晶棒线切割装置的制造方法
【专利摘要】晶棒线切割装置，包括机架、晶棒夹具和切割辊，晶棒夹具包括相对设置的带有旋转轴的两夹持块，两旋转轴中的其中一个连接有旋转电机，另一个通过轴承座固定在机架上，晶棒的两端粘接在两夹持块内，金刚线缠绕于切割辊上，切割辊位于所述晶棒夹具的正上方，金刚线的走线方向与晶棒的轴向方向相对垂直，切割辊的一端通过轴承座连接切割电机，切割电机与旋转电机的转向相反，切割辊的上端连接有气缸，气缸的活塞杆通过连接架与切割辊连接，本实用新型设有电动切割辊旋转的切割电机和带动晶棒旋转的旋转电机，两电机转向相反，加快了晶棒切片的速度，减小了金刚线与晶棒的接触面积，极大地提高了切片的效率具有切割效率高、经济效益好的优点。
【专利说明】
晶棒线切割装置
技术领域
[0001]本实用新型属于半导体材料领域，特别是涉及一种晶棒线切割装置。【背景技术】
[0002]半导体市场竞争的日趋激烈，降低能耗、节省成本、提升良率成为技术发展的核心，晶棒的切割通常采用线切割方式，即将蓝宝石晶棒置于金刚线的上方，晶棒缓缓下压高速运转的金刚线，经摩擦切割完成晶棒的切片操作，当呈圆柱体的晶棒被切割到一半的时候，相较刚开始切割的时候，此时的金刚线与晶棒的接触面最大，金刚线运行中所受到的运行阻力也就越大，加之蓝宝石晶棒硬度较大，仅此于金刚石，因此直线切割的过程缓慢，不利于提高生产效率。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于为解决现有技术的不足提供一种晶棒线切割装置，其加快了晶片切割的速度，保证了切割的质量，具有经济效益好的特点。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是:晶棒线切割装置，包括机架、晶棒夹具和切割辊，晶棒夹具包括相对设置的带有旋转轴的两夹持块，两旋转轴中的其中一个连接有旋转电机，另一个通过轴承座固定在机架上，晶棒的两端粘接在两夹持块内，金刚线缠绕于切割辊上，切割辊位于所述晶棒夹具的正上方，金刚线的走线方向与晶棒的轴向方向相对垂直，切割辑的一端通过轴承座连接切割电机，所述切割电机与旋转电机的转向相反，切割辊的上端连接有气缸，气缸的活塞杆通过连接架与切割辊连接，切割辊的内部设置有压力传感器，所述的压力传感器与控制器电连接，控制器设置在机架的一侧，气缸的输入端连接所述控制器。
[0005]本实用新型的有益效果是:本实用新型设有电动切割辊旋转的切割电机和带动晶棒旋转的旋转电机，两电机转向相反，加快了晶棒切片的速度，减小了金刚线与晶棒的接触面积，极大地提高了切片的效率，采用控制器可以根据切割辊上的压力传感器传来的数据对于气缸的控制，从而合理的进行下压切割，保证切割辊上金刚线的张力在一个合适的范围之内，保证切割的质量，而且不易断线，本实用新型具有切割效率高、经济效益好的优点。【附图说明】
[0006]图1为本实用新型的结构示意图；
[0007]图2为图1的k向视图。图中:
[0008]1.气缸，2.连接架，3.金刚线，4.切割辊，5.夹持块，6.晶棒，7.压力传感器，8.切割电机，9.旋转电机，10.机架。【具体实施方式】
[0009]下面通过具体实施例进一步说明本实用新型的技术方案。
[0010]如图1-2所示:晶棒线切割装置，包括机架10、晶棒夹具和切割辊4，晶棒夹具包括相对设置的带有旋转轴的两夹持块5,两旋转轴中的其中一个连接有旋转电机9,另一个通过轴承座固定在机架10上，晶棒6的两端粘接在两夹持块5内，消除了对蓝宝石晶棒两侧的挤压力，晶棒6在切割过程中不会出现斜切现象，降低截口损失;金刚线3缠绕于切割辊4上， 切割辊4位于所述晶棒夹具的正上方，金刚线3的走线方向与晶棒6的轴向方向相对垂直，切割辊4的一端通过轴承座连接切割电机8，所述切割电机8与旋转电机9的转向相反，本实用新型加快了晶棒6切片的速度，极大地提高了切片的效率，切割辊4的上端连接有气缸1，气缸1的活塞杆通过连接架2与切割辊4连接，切割辊4的内部设置有压力传感器7,所述的压力传感器7与控制器电连接，控制器设置在机架的一侧，气缸1的输入端连接所述控制器，采用控制器可以根据切割辊4上的压力传感器7传来的数据对于气缸1的控制，从而合理的进行下压切割，保证切割辊4上金刚线3的张力在一个合适的范围之内，保证切割的质量，而且不易断线，本实用新型具有切割效率高、经济效益好的优点。[〇〇11]除说明书所述技术特征外，均为本专业技术人员已知技术。
【主权项】
1.晶棒线切割装置，包括机架(10)、晶棒夹具和切割辊(4)，晶棒夹具包括相对设置的 带有旋转轴的两夹持块(5)，两旋转轴中的其中一个连接有旋转电机(9)，另一个通过轴承 座固定在机架(10)上，晶棒(6)的两端粘接在两夹持块(5)内，金刚线(3)缠绕于切割辊(4) 上，切割辊(4)位于所述晶棒夹具的正上方，金刚线(3)的走线方向与晶棒(6)的轴向方向相 对垂直，切割辊(4 )的一端通过轴承座连接切割电机(8 )，所述切割电机(8 )与旋转电机(9 ) 的转向相反，切割辊(4 )的上端连接有气缸(1 )，气缸(1)的活塞杆通过连接架(2 )与切割辊 (4)连接，切割辊(4)的内部设置有压力传感器(7)，所述的压力传感器(7)与控制器电连接， 控制器设置在机架(10)的一侧，气缸(1)的输入端连接所述控制器。
【文档编号】B28D5/04GK205588497SQ201620401631
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年5月3日
【发明人】朱宁, 刘增伟, 江博文
【申请人】元鸿（山东）光电材料有限公司