一种蓝宝石6寸晶片贴片装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种蓝宝石6寸晶片贴片装置，包括底板、压片机构、真空吸盘机构、转盘机构和PLC控制器，所述压片机构包括压片支撑柱、可调行程气缸和压片，所述真空吸盘机构包括第一转轴支撑座、轴承座、第一转轴、压杆、真空吸盘、真空泵、抽真空管、第一主动齿轮、第一从动齿轮、第一电机，所述转盘机构包括圆形的陶瓷盘、第二转轴、第二主动齿轮、第二从动齿轮、第三从动齿轮、第四从动齿轮、传动杆、第二电机，自动化操作，保证了贴片的稳定性和平坦度，提高了产品质量。
【专利说明】
一种蓝宝石6寸晶片贴片装置
技术领域
[0001] 本实用新型涉及一种贴片工装，具体涉及一种蓝宝石6寸晶片贴片装置。
【背景技术】
[0002] 针对蓝宝石6寸晶片的贴片，一般采用手动贴片或自动压片两种方式；由于晶片尺 寸较大，在传统的贴片方式中存在两点风险：
[0003] 1.无法保证晶片在陶瓷盘上位置的一致性；
[0004] 2.晶片贴于陶瓷盘上平坦度较差。 【实用新型内容】
[0005] 本实用新型的目的在于克服现有技术缺点提供一种蓝宝石6寸晶片贴片装置，自 动化操作，保证了贴片的稳定性和平坦度，提高了产品质量。
[0006] 为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：
[0007] -种蓝宝石6寸晶片贴片装置，包括底板、压片机构、真空吸盘机构、转盘机构和 PLC控制器；
[0008] 所述压片机构包括压片支撑柱、可调行程气缸和压片，截面为倒L形结构的压片支 撑柱固定在底板上，可调行程气缸固定在压片支撑柱的顶部，压片固定在可调行程气缸的 推杆上，所述压片为圆台形结构；
[0009] 所述真空吸盘机构包括第一转轴支撑座、轴承座、第一转轴、压杆、真空吸盘、真空 栗、抽真空管、第一主动齿轮、第一从动齿轮、第一电机，所述第一转轴支撑座的数量为两 个，相互对称的固定在底板上，每个第一转轴支撑座上固定一个轴承座，第一转轴可旋转的 固定在两个轴承座之间，第一从动齿轮固定在第一转轴一端，压杆一端固定在第一转轴上， 另一端上设有真空吸盘，真空栗固定在底板上，真空吸盘与真空栗之间通过抽真空管相连 接，所述第一主动齿轮固定在第一电机上，第一主动齿轮与第一从动齿轮相啮合；
[0010] 所述转盘机构包括圆形的陶瓷盘、第二转轴、第二主动齿轮、第二从动齿轮、第三 从动齿轮、第四从动齿轮、传动杆、第二电机，所述陶瓷盘通过第二转轴固定在底板上，第四 从动齿轮固定在第二转轴上，传动杆的两端分别固定第二从动齿轮和第三从动齿轮，第二 主动齿轮固定在第二电机上，所述第二主动齿轮与第二从动齿轮相啮合，第三从动齿轮与 第四从动齿轮相啮合；
[0011] 所述真空吸盘机构和压片机构分别设置在转盘机构的两侧，陶瓷盘上设有四个圆 形结构的贴片工位，压片机构的压片位于其中一个贴片工位的上方，在压片机构中，压杆的 长度为L1，第一转轴与其相邻的贴片工位的圆心之间的距离为L2，L1=L2;
[0012] 所述第一电机、第二电机、真空栗、可调行程气缸分别与PLC控制器相连接。
[0013] 上述一种蓝宝石6寸晶片贴片装置，其中，所述轴承座的外壁上水平的设有一个限 位挡板，第一转轴上设有限位杆，限位挡板与限位杆相互配合起限位作用。
[0014] 本实用新型的有益效果为：
[0015] 为避免在贴片后测量中造成误差，需取表面无杂质且每片厚度差小于2微米的蓝 宝石6寸晶片进行贴片作业，本实用新型使用时，开启真空栗，先将待贴片的6寸晶片的中心 位置吸在真空吸盘上，以此保证晶片的传动过程中的稳定性，不会出现晃动或掉落，在晶片 背面涂抹胶水，启动第一电机，使晶片能够随着转轴和压杆进行180度翻转，并反压与陶瓷 盘的贴片工位上，关闭真空栗，反向转动第一电机移开真空吸盘，启动可调行程气缸，将贴 于陶瓷盘上晶片压平，待5~10分钟后，保证晶片完全贴于陶瓷盘上，抬升压片装置，启动第 二电机，使陶瓷盘转动90°，重复进行下一次贴片，贴完后，将陶瓷盘取下，测量晶片的平坦 度;本实用新型采用自动化操作，保证了贴片的稳定性和平坦度，提高了产品质量。
【附图说明】
[0016] 图1为本实用新型俯视图。
[0017] 图2为本实用新型侧视图。
[0018] 图3为本实用新型转盘机构结构图。
[0019] 图4为本实用新型控制图。
【具体实施方式】
[0020] 如图所示一种蓝宝石6寸晶片贴片装置，包括底板1、压片机构2、真空吸盘机构3、 转盘机构4和PLC控制器5;
[0021] 所述压片机构2包括压片支撑柱6、可调行程气缸7和压片8,截面为倒L形结构的压 片支撑柱6固定在底板1上，可调行程气缸7固定在压片支撑柱6的顶部，压片8固定在可调行 程气缸7的推杆上，所述压片8为圆台形结构；
[0022]所述真空吸盘机构3包括第一转轴支撑座9、轴承座10、第一转轴11、压杆12、真空 吸盘13、真空栗14、抽真空管15、第一主动齿轮16、第一从动齿轮17、第一电机18,所述第一 转轴支撑座9的数量为两个，相互对称的固定在底板1上，每个第一转轴支撑座9上固定一个 轴承座10,第一转轴11可旋转的固定在两个轴承座10之间，第一从动齿轮16固定在第一转 轴11一端，压杆12-端固定在第一转轴11上，另一端上设有真空吸盘13,真空栗14固定在底 板1上，真空吸盘13与真空栗14之间通过抽真空管15相连接，所述第一主动齿轮16固定在第 一电机18上，第一主动齿轮16与第一从动齿轮17相啮合，所述轴承座10的外壁上水平的设 有一个限位挡板19,第一转轴11上设有限位杆20,限位挡板19与限位杆20相互配合起限位 作用；
[0023] 所述转盘机构4包括圆形的陶瓷盘21、第二转轴22、第二主动齿轮23、第二从动齿 轮24、第三从动齿轮25、第四从动齿轮26、传动杆27、第二电机28，所述陶瓷盘通过第二转轴 固定在底板上，第四从动齿轮固定在第二转轴上，传动杆的两端分别固定第二从动齿轮和 第三从动齿轮，第二主动齿轮固定在第二电机上，所述第二主动齿轮与第二从动齿轮相啮 合，第三从动齿轮与第四从动齿轮相啮合；
[0024] 所述真空吸盘机构3和压片机构2分别设置在转盘机构4的两侧，陶瓷盘21上设有 四个圆形结构的贴片工位29,压片机构的压片8位于其中一个贴片工位29的上方，在压片机 构2中，压杆12的长度为L1，第一转轴11与其相邻的贴片工位29的圆心之间的距离为L2，L1 = L2；
[0025] 所述第一电机18、第二电机28、真空栗14、可调行程气缸7分别与PLC控制器5相连 接，PLC控制器为三菱FX5U-64MR/ES型PLC控制器。
[0026] 为避免在贴片后测量中造成误差，需取表面无杂质且每片厚度差小于2微米的蓝 宝石6寸晶片30进行贴片作业，本实用新型使用时，开启真空栗，先将待贴片的6寸晶片的中 心位置吸在真空吸盘上，以此保证晶片的传动过程中的稳定性，不会出现晃动或掉落，在晶 片背面涂抹胶水，启动第一电机，使晶片能够随着转轴和压杆进行180度翻转，并反压与陶 瓷盘的贴片工位上，关闭真空栗，反向转动第一电机移开真空吸盘，启动可调行程气缸，将 贴于陶瓷盘上晶片压平，待5~10分钟后，保证晶片完全贴于陶瓷盘上，抬升压片装置，启动 第二电机，使陶瓷盘转动90°，重复进行下一次贴片，贴完后，将陶瓷盘取下，测量晶片的平 坦度;本实用新型采用自动化操作，保证了贴片的稳定性和平坦度，提高了产品质量。
[0027] 将经本实用信息贴片后的陶瓷盘与正常贴片后陶瓷盘进行单晶片厚度分布的测 量对比，测量方法如下(测量单位:微米）：
[0028] (1)在晶片上选取5个点，中心点及边缘4个点；
[0029] (2)以陶瓷盘表面为0基准面，测量晶片上选取的点与陶瓷盘表面的高度差，及得 出晶片的厚度；
[0030] (3)计算晶片最大厚度与最低厚度的差值，及得出贴片的平坦度值。
[0031]测量数据如下：
[0033] 从数据分析，该新型贴片明显比正常贴片工艺平坦度值要好。
[0034] 这里本实用新型的描述和应用是说明性的，并非想将本实用新型的范围限制在上 述实施例中，因此，本实用新型不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均 在本实用新型保护的范围内。
【主权项】
1. 一种蓝宝石6寸晶片贴片装置，其特征为，包括底板、压片机构、真空吸盘机构、转盘 机构和PLC控制器； 所述压片机构包括压片支撑柱、可调行程气缸和压片，截面为倒L形结构的压片支撑柱 固定在底板上，可调行程气缸固定在压片支撑柱的顶部，压片固定在可调行程气缸的推杆 上，所述压片为圆台形结构； 所述真空吸盘机构包括第一转轴支撑座、轴承座、第一转轴、压杆、真空吸盘、真空栗、 抽真空管、第一主动齿轮、第一从动齿轮、第一电机，所述第一转轴支撑座的数量为两个，相 互对称的固定在底板上，每个第一转轴支撑座上固定一个轴承座，第一转轴可旋转的固定 在两个轴承座之间，第一从动齿轮固定在第一转轴一端，压杆一端固定在第一转轴上，另一 端上设有真空吸盘，真空栗固定在底板上，真空吸盘与真空栗之间通过抽真空管相连接，所 述第一主动齿轮固定在第一电机上，第一主动齿轮与第一从动齿轮相啮合； 所述转盘机构包括圆形的陶瓷盘、第二转轴、第二主动齿轮、第二从动齿轮、第三从动 齿轮、第四从动齿轮、传动杆、第二电机，所述陶瓷盘通过第二转轴固定在底板上，第四从动 齿轮固定在第二转轴上，传动杆的两端分别固定第二从动齿轮和第三从动齿轮，第二主动 齿轮固定在第二电机上，所述第二主动齿轮与第二从动齿轮相啮合，第三从动齿轮与第四 从动齿轮相啮合； 所述真空吸盘机构和压片机构分别设置在转盘机构的两侧，陶瓷盘上设有四个圆形结 构的贴片工位，压片机构的压片位于其中一个贴片工位的上方，在压片机构中，压杆的长度 为L1，第一转轴与其相邻的贴片工位的圆心之间的距离为L2，L1=L2; 所述第一电机、第二电机、真空栗、可调行程气缸分别与PLC控制器相连接。2. 如权利要求1所述的一种蓝宝石6寸晶片贴片装置，其特征为，所述轴承座的外壁上 水平的设有一个限位挡板，第一转轴上设有限位杆，限位挡板与限位杆相互配合起限位作 用。
【文档编号】B28D5/00GK205674382SQ201620529028
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月3日 公开号201620529028.9, CN 201620529028, CN 205674382 U, CN 205674382U, CN-U-205674382, CN201620529028, CN201620529028.9, CN205674382 U, CN205674382U
【发明人】陆昌程, 孙敦陆, 王禄宝
【申请人】江苏吉星新材料有限公司