一种硅片切割机用切削液循环装置的制造方法
【技术领域】
[〇〇〇1] 本实用新型涉及一种硅片切割机用切削液循环装置。
【背景技术】
[0002]硅片切割机为生产硅片的必要设备，起到切割硅锭的作用。也就是说，硅锭经过切割机切割后形成硅片，因此，生产硅片必然会用到切割机。由于硅锭的特殊性，切割机在切割硅锭时，其切削液会产生大量的泡沫，为保证切割机的正常运作不得不加入大量的水来保证切割机的正常工作。
[0003]现有技术中切割机的切削液循环系统一般是由一根供水管向若干台切割机统一进行供水，然后参与切割后的切削液再由回水管统一回收进行循环使用，这种切削液循环系统结构简单，造成切割机在工作过程中切削液会产生大量的泡沫，影响切割机的正常运行，并且提尚了娃片的不良率。
【发明内容】
[0004]本实用新型提供的一种硅片切割机用切削液循环装置，旨在克服现有技术中用于硅片切割机的切削液循环系统容易在管道内积聚大量的泡沫，容易造成硅片在切割时损坏的不足。
[0005]为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种硅片切割机用切削液循环装置，包括储水桶，所述储水桶通过供水管向至少一台切割机供水，所述切割机包括水箱，所述供水管与水箱相通，所述水箱上开设有溢流口，该硅片切割机用切削液循环装置还包括过滤机，每个水箱上的溢流口均通过溢流管将切削液送至过滤机，所述溢流管上串接有去泡池，所述去泡池上开设有与溢流口相通的进水口，所述去泡池上还开设有与过滤机相通的出水口，所述出水口内安装有安全阀，所述进水口的水平高度高于出水口的水平高度，所述进水口内切削液的流量与出水口内切削液的流量相等，所述去泡池上端还固定有与去泡池相通的容泡池，所述容泡池的容积大于去泡池的容积，所述过滤机与储水桶之间通过回水管相通，所述去泡池与过滤机之间串接有第一沉淀桶，所述回水管上串接有第二沉淀桶，所述储水桶上连接有两个供水栗，两个供水栗并联后均向供水管供水。
[0006]上述构成中，溢流管上串接有去泡池，在去泡池的上端固定有容泡池，去泡池与容泡池相通，去泡池上开设有进水口和出水口，并且，进水口的水平高度高于出水口的水平高度，在出水口内设有安全阀，切割机工作过程中位于水箱内的切削液会产生大量的泡沫，该泡沫会随切削液经溢流口进入去泡池内，由于出水口内设有安全阀，所以进入去泡池内的切削液不会立即由出水口排出，而是会积聚在去泡池内，从而造成去泡池内的切削液液面上升，此时，由于泡沫的密度小于切削液，因此，位于去泡池内的泡沫高度会随切削液液面的上升而上升，并进入容泡池内，去泡池内的液面到达一定高度后，安全阀开启，位于去泡池内的切削液由出水口排出，此时，位于去泡池内的切削液没有泡沫（泡沫位于容泡池内），从而实现去除管道内泡沫的作用，由溢流口溢出的切削液不断进入去泡池内保持去泡池内切削液的液面高度，从而使得切削液得以循环使用，达到去除泡沫的目的。
[0007]—种可选的方案，所述容泡池内固定有至少两层网状电热层，两层网状电热层之间的距离不小于毫米，所述容泡池的外壁上固定有控制网状电热层的控制器。容泡池内固定网装电热层，网状电热层通电后温度升高，从而可以使与网状电热层接触的泡沫迅速破裂，避免泡沫溢出容泡池。两层网状电热层之间的距离不小于毫米，可以更好的避免泡沫溢出。
[0008]—种可选的方案，所述网状电热层上固定有若干根立筋，所述立筋的形状为圆锥形，所述立筋的大端固定在网状电热层上。立筋可以进一步提高泡沫的破碎率，进一步避免了泡沫溢出。
[0009]—种可选的方案，该硅片切割机用切削液循环装置还包括补水桶，所述补水桶与储水桶之间通过补水管相通，所述补水管上连接有药水桶，所述补水管上还串接有控制补水桶是否向储水桶补水的第一控制阀，所述药水桶与补水管之间串接有第二控制阀。补水桶起到向储水桶内补水的作用，大大提高了切削液循环装置工作时的稳定性能。
[0010]—种可选的方案，所述过滤机为至少两台并联在一起的厢式压滤机。两台厢式压滤机并联使用，其中一台厢式压滤机可以作另一台的备用机使用，过滤机检修时不需要对切削液循环装置进行停机，操作方便。
[〇〇11] 与现有技术相比，本实用新型提供的一种硅片切割机用切削液循环装置，具有如下优点：储水桶连接有供水栗，供水栗通过供水管将切削液供入切割机的水箱内，水箱内参与切割后的切削液经溢流口进入溢流管内，溢流管上串接有去泡池，在去泡池的上端固定有容泡池，去泡池与容泡池相通，去泡池上开设有进水口和出水口，并且，进水口的水平高度高于出水口的水平高度，在出水口内设有安全阀，由出水口排出的切削液经沉淀、过滤、再沉淀之后进入储水桶内进行循环使用；切割机工作过程中位于水箱内的切削液会产生大量的泡沫，该泡沫会随切削液经溢流口进入去泡池内，由于出水口内设有安全阀，所以进入去泡池内的切削液不会立即由出水口排出，而是会积聚在去泡池内，从而造成去泡池内的切削液液面上升，此时，由于泡沫的密度小于切削液，因此，位于去泡池内的泡沫高度会随切削液液面的上升而上升，由排水口排出的切削液内没有泡沫，从而避免了泡沫进入切削液循环装置内循环，提高了切割机工作时的稳定性能，优化了硅片的质量。
【附图说明】
[0012]附图1是本实用新型一种硅片切割机用切削液循环装置的结构框图；
[0013]附图2是本实用新型一种硅片切割机用切削液循环装置中去泡池、容泡池的剖视图。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图，对本实用新型的一种硅片切割机用切削液循环装置作进一步说明。如图1、图2所示，一种硅片切割机用切削液循环装置，包括储水桶1，所述储水桶1通过供水管2向至少一台切割机供水，所述储水桶1上连接有两个供水栗14,两个供水栗14并联后均向供水管2供水，也就是说，两个供水栗14并联使用，两个供水栗14均可以采用气动隔膜栗，检修过程中一个供水栗14可以作另一个供水栗14的备用机使用；
[0015]所述切割机包括水箱3,所述供水管2与水箱3相通，所述水箱3上开设有溢流口，该硅片切割机用切削液循环装置还包括过滤机4,每个水箱3上的溢流口均通过溢流管5将切削液送至过滤机4,参见图2,所述溢流管5上串接有去泡池6,所述去泡池6上开设有与溢流口相通的进水口 7,所述去泡池6上还开设有与过滤机4相通的出水口 8,所述出水口8内安装有安全阀9,安全阀9用来使