一种有效保证洁净室洁净度的施工方法与流程

1.本发明涉及建筑施工技术领域，具体涉及一种有效保证洁净室洁净度的施工方法。


背景技术：

2.洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间；亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性；
3.针对上述洁净室的特性，在洁净室施工过程中应当特别注意微粒子、有害空气、细菌等污染物的影响，从而从整体施工过程中防微杜渐，进而通过施工过程的控制来实现对洁净室的性能进行有效控制和提高，实践证明，有效的施工方法和施工顺序可以有效保证洁净室的使用性能，但在目前的施工过程中，仅是通过常规的施工方法去对洁净室进行施工，导致洁净室在施工完成后，需要经过多个处理过程的处理，带能达到洁净室的性能要求，浪费人力物力，且导致施工周期延长，并不适用于现在的精细化施工过程的控制；
4.因此，亟需设计一种能够有效保证洁净室性能的施工工艺，来进行施工指导，满足洁净室施工过程中的精细化控制要求。


技术实现要素：

5.针对上述存在的问题，本发明旨在提供一种有效保证洁净室洁净度的施工方法，本方法通过对洁净室内的柱梁等构件、洁净室内外部装饰装修结构进行优化和改进，有效的将洁净室与外部环境隔离开，使得洁净室变成一个封闭的空间，有效的控制了洁净室的洁净度，具有施工简单、洁净度控制效果好的特点。
6.为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案如下：
7.一种有效保证洁净室洁净度的施工方法，包括
8.step1.主体结构施工
9.在洁净区域主体结构施工时，对在洁净区域内的格构梁和结构柱上做切角；
10.step2.洁净室外墙围护系统施工
11.step201.钢结构气密式屋面施工；
12.step202.外墙围护系统施工，形成洁净室外墙；
13.step203.洁净室门窗安装；
14.step3.洁净室内部装饰装修施工
15.step301.吊顶施工：在洁净室顶部钢桁架下侧安装洁净室吊顶系统；
16.step302.洁净室金属壁板结构施工，形成洁净室内墙；
17.step303.洁净室内结构柱围护；
18.step304.洁净室环氧防静电地面施工；
19.step305.洁净室高架地板施工：在洁净室的格构梁上安装洁净室架空地板系统；
20.step4.设备安装
21.step401.风机过滤机组设备安装；
22.step402.新风系统安装；
23.step403.生产设备安装。
24.优选的，所述的洁净室架空地板系统包括顶部钢梁、底部钢梁、梁板连接件和高架地板，所述底部钢梁通过m12膨胀螺栓安装在格构梁上，且沿长度方向相邻的两个底部钢梁通过连接板和m10螺栓连接，所述梁板连接件设置在底部钢梁的上侧，且通过紧固螺栓件与底部钢梁连接；所述梁板连接件包括相互交叉设置的a型梁板连接件和b型梁板连接件，所述顶部钢梁设置在b型梁板连接件的上端，且与b型梁板连接件通过m螺栓连接，所述高架地板设置在a型梁板连接件和顶部钢梁的上端，且与a型梁板连接件通过m6地板固定螺栓连接；前后相邻的两个a型梁板连接件之间还安装有防震桁梁。
25.优选的，所述的a型梁板连接件和b型梁板连接件均包括脚架、脚架底座、抗举螺帽、螺帽和牙杆，所述脚架螺纹连接套管，且在脚架上设置有固定螺帽，所述脚架底座设置在脚架的底部，且通过m10螺栓与底部钢梁连接，所述抗举螺帽螺接安装在脚架的上端，且在抗举螺帽上设置有螺牙，所述螺牙和螺帽均与牙杆上的螺纹配合使用，且在所述牙杆的上端设置有顶板；其中，所述a型梁板连接件顶端的顶板通过m6地板固定螺栓与高架地板连接，且在所述顶板与高架地板之间垫设有导电垫片；所述b型梁板连接件顶端的顶板与高架地板的下侧面接触。
26.优选的，所述的吊顶系统包括上层天花板悬吊系统和下层通风管悬吊系统；所述天花板悬吊系统包括t型天花板吊架、上层天花板和第一螺纹吊杆，所述第一螺纹吊杆的上端与钢桁架下侧的工字梁连接，且第一螺纹吊杆穿过t型天花板吊架，通过连接螺栓与t型天花板吊架固定连接，所述上层天花板安装在t型天花板吊架的两侧接板上；所述下层通风管悬吊系统设置在上层天花板悬吊系统的下侧，包括次龙骨、主龙骨和t型盲板吊架，所述主龙骨通过a型连接件与第一螺纹吊杆的下端连接，所述次龙骨搭设在主龙骨上，且通过b型连接件与主龙骨连接，且在次龙骨的下侧还固定安装有通风系统的风管，所述t型盲板吊架设置在主龙骨的下侧，且通过第二螺纹吊杆和c型连接件与次龙骨连接，且相邻的t型盲板吊架之间通过十字连接件连接，形成多个用于安装盲板和风机过滤机组的矩形安装框。
27.优选的，所述的c型连接件包括c型托件和螺母板，所述c型托件套设在次龙骨上，且在c型托件的下侧设置有螺母板卡槽，所述螺母板安装在螺母板卡槽内，所述第二螺纹吊杆与螺母板连接；所述第二螺纹吊杆的下端与花篮螺栓连接，且在花篮螺栓的下端安装有第三螺纹吊杆，所述第三螺纹吊杆的下端通过连接螺栓和螺母与r型螺栓连接，所述r型螺栓的下端螺帽与设置在t型盲板吊架上的螺栓卡槽配合使用，所述t型盲板吊架的两端还设置有第一直螺栓连接孔，所述第一直螺栓连接孔与设置在十字连接件的连接凸起上的第二直螺栓连接孔配合使用，且所述第一直螺栓连接孔与第二直螺栓连接孔均与内六角螺栓配合使用，通过内六角螺栓将十字连接件与t型盲板吊架连接。
28.优选的，在步骤step203所述的门窗施工的过程中：(1)所有门窗安装于墙厚正中，切外门窗各项指标需满足：抗风压性能≥3.0kpa，水密性能≥350pa，气密性能≤1.5m3/m.h，传热系数≤3.0w/m2.k，隔声性能≥35db；(2)且在门窗的做法中：门窗套边在墙面预留
缝隙3mm待墙面装修完成后用胶嵌缝；(3)门窗与墙体连接件不少于3个，每间隔600mm设1个，240mm及2400mm以上门窗设4个连接件，每间隔600mm设1个。
29.优选的，所述的内墙围护系统包括内墙复合板材、天轨和地轨，所述地轨铺设在洁净室地面上，且与洁净室地面通过膨胀螺栓连接，天轨固定在洁净室上侧的顶部钢桁架上，且与顶部钢桁架通过连接螺栓连接，所述内墙复合板材安装在天轨和地轨之间，且通过天轨和地轨对内墙复合板材进行固定，形成洁净室内墙结构。
30.优选的，所述外墙围护系统包括外墙复合板材和檩条，所述檩条设置在洁净室外墙墙面上，外墙复合板材通过自攻螺栓与檩条连接，且在外墙复合板材的两端设置有相互配合使用的错位连接头，所述错位连接头将相邻的外墙复合板材连接，形成洁净室外墙结构。
31.优选的，所述的内墙复合板材与外墙复合板材的结构相同，沿洁净室墙面高度方向相邻的两个外墙复合板材的错位连接头的连接处设置有空气密封胶垫和防潮防水带，其中所述空气密封胶垫对称嵌设在错位连接头上的u型卡槽内的两个直角弯处，防潮防水带设置在错位连接头上的u型凸起上，且在防潮防水带上设置有限位凸起，所述限位凸起与两个空气密封胶垫之间的卡槽配合使用；沿墙体长度方向相邻的两个外墙复合板材侧边的连接处由外而内依次设置有密封胶条和橡胶密封，其中所述密封胶条嵌设在两个外墙复合板材之间，且密封胶条与橡胶密封配合使用，所述橡胶密封设置在密封胶条与檩条之间，且与密封胶条配合使用；
32.优选的，所述的外墙复合板材由外而内依次包括外侧保护层、中间保温层和内侧保护层；所述密封胶条为倒三角伞状结构，其由外而内依次具体包括前端锁定部和后端挤压限位部，其中前端锁定部的两侧设置有限位卡板，所述限位卡板卡入外侧保护层的端部，所述后端挤压限位部的中间立柱的两侧对称设置有限位板，所述限位板与外墙复合板材的侧壁挤压压紧，在外墙复合板材的侧壁挤压作用下向内侧变形，形成多级密封结构；其中所述外侧保护层由0.6mm厚55％镀铝锌彩钢板制成，其表面保护层涂有厚度≥20um的pe涂层；所述间保温层由密度为120的硬质岩棉制成的硬质岩棉板；所述内侧保护层为0.8mm厚55％镀铝锌彩钢板制成，其内表面保护层涂设有厚度≥10um的pe涂层。
33.本发明的有益效果是：本发明公开了一种有效保证洁净室洁净度的施工方法，与现有技术相比，本发明的改进之处在于：
34.(1)针对现有技术存在的问题，本发明设计了一种能够有效保证洁净室洁净度的施工方法，本方法通过对洁净室内的柱梁等构件、洁净室内外部装饰装修结构进行优化和改进，同时通过对洁净室内部装饰装修材料的优化以及高架地板施工方法的改进等有效措施从根本上抑制扬尘产生，控制了洁净室内的洁净度，使其便于半导体产品的生产；且本方法在施工过程中从事前“设计优化”，事中“过程管控”，事后“洁净管理”等3个方面对各个工序的合理安排，在施工过程中控制了洁净室的洁净度；具有施工过程简单、洁净度控制效果好的优点；
35.(2)本方法通过上述施工方法，利用洁净室围护系统、外墙围护系统、洁净室吊顶系统和金属壁板结构有效的将洁净室与外部环境隔离开，使得洁净室变成一个封闭的空间，有效的防止了外部环境对洁净室内部环境的影响，从而控制了洁净室的洁净度和温湿度；
36.(3)本方法在洁净室的格构梁上安装洁净室架空地板系统，本系统通过在格构梁上安装高架地板，形成一个大的安装平台，对半导体生产设备进行安装，且与设置在高架地板下方的通风系统以及新风系统配合使用，将生产设备产生的热量进行排除，有效的保证了洁净室内的温湿度，防止由于温度因素而影响半导体设备的生产效率；
37.(4)本方法通过分别在洁净室墙体的外侧设置外墙围护系统，来有效地防止了外部温湿度对洁净室内的温湿度造成影响，同时避免了避免外界环境对混凝土主体结构的侵蚀作用，保温隔离效果好，有效地保证了洁净室内地温湿度和洁净度；
38.(5)本方法通过在洁净室内做地面隔离层、侧墙金属壁板结构和顶棚吊顶系统，进一步将洁净室与墙体结构隔离，来防止墙体结构和外部环境对于洁净室内部环境的影响，有效地保证了内部环境的相对稳定性，同时在施工过程中，有效地避免了打孔和飞灰，从施工过程上对洁净室的洁净度进行了有效的控制，本方法具有施工过程简单、洁净度控制效果好的优点。
附图说明
39.图1为本发明洁净室及其附属建筑的主视图。
40.图2为本发明洁净室的结构示意图。
41.图3为本发明格构梁的结构示意图。
42.图4为本发明洁净室内结构柱的结构示意图。
43.图5为本发明洁净室内、外墙及其围护结构的俯视图。
44.图6为本发明洁净室架空地板系统的主视图。
45.图7为本发明洁净室架空地板系统的侧视图。
46.图8为本发明洁净室架空地板系统a处的局部放大图。
47.图9为本发明洁净室架空地板系统的分解图。
48.图10为本发明a型梁板连接件的结构示意图。
49.图11为本发明a型梁板连接件的分解图。
50.图12为本发明b型梁板连接件的结构示意图。
51.图13为本发明b型梁板连接件的分解图。
52.图14为本发明内墙围护系统的结构示意图。
53.图15为本发明吊顶系统的结构示意图。
54.图16为本发明a型连接件的结构示意图。
55.图17为本发明b型连接件的结构示意图。
56.图18为本发明c型连接件的结构示意图。
57.图19为本发明t型盲板吊架的连接结构图。
58.图20为本发明外墙复合板材的结构示意图。
59.图21为本发明上、下侧外墙复合板材连接处的连接结构图。
60.图22为本发明上、下侧外墙复合板材连接处的局部放大图。
61.图23为本发明左、右侧外墙复合板材连接处的连接结构图。
62.图24为本发明左、右侧外墙复合板材连接处的局部放大图。
63.图25为本发明实施例2洁净室内、外墙及其围护结构的俯视图。
64.图26为本发明实施例2夹芯保护板的侧视图。
65.图27为本发明实施例2上、下侧夹芯保护板的连接结构图。
66.图28为本发明实施例2夹芯保护板的主视图。
67.图29为本发明实施例2缓冲钢板的俯视图。
68.图30为本发明实施例2缓冲钢板的侧视图。
69.其中：1.洁净室，11.格构梁，12.顶部钢桁架，13.结构柱，14.切角；
70.2.洁净室架空地板系统，21.顶部钢梁，22.底部钢梁，23.连接件，231.脚架，232.脚架底座，233.抗举螺帽，234.螺牙，235.螺帽，236.导电垫片，24.m10螺栓，25.高架地板，26.紧固螺栓件，27.牙杆，271.顶板，28.m12膨胀螺栓，29.防震桁梁；
71.3.内墙围护系统，31.内墙复合板材，32.天轨，33.地轨；
72.4.吊顶系统，41.第一螺纹吊杆，42.t型天花板吊架，43.上层天花板，44.次龙骨，441.b型托架，442.c型托件，443.螺母板，444.螺母板卡槽，445.第二螺纹吊杆，446.花篮螺栓，447.r型螺栓，448.第三螺纹吊杆，449.内六角螺栓，45.主龙骨，451.a型固定托架，452.紧固螺栓，46.t型盲板吊架，461.螺栓卡槽，462.第一直螺栓连接孔，47.盲板，48.次龙骨连接件，49.十字连接件，491.连接凸起，492.第二直螺栓连接孔；
73.5.外侧围护系统，51.外墙复合板材，511.外侧保护层，512.中间保温层，513.内侧保护层，52.檩条，53.错位连接头，54.空气密封胶垫，55.自攻螺栓，56.防潮防水带，561.限位凸起，57.橡胶密封，58.密封胶条，581.锁定部，582.挤压限位部；
74.6.缓冲钢板；
75.7.外墙加固系统，71.夹芯保护板，711.镀锌彩钢板，712.岩棉保温层，713.内层彩钢板，72.榫卯连接头，721.凸榫，722.让位槽，723.卡头，724.卡槽，725.卡榫头。
具体实施方式
76.为了使本领域的普通技术人员能更好的理解本发明的技术方案，下面结合附图和实施例对本发明的技术方案做进一步的描述。
77.实施例1：参照附图1-24所示的一种有效保证洁净室洁净度的施工方法，包括
78.step1.洁净室主体结构施工
79.首先，根据施工图纸设计，对洁净室内的柱、梁等构件进行结构优化，，绑扎钢筋并支立主体结构柱和洁净室格构梁模板，并在模板支立后浇筑洁净室及建筑主体框架；
80.注意：(1)为避免后期墙体装饰装修困难，洁净室区域采用清水混凝土浇筑，并在剪力墙处使用大尺寸硬木面层厚型胶合板作为模板，且在模板上分区设置控制点，以防止建筑模板受潮起拱，影响浇筑质量；(2)同时在浇筑过程中宜精细施工，随捣随抹光，一次性达到建筑设计标高；(3)同时为保证模板连接处的密封效果，模板之间的密封胶填缝与固定应同时进行，防止漏浆，同时使得浇筑完后的洁净室墙面达到清水混凝土标准，以便于在模板拆除后直接进行外、内墙装饰，避免对混凝土墙面进行二次处理，造成灰尘，既缩短了工期，又能减少墙面处理时产生的灰尘，对洁净室洁净度进行进一步控制。
81.通过上述主体结构施工过程得到的洁净室1主体框架包括洁净室格构梁11和洁净室结构柱13，且为对钢桁架13和洁净室格构梁11进行保护，同时避免在施工过程中对钢桁架13和洁净室格构梁11磕碰，导致混凝土脱落，产生扬尘，保证施工过程中的洁净度，在施
工过程中对洁净室内的格构梁11和钢桁架13做20mm*20mm的切角14。
82.step2.外墙及洁净室围护系统施工，在主体结构浇筑完成后，为保证洁净室与外部环境的隔绝，需对洁净室框架的顶部做钢结构屋顶、外部做外墙，以及在外墙上进行门窗安装，使其形成一个密闭系统，将洁净室与外部空间分割；
83.step201.钢结构气密性屋面施工过程包括：(1)首先根据施工要求和结构体积，进行切料和屋顶结构的预制，并在顶部钢桁架12上施工钢结构支撑结构；(2)在钢结构支撑结构施工完毕后，依次施工屋面内层板、屋面保温层和屋面上板层，形成钢结构气密性屋面，完成洁净室顶部钢结构气密性屋面的安装。
84.优选的，所述的钢结构气密性屋面的构造由上到下依次包括：a.防水卷材固定+1.5mm厚热塑性聚烯经(tpo)防水卷材；b.岩棉板固定件加100mm厚硬质岩棉板保温层(耐火等级a级，容重不小于160kg/m3)；c.0.3mm厚pe膜隔汽层；d.0.8mm厚镀锌钢承板；e.檩条及结构梁(2.0h防火涂料)。
85.step202.洁净室外墙装修施工，在钢结构气密性屋面施工完毕后，为防止外部温湿度对洁净室内的温湿度造成影响，同时为避免外界环境对混凝土主体结构造成侵蚀作用，保证洁净室内的空气洁净度和温湿度，需要在洁净室及其建筑主体上做外墙围护系统5，将洁净室内部空间与外部环境隔离，对洁净室进行保护，所述外墙围护系统5包括100mm厚的外墙复合板材51和檩条52，所述檩条52固定设置在洁净室位置，作为外墙龙骨，所述外墙复合板材51通过自攻螺栓55安装在檩条52的外侧，所述外墙复合板材51的两端设置有相互配合使用(错位卡接)的错位连接头53；且沿墙高方向相邻的两个外墙复合板材51的错位连接头53的连接处设置有空气密封胶垫54和防潮防水带56，其中所述空气密封胶垫54对称嵌设在错位连接头53上的u型卡槽内的两个直角弯处，防潮防水带56设置在错位连接头53上的u型凸起上，且在防潮防水带56上设置有限位凸起561，所述限位凸起561与两个空气密封胶垫54之间的卡槽配合使用，使用时，通过上、下侧的错位连接头53的紧密压接，以实现空气密封胶垫54与防潮防水带56的相互紧压密封，来完成连接处的密封，形成密封的外墙围护结构，以防止外界空气进入到外墙复合板材51内侧处，避免外部空气对洁净室内部环境的影响，进而保证洁净室内的空气洁净度和温湿度，同时所述的限位凸起561起限位和导向卡合的作用，便于上、下侧的错位连接头53的紧密压接，形成对接紧密的外墙结构，防止外界水汽和空气对内部洁净室环境的侵蚀，进而有效保证洁净室内部环境与外界环境的结对隔离；
86.沿墙体长度方向相邻的两个外墙复合板材51侧边的连接处由外而内依次设置有密封胶条58和橡胶密封57，其中所述密封胶条58嵌设在两个外墙复合板材51之间，通过外墙复合板材51侧壁的挤压作用对密封胶条58进行密封作用(安装后限位板内缩，处于被挤压变形状态，与外墙复合板材51的侧壁密封)，且所述密封胶条58与橡胶密封57配合使用，所述橡胶密封57设置在密封胶条58与檩条52之间，且在密封胶条58安装前安装，所述橡胶密封57由丁基合成，对所述沿墙体长度方向相邻的两个外墙复合板材51之间的连接缝进行密封，形成密封连接的结构外墙体，对洁净室内部环境进行保护。
87.优选的，为保证保护和隔离效果，所述的外墙复合板材51由外而内依次包括外侧保护层511、中间保温层512和内侧保护层513；所述外侧保护层511由0.6mm厚(不含涂层厚度)55％镀铝锌彩钢板(双面镀铝锌量≥180g/m2)制成，其表面保护层为pe涂层(厚度≥
20um)；所述间保温层512由密度为120的硬质岩棉制成的硬质岩棉板；所述内侧保护层513为0.8mm厚(不含涂层厚度)55％镀铝锌彩钢板(双而镀铝锌量≥225g/m2外表而保护层为氟碳涂层(厚度≥35um)制成，其内表面保护层为pe涂层(厚度≥10um)；
88.优选的，为起到好的密封作用，所述的密封胶条8为倒三角伞状结构，其由外而内依次具体包括前端锁定部581和后端挤压限位部582，其中前端锁定部的两侧设置有限位卡板，所述限位卡板卡入外侧保护层511的端部，形成卡锁关系，在密封胶条8安装后防止其掉出，同时对后端挤压限位部582形成约束，保证密封效果；所述后端挤压限位部582的中间立柱的两侧对称设置有限位板，所述限位板与外墙复合板材51的侧壁挤压压紧，同时在安装后所述限位板在外墙复合板材51的侧壁挤压作用下向内侧变形，形成多级密封结构，对外部环境进行隔绝，同时所述限位板存在一定的变形作用，因此在不影响整体密封效果的前提下，还可以满足夏季的热胀冷缩作用，进一步对沿墙体长度方向相邻的两个外墙复合板材51之间的连接缝进行密封；
89.step203.洁净室主体结构门窗安装，在钢结构气密性屋面和外墙围护系统5施工完成后，为对洁净室内部空间与外部环境进行进一步隔离，需要在洁净室及其主体结构和外墙围护系统5上安装门窗，在门窗施工过程中，为保证门窗安装后，洁净室内的气密性，将洁净室与外部环境相对封闭：
90.(1)所有门窗安装应位于墙厚正中，切外门窗各项指标需满足：抗风压性能≥3.0kpa，水密性能≥350pa，气密性能≤1.5m3/m.h，传热系数≤3.0w/m2.k，隔声性能≥35db；铝合金窗主型材可视面的小壁厚为1.4mm，铝合金门主型材可视面的最小壁厚2.0mm；
91.(2)且在门窗的做法中：门窗套边在墙面预留缝隙3mm安装缝，待墙面装修完成后用胶嵌缝，注意，所用胶不得含有硅和锡等元素；
92.(3)门窗与墙体连接件不应少于3个，每间隔600mm设1个，240mm及2400mm以上门窗设4个连接件，每间隔600mm设1个。
93.step3.对洁净室内部进行装饰装修施工
94.在完成外墙及洁净室围护系统施工后，为避免灰尘和二次处理灰尘的过程，在洁净室内按照“从上到下”的装饰装修过程进行施工；
95.step301.吊顶施工，在洁净室1顶部钢桁架12下侧安装洁净室吊顶系统，所述吊顶系统4包括上层天花板悬吊系统和下层通风管悬吊系统，所述天花板悬吊系统包括t型天花板吊架42、上层天花板43和第一螺纹吊杆41，所述第一螺纹吊杆41的上端与钢桁架12下侧的工字梁连接，且所述第一螺纹吊杆41的下端穿过t型天花板吊架42，且通过连接螺栓与t型天花板吊架42固定连接，所述上层天花板43安装在t型天花板吊架42的两侧接板上，形成起防尘防灰作用的上层天花板悬吊系统，防止钢桁架12以及上部灰尘进入到洁净室内，保证洁净室内的洁净度，同时对下层通风管悬吊系统进行二次保护，使其能够正常工作；
96.所述下层通风管悬吊系统设置在上层天花板悬吊系统的下侧，用于安装风机等用于通风的通风系统以及管线，包括次龙骨44、主龙骨45和t型盲板吊架46，所述主龙骨45通过a型连接件与第一螺纹吊杆41的下端连接，所述次龙骨44搭设在主龙骨45上，且通过b型连接件与主龙骨45连接，形成中部结构框，且在次龙骨44的下侧还固定安装有风管，所述t型盲板吊架46设置在主龙骨45的下侧，且通过若干第二螺纹吊杆445和c型连接件与次龙骨44连接，且相邻的t型盲板吊架46之间通过十字连接件49连接，形成多个用于安装盲板47和
风机过滤机组的矩形安装框，对盲板47和风机过滤机组进行安装，且在其安装处设置有减震支座。
97.优选的，所述的a型连接件包括主龙骨a型固定托架451和紧固螺栓452，所述a型固定托架451为方形框结构，紧固螺栓452安装在a型固定托架451上，所述主龙骨45穿过a型固定托架451，通过紧固螺栓452对主龙骨45进行固定，且在所述a型固定托架451的上侧还设置有螺栓连接孔，所述螺栓连接孔通过m16螺帽和垫片与第一螺纹吊杆41的下端连接；其中所述第一螺纹吊杆41为m16吊挂螺栓杆。
98.优选的，所述的b型连接件包括两块相互配合使用的b型托架441，所述b型托架441的连接节点上均对应设置有螺栓孔，通过m16六角螺栓将上下对应的两个b型托架441连接，从而实现将主龙骨45与次龙骨44连接。
99.优选的，所述的c型连接件包括c型托件442、螺母板443和第二螺纹吊杆445，所述c型托件442套设在次龙骨44上，且在c型托件442的下侧设置有螺母板卡槽444，使用时，所述螺母板443安装在螺母板卡槽444内，所述第二螺纹吊杆445的上端通过连接螺母和垫片与螺母板443连接；所述第二螺纹吊杆445的下端与花篮螺栓446连接，且在花篮螺栓446的下端安装有第三螺纹吊杆448，安装和使用时通过花篮螺栓446调节第二螺纹吊杆445与第三螺纹吊杆448的相对距离，对下部的矩形安装框进行调平，使其对缝严密，保证洁净室内的洁净度，所述第三螺纹吊杆448的下端通过连接螺栓和螺母与r型螺栓447连接，所述r型螺栓447的下端螺帽与设置在t型盲板吊架46上的螺栓卡槽461配合使用，来对t型盲板吊架46进行吊装；且为便于相邻两个t型盲板吊架46的连接，在所述t型盲板吊架46的两端还设置有第一直螺栓连接孔462，所述第一直螺栓连接孔462与设置在十字连接件49的连接凸起491上的第二直螺栓连接孔492配合使用，且所述第一直螺栓连接孔462与第二直螺栓连接孔492均与内六角螺栓449配合使用，通过内六角螺栓449将十字连接件49与t型盲板吊架46连接，形成多个用于安装盲板47和风机过滤机组的矩形安装框。
100.优选的，为保证密封效果，所述的盲板47和风机过滤机组均通过密封减震支座安装在矩形安装框内，其在所有的盲板47、上层天花板43的板缝处均使用打密封胶密封；且所述盲板47的下表面层为防静电层，上表面为镀锌层。
101.优选的，所述的同一直线上的两个相邻的次龙骨44通过次龙骨连接件48连接。
102.优选的，在施工过程中，铝蜂窝及金属岩棉夹芯板吊顶板尽可能工厂预先开洞，且开洞后洞必须密封处理，如需现场开洞，除洞口密封处理外，还要加强现场的保护，避免灰尘颗粒的污染。
103.step302.洁净室内墙墙面施工，在吊顶系统4施工完毕后，在洁净室内墙墙面做内墙围护系统3，其具体过程包括：
104.(1)在地面施工完成后，为进一步避免外界环境影响洁净室内部环境，在对墙面完成打磨找平之后，在洁净室内做用于防静电和起隔离作用的内墙围护系统3，形成洁净室内墙结构，对洁净室进行进一步的分离围护；
105.(2)所述的内墙围护系统3包括50mm厚的内墙复合板材31、天轨32和地轨33，所述地轨33铺设在洁净室地面上，且与洁净室地面通过膨胀螺栓连接，天轨32固定在洁净室上侧的顶部钢桁架12上，且与顶部钢桁架通过连接螺栓连接，所述内墙复合板材31安装在天轨32和地轨33之间，且通过天轨32和地轨33对内墙复合板材31进行固定，形成洁净室内墙
结构；且所述内墙复合板材31的结构与外墙复合板材51的结构相同，即所述内墙复合板材31的两端设置有相互配合使用(错位卡接)的错位连接头53；且沿墙高方向相邻的两个内墙复合板材31的错位连接头53的连接处设置有空气密封胶垫54和防潮防水带56，其中所述空气密封胶垫54对称嵌设在错位连接头53上的u型卡槽内的两个直角弯处，防潮防水带56设置在错位连接头53上的u型凸起上，且在防潮防水带56上设置有限位凸起561，所述限位凸起561与两个空气密封胶垫54之间的卡槽配合使用，使用时，通过上、下侧的错位连接头53的紧密压接，以实现空气密封胶垫54与防潮防水带56的相互紧压密封，来完成连接处的密封，形成密封的外墙围护结构，以防止外界空气进入到内墙复合板材31内侧处，避免外部空气对洁净室内部环境的影响，进而保证洁净室内的空气洁净度和温湿度，同时所述的限位凸起561起限位和导向卡合的作用，便于上、下侧的错位连接头53的紧密压接，形成对接紧密的外墙结构，防止外界水汽和空气对内部洁净室环境的侵蚀，进而有效保证洁净室内部环境与外界环境的结对隔离；沿墙体长度方向相邻的两个内墙复合板材31侧边的连接处由外而内依次设置有密封胶条58和橡胶密封57，其中所述密封胶条58嵌设在两个内墙复合板材31之间，通过内墙复合板材31侧壁的挤压作用对密封胶条58进行密封作用(安装后限位板内缩，处于被挤压变形状态，与内墙复合板材31的侧壁密封)，且所述密封胶条58与橡胶密封57配合使用，所述橡胶密封57设置在密封胶条58与檩条52之间，且在密封胶条58安装前安装，所述橡胶密封57由丁基合成，对所述沿墙体长度方向相邻的两个内墙复合板材31之间的连接缝进行密封，形成密封连接的结构内墙体，对洁净室内部环境进行二次保护。
106.优选的，为便于施工和对内墙复合板材31进行固定，所述的天轨32和地轨33均为u型槽钢结构，且在洁净室洁净区内侧的天轨32和地轨33上均设置有金属脚踢卡。
107.优选的，为保证内墙的气密性和密封性，在所述的内墙复合板材31与天轨32和地轨33的连接处均注胶(应用添加抑菌剂的中性密封胶嵌实)，以防止外部空气进入；同时在天轨32和地轨33的上下端连接处均进行阴阳角处理，设置弧形密封条过渡。
108.step303.在洁净室墙面金属壁板结构施工完毕后，为避免洁净室内的结构柱在影响洁净室内空气的洁净度和温湿度，需对所述的结构柱进行围护，具体为对结构柱进行找平，并在结构柱上做0.3mm后的防静电环氧涂层，以此对结构柱进行围护。
109.step304.洁净室环氧防静电地面施工：为保证洁净室地面的防静电和密封效果，最后需对洁净室地面进行环氧防静电地面施工，其具体过程包括：
110.(1)在进行地面施工前，为保证地面的平整度，首先对地面进行找平，并在地面找平后对地面进行打磨至平整，打磨过程中为避免起灰，保证洁净度，尽使用水磨，使得平整度要求2m靠尺检测误差不大于2mm，对地面进行磨光；
111.(2)在地面磨光后，在地面粘贴塑料板材或卷材地面，形成防静电环氧涂层、防静电pvc块材、防静电架空地板和防静电耐磨聚氨酯地板层，并在塑料板材或卷材地面做完后，在4h后再对塑料板材或卷材地面做接缝焊接处理，形成环氧防静电地面。
112.注意：(1)对核心生产区混凝土柱、框架梁、架空地板以下的格构梁下部阳角均做20mm切角处理，避免安装过程中的碰撞，上部阳角应做斜角打磨处理，保证阳角坚硬，且核心生产区梁柱、格构梁柱均涂刷防静电聚氨酯涂料；(2)在进行环氧防静电地面施工时，地面与墙面的夹角应为曲率半径r不小于30mm的圆角，当用柔性材料粘贴地面时，在墙面上应延伸至地面以上形成圆角并与墙面平齐，或略缩进2mm～3mm，突出的墙面应圆滑过渡；需经
常冲刷的地面，地面材料在墙面上延伸高度应大于150mm。
113.step305.在洁净室内吊顶系统4、洁净室内墙面内墙围护系统3、结构柱围护施工完毕后，为便于后期通风系统和生产设备的安装，在洁净室1的格构梁11上安装洁净室架空地板系统2，所述洁净室架空地板系统包括顶部钢梁21、底部钢梁22、梁板连接件23和高架地板25，所述顶部钢梁21和底部钢梁22均为h型钢，其中所述底部钢梁22通过m12膨胀螺栓28安装在格构梁11上，且沿长度方向相邻的两个底部钢梁22通过连接板和m10螺栓24连接，所述梁板连接件23设置在底部钢梁22的上侧，底部钢梁22通过紧固螺栓件26与梁板连接件23连接，所述梁板连接件23包括相互交叉设置的a型梁板连接件和b型梁板连接件，所述顶部钢梁21设置在b型梁板连接件的上端，且与b型梁板连接件通过m10螺栓连接，所述高架地板25设置在a型梁板连接件和顶部钢梁21的上端，且与a型梁板连接件通过m6地板固定螺栓连接，形成起承重通风作用的洁净室架空地板系统2，且为在避免使用过程中震动对上述洁净室架空地板系统2的损坏，在前后相邻的两个a型梁板连接件之间还安装有防震桁梁29。
114.优选的，所述的a型梁板连接件和b型梁板连接件均包括脚架231、脚架底座232、抗举螺帽233、螺帽235和牙杆27，所述脚架231螺纹连接套管，且在脚架231上设置有固定螺帽，所述脚架底座232设置在脚架231的底部，且通过m10螺栓与底部钢梁22连接，所述抗举螺帽233螺接安装在脚架231的上端，且在抗举螺帽233上设置有螺牙234，所述螺牙234和螺帽235均与牙杆27上的螺纹配合使用，其中所述螺帽235起固定锁定作用，对牙杆27的高度进行固定，以调整其整体安装平面的高度，从而使得其上方的安装生产设备的支撑平台的水平度满足半导体生产设备安装要求，且在所述牙杆27的上端设置有顶板271；其中，所述a型梁板连接件顶端的顶板271通过m6地板固定螺栓与高架地板25连接，且在所述顶板271与高架地板25之间垫设有导电垫片236；所述b型梁板连接件顶端的顶板271与高架地板25的下侧面紧密接触，对高架地板25进行支撑，形成用于安装生产设备的支撑平台。
115.优选的，上述高架地板25为1500型铝合金开孔板，与安装在高架地板25下方的通风系统配合使用，对生产设备进行散热，保证洁净室内的生产温度，同时通过空气系统的净化作用，来使得洁净室内的空气洁净度始终保持在一个能够满足半导体生产的范围内。
116.step4.安装设备，在上述洁净室主体、封闭系统和洁净室内部装饰装修施工完成后，在洁净室内进行设备安装，具体步骤包括：
117.step401.在吊顶系统4上安装风机过滤机组(ffu)；
118.step402.在内墙围护系统3两侧金属蜂窝板39上安装新风系统(oac)，使其从两侧向中间送新风；
119.step403.最后在洁净室架空地板系统2的高架地板25上安装生产设备。
120.在洁净室及其洁净室的施工过程中，除上述step1-step4所述的洁净室主体以及内外墙装饰施工外，还包括：step5.洁净室内气体系统安装；step6.洁净室供水系统安装；step7.洁净室内化学物料供应系统安装；step8.安装洁净室配电系统；step9.安装洁净室自控设备；step10.安装洁净室内生产设备；step11.安装洁净室消防系统；step12.安装洁净室屏蔽系统等施工过程，使得洁净室形成一个与外界空气基本隔绝的空间，以此来满足半导体生产的洁净度和温湿度需求。
121.本发明所述施工方法具有以下优点：
122.(1)本方法在施工过程中，根据图纸设计对洁净室内的柱、梁等构件进行结构和工
序进行优化，来有效的防止产生扬尘；
123.(2)本方法在地主体结构优化的基础上，对洁净室内部装饰装修材料的以及高架地板施工方法的改进等有效措施从根本上抑制扬尘产生，保证了施工过程中洁净室内地洁净度；
124.(3)本方法通过对各个工序的合理安排，在施工过程中控制了洁净室的洁净度，使其便于半导体产品的生产，具有施工简单、洁净度控制效果好的优点。
125.实施例2：
126.如图25-30所示，与实施例1不同的是，为进一步提高所述外墙围护系统5的牢固性，以防止外界碰撞或者硬物冲击造成洁净室外墙损坏，在所述的外墙围护系统5的外侧设置两层加固结构，来进一步提高外墙围护系统5的牢固性；
127.所述的加固结构包括缓冲钢板6和外墙加固系统7，所述外墙加固系统7设置在外墙围护系统5的外侧，且与外墙围护系统5通过拉结螺栓连接，所述缓冲钢板6设置在外墙加固系统7与外墙围护系统5之间，起缓冲、减轻冲击力的保护作用。
128.优选的，所述外墙加固系统7由若干100mm厚的夹芯保护板71连接形成，所述夹芯保护板71沿墙体高度方向卡合连接，即通过设置在芯保护板71上、下两端的卡头与卡槽的配合，将上、下相邻的两块夹芯保护板71连接；所述夹芯保护板71沿墙体长度方向榫卯连接，即在夹芯保护板71沿墙体长度方向的侧板上设置有榫卯连接头72，所述榫卯连接头72上设置有凸榫721、让位槽722、卡头723、卡槽724和卡榫头725，所述卡槽724与卡头723配合使用，所述凸榫721对称设置在卡槽724的两侧，且与卡头723两侧的卡孔配合使用，所述让位槽722设置在榫卯连接头72的外侧，且与卡榫头725配合使用，即在使用时，通过利用卡槽724与卡头723、凸榫721与卡孔、让位槽722与卡榫头725的相互连接，来实现将左、右相邻的两个夹芯保护板71连接，形成最内侧的外墙墙体单元，以此来提高整体外墙的刚性。
129.优选的，所述的夹芯保护板71由外而内依次包括镀锌彩钢板711、岩棉保温层712和内层彩钢板713；所述镀锌彩钢板711由0.5mm厚(不含涂层厚度)55％镀铝锌彩钢板(双面镀铝锌量≥150g/m2)制成，其表面保护层为有机硅塑酯涂层(厚度≥20um)；所述岩棉保温层712由密度为120的硬质岩棉制成的硬质岩棉板；所述内层彩钢板713为0.6mm厚(不含涂层厚度)55％镀铝锌彩钢板(双而镀铝锌量≥150g/m2，外表而保护层为有机硅塑酯涂层(厚度≥20um)。
130.优选的，所述的缓冲钢板6由若干波纹钢板连接形成，所述缓冲钢板6固定设置在外墙复合板材51与夹芯保护板71之间，且水平相邻的两个缓冲钢板6通过螺栓连接，沿墙体高度方向上下相邻的两个缓冲钢板6内侧使用暗扣式连接的形式连接，形成中部缓冲单元，来减轻外部冲击对于外墙加固系统7和外墙围护系统5的冲击作用；且在缓冲钢板6的外表面保护层涂层为厚度不小于35um的氟碳涂层。
131.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。