专利名称：真空吸附载具的制作方法
技术领域：
本发明涉及激光精密设备领域，具体而言，涉及一种真空吸附载具。
背景技术：
激光精密加工技术在半导体、太阳能、SMT、平面显示等领域应用广泛且发展迅速。在使用激光对金属、非金属薄板材进行加工或测量的过程中，加工对象的装夹固定方式对于加工效果或测量精度存在影响。相关的装夹固定方式由于不具有水平度调节的功能，难以满足用户在加工和测量精度方面的需求
发明内容
本发明旨在提供一种真空吸附载具，以解决上述的问题。在本发明的实施例中，提供了一种真空吸附载具，包括吸附气流槽板、安装在其侧面的抽气管、安装在其底部的底座、调节螺杆和调节螺母、与所述吸附气流槽板连接装配的吸附网孔板，以及所述吸附气流槽板与所述吸附网孔板间的连接和密封构件。本发明因为加入了载具水平度调节功能，所以解决了吸附固定板材与激光束的角度调节问题，提高了加工和测量的精度。
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中图I示出了根据本发明实施例的真空吸附载具的上部示意图；图2示出了根据本发明实施例的真空吸附载具的底部示意图。
具体实施例方式下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。图I和图2分别示出了根据本发明实施例的真空吸附载具的上部和底部构造，包括吸附气流槽板I、安装在其侧面的抽气管2、安装在其底部的底座3、调节螺杆4和调节螺母5、与所述吸附气流槽板I连接装配的吸附网孔板6，以及吸附气流槽板I与吸附网孔板6间的连接和密封构件。该真空吸附载具由于增加了水平度调节装置，所以解决了吸附固定板材与激光束的角度调节问题，提高了加工和测量的精度。优选地，底座3通过调节螺杆4连接，安装在吸附气流槽板I的底部；调节螺杆4中安装有调节螺母5。优选地，通过松开调节螺母5，并旋动调节螺杆4，调整工作台表面的水平度(即相对于激光束的垂直度)。
优选地，调节螺杆4共有8个，且于吸附气流槽板I的底部均匀分布。优选地，吸附气流槽板I和吸附网孔板6通过螺钉连接装配，且螺钉孔从下向上安装。优选地，吸附气流槽板I和吸附网孔板6在接缝处密封。优选地，在吸附气流槽板I的各侧面设置多个气压转接头，并通过气管与抽气管2相互连接，以提高吸附力在载具面上的扩散速度和均匀性。优选地，吸附网孔板采用黑色POM材料制作；相对于白色POM材料，其较强的激光吸收性能可提闻材料使用寿命。本系统是一种增加了水平度调节装置的真空吸附载具。将吸附气流槽板和吸附网·孔板通过螺钉进行装配连接，并在接缝处密封。将设置在吸附气流槽板侧面的抽气管与真空泵相连接，由于吸附气流槽板内部分布有气流槽，因此在抽气状态下，吸附力可通过气流槽在载具内部扩散，再通过吸附网孔板传递到载具表面，从而实现对金属或非金属薄板材的吸附。载具底座通过调节螺杆与吸附气流槽板底部相连接。调节螺杆均匀分布在吸附气流槽板的底部，且其中安装有调节螺母。通过松开调节螺母，并旋动调节螺杆，可以对工作台表面的水平度(即相对于激光束的垂直度)进行调节。本真空吸附载具在相关载具基础上，通过引入水平度调节装置，使其功能性和操作性都得到了强化；不仅能够提高加工和测量的精度，而且避免了对薄、脆板材可能造成的损伤。从以上描述可以看出，本真空吸附载具具有以下有益效果I、在保证吸附稳固程度的同时，使吸附更平整、定位更精确；2、角度的配合调节，增强了装置的灵活性，可提高综合加工测量精度，并扩大加工测量范围；3、避免由于角度限制而对材料可能造成的破坏。以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种真空吸附载具，其特征在于，包括吸附气流槽板(I)、安装在其侧面的抽气管(2)、安装在其底部的底座(3)、调节螺杆(4)和调节螺母(5)、与所述吸附气流槽板(I)连接装配的吸附网孔板(6)，以及所述吸附气流槽板(I)与所述吸附网孔板(6)间的连接和密封构件。
2.根据权利要求I所述的真空吸附载具，其特征在于，所述底座(3)通过所述调节螺杆(4)连接，安装在所述吸附气流槽板(I)的底部；且所述调节螺杆(4)中安装有所述调节螺母(5)。
3.根据权利要求2所述的真空吸附载具，其特征在于，所述吸附气流槽板(I)和所述吸附网孔板(6)通过螺钉连接装配；且接缝处密封。
全文摘要
本发明提供了一种真空吸附载具，包括吸附气流槽板、安装在其侧面的抽气管、安装在其底部的底座、调节螺杆和调节螺母、与所述吸附气流槽板连接装配的吸附网孔板，以及所述吸附气流槽板与所述吸附网孔板间的连接和密封构件。该真空吸附载具由于加入水平度调节装置，所以解决了吸附固定板材与激光束的角度调节问题，提高了加工和测量的精度。
文档编号B25B11/00GK102896600SQ201210428929
公开日2013年1月30日 申请日期2012年11月1日 优先权日2012年11月1日
发明者赵春花 申请人:昆山允可精密工业技术有限公司