一种用于工艺用水的供水平衡系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及供水系统设计的技术领域，尤其涉及一种用于半导体及光能元件生产工厂的工艺用水的供水平衡系统。
【背景技术】
[0002]现有的大型半导体及光能元件生产制造型工厂，在生产芯片及元件的过程中，需要根据相应的生产机台的要求对进水的温度流量及压力进行严格的控制，以便能够生产出更好品质的芯片及元件产品，由于在生产过程中，同一时间内机台的启停数量不同，总的用水量也不同，因此在传统工艺中会按照所有机台一起运行时的所需的最大用水量进行持续供给，保持工艺用水泵开启到最大工作运行量的状态，但如果当大多数机台停用时，则大流量的将纯水回流到纯水水箱。
[0003]本申请人发现现有的供水系统存在有以下缺点:1、工艺生产过程中纯水输送泵一直需要处于固定的大流量工作状况，消耗电能较大。2、生产过程中的机台开启，一旦遇到用水高峰和低谷期，变化过程太短，骤变的流量会间接影响部分产品质量。3、长期的大流量运行，也会各部件的负荷量，不利于系统的有效时长运行。
[0004]因此，本申请人致力于开发一种可有效节约能源，合理利用水资源，提高系统利用率，以及减少回水量的用于工艺用水的供水平衡系统。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的，就是提出一种可有效节约能源，合理利用水资源，提高系统利用率，以及减少回水量的用于工艺用水的供水平衡系统。
[0006]本实用新型为解决上述技术问题，提供了一种用于工艺用水的供水平衡系统，包括:用于容置纯水的水箱，用于泵送纯水的输送泵，用于调节所述输送泵输出流量的变频器，用于对纯水进行温度调节的热交换器，用于对纯水进行杀菌的杀菌器，用于对纯水进行过滤的终端过滤器，用于对监测供水管道输送压力的压力变送器，用于输出工艺用水的终端用水点，以及用于控制回水管道流量大小的背压阀。
[0007]所述水箱的出水口设置有出水管道，由所述出水管道依次串联所述输送泵、所述热交换器、所述杀菌器和所述终端过滤器，所述终端过滤器通过所述供水管道连接至所述终端用水点，所述回水管道的输入端连接在所述供水管道上，所述回水管道的输出端连接至所述水箱上，所述背压阀设置在所述回水管道上，所述压力变送器设置在所述供水管道上，且所述压力变送器信号连接所述变频器，所述变频器控制连接所述输送泵。
[0008]较佳的，所述杀菌器为紫外线杀菌灯。
[0009]较佳的，本实用新型还包括所述供水平衡系统还包括电气控制柜，所述电气控制柜控制连接所述输送泵、变频器、热交换器、杀菌器、终端过滤器、压力变送器和/或背压阀，通过加设电气控制柜看进一步提高系统的自动化程度。
[0010]较佳的，所述电气控制柜为PLC控制柜。
[0011]综上所述，本实用新型用于工艺用水的供水平衡系统具有如下有益效果:
[0012]本发明人创造性的提供了一种工艺用水供水平衡系统，通过采用输送泵配备相应的变频器，并由压力变送器所收集的信号进行控制的技术，有效的根据实际生产需求，对供水水量进行调节，并有效的降低设备实际运行功率。不仅避免了后续部件的持续高负荷运行状况，还降低了单位时间内的有效工作电能耗，进而节省了相应的运营成本。同时，本实用新型还在回水管道上设置了相应的背压阀，能够智能地根据管内压力进行回水的水量调节，使得终端用水点在使用高峰与低谷的瞬间，能够智能的随时开启。
[0013]可见，本实用新型利用背压阀与变频器的配合设计，能够实现供水系统工况较为稳定的变化，避免出现供水大幅度波动的情况，大大提供了系统的稳定性，节约能源，合理利用水资源，提高系统利用率，以及减少回用率，尤其适合应用在大型半导体及光能元件生产制造型工厂上，实现生产产量、质量的进一步提高。
【附图说明】
[0014]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明:
[0015]图1为具体实施例用于工艺用水的供水平衡系统的结构示意图。
[0016]附图标号说明:
[0017]水箱1，输送泵2，变频器3，热交换器4，紫外线杀菌灯5，终端过滤器6，压力变送器7，终端用水点8，背压阀9。
【具体实施方式】
[0018]如图1所示，本实施例公开了一种用于工艺用水的供水平衡系统，包括:用于容置纯水的水箱1，用于泵送纯水的输送泵2，用于调节输送泵2输出流量的变频器3，用于对纯水进行温度调节的热交换器4，用于对纯水进行杀菌的紫外线杀菌灯5，用于对纯水进行过滤的终端过滤器6，用于对监测供水管道输送压力的压力变送器7，用于输出工艺用水的终端用水点8，以及用于控制回水管道流量大小的背压阀9。
[0019]如图1所不，本实施例的水箱I的出水口设置有出水管道(图中未标出)，由所述出水管道依次串联输送泵2、热交换器4、紫外线杀菌灯5和终端过滤器6，终端过滤器6通过供水管道(图中未标出)连接至终端用水点8，所述回水管道(图中未标出)的输入端连接在供水管道上，所述回水管道的输出端连接至水箱I上，背压阀9设置在所述回水管道上，压力变送器7设置在所述供水管道上，且压力变送器7信号连接变频器3，变频器3控制连接输送泵2。
[0020]在本【具体实施方式】中，本实施例涉及的管道、水箱、输送泵、变频器、热交换器、紫外线杀菌灯、终端过滤器、压力变送器和/或背压阀等部件可以直接进行外购使用，此处不再赘述。
[0021]示例性的，将本实施例的用于工艺用水的供水平衡系统应用在半导体及光能元件生产工厂中，具体应用情况如下:
[0022]根据工厂机台的用水需要，将本实施例的各终端用水点对应连接至各机台上。在生产过程中，同一时间内机台的启停数量不同，总的用水量也不同，本实施例的供水平衡系统通过输送泵将水箱的水泵送至终端用水点上供各机台使用，泵送过程中依次通过热交换器调整水温、杀菌器杀菌和终端过滤器过滤，并且由压力变压器对供水管道输出压力进行监测，并实时反馈信号至变频器上，对输送泵的输出流量进行调节，根据实际机台用水工况调节了输送泵的工作流量，有效降低了电能消耗，减少了不必要的能量损耗，同时也避免长时间持续的高负荷工作。同时，对于多余未用完的纯水通过回水管道回流至水箱内循环使用，并且在回流管道上设置机械式的背压阀，实现在不需要电气供给的情况下，能够智能地根据管内压力进行回水的水量调节，使得机台在使用高峰与低谷的瞬间，能够智能的随时开启。
[0023]在半导体及光能元件生产工厂中，进行如上供水平衡系统的改进，大大缩短了生产过程中高峰和低谷期的供水波动缓冲时间，使得生产效率得到大大的提高，生产产品质量也增加了稳定性。
[0024]作为本实施例的进一步实施方式，本实施例还可以包括所述供水平衡系统还包括电气控制柜(图中未示出)，所述电气控制柜控制连接所述输送泵、变频器、热交换器、杀菌器、终端过滤器、压力变送器和/或背压阀，通过加设电气控制柜看进一步提高系统的自动化程度。示例性的，所述电气控制柜为PLC控制柜。
[0025]以上述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种用于工艺用水的供水平衡系统，其特征在于，包括: 用于容置纯水的水箱， 用于泵送纯水的输送泵， 用于调节所述输送泵输出流量的变频器， 用于对纯水进行温度调节的热交换器， 用于对纯水进行杀菌的杀菌器， 用于对纯水进行过滤的终端过滤器， 用于对监测供水管道输送压力的压力变送器， 用于输出工艺用水的终端用水点，以及 用于控制回水管道流量大小的背压阀； 所述水箱的出水口设置有出水管道，由所述出水管道依次串联所述输送泵、所述热交换器、所述杀菌器和所述终端过滤器，所述终端过滤器通过所述供水管道连接至所述终端用水点，所述回水管道的输入端连接在所述供水管道上，所述回水管道的输出端连接至所述水箱上，所述背压阀设置在所述回水管道上，所述压力变送器设置在所述供水管道上，且所述压力变送器信号连接所述变频器，所述变频器控制连接所述输送泵。
2.如权利要求1所述的用于工艺用水的供水平衡系统，其特征在于:所述杀菌器为紫外线杀菌灯。
3.如权利要求1所述的用于工艺用水的供水平衡系统，其特征在于:所述供水平衡系统还包括电气控制柜，所述电气控制柜控制连接所述输送泵、变频器、热交换器、杀菌器、终端过滤器、压力变送器和/或背压阀。
4.如权利要求3所述的用于工艺用水的供水平衡系统，其特征在于:所述电气控制柜为PLC控制柜。
【专利摘要】本实用新型公开一种用于工艺用水的供水平衡系统，包括：水箱、输送泵、变频器、热交换器、杀菌器、终端过滤器、压力变送器、终端用水点和背压阀，所述水箱的出水口设置有出水管道，由出水管道依次串联输送泵、热交换器、杀菌器和终端过滤器，终端过滤器通过供水管道连接至终端用水点，回水管道的输入端连接在供水管道上，回水管道的输出端连接至水箱上，背压阀设置在回水管道上，压力变送器设置在供水管道上，且压力变送器信号连接变频器，变频器控制连接输送泵。本实用新型能够实现供水系统工况较为稳定的变化，避免出现供水大幅度波动的情况，大大提供了系统的稳定性，节约能源，合理利用水资源，提高系统利用率，以及减少回水量。
【IPC分类】C02F9-08, E03B7-09, E03B7-04, E03B7-07
【公开号】CN204401693
【申请号】CN201420865666
【发明人】郑大强
【申请人】富毅特（上海）环保科技有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2014年12月29日