一种硅片数控多线切割机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，具体是一种硅片数控多线切割机。
【背景技术】
[0002]硅片是半导体与光伏领域必不可少的主要材料，每生产IMW的太阳能光伏电池组件就需要16吨左右的原料，除此之外，单晶硅又是半导体器件生产的关键基料，硅占整个半导体材料的90%以上。目前硅片，特别是光伏产业大量应用的硅片，主要是由圆柱形的硅锭切割而成的。传统的切割方式有刀具片、砂轮片、内圆切割、激光切割等，近几年又出现了多线切割等技术。这些切割方式存在以下问题:
[0003]1、传统切割方式如内圆刀具切割或激光切割等，切割的表面平整度及厚度都不尽理想，且材料的成品率低。
[0004]2、现有硅片数控多线切割机结构复杂，调节困难，运行时不够稳定，切割时噪声较大，影响到芯片切割的精度。
【实用新型内容】
[0005]为解决现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片数控多线切割机，它结构简单，运行平稳，切割芯片的效率和精度都较高。
[0006]本实用新型为实现上述目的，通过以下技术方案实现:一种硅片数控多线切割机，包括支架，所述支架顶端设置第一伺服电机，所述第一伺服电机输出轴上设置丝杠，所述丝杠位于第一伺服电机下方，所述丝杠上安装丝母，所述丝母两端设置连接杆，所述支架侧壁上设置凹槽，所述连接杆一端位于支架侧壁的凹槽内，所述连接杆与支架侧壁滑动连接，所述连接杆另一端设置直轴，所述直轴位于连接杆下方，所述直轴底端设置托板，所述托板底端设置玻璃板，所述玻璃板底端设置硅锭，所述硅锭与玻璃板底端胶接，所述硅锭下方设置传动装置。
[0007]所述传动装置包括第二伺服电机，所述第二伺服电机一端设置第一固定杆，所述第二伺服电机另一端设置主动轮，还包括两个从动轮，所述从动轮一端设置第二固定杆，所述第二固定杆与从动轮上的轴承相连接，所述主动轮与从动轮之间安装若干切割丝。
[0008]所述托板底端设置滑槽，所述滑槽上设置滚花纹，所述玻璃板位于滑槽内。
[0009]对比现有技术，本实用新型的有益效果是:
[0010]1、本装置采用的多线切割方式为带传动，结构简单，切割丝安装在主动轮和两个从动轮中间，运行平稳，噪声小，切割效率高，切割的硅片表面平整度高，厚度均匀，精度高。[0011 ] 2、托板和玻璃板之间滑动连接，再加上滑槽内设置滚条纹，增大摩擦，使托板和玻璃板的连接更加牢固，避免因玻璃板掉落引起硅锭的损坏，提高硅片成品率。
[0012]3、第一伺服电机和第二伺服电机均由控制器闭环控制，保证了硅锭的推进速度和切割丝的速度能够合理配合，提高加工效率。
【附图说明】
[0013]附图1是本实用新型主视图结构示意图；
[0014]附图2是本实用新型左视图结构示意图；
[0015]附图3是本实用新型I部放大图。
[0016]附图中所示标号:1、支架;2、第一伺服电机;3、丝杠;4、丝母;5、连接杆;6、轴承;7、直轴;8、托板;9、滑槽；10、玻璃板；11、硅锭；12、主动轮；13、从动轮；14、第二伺服电机；15、切割丝;16、第一固定杆;17、第二固定杆。
【具体实施方式】
[0017]结合附图和具体实施例，对本实用新型作进一步说明。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
[0018]—种硅片数控多线切割机，包括支架I，所述支架I顶端设置第一伺服电机2，所述第一伺服电机2输出轴上设置丝杠3，所述丝杠3位于第一伺服电机2下方，所述丝杠3上安装丝母4，所述丝母4两端设置连接杆5，所述支架I侧壁上设置凹槽，所述连接杆5—端位于支架I侧壁的凹槽内，所述连接杆5与支架I侧壁滑动连接，所述连接杆5另一端设置直轴7，所述直轴7位于连接杆5下方，所述直轴7底端设置托板8，所述托板8底端设置玻璃板10，所述玻璃板10底端设置硅锭11，所述硅锭11与玻璃板10底端胶接，所述硅锭11下方设置传动装置。
[0019]进一步的，所述传动装置包括第二伺服电机14，所述第二伺服电机14一端设置第一固定杆16，所述第二伺服电机14另一端设置主动轮12，还包括两个从动轮13，所述从动轮
13—端设置第二固定杆17，所述第二固定杆17与从动轮13上的轴承6相连接，所述主动轮12与从动轮13之间安装若干切割丝15。本装置采用的多线切割方式为带传动，结构简单，切割丝15安装在主动轮12和两个从动轮13中间，运行平稳，噪声小，切割效率高，切割的硅片表面平整度高，厚度均匀，精度高。第一伺服电机2和第二伺服电机14均由控制器闭环控制，保证了硅锭11的推进速度和切割丝15的速度能够合理配合，提高加工效率。
[0020]进一步的，所述托板8底端设置滑槽9，所述滑槽9上设置滚花纹，增大摩擦，所述玻璃板10位于滑槽9内。托板8和玻璃板10之间滑动连接，再加上滑槽9内设置滚条纹，使托板88和玻璃板10的连接更加牢固，避免因玻璃板10掉落引起硅锭11的损坏，提高硅片成品率。
[0021]实施例1:
[0022]—种硅片数控多线切割机，包括支架I，所述支架I顶端设置第一伺服电机2，所述第一伺服电机2输出轴上设置丝杠3，所述丝杠3位于第一伺服电机2下方，所述丝杠3上安装丝母4，所述丝母4两端设置连接杆5，所述支架I侧壁上设置凹槽，所述连接杆5—端位于支架I侧壁的凹槽内，所述连接杆5与支架I侧壁滑动连接，所述连接杆5另一端设置直轴7，所述直轴7位于连接杆5下方，所述直轴7底端设置托板8，所述托板8底端设置玻璃板10，所述玻璃板10底端设置硅锭11，所述硅锭11与玻璃板10底端胶接，所述硅锭11下方设置传动装置。所述传动装置包括第二伺服电机14，所述第二伺服电机14 一端设置第一固定杆16，所述第二伺服电机14另一端设置主动轮12，还包括两个从动轮13，所述从动轮13—端设置第二固定杆17，所述第二固定杆17与从动轮13上的轴承6相连接，所述主动轮12与从动轮13之间安装若干切割丝15。当切割硅锭11时，第一伺服电机2通过控制丝母4达到控制硅锭11位移和速度的目的，本装置采用的多线切割方式为带传动，结构简单，切割丝15安装在主动轮12和两个从动轮13中间，运行平稳，噪声小，切割效率高，切割的硅片表面平整度高，厚度均匀，精度高。第一伺服电机2和第二伺服电机14均由控制器闭环控制，保证了硅锭11的推进速度和切割丝15的速度能够合理配合，提高加工效率。所述托板8底端设置滑槽9，所述滑槽9上设置滚花纹，所述玻璃板10位于滑槽9内。托板8和玻璃板10之间滑动连接，再加上滑槽9内设置滚条纹，增大摩擦，使托板8和玻璃板10的连接更加牢固，避免因玻璃板10掉落引起娃键11的损坏，提1?娃片成品率D
【主权项】
1.一种硅片数控多线切割机，其特征在于:包括支架(I)，所述支架(I)顶端设置第一伺服电机(2)，所述第一伺服电机(2)输出轴上设置丝杠(3)，所述丝杠位于第一伺服电机(2)下方，所述丝杠(3)上安装丝母(4)，所述丝母(4)两端设置连接杆(5)，所述支架(I)侧壁上设置凹槽，所述连接杆(5)—端位于支架(I)侧壁的凹槽内，所述连接杆(5)与支架(I)侧壁滑动连接，所述连接杆(5)另一端设置直轴(7)，所述直轴(7)位于连接杆(5)下方，所述直轴(7)底端设置托板(8)，所述托板(8)底端设置玻璃板(10)，所述玻璃板(10)底端设置硅锭(11)，所述硅锭(11)与玻璃板(10)底端胶接，所述硅锭(11)下方设置传动装置。2.根据权利要求1所述的一种硅片数控多线切割机，其特征在于:所述传动装置包括第二伺服电机(14)，所述第二伺服电机(14) 一端设置第一固定杆(16)，所述第二伺服电机(14)另一端设置主动轮(12)，还包括两个从动轮(13)，所述从动轮(13)—端设置第二固定杆(17)，所述第二固定杆(17)与从动轮(13)上的轴承(6)相连接，所述主动轮(12)与从动轮(13)之间安装若干切割丝(15)。3.根据权利要求1所述的一种硅片数控多线切割机，其特征在于:所述托板(8)底端设置滑槽(9)，所述滑槽(9)上设置滚花纹，所述玻璃板(10)位于滑槽(9)内。
【专利摘要】本实用新型公开了一种硅片数控多线切割机，涉及硅片加工设备技术领域。一种硅片数控多线切割机，包括支架，支架顶端设置第一伺服电机，第一伺服电机输出轴上设置丝杠，丝杠位于第一伺服电机下方，丝杠上安装丝母，丝母两端设置连接杆，支架侧壁上设置凹槽，连接杆一端位于支架侧壁的凹槽内，连接杆另一端设置直轴，直轴位于连接杆下方，直轴底端设置托板，托板底端设置玻璃板，所述玻璃板底端设置硅锭，硅锭与玻璃板底端胶接，硅锭下方设置传动装置。托板底端设置滑槽，滑槽上设置滚花纹，玻璃板位于滑槽内。本实用新型的有益效果是：本装置结构简单，运行平稳，噪声小，切割效率高，切割的硅片表面平整度高，厚度均匀，精度高。
【IPC分类】B28D7/00, B28D5/04
【公开号】CN205310560
【申请号】CN201620101671
【发明人】于如远, 高培成
【申请人】济南金锐电子有限公司
【公开日】2016年6月15日
【申请日】2016年1月31日