气缸驱动式自动支撑装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及单晶硅装备辅助设备，旨在提供气缸驱动式自动支撑装置。该气缸驱动式自动支撑装置包括气缸、焊接安装座、支撑滑块、轴承安装块、夹紧垫块、支撑条、导向组件、浮动接头，两个支撑条平行安装在焊接安装座的U型结构内，两块支撑滑块分别安装在支撑条上，两个夹紧垫块分别利用对应的轴承安装块固定在对应的支撑滑块上，两个气缸分别安装在焊接安装座的两侧，气缸的活塞杆利用浮动接头与对应的支撑滑块连接，导向组件使两块支撑滑块在气缸的驱动下在支撑条上作相对直线运动。本实用新型能自动支撑晶棒，限制了晶棒截断面在水平和竖直方向上的位置，减小了晶棒在截断过程中的细微位移，能够有效消除现存晶棒截断崩边问题。
【专利说明】
气缸驱动式自动支撑装置
技术领域
[0001]本实用新型是关于单晶硅装备辅助设备领域，特别涉及气缸驱动式自动支撑装置。
【背景技术】
[0002]在现有单晶硅棒金刚线截断设备中，当单晶硅棒(以下简称晶棒)于截断工位的一端被完全固定后，由于晶棒外表面的不规则性，使得晶棒另一端固定处于或过定位或欠定位的状态，在晶棒被截断的瞬间，晶棒表面因细微的位移而产生“崩边”现象，影响截断质量，造成硅不必要的损失。
[0003]另外，为解决上述问题，在单晶硅棒的截断过程中，该领域的通用技术基本空白，现采用人工塞垫的方式，一方面由于人工塞垫的不确定性，不同人员操作的差异性，晶棒截断质量难以保证，另一方面还大大降低了生产效率。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能减小晶棒在截断过程中细微位移的晶棒自动支撑的夹持装置。为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是:
[0005]提供气缸驱动式自动支撑装置，用于支撑晶棒，所述气缸驱动式自动支撑装置包括气缸、焊接安装座、支撑滑块、轴承安装块、夹紧垫块、支撑条、导向组件、浮动接头；
[0006]所述焊接安装座为U型安装座，且焊接安装座的两侧对称各开有三个孔;所述支撑条设有两个，分别平行安装在焊接安装座的U型结构内，两块支撑滑块分别安装在支撑条上，且支撑滑块与支撑条滑动连接;轴承安装块和夹紧垫块各设有两个，两个夹紧垫块分别利用螺钉固定在对应的轴承安装块上，两个轴承安装块分别固定在对应的支撑滑块上，使轴承安装块和夹紧垫块能沿着支撑条进行滑动;每个轴承安装块上各开有两个孔，且两个轴承安装块的两个孔与焊接安装座两侧上每一边的孔，刚好能相互对应贯通；
[0007]所述气缸设有两个，分别(采用螺钉)安装在焊接安装座的两侧;两侧气缸的活塞杆分别穿过焊接安装座对应侧面中间的孔，(利用螺纹)与对应浮动接头的一端连接;浮动接头的另一端与对应的支撑滑块连接；
[0008]所述导向组件包括两个轴组件，两个轴组件分别安装到轴承安装块、焊接安装座的两组相互贯通孔中；导向组件用于使两块支撑滑块在气缸的驱动下，沿轴组件作相对直线运动。
[0009]作为进一步的改进，所述导向组件采用光轴端盖、直线轴承、光轴实现，导向组件设有两组，两组导向组件中的光轴分别安装到轴承安装块、焊接安装座的两组相互贯通孔中，且轴承安装块与直线轴承螺钉连接，光轴端盖与焊接安装座螺钉连接。
[0010]作为进一步的改进，所述导向组件采用直线导轨、滑块实现。
[0011]作为进一步的改进，所述支撑滑块与轴承安装块采用螺钉连接。
[0012]作为进一步的改进，所述气缸采用端锁气缸。
[0013]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0014]本实用新型能自动支撑晶棒，限制了晶棒截断面在水平和竖直方向上的位置，又使得晶棒在截断过程中即存在自由度，减小了晶棒在截断过程中的细微位移，能够有效消除现存晶棒截断“崩边”问题。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型的正视图。
[0016]图2为图1的剖视图。
[0017]图3为本实用新型的三维等轴侧视图。
[0018]图4为气缸不意图。
[0019]图中的附图标记为:I气缸;2焊接安装座;3支撑滑块;4轴承安装块;5夹紧垫块;6支撑条;7光轴端盖;8直线轴承;9光轴;10浮动接头。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图与【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细描述:
[0021]如图1至图4所示的气缸驱动式自动支撑装置包括气缸1、焊接安装座2、支撑滑块
3、轴承安装块4、夹紧垫块5、支撑条6、导向组件、浮动接头10，用于自动支撑晶棒。
[0022]所述焊接安装座2为U型安装座，且焊接安装座2的两侧对称各开有三个孔。所述支撑条6设有两个，分别平行安装在焊接安装座2的U型结构内，两块支撑滑块3分别安装在支撑条6上，且支撑滑块3与支撑条6滑动连接。轴承安装块4和夹紧垫块5各设有两个，两个夹紧垫块5分别利用螺钉固定在对应的轴承安装块4上，两个轴承安装块4分别固定在对应的支撑滑块3上，使轴承安装块4和夹紧垫块5能沿着支撑条6进行滑动;支撑滑块3起到联接导向组件与夹紧垫块5的作用，其中夹紧垫块5可根据晶棒外径尺寸的不同调整其斜面的角度大小，以更好地贴合晶棒。每个轴承安装块4上各开有两个孔，且两个轴承安装块4的两个孔与焊接安装座2两侧上每一边的孔，刚好能相互对应贯通。
[0023 ]所述气缸I采用端锁气缸，气缸I设有两个，分别采用螺钉安装在焊接安装座2的两侦U。两侧气缸I的活塞杆分别穿过焊接安装座2对应侧面中间的孔，利用螺纹与对应浮动接头1的一端连接，浮动接头1的另一端与对应的支撑滑块3连接。
[0024]所述导向组件包括光轴端盖7、直线轴承8、光轴9，导向组件设有两组。两组导向组件中的光轴9分别安装到轴承安装块4、夹紧垫块5、焊接安装座2的两组相互贯通孔中，且轴承安装块4与直线轴承8采用螺钉连接，光轴端盖7与焊接安装座2螺钉连接。导向组件不局限于光轴9与直线轴承8，也可以采用直线导轨与滑块等。
[0025]工作时，当晶棒于截断工位的一端被完全固定后，两个气缸I的活塞杆推动轴承安装块4及夹紧垫块5，使得夹紧垫块5的斜面与晶棒表面以3点或以上的方式相接触，接触后，气缸I由于负载不足，活塞杆无法继续伸出，随即气缸I锁定，保证晶棒无法压迫夹紧垫块5使得气缸I活塞杆回缩，完全限制了晶棒截断面在水平和竖直方向上的位置，又使得晶棒在截断过程中即存在自由度，能够有效消除现存晶棒截断“崩边”问题。
[0026]最后，需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.气缸驱动式自动支撑装置，用于支撑晶棒，其特征在于，所述气缸驱动式自动支撑装置包括气缸、焊接安装座、支撑滑块、轴承安装块、夹紧垫块、支撑条、导向组件、浮动接头； 所述焊接安装座为U型安装座，且焊接安装座的两侧对称各开有三个孔;所述支撑条设有两个，分别平行安装在焊接安装座的U型结构内，两块支撑滑块分别安装在支撑条上，且支撑滑块与支撑条滑动连接;轴承安装块和夹紧垫块各设有两个，两个夹紧垫块分别利用螺钉固定在对应的轴承安装块上，两个轴承安装块分别固定在对应的支撑滑块上，使轴承安装块和夹紧垫块能沿着支撑条进行滑动;每个轴承安装块上各开有两个孔，且两个轴承安装块的两个孔与焊接安装座两侧上每一边的孔，刚好能相互对应贯通； 所述气缸设有两个，分别安装在焊接安装座的两侧;两侧气缸的活塞杆分别穿过焊接安装座对应侧面中间的孔，与对应浮动接头的一端连接;浮动接头的另一端与对应的支撑滑块连接； 所述导向组件包括两个轴组件，两个轴组件分别安装到轴承安装块、焊接安装座的两组相互贯通孔中；导向组件用于使两块支撑滑块在气缸的驱动下，沿轴组件作相对直线运动。2.根据权利要求1所述的气缸驱动式自动支撑装置，其特征在于，所述导向组件采用光轴端盖、直线轴承、光轴实现，导向组件设有两组，两组导向组件中的光轴分别安装到轴承安装块、焊接安装座的两组相互贯通孔中，且轴承安装块与直线轴承螺钉连接，光轴端盖与焊接安装座螺钉连接。3.根据权利要求1所述的气缸驱动式自动支撑装置，其特征在于，所述导向组件采用直线导轨、滑块实现。4.根据权利要求1所述的气缸驱动式自动支撑装置，其特征在于，所述支撑滑块与轴承安装块采用螺钉连接。5.根据权利要求1所述的气缸驱动式自动支撑装置，其特征在于，所述气缸采用端锁气缸。
【文档编号】B28D5/04GK205601003SQ201620301088
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年4月11日
【发明人】傅林坚, 朱亮, 曹建伟, 沈文杰, 卢嘉彬, 沈加富, 邱文杰, 杨思炜, 邱敏秀
【申请人】上虞晶信机电科技有限公司, 浙江晶盛机电股份有限公司