多层喷淋板安装工装结构及安装方法与流程

本发明涉及一种多层喷淋板安装工装结构，主要应用于半导体镀膜设备中多层喷淋板的安装，是保证各个部件之间同心度及安装时无磕碰、摩擦及接触的工装结构，属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。

背景技术：

随着半导体薄膜制备技术的发展，现今的半导体镀膜工艺已经出现了多种化学源同时使用的情况，这种情况对设备中喷淋板的设计要求就变得及其复杂。为应对多种化学源同时使用又要求气流分布可以控制的要求，现在的喷淋板已经发展出多层多通道结构，而对于多层喷淋板而言各个分层之间的拆卸清洗、安装定位及日常维护，就必须有一种可以方便、准确的进行拆卸、安装及维护的专用工装，以便提高生产效率、保护部件不受损坏、提高部件使用寿命。因此，急需解决在设备部件维护时的拆卸、安装等保护的问题。

技术实现要素：

本发明以解决上述问题为目的，主要解决现有技术中多层喷淋板无专用拆卸、安装工装的技术问题，而提供一种结构简单，操作方便，能适用各种结构多层喷淋板的拆卸、安装及定位保护功能的工装结构。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：多层喷淋板安装工装结构，包括上平板(1)、台阶式导向套(2)及下平板(4)。所述下平板(4)上设有四根导向柱(3)，导向柱(3)与台阶式导向套(2)过渡配合。所述台阶式导向套(2)安装到上平板(1)的四个安装孔中。所述台阶式导向套 (2)的安装部位直径与上平板(1)的安装孔采用过渡配合的方式安装，同理，将导向柱(3)与下平板(4)采用相同的方法安装在一起，且上平板(1)与下平板(4)的安装孔中心距一致。

多层喷淋板安装方法：将多层喷淋板外层部分(5)固定在下平板(4)上，利用下平板(4)的定位销进行精确定位和固定，将多层喷淋板第二层(6)固定在上平板(1)上。所述多层喷淋板第二层(6)利用上平板(1)的定位销进行精确定位和固定。上平板(1)的定位销与下平板(4)的定位销定位关系重合，以保证安装时部件的同心，利用多层喷淋板外层部分(5)固定在下平板(4)上和多层喷淋板第二层(6)固定在上平板(1)上以保证安装时的平稳。将安装有多层喷淋板第二层(6)的上平板(1)台阶式导向套(2)对准下平板(4)上的导向柱(3)并将上平板(1)与台阶式导向套(2)的组合体装入导向柱(3)，利用台阶式导向套(2)与四根导向柱(3)的滑动导向保证两个部件之间安装时的同心、平行、平稳、无接触、无摩擦等要求。将多层喷淋板第二层(6)安装好后，利用同样的方式将多层喷淋板最上层(7)安装至多层喷淋板第二层(6)上。并且可以以此类推将不同层数的喷淋板用同样的方法安装到一起。

本发明的有益效果及特点在于：

使用此工装，单人即可完成多层喷淋板的安装。通过工装可以方便、快捷、准确的进行拆卸、安装及维护，以便提高生产效率、保护部件不受损坏、提高使用寿命。本发明适用于双层或双层以上结构的喷淋板，操作简单，拆卸方便，可广泛应用于半导体镀膜技术领域。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明的具体实施例的示意图。

具体实施方式

实施例

参照图1和图2，多层喷淋板安装工装结构，包括上平板1、台阶式导向套2及下平板4。上述台阶式导向套2采用过渡配合的方式安装在上平板1上，导向柱3同样利用过渡配合的方式安装在下平板4上，将台阶式导向套2与上平板1组成的组合体与导向柱对齐并安装套入后即可实现工装上平板1与下平板4的平行、垂直、同心等要求。

多层喷淋板的具体安装方法：在使用工装时，首先将上平板1与台阶式导向套2的组合体移出翻转放置，将多层喷淋板外层部分5定位安装在下平板4上，将多层喷淋板第二层6定位安装在上平板1上，将上平板1组合体连带定位紧固好的多层喷淋板第二层6一起重新套入导向柱3，这样就可以将多层喷淋板第二层6准确、平稳的安装到多层喷淋板外层部分5上，并且实现安装无磨损、接触。再将多层喷淋板第二层6与上平板1松开后将上平板1组件移出。同样过程再将多层喷淋板最上层7定位安装到上平板1组件上，将上平板1组合体连带定位紧固好的多层喷淋板最上层7一起重新套入导向柱3，这样就可以将多层喷淋板最上层7准确、平稳的安装到多层喷淋板第二层6上并且实现安装无磨损、接触。以此类推，将多层喷淋板的各个叠层以此安装紧固后，移出上平板1组件，将多层喷淋板外层部分5与下平板4之间的固定松开取出喷淋板，即可完成多层喷淋板的安装。

使用此工装拆卸多层喷淋板时，返用上述过程，先将多层喷淋板定位安 装在下平板1上将上平板1组件装入导向柱3并移动到多层喷淋板上表面，使多层喷淋板最上层7与上平板1贴合并紧固，移动上平板1组件将多层喷淋板最上层7拆卸下来，以此类推直至拆卸完成。