低廉,无污染。
(4)成型速度块。
本发明有益的效果是:本发明实现了微米级厚度的切割锯片,提高生产速度,实现了切割锯片的预期整体指标。该种切割锯片具有:1)切割效率高;2)线速度高;3)平面度高;4)晶圆的表面质量好;5)切割锯片形状保持系高,具有很高的耐磨性。
具体实施方式
实施例1
切割片采用独特的制备工艺即:生产准备、下磨料配方、将各种原料混合后形成厚度为48-50μm,直径为40-42mm的圆形;光固化快速成型,外圆修整、动平衡、外观处理、最终检查。所诉工作磨料层成分按重量比为:树脂结合剂50,纳米级sio212,纳米级al2o38,纳米级tio26,纳米级锡粉4,金刚石20。
实施例2
制备工艺步骤和实施例1相同,不同的是工作磨料层成分按重量比为:树脂结合剂50,纳米级sio214,纳米级al2o36,纳米级tio26,纳米级锡粉4,金刚石20。
实施例3
制备工艺步骤和实施例1相同,不同的是工作磨料层成分按重量比为:树脂结合剂60,纳米级sio210,纳米级al2o38,纳米级tio25,纳米级锡粉3,金刚石10。
实施例4
制备工艺步骤和实施例1相同,不同的是工作磨料层成分按重量比为:树脂结合剂50,纳米级sio212,纳米级al2o315,纳米级tio21,纳米级锡粉5,金刚石15。
实施例5
制备工艺步骤和实施例1相同,不同的是工作磨料层成分按重量比为:树脂结合剂58,纳米级sio220,纳米级al2o35,纳米级tio210,纳米级锡粉1,金刚石20。
实施例1-5中的树脂结合剂均为光固化树脂,光固化树脂由树脂单体(monomer)及预聚体(oligomer)组成,含有活性官能团,能在紫外光照射下由光敏剂(lightinitiator)引发聚合反应,生成不溶的涂膜,实施例1-3采用双酚a型环氧丙烯酸酯,具有固化速度快、涂膜耐化学溶剂性能好,硬度高等特点。实施例4-5采用聚氨酯丙烯酸酯,具有柔韧性好、耐磨等特点。具体可采用上海帅科化工有限公司的光固化树脂。
本发明的实施例1至5经过试验证实树脂切割片的性能指标完全达到国外的性能指标水平,切割片在每分钟3万转的环境下能进行安全的切割。