一种硅片切割用定位装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片切割技术领域，具体为一种硅片切割用定位装置。


背景技术：

2.硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料，在进行加工的过程中需要使用到切割设备来对硅片进行切割。
3.在进行切割时，如果硅片的固定效果不好，很容易导致硅片的切割位置出现偏移，进而影响了硅片的切割精度，为此我们提出了一种硅片切割用定位装置。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片切割用定位装置，具备便于对硅片进行固定，防止硅片在切割的过程中出现偏移的优点，解决了上述背景技术中所提出的问题。
6.(二)技术方案
7.本实用新型提供如下技术方案：一种硅片切割用定位装置，包括固定座和定位槽，所述定位槽位于固定座的内部，所述定位槽的内部开设有条形槽，所述条形槽的内部活动连接有螺纹杆，所述螺纹杆，所述固定座的中部固定连接有圆环，所述圆环的内部活动连接有主动齿轮，所述圆环的内部设置有从动齿轮，所述从动齿轮与主动齿轮的侧表面啮合，所述螺纹杆的侧表面螺纹连接有螺纹环，所述螺纹环的正面固定连接有弧形夹板，所述固定座的一侧固定连接有限位环，所述螺纹杆远离圆环的一端与限位环的内部活动连接，所述螺纹杆位于限位环内部的一端固定连接有限位圆盘，所述限位圆盘与限位环的内部转动连接，所述定位槽的内部固定连接有支撑柱。
8.优选的，所述定位槽为圆形槽，所述定位槽的直径大于圆形硅片的直径。
9.优选的，所述螺纹杆的一端与圆环的内部活动连接，所述螺纹杆位于圆环内部的一端与从动齿轮轴心处固定连接。
10.优选的，所述弧形夹板包括有硅胶垫，所述硅胶垫与弧形夹板的内侧壁固定连接。
11.优选的，所述固定座的内部开设有导向槽，所述导向槽的内部活动连接有导向杆，所述导向杆的一端与弧形夹板的一侧固定连接，所述导向杆位于导向槽内部的一端固定连接有限位块，所述限位块与导向槽内部的一端固定连接。
12.优选的，所述定位槽的内侧壁开设有凹槽，所述螺纹环与凹槽的内部活动连接。
13.与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片切割用定位装置，具备以下有益效果：
14.1、该硅片切割用定位装置，将硅片放置到定位槽的中心位置处，固定座内部的主动齿轮旋转带动从动齿轮旋转，使得螺纹杆在条形槽的内部转动，通过螺纹的作用使得螺纹环在螺纹杆的表面向定位槽的圆心处移动，带动弧形夹板向中间移动，然后通过弧形夹
板和硅胶垫对圆形硅片的侧表面进行夹持固定，防止硅片在切割的过程中出现偏移，进而提高了硅片在切割时的精度。
15.2、该硅片切割用定位装置，通过设置有支撑柱，硅片放置到定位槽的内部后可以通过支撑柱进行支撑，使得硅片放置到定位槽的内部后与定位槽的内壁之间留有一定的空隙，进而方便对硅片进行切割，通过设置有硅胶垫，可以对硅片的侧表面进行缓冲保护，防止在夹持固定的过程中弧形夹板对硅片的边缘处造成损坏。
附图说明
16.图1为本实用新型结构剖视图；
17.图2为本实用新型结构示意图；
18.图3为本实用新型图1中a处结构放大图。
19.其中：1、固定座；2、定位槽；3、条形槽；4、螺纹杆；5、圆环；6、主动齿轮；7、从动齿轮；8、螺纹环；9、弧形夹板；10、硅胶垫；11、限位环；12、限位圆盘；13、导向槽；14、导向杆；15、限位块；16、凹槽；17、支撑柱。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1
‑
3，一种硅片切割用定位装置，包括固定座1和定位槽2，定位槽2位于固定座1的内部，定位槽2为圆形槽，定位槽2的直径大于圆形硅片的直径，使得圆形的硅片可以放置到定位槽2的内部进行存放，然后再便于通过弧形夹板9进行夹持固定，定位槽2的内部开设有条形槽3，条形槽3的内部活动连接有螺纹杆4，螺纹杆4，固定座1的中部固定连接有圆环5，圆环5的内部活动连接有主动齿轮6，圆环5的内部设置有从动齿轮7，从动齿轮7与主动齿轮6的侧表面啮合，螺纹杆4的一端与圆环5的内部活动连接，螺纹杆4位于圆环5内部的一端与从动齿轮7轴心处固定连接，螺纹杆4的侧表面螺纹连接有螺纹环8，螺纹环8的正面固定连接有弧形夹板9，弧形夹板9包括有硅胶垫10，硅胶垫10与弧形夹板9的内侧壁固定连接，通过硅胶垫10的作用便于在固定的过程中对硅片的边缘处进行缓冲保护，固定座1的一侧固定连接有限位环11，螺纹杆4远离圆环5的一端与限位环11的内部活动连接，螺纹杆4位于限位环11内部的一端固定连接有限位圆盘12，限位圆盘12与限位环11的内部转动连接，固定座1的内部开设有导向槽13，导向槽13的内部活动连接有导向杆14，导向杆14的一端与弧形夹板9的一侧固定连接，导向杆14位于导向槽13内部的一端固定连接有限位块15，限位块15与导向槽13内部的一端固定连接，弧形夹板9在移动时，导向杆14在导向槽13的内部移动，通过导向槽13和导向杆14的作用便于对弧形夹板9进行导向限位，定位槽2的内侧壁开设有凹槽16，螺纹环8与凹槽16的内部活动连接，定位槽2的内部固定连接有支撑柱17，通过支撑柱17的作用，可以对定位槽2内部的硅片进行支撑，使得硅片与定位槽2的内顶壁之间留有一定的空间，然后方便进行切割操作。
22.在使用时，将硅片放置到定位槽2的中心位置处，通过支撑柱17对硅片的底部进行
支撑，固定座1内部的主动齿轮6旋转带动从动齿轮7旋转，使得螺纹杆4在条形槽3的内部转动，通过螺纹的作用使得螺纹环8在螺纹杆4的表面向定位槽2的圆心处移动，带动弧形夹板9向中间移动，导向杆14在导向槽13的内部向外移动，然后通过弧形夹板9和硅胶垫10对圆形硅片的侧表面进行夹持固定，防止硅片在切割的过程中出现偏移。
23.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种硅片切割用定位装置，包括固定座(1)和定位槽(2)，其特征在于：所述定位槽(2)位于固定座(1)的内部，所述定位槽(2)的内部开设有条形槽(3)，所述条形槽(3)的内部活动连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)，所述固定座(1)的中部固定连接有圆环(5)，所述圆环(5)的内部活动连接有主动齿轮(6)，所述圆环(5)的内部设置有从动齿轮(7)，所述从动齿轮(7)与主动齿轮(6)的侧表面啮合，所述螺纹杆(4)的侧表面螺纹连接有螺纹环(8)，所述螺纹环(8)的正面固定连接有弧形夹板(9)，所述固定座(1)的一侧固定连接有限位环(11)，所述螺纹杆(4)远离圆环(5)的一端与限位环(11)的内部活动连接，所述螺纹杆(4)位于限位环(11)内部的一端固定连接有限位圆盘(12)，所述限位圆盘(12)与限位环(11)的内部转动连接，所述定位槽(2)的内部固定连接有支撑柱(17)。2.根据权利要求1所述的一种硅片切割用定位装置，其特征在于：所述定位槽(2)为圆形槽，所述定位槽(2)的直径大于圆形硅片的直径。3.根据权利要求1所述的一种硅片切割用定位装置，其特征在于：所述螺纹杆(4)的一端与圆环(5)的内部活动连接，所述螺纹杆(4)位于圆环(5)内部的一端与从动齿轮(7)轴心处固定连接。4.根据权利要求1所述的一种硅片切割用定位装置，其特征在于：所述弧形夹板(9)包括有硅胶垫(10)，所述硅胶垫(10)与弧形夹板(9)的内侧壁固定连接。5.根据权利要求1所述的一种硅片切割用定位装置，其特征在于：所述固定座(1)的内部开设有导向槽(13)，所述导向槽(13)的内部活动连接有导向杆(14)，所述导向杆(14)的一端与弧形夹板(9)的一侧固定连接，所述导向杆(14)位于导向槽(13)内部的一端固定连接有限位块(15)，所述限位块(15)与导向槽(13)内部的一端固定连接。6.根据权利要求1所述的一种硅片切割用定位装置，其特征在于：所述定位槽(2)的内侧壁开设有凹槽(16)，所述螺纹环(8)与凹槽(16)的内部活动连接。

技术总结
本实用新型涉及硅片切割技术领域，且公开了一种硅片切割用定位装置，包括固定座和定位槽，所述定位槽位于固定座的内部，所述定位槽的内部开设有条形槽，所述条形槽的内部活动连接有螺纹杆，所述螺纹杆，所述固定座的中部固定连接有圆环，所述圆环的内部活动连接有主动齿轮。该硅片切割用定位装置，将硅片放置到定位槽的中心位置处，固定座内部的主动齿轮旋转带动从动齿轮旋转，使得螺纹杆在条形槽的内部转动，通过螺纹的作用使得螺纹环在螺纹杆的表面向定位槽的圆心处移动，带动弧形夹板向中间移动，然后通过弧形夹板和硅胶垫对圆形硅片的侧表面进行夹持固定，防止硅片在切割的过程中出现偏移，进而提高了硅片在切割时的精度。进而提高了硅片在切割时的精度。进而提高了硅片在切割时的精度。


技术研发人员：陈锋 沈国君 陆勇 刘太盛
受保护的技术使用者：浙江众晶电子有限公司
技术研发日：2021.01.20
技术公布日：2021/12/24