一种划切机喷水架主喷管的连接调整结构的制作方法

1.本实用新型涉及划切机技术领域，尤其涉及一种划切机喷水架主喷管的连接调整结构。


背景技术：

2.晶圆芯片是制造半导体芯片的基本材料，在晶圆芯片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的ic产品。目前晶圆芯片的切割方式主要分为两种，一种是采用刀片进行切割，另一种是采用激光切割。
3.采用刀片进行切割晶圆芯片的划切机，刀片在切割中产生大量的热，这会影响刀片寿命、切割精度和产品融锡，划切机喷水架中主喷管的主要作用就是对刀片和材料进行冷却。喷水口截面积大效果会更好，但是现有的主喷管结构限制了喷管直径的设置，导致喷管直径较小，且结构复杂装配困难，容易漏水，会影响接触测高的精度；为了减少漏水，将现有的主喷管锁紧会造成喷管偏斜，喷水到的位置会错误，导致冷却效果变差。


技术实现要素：

4.为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种划切机喷水架主喷管的连接调整结构，结构简便，确保加工过程中不会出现漏水现象，喷管喷水角度可调，提高喷水冷却效果。
5.为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种划切机喷水架主喷管的连接调整结构，包括固定在划切机上的喷管调高机构；所述喷管调高机构与所述划切机上的刀片位置相对应，所述喷管调高机构包括固定块，所述固定块上沿高度方向活动设置有一调高滑块，所述调高滑块底部安装有一角度调节机构，所述角度调节机构包括转轴，所述转轴上沿其宽度方向开设有一供主喷管插入的喷管插槽。
6.优选地，所述固定块呈l型，所述固定块顶部水平设置有一固定板，所述喷管调高机构还包括丝杆，所述丝杆垂直贯穿固定板，且底部与调高滑块通过轴承相连接，通过转动丝杆实现提高滑块在固定块内部的上下移动。
7.优选地，所述固定块上设置有供调高滑块移动的方形槽，所述丝杆远离调高滑块的一端设置有把手。
8.优选地，所述固定块侧边设置有螺纹孔，通过穿过螺纹孔的顶紧螺丝将所述调高滑块与固定块相固定。
9.优选地，所述角度调节机构还包括销连接，所述销连接包括位于转轴长度方向两端且与喷管插槽相通的插销孔以及位于插销孔内的圆柱销。
10.优选地，所述固定块长度方向所在的直线与所述主喷管长度方向所在的直线相平行。
11.本实用新型的有益效果：
12.本实用新型通过喷管调高机构与角度调节机构以及主喷管的相互配合，结构简
便，主喷管的设计直径不受限制且能够直接与水管连接对刀片与产品进行冷却，确保加工过程中不会出现漏水现象，通过拧动把手使丝杆转动带动调高滑块上下移动调整主喷管的位置，使主喷管喷水位置与到刀片相对应，通过角度调节机构实现喷管喷水角度可调，提高喷水冷却效果。
附图说明
13.图1为本实用新型一较佳实施例的部分结构轴侧图；
14.图2为本实用新型一较佳实施例的喷管调高机构安装位置示意图；
15.图3为本实用新型一较佳实施例的喷管调高机构主视图；
16.图4为本实用新型一较佳实施例的角度调节机构示意图；
17.图中：1、喷管调高机构；11、固定块；12、调高滑块；13、角度调节机构；131、转轴；132、喷管插槽；133、销连接；1331、插销孔；1332、圆柱销；14、固定板；15、丝杆；16、把手；2、主喷管；3、划切机；4、刀片。
具体实施方式
18.下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
19.参见附图1至4所示，本实施例中的一种划切机喷水架主喷管的连接调整结构，包括固定在划切机3上的喷管调高机构1；所述喷管调高机构1与所述划切机3上的刀片4位置相对应，提高喷水冷却的效率；所述喷管调高机构1包括固定块11，所述固定块11上沿高度方向活动设置有一调高滑块12，通过上下移动调高滑块12调整主喷管2的位置，使所述主喷管2与刀片4以及产品位置相对应，避免喷水位置发生错误，保证喷水冷却的效率；所述调高滑块12底部安装有一角度调节机构13，所述角度调节机构13用于调节主喷管2对刀片4以及产品的喷水角度；所述角度调节机构13包括转轴131，所述转轴131上沿其宽度方向开设有一供主喷管2插入的喷管插槽132，主喷管2的设计直径不受限制且能够直接与水管连接对刀片4与产品进行冷却，确保加工过程中不会出现漏水现象。
20.所述固定块11呈l型，所述固定块11顶部水平设置有一固定板14，所述喷管调高机构1还包括丝杆15，所述丝杆15垂直贯穿固定板14，且底部与调高滑块12通过轴承相连接，通过转动丝杆15实现提高滑块在固定块11内部的上下移动，实现对主喷管2喷水高度的调节，满足不同高度产品的喷水冷却需求。
21.所述固定块11上设置有供调高滑块12移动的方形槽，所述丝杆15远离调高滑块12的一端设置有把手16，工作人员通过转动把手16实现丝杆15的转动，方便调高操作。
22.所述固定块11侧边设置有螺纹孔，通过穿过螺纹孔的顶紧螺丝将所述调高滑块12与固定块11相固定，当调高滑块12带动主喷管2移动至指定高度时，通过将顶紧螺丝转动至螺纹孔中，将调高滑块12的位置进行固定，实现高度调整。
23.所述角度调节机构13还包括销连接133，所述销连接133包括位于转轴131长度方向两端且与喷管插槽132相通的插销孔1331以及位于插销孔1331内的圆柱销1332，通过销连接133将调好角度的主喷管2位置进行固定，避免在喷水冷却的过程中发生角度偏移从而
影响水冷效果。
24.所述固定块11长度方向所在的直线与所述主喷管2长度方向所在的直线相平行。
25.以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种划切机喷水架主喷管的连接调整结构，其特征在于：包括固定在划切机(3)上的喷管调高机构(1)；所述喷管调高机构(1)与所述划切机(3)上的刀片(4)位置相对应，所述喷管调高机构(1)包括固定块(11)，所述固定块(11)上沿高度方向活动设置有一调高滑块(12)，所述调高滑块(12)底部安装有一角度调节机构(13)，所述角度调节机构(13)包括转轴(131)，所述转轴(131)上沿其宽度方向开设有一供主喷管(2)插入的喷管插槽(132)。2.根据权利要求1所述的一种划切机喷水架主喷管的连接调整结构，其特征在于：所述固定块(11)呈l型，所述固定块(11)顶部水平设置有一固定板(14)，所述喷管调高机构(1)还包括丝杆(15)，所述丝杆(15)垂直贯穿固定板(14)，且底部与调高滑块(12)通过轴承相连接，通过转动丝杆(15)实现提高滑块在固定块(11)内部的上下移动。3.根据权利要求2所述的一种划切机喷水架主喷管的连接调整结构，其特征在于：所述固定块(11)上设置有供调高滑块(12)移动的方形槽，所述丝杆(15)远离调高滑块(12)的一端设置有把手(16)。4.根据权利要求1所述的一种划切机喷水架主喷管的连接调整结构，其特征在于：所述固定块(11)侧边设置有螺纹孔，通过穿过螺纹孔的顶紧螺丝将所述调高滑块(12)与固定块(11)相固定。5.根据权利要求1所述的一种划切机喷水架主喷管的连接调整结构，其特征在于：所述角度调节机构(13)还包括销连接(133)，所述销连接(133)包括位于转轴(131)长度方向两端且与喷管插槽(132)相通的插销孔(1331)以及位于插销孔(1331)内的圆柱销(1332)。6.根据权利要求1所述的一种划切机喷水架主喷管的连接调整结构，其特征在于：所述固定块(11)长度方向所在的直线与所述主喷管(2) 长度方向所在的直线相平行。

技术总结
本实用新型公开了一种划切机喷水架主喷管的连接调整结构，包括固定在划切机上的喷管调高机构；所述喷管调高机构与所述划切机上的刀片位置相对应，所述喷管调高机构包括固定块，所述固定块上沿高度方向活动设置有一调高滑块，所述调高滑块底部安装有一角度调节机构，所述角度调节机构包括转轴，所述转轴上沿其宽度方向开设有一供主喷管插入的喷管插槽。本实用新型结构简便，确保加工过程中不会出现漏水现象，喷管喷水角度可调，提高喷水冷却效果。果。果。


技术研发人员：廖招军 张智广 于飞 宋鹏飞
受保护的技术使用者：苏州特斯特半导体设备有限公司
技术研发日：2021.08.05
技术公布日：2022/2/8