流体模块的制作方法

本发明涉及一种流体模块。

背景技术：

工厂等工业设备所使用的机械臂在前端安装焊接器具等各种工具(末端执行器)进行生产作业。作为用来容易更换这种工具的装置，已知有工具更换装置。所述工具更换装置包括安装于机械臂的前端的主盘、及分别安装了各种工具的多个工具盘的组合。各工具盘以可与主盘嵌合的方式形成。工具更换装置通过更换所述工具盘，可容易地更换机械臂的工具。

当在这种机械臂例如安装焊接器具作为工具进行焊接作业的情形时，由于焊枪温度非常高，故而必须从机械臂侧供给冷却水来抑制焊枪的温度上升。因此，在工具更换装置搭载了流体模块。工具更换装置使用所述流体模块从机械臂侧供给冷却水，或者将使用后的冷却水回收(参照例如日本专利特开2016-34681号公报)。

在流体模块中，当在主盘安装了工具盘时，必须在主盘与工具盘之间形成供给及回收冷却水的流路。另外，在流体模块中，当从主盘卸下工具盘时，为了避免冷却水漏出，必须对主盘及工具盘各自的流路进行止水。

为了满足所述要求，先前的流体模块例如包括配设于主盘的主侧单元、及配设于工具盘的工具侧单元。所述先前的流体模块以在主盘安装了工具盘时形成厚度方向(上下方向)上连通的流路(纵流路)的方式构成。另外，在所述先前的流体模块中，当从主盘卸下工具盘时，设置了密封各纵流路的机构，在所述纵流路的厚度方向的外侧设置了用来供给或回收冷却水的开口。

另外，作为所述密封机构，使用止水阀，所述止水阀通过沿着厚度方向在流路内移动来控制流路的密封及密封的解除。所述止水阀以在从主盘卸下工具盘时密封流路的方式运行，依赖于其密封的时机，存在滴液等导致冷却水不可避免地漏出的情形。在所述先前的流体模块中，从开口漏出的冷却水虽然是微量，但因卸下工具盘后收纳时的工具盘的移动或收纳时的工具盘的倾斜等而在工具盘的表面传导移动。结果有所述漏出的冷却水濡湿所搭载的工具而导致发生故障之虞。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2016-34681号公报

技术实现要素：

发明所要解决的问题

本发明是鉴于这种异常而完成，其目的在于提供一种当从主盘卸下工具盘时不可避免地漏出的冷却水不易濡湿搭载于工具盘上的其他工具等的流体模块。

解决问题的技术手段

为了解决所述课题而完成的发明是一种流体模块，搭载于工具更换装置，所述工具更换装置包括：主盘，安装于机械臂；及工具盘，以可拆装的方式安装于所述主盘，安装于工具，所述流体模块包括配设于所述主盘的板状主侧单元、及配设于所述工具盘的板状工具侧单元，所述工具侧单元包括：柱状突出部，从其上表面突出设置；纵流路，在所述突出部的上表面开口，沿着厚度方向延伸；可动构件，配设于所述纵流路内，以可沿着厚度方向移动的方式构成；及施力构件，对所述可动构件向上方施力，所述主侧单元包括：纵流路，在其下表面侧开口，沿着厚度方向延伸；及固定部，当将所述工具盘安装于所述主盘时将所述可动构件相对地推向下方，当将所述工具盘安装于所述主盘时，所述主侧单元的纵流路可与所述工具侧单元的纵流路连通，当从所述主盘卸下所述工具盘时，所述可动构件将所述工具侧单元的纵流路水密地密封，且所述可动构件的上表面位于比所述工具侧单元的上表面更靠下方的位置。

在所述流体模块中，通过以使可动构件的上表面位于比工具侧单元的上表面更靠下方的位置的方式构成，在可动构件将纵流路水密地密封的状态下，在比所述可动构件的上表面更靠上方的位置形成凹部。当从主盘卸下工具盘时，因滴液等而漏出到流路外的少量冷却水掉落到位于下方的工具盘、即工具侧单元侧，因此可储积到所述凹部中。因此，在所述流体模块中，可抑止漏出的冷却水在工具侧单元的上表面传导而濡湿例如搭载于工具盘的其他模块。

构成所述主侧单元的纵流路的侧壁及构成所述工具侧单元的纵流路的侧壁可为树脂制。如上所述，通过将构成所述主侧单元的纵流路的侧壁及构成所述工具侧单元的纵流路的侧壁设为树脂制，可实现轻量化。另外，即使在冷却水含有药剂的情形时也不易发生流路侧壁的溶解，因此耐久性优异。

所述工具侧单元进而包括：横流路，在侧面侧开口，连通于所述工具侧单元的纵流路；及罩，配置于侧面，为金属制且为板状，且所述工具侧单元的横流路的开口配设于所述罩。如上所述，通过在工具侧单元设置横流路，并将所述横流路的开口配设于金属制的罩，容易确保用来连接这些管的强度。

所述工具侧单元可进而包括：金属棒，以其中心轴与所述罩的表面相向的方式埋设于构成所述工具侧单元的纵流路的侧壁中；及螺丝，将所述金属棒及所述罩连结。如上所述，通过将所述罩螺固于埋设于构成工具侧单元的纵流路的侧壁中的金属棒，可使构成纵流路的侧壁不易断裂。因此，容易确保用来连接冷却水的供给管或回收管的强度。再者，所谓“金属棒的中心轴与罩的表面相向”是指金属棒的中心轴与罩的表面平行或者所形成的角度为30°以下的状态。

可为所述工具侧单元进而包括水平方向上可动的浮动部，在所述浮动部配设了所述工具侧单元的纵流路的开口。如上所述，通过在浮动部配设所述工具侧单元的纵流路的开口，当在主盘安装工具盘时，由于工具侧单元的纵流路的开口可沿着水平方向移动，故而可容易地连通工具侧单元的纵流路与主侧单元的纵流路。这里所谓“水平方向”是实质上与所述“厚度方向(上下方向)”正交的方向。

所述工具侧单元的纵流路上端部的内周面可形成为朝向所述纵流路的开口扩径的倒锥形。如上所述，通过将工具侧单元的纵流路上端部的侧周面[内周面]形成为朝向所述纵流路的开口扩径的倒锥形，可容易地以工具侧单元的纵流路与主侧单元的纵流路连通的方式使浮动部移动。

发明的效果

如以上所说明，本发明的流体模块在从主盘卸下工具盘时，不可避免地漏出的冷却水不易濡湿搭载于工具盘上的其他工具等。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的流体模块的主侧单元的示意性立体图。

图2是表示本发明的一实施方式的流体模块的工具侧单元的示意性立体图。

图3是表示配设了图2的工具侧单元的工具盘的示意性立体图。

图4是图1的主侧单元的iv-iv线下的示意性截面图。

图5是图1的主侧单元的v-v线下的示意性截面图。

图6是图2的工具侧单元的vi-vi线下的示意性截面图。

图7是图2的工具侧单元的vii-vii线下的示意性截面图。

图8是表示在主盘安装了工具盘时的图4的主侧单元与图6的工具侧单元的嵌合状态的示意性截面图。

具体实施方式

以下，适当参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。

本发明的一实施方式的流体模块搭载于工具更换装置。

[工具更换装置]

工具更换装置包括：主盘，安装于机械臂；及工具盘，以可拆装的方式安装于所述主盘，供工具安装。通过操作来拆装所述主盘与所述工具盘，由此可在机械臂更换并安装各种工具。

作为工具更换装置的拆装结构，并无特别限定，例如可设为如下结构：所述工具盘在上表面具有插入凹部，所述主盘具有可插入所述插入凹部的筒状部。

[流体模块]

所述流体模块包括图1所示的板状主侧单元1、及图2所示的板状工具侧单元2。主侧单元1配设于所述主盘。另外，工具侧单元2配设于所述工具盘。图3表示将工具侧单元2配设于工具盘t的状态。如上所述，通过利用安装螺丝21将工具侧单元2作为工具之一固定于工具盘t而进行组装，从而将工具盘t整体以盘状构成。对于主侧单元1，同样通过利用安装螺丝11固定于主盘而进行组装，从而将主盘整体以盘状构成。

＜主侧单元＞

如图4所示，主侧单元1包括第一纵流路12、第一横流路13、芯棒14、第一可动构件15、及第一施力构件16。

在主侧单元1中，由第一纵流路12、第一横流路13、芯棒14、第一可动构件15及第一施力构件16构成供给或回收冷却水的流路。所述供给或回收冷却水的流路的配设数可根据必须冷却的工具的种类或数量适当决定。再者，从主盘侧向工具盘侧供给的冷却水通常被回收到主盘侧，因此流路的配设数优选两条以上，更优选偶数条。例如在图1的主盘中构成六条流路。

以下，对主侧单元1的各结构进行详细说明。

(第一纵流路)

第一纵流路12在主侧单元1的下表面侧开口(具有图4的开口12a)，沿着厚度方向延伸。另外，第一纵流路12的下端部12c以其内径小于上端部的内径的方式构成。

在第一纵流路12的上端设置盖17，抑止在第一纵流路12内流动的冷却水从主侧单元1的上表面侧漏出。另外，所述盖17兼作下文所述的芯棒14的固定基座。

盖17优选以可拆装的方式构成。通过以可拆装的方式构成盖17，可容易地进行芯棒14或第一可动构件15的清扫或更换。在所述情形时，主侧单元1在卸下盖17时，主侧单元1的上表面侧、即第一纵流路12的上端开口，下文所述的第一可动构件15可从主侧单元1的上表面侧插入第一纵流路12中。如上所述，通过设置盖17，而无需为了将第一可动构件15插入第一纵流路12而采用例如可将主侧单元1上下分割的结构，而容易将主侧单元1小型化。

另外，盖17也可一体形成于多条流路，但优选如图1所示对一条流路设置一个盖17。如上所述，通过对一条流路设置一个盖17，可独立地进行各流路的维护，因此可提高主侧单元1的维护性。

构成主侧单元1的第一纵流路12的侧壁优选为树脂制。如上所述，通过将侧壁设为树脂制，可实现主侧单元1、甚至所述流体模块的轻量化。另外，即使在冷却水含有药剂的情形时也不易发生流路的侧壁的溶解，因此所述流体模块的耐久性优异。

所述侧壁也可各流路独立地设置，优选如图1所示，兼作下文所述的第一横流路13的侧壁而一体成形。即，主侧单元1优选制成在树脂性本体18设置第一纵流路12及第一横流路13的结构。通过制成这种结构，可将所述流体模块制成小型且使其耐久性优异。

(第一横流路)

第一横流路13在主侧单元1的侧面侧开口(具有图4的开口13a)，与第一纵流路12连通。

第一横流路13的开口13a设置于侧面视下与芯棒14重叠的高度、即相对较低的位置。另外，第一横流路13也可例如从开口13a起向斜下方延伸而与第一纵流路12连通，但优选沿着水平方向延伸而与第一纵流路12连通。如上所述，通过使开口13a就位，使第一横流路13沿着水平方向延伸，而可使主侧单元1变薄。

可为主侧单元1在侧面进而包括金属制且为板状的第一罩19，且将主侧单元1的第一横流路13的开口13a配设于第一罩19。在第一横流路13的开口13a连接冷却水的供给管或回收管。如上所述，通过将主侧单元1的第一横流路13的开口13a配设于金属制的第一罩19，而容易确保用来连接这些管的强度。

将第一罩19固定于主侧单元1的侧面的构造并无特别限定。作为所述固定构造，主侧单元1可进而包括：金属棒31，以其中心轴与第一罩19的表面相向的方式埋设于构成第一纵流路12的侧壁(主侧单元1的树脂制本体18)中；及螺丝32，将金属棒31及第一罩19连结。螺丝32将第一罩19隔着本体18固定于金属棒31。特别是当将主侧单元1的本体18设为轻量的树脂制的情形时，通过如所述那样将第一罩19螺固于埋设于本体18中的金属棒31，可使树脂制本体18不易断裂。因此，容易确保用来连接冷却水的供给管或回收管的所述流体模块的强度。

使用图5对具体的结构例进行说明，但将第一罩19固定于主侧单元1的侧面的构造并不限定于此。如图5所示，金属棒31例如可为圆柱状或角柱状，沿着厚度方向埋设于树脂制本体18中。再者，金属棒31优选与第一罩19的表面平行。

另外，在金属棒31形成有供螺丝32螺合的螺孔31a。螺孔31a优选以螺丝32可从主侧单元1的侧面视下与第一罩19的金属棒31重叠的位置起朝向水平方向螺合的方式形成。进而，螺丝32依序贯通第一罩19及本体18的一部分，前端部与金属棒31的螺孔31a螺合，由此将第一罩19牢固地固定于金属棒31及第一罩19。

相对于一根金属棒31，螺丝32可为一根，也可设为多根(图5中为两根)。通过相对于一根金属棒31而使用多根螺丝32，除了提高第一罩19的固定强度以外，还可抑止第一罩19的例如厚度方向的晃动。

另外，作为金属棒31的埋设数，可为一根，就提高固定强度的观点而言，优选设为多根(图1中为四根)。

(芯棒)

芯棒14的前端从第一纵流路12的开口12a突出。芯棒14以在与第一纵流路12的内侧的侧周面(内周面)12b之间产生空隙的方式，将其另一端(与突出端相反侧的端部)固定于盖17。

芯棒14兼作固定部，当在主盘安装工具盘时，将下文所述的工具侧单元2的第二可动构件26相对地推向下方。因此，芯棒14需要有一定的强度，例如设为金属制。

芯棒14的侧周面与第一纵流路12的侧周面12b之间的空隙是供冷却水流动的流路，因此其粗细根据第一纵流路12的直径或流动的冷却水量等来适当决定。所述流体模块以冷却水在芯棒14的外侧流动的方式构成流路，因此即使第一横流路13在比芯棒14的上端低的位置与第一纵流路12连通，也可确保供冷却水流动的流路。因此，由于所述流体模块可缩短厚度方向的流路，故而可小型化。

芯棒14包括柱状部14a。柱状部14a具有侧周面，当从主盘卸下工具盘时，所述侧周面与第一可动构件15的内周面15b水密地嵌合，且沿着厚度方向延伸。

使用图4对柱状部14a的具体的结构例进行说明，但柱状部14a的结构并不限定于此。如图4所示，柱状部14a以比芯棒14的其他部分粗的方式(横截面面积比芯棒14的其他部分大的方式)形成于芯棒14的前端部。柱状部14a的侧周面在从主盘卸下工具盘的状态(图4的状态)下与第一可动构件15的内周面15b嵌合。另外，在与柱状部14a的外侧的侧周面(外周面)嵌合的第一可动构件15的内周面15b设置了o形环41，将柱状部14a的侧周面与第一可动构件15的内周面15b之间进行水密封。

柱状部14a的侧周面的中心轴方向的长度(厚度方向的长度)以在主盘安装工具盘时通过第一可动构件15的移动使柱状部14a的侧周面成为不与第一可动构件15的内周面15b相接的状态(参照图8)的方式决定。即，柱状部14a的侧周面的中心轴方向的长度以成为通过将工具盘安装于主盘而可从主盘的下表面侧供给或回收冷却水的长度的方式决定。

在所述流体模块中，芯棒14包括具有侧周面的柱状部14a，当从主盘卸下工具盘时，所述侧周面与第一可动构件15的内周面15b水密地嵌合，且沿着厚度方向延伸。即，当从主盘卸下工具盘时，第一可动构件15的内周面15b与柱状部14a的侧周面接触并嵌合。因此，即使冷却水所含的杂质附著于与柱状部14a的侧周面嵌合的第一可动构件15的内周面15b，当第一可动构件15与柱状部14a嵌合时，所述杂质也容易被柱状部14a的侧周面挤出。因此，由于所述流体模块不易在第一可动构件15的内周面15b与柱状部14a的侧周面之间夹着杂质，故而当从主盘卸下工具盘时不易发生由杂质引起的冷却水的漏出。

(第一可动构件)

第一可动构件15是俯视下位于第一纵流路12及芯棒14之间的筒状，将其外周面15a及第一纵流路12的侧周面12b间维持为水密封，并且可沿着厚度方向移动。

第一可动构件15的上端部15c位于比第一纵流路12的下端部12c更靠上方的位置，其外径比第一纵流路12的下端部12c的内径大。因此，通过将第一可动构件15的上端部15c从上方卡在第一纵流路12的下端部12c，而抑止第一可动构件15从主侧单元1向下方掉落。

作为第一可动构件15的外周面15a与第一纵流路12的侧周面12b之间的水密封构造，并无特别限定，例如可如图4那样，设为使用在第一纵流路12的侧周面12b设置的o形环42的结构。

另外，第一可动构件15的内周面15b以上端部的内径大的两段筒状构成，在内径变化的位置可固定下文所述的第一施力构件16的下端。

(第一施力构件)

第一施力构件16对第一可动构件15向下方施力。作为第一施力构件16，例如可如图4那样使用盘簧，以将其上端固定于盖17并围绕芯棒14的方式配设，利用其下端对第一可动构件15的上表面向下方施力。

对第一施力构件16的施加力(盘簧的回复力)进行调整，使其在从主盘卸下工具盘时，可将第一可动构件15的内周面15b固定为与芯棒14的柱状部14a的侧周面水密地嵌合的状态。

＜工具侧单元＞

如图6所示，工具侧单元2包括浮动部22。另外，工具侧单元2在所述浮动部22包括突出部23、第二纵流路24、第二横流路25、第二可动构件26、第二施力构件27、及爪部28。

在工具侧单元2中，由突出部23、第二纵流路24、第二横流路25、第二可动构件26及第二施力构件27构成供给或回收冷却水的流路。当在主盘安装工具盘时，构成于工具侧单元2的流路以分别与在主侧单元1构成的流路连通的方式配设。即，工具侧单元2的流路的配设数与主侧单元1的流路的配设数相同。

以下，对工具侧单元2的各结构进行详细说明。

(浮动部)

浮动部22以沿着水平方向可动的方式构成。

作为浮动部22的可动机构，并无特别限定，例如可如图7那样构成。在图7所示的可动机构中，工具侧单元2包括：螺固件20a，以筒状突出设置于作为工具侧单元2的非可动部的基台20；及螺丝20b，螺合于所述螺固件20a的内侧。另外，浮动部22具有贯通孔22a，所述贯通孔22a可供筒状螺固件20a以覆盖其外周面的方式嵌入。

所述贯通孔22a的内径大于螺固件20a的外径，且小于螺丝20b的头部的外径。如果将贯通孔22a的内径设为这种径，那么贯通孔22a的内径大于螺固件20a的外径，因此在所述径差的范围内浮动部22可沿着水平方向移动。另外，贯通孔22a的内径小于螺丝20b的头部的外径，因此如果将浮动部22嵌入筒状螺固件20a，并用螺丝20b螺固，那么浮动部22对工具侧单元2的厚度方向(上下方向)的移动加以限制，也可抑止浮动部22从基台20脱落。再者，即使用螺丝20b螺固，浮动部22的水平移动也不会被束缚。作为不束缚浮动部22的水平移动的方法，并无特别限定，可列举对螺丝20b的旋入进行调整的方法、或者例如使螺固件20a高于贯通孔22a的表面的方法等。

贯通孔22a的内径与螺固件20a的外径的差可根据所需的可动量来适当决定，例如可设为1mm以上5mm以下。即，作为浮动部22的可动量，优选1mm以上5mm以下。

(突出部)

突出部23为柱状，从工具侧单元2的上表面突出而设置。

突出部23在上表面具有开口23a，构成下文所述的第二纵流路24的开口。如上所述，当在主盘安装工具盘时，构成于工具侧单元2的流路以分别与在主侧单元1构成的流路连通的方式配设，因此突出部23配设于在主盘安装工具盘时与在主侧单元1构成的流路相对应的位置。

(第二纵流路)

第二纵流路24从突出部23的开口23a起沿着厚度方向延伸。即，第二纵流路24在工具侧单元2的上表面侧开口，并沿着厚度方向延伸。

第二纵流路24的内径以可与主侧单元1的第一可动构件15嵌合的方式来决定。另外，在与第一可动构件15嵌合的第二纵流路24的内周面设置有o形环43。通过所述结构，当在主盘安装了工具盘时，工具侧单元2的第二纵流路24与第一可动构件15的外周面水密地嵌合。再者，第一可动构件15被形成于第二纵流路24内周面的下文所述的爪部28向上推，因此第二纵流路24的内周面中与第一可动构件15嵌合的是比爪部28更靠上侧的内周面。因此，o形环43配设于比爪部28更靠上部的位置。

另外，当在主盘安装了工具盘时，工具侧单元2的第二纵流路24通过爪部28将第一可动构件15相对地向上推，且可与主侧单元1的第一纵流路12连通。

如上所述，由于突出部23及第二纵流路24构成于浮动部22，故而工具侧单元2的第二纵流路24的开口23a配设于浮动部22。如上所述，通过将第二纵流路24的开口23a配设于浮动部22，当在主盘安装工具盘时，工具侧单元2的第二纵流路24的开口23a可沿着水平方向移动，因此可容易地将工具侧单元2的第二纵流路24与主侧单元1的第一纵流路12连通。

工具侧单元2的第二纵流路24可为上端部24a的内周面形成为朝向所述第二纵流路24的开口23a扩径的倒锥形。如上所述，通过将上端部24a的内周面形成为倒锥形，工具侧单元2的第二纵流路24可以与主侧单元1的第一纵流路12连通的方式容易地移动浮动部22。

构成工具侧单元2的第二纵流路24的侧壁、即浮动部22优选为树脂制。如上所述，通过将侧壁设为树脂制，可实现工具侧单元2、甚至所述流体模块的轻量化。另外，即使在冷却水含有药剂的情形时也不易发生流路的侧壁的溶解，因此所述流体模块的耐久性优异。

(第二横流路)

第二横流路25在工具侧单元2的侧面侧开口(具有图6的开口25a)，与第二纵流路24连通。

第二横流路25的开口25a设置于侧面视下与工具侧单元2的第二可动构件26重叠的高度、即相对较低的高度位置。另外，第二横流路25例如可从开口25a起向斜上方延伸而与第二纵流路24连通，但优选沿着水平方向延伸而与第二纵流路24连通。如上所述，通过使开口25a位于相对较低的高度位置，将第二横流路25沿着水平方向延伸，可使工具侧单元2变薄。

可为工具侧单元2在侧面进而包括金属制且为板状的第二罩29，工具侧单元2的第二横流路25的开口25a配设于第二罩29。具体而言，第二罩29可配设于浮动部22的侧面。在第二横流路25的开口25a连接冷却水的供给管或回收管。如上所述，通过将工具侧单元2的第二横流路25的开口25a配设于金属制的第二罩29，容易确保用来连接这些管的强度。

将第二罩29固定于工具侧单元2的侧面的构造并无特别限定。作为所述固定构造，工具侧单元2可进而包括：金属棒，以其中心轴与第二罩29的表面相向的方式埋设于构成第二纵流路24的侧壁(树脂制浮动部22)；及螺丝，将金属棒及第二罩29连结。螺丝将第二罩29隔着浮动部22固定于金属棒。特别是当将工具侧单元2的浮动部22设为轻量的树脂制的情形时，通过如所述那样将第二罩29螺固于埋设于浮动部22的金属棒，可使树脂制浮动部22不易断裂。因此，容易确保用来连接冷却水的供给管或回收管的所述流体模块的强度。作为具体的结构，可设为与固定主侧单元1的第一罩19的构造相同的构造。

(第二可动构件)

第二可动构件26配设于第二纵流路24内，可沿着厚度方向移动。当从主盘卸下工具盘时，第二可动构件26将工具侧单元2的第二纵流路24水密地密封，且第二可动构件26的上表面位于比工具侧单元2的上表面更靠下方的位置。这里所谓“工具侧单元2的上表面”是指突出部23周围的面。

作为第二可动构件26的具体结构，第二可动构件26可设为具有头部的柱状，所述头部例如可以从下方密封第二纵流路24的方式与下文所述的爪部28相接。如图6所示，所述头部可设为朝向上方缩径的锥形。通过将所述头部设为锥形，可容易地密封第二纵流路24。作为将第二纵流路24水密地密封的结构，并无特别限定，例如可列举所述头部的锥形部分中与爪部28相接的位置使用o形环44的结构。

另外，第二可动构件26在下表面具有可供下文所述的第二施力构件27插入的凹部。通过将第二施力构件27插入所述凹部，而可将下文所述的第二施力构件27的上端固定。

第二可动构件26在其头部移动到不与爪部28相接的位置的状态(参照图8)下，其外径变得小于第二纵流路24的内径。即，在头部移动到不与爪部28相接的位置的状态下，在第二纵流路24的内周面与第二可动构件26的外周面之间形成供冷却水流动的流路，从第二纵流路24的开口23a供给或回收冷却水。

作为工具侧单元2的上表面与第二可动构件26的上表面的高度位置的差(高低差)的下限，优选1mm，更优选2mm。另一方面，作为所述高低差的上限，优选5mm，更优选4mm。如果所述高低差低于所述下限，那么有如下担忧：所述凹部的容积不足，漏出的冷却水的蓄积效果不够；或为了确保所述凹部的容积，必须增大突出部23的高度，导致工具侧单元2大型化。反之，如果所述高低差超过所述上限，那么有必须延长第二纵流路24而导致工具侧单元2大型化之虞。

(第二施力构件)

第二施力构件27对第二可动构件26向上方施力。作为第二施力构件27，例如可使用盘簧，如图6那样，将其下端固定于设置于第二纵流路24的下端的凹部，利用插入第二可动构件26的下表面的凹部的上端对第二可动构件26施力。

对第二施力构件27的施加力(盘簧的回复力)进行调整，使其在从主盘卸下工具盘时，第二可动构件26的头部从下方与爪部28相接，而可将第二纵流路24固定为水密地密封的状态。

(爪部)

爪部28通过在主盘安装工具盘时与主侧单元1的第一可动构件15抵接，而将第一可动构件15相对地推向上方(参照图8)。另外，爪部28通过如所述那样从上方抵接于第二可动构件26的头部，而将第二纵流路24水密地密封。

如图6所示，爪部28例如在第二纵流路24的内周面全周以向内侧突出的方式设置。爪部28的形状并无特别限定，为了容易将第一可动构件15推向上方，上表面可为水平面。另外，爪部28的下表面可为与第二可动构件26的头部相对应的形状，以便与第二可动构件26的头部相接，而容易密封第二纵流路24。例如当第二可动构件26的头部为朝向上方缩径的锥形的情形时，爪部28的下表面可为以与第二可动构件26的头部的锥角相等的角度朝向上方缩径的锥形。

＜流路的形成＞

如上所述，当在主盘安装了工具盘时，主侧单元1的第一纵流路12与工具侧单元2的第二纵流路24连通，形成将主侧单元1的第一横流路13的开口13a与工具侧单元2的第二横流路25的开口25a连结的流路。使用图8对在主盘安装了工具盘时的流路的形成进行说明。

主侧单元1的芯棒14从第一纵流路12的开口12a突出而被固定。因此，当在主盘安装工具盘时，芯棒14将水密地密封工具侧单元2的第二纵流路24的第二可动构件26相对地推向下方。由此在工具侧单元2的第二横流路25的开口25a与第二纵流路24的开口23a之间形成流路。

另外，当在主盘安装工具盘时，首先将工具盘插入主盘后，主侧单元1的第一可动构件15的外周面15a与工具侧单元2的第二纵流路24的内周面水密地嵌合。由此将主侧单元1的第一纵流路12与工具侧单元2的第二纵流路24水密地连接。

进而插入工具盘后，如图8所示，第一可动构件15以与第二纵流路24的内周面水密地嵌合的状态被爪部28相对地推向上方。当工具盘向主盘的安装结束时，因第一可动构件15的移动，柱状部14a的侧周面成为不与第一可动构件15的内周面15b相接的状态，因此在主侧单元1的第一横流路13的开口13a与第一纵流路12的开口12a之间形成流路。

如以上所述，将主侧单元1的第一纵流路12与工具侧单元2的第二纵流路24水密地连接，分别密封第一纵流路12及第二纵流路24的第一可动构件15及第二可动构件26移动而解除密封，因此形成将主侧单元1的第一横流路13的开口13a与工具侧单元2的第二横流路25的开口25a连结的流路。

再者，当从主盘卸下工具盘时，如图6所示，主侧单元1的芯棒14对工具侧单元2的第二可动构件26的下推被解除。此时，第二可动构件26被第二施力构件27推向上方，以密封第二纵流路24的方式从下方与爪部28相接。

另外，当从主盘卸下工具盘时，工具侧单元2的爪部28对主侧单元1的第一可动构件15的上推被解除。此时，第一可动构件15被第一施力构件16推向下方，第一可动构件15的内周面15b与柱状部14a的侧周面水密地嵌合。由此将第一纵流路12密封。

因此，当在主盘安装了工具盘时，主侧单元1的第一纵流路12与工具侧单元2的第二纵流路24连通，而可在主盘及工具盘间供给及回收冷却水。另一方面，当从主盘卸下工具盘时，第一纵流路12及第二纵流路24分别被密封，而可抑止冷却水漏出。

＜优点＞

在所述流体模块中，在通过使第二可动构件26的上表面位于比工具侧单元2的上表面更靠下方的位置，而第二可动构件26将第二纵流路24水密地密封的状态(参照图6)下，在比所述第二可动构件26的上表面更靠上方的位置形成凹部。当从主盘卸下工具盘时，因滴液等而漏出到流路外的少量冷却水掉落到位于下方的工具盘、即工具侧单元2侧，因此可储积到所述凹部中。因此，在所述流体模块中，可抑止漏出的冷却水在工具侧单元2的上表面传导而濡湿例如搭载于工具盘的其他模块。

[其他实施方式]

本发明并不限定于所述实施方式，除了所述形态以外，还可以施加了各种变更、改良的形态来实施。

在所述实施方式中，已对将金属棒沿着厚度方向埋设于构成主侧单元的纵流路的侧壁的情形进行了说明，但只要金属棒的中心轴与第一罩的表面相向，则其埋设方向并不限定于厚度方向。例如也可将金属棒沿着水平方向埋设。埋设于构成工具侧单元的纵流路的侧壁的金属棒也是同样。

在所述实施方式中，已对芯棒的外周面与第一纵流路的内周面之间的空隙成为供冷却水流动的流路的情形进行了说明，但供冷却水流动的流路并不限定于所述结构。例如也可制成在芯棒的内部设置流路的结构。当为这种流路时，芯棒在下端部具有将冷却水向外部释放或从外部回收的开口，当从主盘卸下工具盘时，将所述开口进行止水，当在主盘安装了工具盘时，将所述开口连结于工具侧单元的第二纵流路。

在所述实施方式中，已对芯棒包括柱状部，且所述柱状部具有外周面，所述外周面在从所述主盘卸下工具盘时与第一可动构件的内周面水密地嵌合，且沿着厚度方向延伸的情形进行了说明，但将第一纵流路水密地密封的机构并不限定于所述柱状部。例如可为与第二纵流路相同的结构。

另外，在所述实施方式中，已对当在主盘安装工具盘时所述芯棒作为将工具侧单元的第二可动构件相对地推向下方的固定部发挥功能的情形进行了说明，但将工具侧单元的第二可动构件相对地推向下方的固定部可不与芯棒兼用，即所述固定部可不同于所述芯棒而另行设置。

另外，在所述实施方式中，已对主侧单元包括第一可动构件的情形进行了说明，但第一可动构件并非必需的结构要件。例如在从工具侧单元向主侧单元供给冷却水的情形时，当被供给的主侧单元处的漏水少的情形时，也可省略第一可动构件。在所述情形时，由于也不需要第一施力构件，故而可一起省略。

在所述实施方式中，已对主侧单元包括第一横流路的情形进行了说明，但第一横流路并非必需的结构要件。例如也可在主侧单元的上表面也设置开口，在主侧单元的上表面的开口与下表面的开口之间设置第一纵流路。

产业上的可利用性

本发明的流体模块在从主盘卸下工具盘时不可避免地漏出的冷却水不易濡湿搭载于工具盘上的其他工具等。

符号的说明

1：主侧单元

11：安装螺丝

12：第一纵流路

12a：开口

12b：侧周面

12c：下端部

13：第一横流路

13a：开口

14：芯棒(固定部)

14a：柱状部

15：第一可动构件

15a：外周面

15b：内周面

15c：上端部

16：第一施力构件

17：盖

18：本体

19：第一罩

2：工具侧单元

20：基台

20a：螺固件

20b：螺丝

21：安装螺丝

22：浮动部

22a：贯通孔

23：突出部

23a：开口

24：第二纵流路

24a：上端部

25：第二横流路

25a：开口

26：第二可动构件

27：第二施力构件

28：爪部

29：第二罩

31：金属棒

31a：螺孔

32：螺丝

41、42、43、44：o形环

t：工具盘。