基板输送装置及其运行方法与流程

本发明涉及基板输送装置及其运行方法。

背景技术：

在无尘室内完成多个处理来制造半导体晶圆。在半导体晶圆的制造中，将半导体晶圆收纳于载体(搬运舱)内来输送。

而且，公知有以检测搬运舱内的晶圆的位置偏移为目的的基板处理装置。例如，在专利文献1中公开有那样的基板处理装置。

专利文献1所公开的基板处理装置具备测绘装置和晶圆位置偏移检测装置。测绘装置和晶圆位置偏移检测装置设置于开闭搬运舱的门的搬运舱开启器的晶圆出入口。

测绘装置具备多组相互对置的一对投光部和受光部。多组投光部和受光部以垂直地排列为梳齿形状的状态配置。而且，在由受光部探测距从投光部投射的光的情况下，判断为未配置晶圆。

晶圆位置偏移检测装置具备多个限定反射型传感器。限定反射型传感器具备投光部和受光部。限定反射型传感器仅将从投光部和受光部到作为检测对象物的晶圆的外周面的规定的距离和宽度作为检测范围。限定反射型传感器构成为在该检测范围内从投光部投光并由受光部接收在晶圆的外周面反射的反射光。

专利文献1：日本特开2012-15530号公报

在专利文献1所公开的基板处理装置中，测绘装置和晶圆位置偏移装置都设置于晶圆出入口附近。因此，存在难以在搬运舱的离晶圆出入口较远的一侧的保持槽(搬运舱的里侧的保持槽)检测晶圆的位置偏移的情况。

在晶圆大型化并且多个晶圆的间隔较小的情况下，即使晶圆不位于搬运舱的里侧的保持槽，晶圆的倾斜角度也很微小。例如，在晶圆的直径为30cm以上、并且多个晶圆的间隔为5～20mm的情况下，该晶圆的倾斜角度很微小。存在通过设置于该晶圆出入口附近的测绘装置和晶圆位置偏移装置难以检测倾斜角度很微小的晶圆的位置偏移的情况。该测绘装置和晶圆位置偏移装置尚有改善的余地。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种能够更准确地检测基板的位置偏移的基板输送装置及其运行方法。

本发明所涉及的基板输送装置从载置有基板的载置台保持并输送上述基板。该基板输送装置具备保持上述基板的机械手、安装有上述机械手的操纵装置、配置于上述机械手并探测距载置于上述载置台的上述基板的主面的距离的第1基板检测器。

优选：上述第1基板检测器是静电电容传感器。

优选：上述第1基板检测器配置于上述机械手的前端部。

优选：该基板输送装置还具备第2基板检测器，该第2基板检测器配置于上述机械手的沿着前后方向的与上述第1基板检测器不同的位置，并探测距上述基板的上述主面的距离。

为了解决上述以往的课题，本发明所涉及的另一基板输送装置是从收纳有多个基板的容器保持并输送上述基板的基板输送装置，其中，上述基板输送装置具备保持上述基板的机械手、操纵装置以及控制装置，在上述机械手的前端部设置有基板检测器，该基板检测器具有朝向上述基板的主面投射光的第1投光部、和接收在上述基板的主面反射的光的第1受光部，上述控制装置构成为：在以使上述机械手进入至上述容器内的方式使操纵装置动作时，使上述基板检测器的上述第1投光部朝向上述基板的主面投射光，并根据上述基板检测器的上述第1受光部是否接收到在上述基板的主面反射的光，判定是否产生了上述基板的位置偏移。

由此，即使在收纳基板的容器的里侧产生了基板的位置偏移，也能够检测该位置偏移。

在本发明所涉及的基板输送装置的运行方法中，该基板输送装置具备保持基板的机械手、安装有上述机械手的操纵装置、以及配置于上述机械手并探测距上述基板的主面的距离的第1基板检测器。

该运行方法包括：(a)准备载置于载置台的上述基板的工序；(b)探测距载置于载置台的上述基板的上述主面的距离的工序；以及(c)通过上述机械手保持上述基板的工序。

优选：在该运行方法的上述工序(b)中，在3个以上的部位探测距上述基板的上述主面的距离。该运行方法还包括：(d)基于在3个以上的部位探测到的距上述基板的上述主面的距离来判定是否通过上述机械手保持上述基板的工序。

优选：在该运行方法的上述工序(b)中，在3个以上的部位探测距上述基板的上述主面的距离。该运行方法还包括：(e)基于在3个以上的部位探测到的距上述基板的上述主面的距离来判定保持上述基板的位置的工序。

优选：在该运行方法的上述工序(b)中，在由上述第1基板检测器求出的距离小于规定的下限值时，使上述机械手的移动路径变更，使得距上述基板的上述主面的距离相隔规定的下限值以上。

优选：在该运行方法中，上述第1基板检测器是静电电容传感器。在该运行方法的上述工序(b)中，判定上述基板的静电电容是否在规定的范围内。

另外，本发明所涉及的另一基板输送装置的运行方法是从收纳有多个基板的容器保持并输送上述基板的基板输送装置的运行方法，其中，上述基板输送装置具备保持上述基板的机械手、操纵装置以及控制装置，在上述机械手的前端部设置有基板检测器，该基板检测器具有朝向上述基板的主面投射光的第1投光部、和接收在上述基板的主面反射的光的第1受光部，上述控制装置构成为：在以使上述机械手进入至上述容器内的方式使操纵装置动作时，使上述基板检测器的上述第1投光部朝向上述基板的主面投射光，并根据上述基板检测器的上述第1受光部是否接收到在上述基板的主面反射的光，判定是否产生了上述基板的位置偏移。

由此，即使在收纳基板的容器的里侧产生了基板的位置偏移，也能够检测该位置偏移。

本发明的上述目的、其他的目的、特征以及优点通过参见附图和以下的优选的实施方式的详细的说明得以明确。

根据本发明所涉及的基板输送装置及其运行方法，与以往的基板处理装置相比，能够更准确地检测基板的位置偏移。

附图说明

图1是示意性地表示本实施方式1所涉及的基板输送装置和具备该基板输送装置的机器人系统的简要结构的侧视图。

图2是示意性地表示图1所示的机器人系统的简要结构的俯视图。

图3是将图1所示的机器人系统的主要部位放大后的示意图。

图4是将图1所示的机器人系统的主要部位放大后的示意图。

图5是表示本实施方式1所涉及的基板输送装置的动作的一个例子的流程图。

图6是表示本实施方式1所涉及的基板输送装置的动作的另一例子的流程图。

图7是表示本实施方式1中的变形例1的基板输送装置的主要部位的简要结构的示意图。

图8是表示本实施方式1中的变形例1的基板输送装置的主要部位的简要结构的示意图。

图9是示意性地表示本实施方式2所涉及的基板输送装置和具备该基板输送装置的机器人系统的简要结构的俯视图。

图10是示意性地表示本实施方式3所涉及的基板输送装置和具备该基板输送装置的机器人系统的简要结构的侧视图。

图11是示意性地表示图10所示的机器人系统的简要结构的俯视图。

图12的(a)是沿着图12的(b)的线段xiia-xiia的机器人系统的容器的剖视图，图12的(b)是沿着图12的(a)的线段xiib-xiib的该容器的剖视图。

图13是表示图10的机器人系统的使用状态的说明图。

图14的(a)是表示图10的机器人系统的另一使用状态的说明图，图14的(b)是表示图10的机器人系统的又一使用状态的说明图，图14的(c)是表示图10的机器人系统的又一使用状态的说明图。

图15的(a)是表示图10的机器人系统的又一使用状态的说明图，图15的(b)是表示图10的机器人系统的又一使用状态的说明图，图15的(c)是表示图10的机器人系统的又一使用状态的说明图。

图16的(a)是表示图10的机器人系统的又一使用状态的说明图，图16的(b)是表示图10的机器人系统的又一使用状态的说明图，图16的(c)是表示图10的机器人系统的又一使用状态的说明图。

图17的(a)是本发明所涉及的另一实施方式的基板输送装置的机械手的俯视图，图17的(b)是沿着图17的(a)的线段xviib-xviib的剖视图。

图18是与基板一起示出了本实施方式4所涉及的基板输送装置的机械手的说明图。

具体实施方式

以下，边参照附图边对本发明的优选的实施方式进行说明。此外，以下在所有的附图中对相同的结构标注相同的附图标记，并省略其重复的说明。另外，在所有的附图中，选取并图示了说明本发明所需的结构，对于其他的结构，存在省略图示的情况。并且，这些结构是本发明的实施方式的一个例子，并不限定于此。

本实施方式1所涉及的基板输送装置是从收纳有多个基板的容器保持并输送基板的基板输送装置，其中，基板输送装置具备保持基板的机械手、操纵装置以及控制装置，在机械手的前端部设置有基板检测器，该基板检测器具有朝向基板的主面投射光的第1投光部、和接收在基板的主面反射的光的第1受光部，控制装置构成为：在以使机械手进入至容器内的方式使操纵装置动作时使基板检测器的第1投光部朝向基板的主面投射光，并根据基板检测器的第1受光部是否接收到在基板的主面反射的光，判定是否产生了基板的位置偏移。

另外，也可以构成为，在本实施方式1所涉及的基板输送装置中，基板检测器构成为：在正常地收纳了基板的状态下，若第1投光部朝向基板的主面投射光，则第1受光部会接收在基板的主面反射的光，控制装置构成为：在以使机械手进入至容器内的方式使操纵装置动作时，使基板检测器的第1投光部朝向基板的主面投射光，在基板检测器的第1受光部未接收到在基板的主面反射的光的情况下，判定为产生了基板的位置偏移。

另外，也可以构成为，在本实施方式1所涉及的基板输送装置中，基板检测器构成为：在正常地收纳了基板的状态下，若第1投光部朝向基板的主面投射光，则第1受光部会接收在基板的主面反射的光，控制装置构成为：在以使机械手进入至容器内的方式使操纵装置动作时，使基板检测器的第1投光部朝向基板的主面投射光，在基板检测器的第1受光部接收到在基板的主面反射的光的情况下，判定为未产生基板的位置偏移。

另外，也可以构成为，在本实施方式1所涉及的基板输送装置中，基板检测器构成为：在正常地收纳了基板的状态下，若第1投光部朝向基板的主面投射光，则第1受光部不会接收在基板的主面反射的光，控制装置构成为：在以使机械手进入至容器内的方式使操纵装置动作时，使基板检测器的第1投光部朝向基板的主面投射光，在基板检测器的第1受光部接收到在基板的主面反射的光的情况下，判定为产生了基板的位置偏移。

另外，也可以构成为，在本实施方式1所涉及的基板输送装置中，基板检测器构成为：在正常地收纳了基板的状态下，若第1投光部朝向基板的主面投射光，则第1受光部会接收在基板的主面反射的光，控制装置构成为：在以使机械手进入至容器内的方式使操纵装置动作时，使基板检测器的第1投光部朝向基板的主面投射光，在基板检测器的第1受光部未接收到在基板的主面反射的光的情况下，判定为未产生基板的位置偏移。

另外，也可以构成为，在本实施方式1所涉及的基板输送装置中，基板检测器构成为：在基板的主面位于作为比第1距离小的距离的第2距离的位置时，第1受光部会接收在基板的主面反射的光，控制装置构成为：在以使机械手进入至容器内的方式使操纵装置动作时，使基板检测器的第1投光部朝向基板的主面投射光，在基板检测器的第1受光部接收到在基板的主面反射的光的情况下，判定为产生了基板的位置偏移。

另外，也可以构成为，在本实施方式1所涉及的基板输送装置中，基板检测器构成为：在基板的主面位于作为比第1距离小的距离的第2距离的位置时，第1受光部会接收在基板的主面反射的光，控制装置构成为：在以使机械手进入至容器内的方式使操纵装置动作时，使基板检测器的第1投光部朝向基板的主面投射光，在基板检测器的第1受光部未接收到在基板的主面反射的光的情况下，判定为未产生基板的位置偏移。

另外，也可以构成为：在本实施方式1所涉及的基板输送装置中，基板检测器构成为第1投光部朝向上方投射光。

另外，也可以构成为，在本实施方式1所涉及的基板输送装置中，控制装置构成为：在判定为产生了基板的位置偏移的情况下，停止操纵装置的动作。

并且，也可以构成为，在本实施方式1所涉及的基板输送装置中，控制装置构成为：在判定为产生了基板的位置偏移的情况下，以机械手从容器退避的方式使操纵装置动作。

以下，边参照图1～图6边对本实施方式1所涉及的基板输送装置的一个例子进行说明。

[基板输送装置的结构]

图1是示意性地表示本实施方式1所涉及的基板输送装置和具备该基板输送装置的机器人系统的简要结构的侧视图。图2是示意性地表示图1所示的机器人系统的简要结构的俯视图。

此外，在图1中，将基板输送装置中的前后方向和上下方向表示为附图中的前后方向和上下方向。另外，在图2中，将基板输送装置中的前后方向表示为附图中的前后方向。

如图1和图2所示，本实施方式1所涉及的机器人系统100具备基板输送装置101、和收纳基板1的容器102。作为容器102，例如可以是foup(frontopeningunifiedpod-前开式晶圆传送盒)，也可以是石英舟皿。

另外，基板1例如也可以是成为半导体基板和玻璃基板等半导体设备的基板的材料的圆形的薄板。作为半导体基板，例如也可以是硅基板、蓝宝石(单晶氧化铝)基板、其他的各种基板等。作为玻璃基板，例如也可以是fpd(flatpaneldisplay-平板显示器)用玻璃基板、mems(microelectromechanicalsystems-微电子机械系统)用玻璃基板等。

基板输送装置101构成为：具备机械手20、操纵装置30、以及控制装置70，并由机械手20保持并输送在容器102内收纳的基板1。

此外，以下，作为操纵装置30，对水平多关节机器人的结构进行说明，但操纵装置30并不限定于水平多关节机器人，也可以是基于垂直多关节机器人的装置。

操纵装置30具备壳体50、多个臂(这里为第1臂32和第2臂34)、升降部件40、第1连接部31、第2连接部33以及第3连接部35。

在壳体50的上部设置有升降部件40。另外，在壳体50的内部配置有直动致动器41和控制装置70。此外，控制装置70也可以设置于壳体50的外部。另外，对于控制装置70进行后述。

直动致动器41构成为能够使升降部件40升降(能够在上下方向上移动)。作为直动致动器41，例如可以使用电动马达(伺服马达)和滚珠丝杠、线性引导件、或者齿轮齿条等，也可以使用气缸等。

此外，也可以在壳体50的内部配置有检测电动马达的旋转位置并向控制装置70输出的旋转传感器、和检测控制驱动马达的旋转的电流的电流传感器等。

在升降部件40，经由第1连接部31，绕着通过升降部件40的轴心的旋转轴l1可转动地连接有第1臂32的基端部。具体而言，在升降部件40，例如配置有用于旋转第1臂32的驱动马达、和检测驱动马达的旋转位置的旋转传感器等。此外，驱动马达等也可以配置于第1臂32。

在第1臂32的前端部，经由第2连接部33，绕着旋转轴l2可旋转地连接有第2臂34的基端部。具体而言，在第1臂32，例如配置有用于旋转第2臂34的驱动马达、和检测驱动马达的旋转位置的旋转传感器等。此外，驱动马达等也可以配置于第2臂34。

另外，在第2臂34的前端部，经由第3连接部35，绕着旋转轴l3可旋转地连接有机械手20。在第2臂34，例如配置有用于使机械手20旋转的驱动马达、和检测驱动马达的旋转位置的旋转传感器等。

机械手20具有主体部21和爪部22。从上方观察，主体部21形成为大致y字状，具有一对指部21a、21b。在指部21a、21b的前端部和基端部分别设置有爪部22。爪部22构成为：从水平方向观察，形成为l字状(铅垂方向的剖面形成为l字状)，并在其底部载置基板1。此外，机械手20也可以如抓边机械手或者吸附机械手那样为机械手20与基板1不相对位移的构造。

另外，在主体部21中的指部21a、21b的前端部分别配设有基板检测器60。基板检测器60构成为：具有第1投光部61和第1受光部62，从第1投光部61投射的光在基板1的主面反射，由第1受光部62接收反射的光，并将受光的有无信息向控制装置70输出。

此外，在本实施方式1中，第1投光部61构成为朝向上方(朝向基板1的下表面)投射光。

这里，边参照图3和图4边对基于基板检测器60的受光的有无更详细地进行说明。

图3和图4是将图1所示的机器人系统的主要部位放大后的示意图。在图3中示出了构成为在将基板1正常地收纳于容器102的情况下第1受光部62接收在基板1的主面反射的光的基板检测器60。在图4中示出了构成为在将基板1正常地收纳于容器102的情况下第1受光部62不接收在基板1的主面反射的光的基板检测器60。

此外，控制装置70通过由工作人员进行的示教、和/或由控制装置70进行的自动示教以主体部21的上表面位于离基板1的下表面预先设定好的规定的第1距离h1的下方的方式示教基板输送装置101的动作。第1距离h1只要小于相邻的基板1、1之间的距离即可，能够任意地设定。

如图3所示，基板检测器60构成为：在将基板1正常地收纳于容器102内的情况下第1受光部62接收在基板1的主面反射的光。换言之，基板检测器60构成为：在基板1的主面位于第1距离h1时，第1受光部62接收在基板1的主面反射的光。

而且，如图3的点划线所示，若基板1在容器102的里侧(基板输送装置101的前方侧)产生位置偏移，则第1受光部62不能接收在基板1的主面反射的光。

另一方面，如图4所示，基板检测器60构成为：在未将基板1正常地收纳于容器102内的情况下，即在产生了位置偏移的情况下，第1受光部62接收在基板1的主面反射的光。换言之，基板检测器60构成为：在基板1的主面位于比第1距离h1小的第2距离h2的位置时，第1受光部62接收在基板1的主面反射的光。

而且，如图4的点划线所示，对于基板检测器60而言，在将基板1正常地收纳于容器102内的情况下，第1受光部62不能接收在基板1的主面反射的光。

因此，控制装置70能够根据基板检测器60的第1受光部62是否接收了反射的光来判定是否产生了基板1的位置偏移。

此外，在本实施方式1中，采用了基板检测器60配设于指部21a、21b双方的形态，但并不局限于此，也可以采用配设于指部21a、21b的任意一方的形态。

另外，也可以采用以下形态，即，在指部21a、21b的任意一方的指部配设有具有在正常地收纳了基板1的情况下能够接收反射的光的第1受光部62的基板检测器60，在另一指部配设有具有在正常地收纳了基板1的情况下不能接收反射的光的第1受光部62的基板检测器60。

控制装置70具备微处理器、cpu等运算器、和rom、ram等存储器(均未图示)。在存储器存储有基本程序、各种固定数据等信息。运算器通过读出并执行在存储器存储的基本程序等软件来控制机器人系统100的各种动作。

此外，控制装置70可以由进行集中控制的单独的控制装置70构成，也可以由相互配合来进行分散控制的多个控制装置70构成。另外，控制装置70可以由微型计算机构成，也可以由mpu、plc(programmablelogiccontroller-可编程逻辑控制器)、逻辑电路等构成。

[基板输送装置的动作及其作用效果]

接下来，边参照图1～图6边对本实施方式1所涉及的基板输送装置101的动作及其作用效果进行说明。

图5是表示本实施方式1所涉及的基板输送装置的动作的一个例子的流程图。在图5中示出配设有具有在正常地收纳了基板1的情况下能够接收反射的光的第1受光部62的基板检测器60的情况下的流程图。

首先，从操作人员经由未图示的输入装置向控制装置70输入表示执行把持并输送在容器102内配置的基板1的作业的指示信息。

这样，如图5所示，控制装置70使操纵装置30动作，使机械手20移动至位于容器102的前方(步骤s101)。接着，控制装置70以使机械手20进入至容器102内的方式使操纵装置30动作(步骤s102)。此时，控制装置70判定是否从基板检测器60取得了作为表示第1受光部62接收到在基板1反射的光这一情况的信息的受光信息(步骤s103)。

在判定为从基板检测器60取得了受光信息的情况下(在步骤s103中为是)，控制装置70判定为正常地收纳了基板1(步骤s104)。接着，控制装置70以将基板1保持于机械手20的方式使操纵装置30动作(步骤s105)。

接下来，控制装置70使操纵装置30动作，将基板1向预先设定好的规定的场所输送，使该基板1载置于规定的场所(步骤s106)，并结束本程序。

另一方面，当在步骤s103中判定为未从基板检测器60取得受光信息的情况下(在步骤s103中为否)，控制装置70判定为未正常地收纳基板1(步骤s107)。接着，控制装置70使机械手20的容器102内的侵入停止(步骤s108)。具体而言，控制装置70使操纵装置30的动作停止。

接下来，控制装置70以机械手20向容器102外移动的方式使操纵装置30动作(步骤s109)，并结束本程序。此外，控制装置70也可以通过未图示的报告器向工作人员等报告未正常地收纳基板1这一情况。作为报告器，例如也可以使用显示器等显示装置、扬声器、警报器等。

图6是表示本实施方式1所涉及的基板输送装置的动作的另一例子的流程图。在图6中示出配设有具有在正常地收纳基板1的情况下不能接收反射的光的第1受光部62的基板检测器60的情况下的流程图。

首先，从操作人员经由未图示的输入装置向控制装置70输入表示执行把持并输送在容器102内配置的基板1的作业的指示信息。

这样，如图6所示，控制装置70使操纵装置30动作，使机械手20移动至位于容器102的前方(步骤s201)。接着，控制装置70以使机械手20进入至容器102内的方式使操纵装置30动作(步骤s202)。此时，控制装置70判定是否从基板检测器60取得了作为表示第1受光部62接收到在基板1反射的光这一情况的信息的受光信息(步骤s203)。

在判定为从基板检测器60取得了受光信息的情况下(在步骤s203中为是)，控制装置70判定为未正常地收纳基板1(步骤s204)。接着，控制装置70使机械手20的容器102内的侵入停止(步骤s205)。具体而言，控制装置70使操纵装置30的动作停止。

接下来，控制装置70以机械手20向容器102外移动的方式使操纵装置30动作(步骤s206)，并结束本程序。此外，控制装置70也可以通过未图示的报告器向工作人员等报告未正常地收纳基板1这一情况。作为报告器，例如也可以使用显示器等显示装置、扬声器、警报器等。

另一方面，当在步骤s203中判定为未从基板检测器60取得受光信息的情况下(在步骤s203中为否)，控制装置70判定为正常地收纳了基板1(步骤s207)。接着，控制装置70以将基板1保持于机械手20的方式使操纵装置30动作(步骤s208)。

接下来，控制装置70使操纵装置30动作，将基板1向预先设定好的规定的场所输送，使该基板1载置于规定的场所(步骤s209)，并结束本程序。

在这样构成的本实施方式1所涉及的基板输送装置101中，构成为：在控制装置70以使机械手20进入至容器102内的方式使操纵装置30动作时，使基板检测器60的第1投光部61朝向基板1的主面投射光，并根据基板检测器60的第1受光部62是否接收到在基板1的主面反射的光来判定是否产生了基板1的位置偏移。

由此，即使是在容器102的里侧产生了基板1的位置偏移那样的情况，也能够检测其位置偏移。

特别是在基板1大型化(例如，直径为30cm)、另外邻接的基板1、1之间的距离较小的情况下(例如，基板1、1之间的距离为6～20mm)，由基板1的位置偏移引起的倾斜角度很微小。因此，在容器102的近前侧(与基板输送装置101靠近的一侧)，与正常地收纳的状态时相比，基板1的外周面(侧面)的位置几乎没有改变(参照图3和图4)。

因此，如上述专利文献1所公开的基板处理装置那样，即使在容器102的近前侧的部分执行基板1的位置检测，也难以检测该位置偏移。

另一方面，如上述那样，在本实施方式1所涉及的基板输送装置101中，控制装置70在使机械手20进入至容器102内时根据基板检测器60的第1受光部62是否接收到在基板1的主面反射的光来判定是否产生了基板1的位置偏移。

因此，与上述专利文献1所公开的基板处理装置相比，即使是在容器102的里侧产生了基板1的位置偏移那样的情况，也能够检测其位置偏移。

[变形例1]

接下来，边参照图7和图8边对本实施方式1所涉及的基板输送装置101的变形例进行说明。

在本实施方式1中的变形例1的基板输送装置中，构成为：基板检测器的第1投光部朝向下方投射光。

图7和图8是表示本实施方式1中的变形例1的基板输送装置的主要部位的简要结构的示意图。在图7中示出了构成为在将基板1正常地收纳于容器102的情况下第1受光部62接收在基板1的主面反射的光的基板检测器60。在图8中示出了构成为在将基板1正常地收纳于容器102的情况下第1受光部62不接收在基板1的主面反射的光的基板检测器60。

此外，与实施方式1相同，控制装置70通过由工作人员进行的示教、和/或由控制装置70进行的自动示教以主体部21的上表面位于离基板1的下表面预先设定好的规定的第1距离h1的下方的方式示教基板输送装置101的动作。另外，将在主体部21的上表面位于离基板1的下表面第1距离h1的下方时主体部21的下表面与位于该主体部21的下方的基板1的上表面之间的距离定义为第3距离h3。

如图7和图8所示，本变形例1的基板输送装置101的基本的结构与实施方式1所涉及的基板输送装置101相同，但构成为基板检测器60的第1投光部61朝向下方(朝向基板1的上表面)投射光这一点不同。

在图7中，基板检测器60构成为：在将基板1正常地收纳于容器102内的情况下，第1受光部62接收在基板1的主面反射的光。基板检测器60构成为：在基板1的主面位于第3距离h3时，第1受光部62接收在基板1的主面反射的光。

而且，如图7的点划线所示，若基板1在容器102的里侧(基板输送装置101的前方侧)产生位置偏移，则第1受光部62不能接收在基板1的主面反射的光。

另一方面，如图8所示，基板检测器60构成为：在未将基板1正常地收纳于容器102内的情况下，即在产生了位置偏移的情况下，第1受光部62接收在基板1的主面反射的光。换言之，基板检测器60构成为：在基板1的主面位于比第3距离h3小的第4距离h4的位置时，第1受光部62接收在基板1的主面反射的光。

而且，如图8的点划线所示，在将基板1正常地收纳于容器102内的情况下，基板检测器60的第1受光部62不能接收在基板1的主面反射的光。

即使是这样构成的本变形例1的基板输送装置101，也起到与实施方式1所涉及的基板输送装置101相同的作用效果。

(实施方式2)

在实施方式1所涉及的基板输送装置的基础上，本实施方式2所涉及的基板输送装置在机械手的前端部设置有测绘装置，上述测绘装置具有在水平方向上投射光的第2投光部、和接收从第2投光部投射的光的第2受光部，控制装置构成为：从测绘装置取得第2受光部未探测到从第2投光部投射的光的位置信息作为基板的位置信息，基于从测绘装置取得的基板的位置信息，以机械手位于离基板的下表面预先设定好的第1距离的下方的方式使操纵装置动作。

另外，也可以构成为，在本实施方式2所涉及的基板输送装置中，基板检测器构成为：在基板的主面位于作为比第1距离小的距离的第2距离的位置时，第1受光部接收在基板的主面反射的光，控制装置构成为：在以使机械手进入至容器内的方式使操纵装置动作时，使基板检测器的第1投光部朝向基板的主面投射光，在基板检测器的第1受光部接收到在基板的主面反射的光的情况下，判定为产生了基板的位置偏移。

并且，也可以构成为，在本实施方式2所涉及的基板输送装置中，基板检测器构成为：在基板的主面位于作为比第1距离小的距离的第2距离的位置时，第1受光部接收在基板的主面反射的光，控制装置构成为：在以使机械手进入至容器内的方式使操纵装置动作时，使基板检测器的第1投光部朝向基板的主面投射光，在基板检测器的第1受光部未接收到在基板的主面反射的光的情况下，判定为未产生基板的位置偏移。

以下，边参照图9边对本实施方式2所涉及的基板输送装置的一个例子进行说明。

[基板输送装置的结构]

图9是示意性地表示本实施方式2所涉及的基板输送装置、和具备该基板输送装置的机器人系统的简要结构的俯视图。此外，在图9中示出了基板输送装置中的前后方向作为附图中的前后方向。

如图9所示，本实施方式2所涉及的基板输送装置101的基本的结构与实施方式1所涉及的基板输送装置101相同，但在主体部21的前端部设置有测绘装置80这一点不同。

测绘装置80具有在水平方向上投射光的第2投光部81、和接收从第2投光部81投射的光的第2受光部82。第2投光部81配置于主体部21的指部21a，第2受光部82配置于主体部21的指部21b。换言之，第2投光部81和第2受光部82配置成对置。

另外，测绘装置80构成为：向控制装置70输出第2受光部82未探测到从第2投光部81投射的光的位置信息作为基板1的位置信息。由此，控制装置70能够更准确地取得基板1的位置信息。

控制装置70构成为：基于从测绘装置80取得的基板1的位置信息，以机械手20位于离基板1的下表面第1距离h1的下方的方式使操纵装置30动作。由此，与实施方式1所涉及的基板输送装置101相比，控制装置70能够更准确地使机械手20位于离基板1的下表面第1距离h1的下方。

此外，本实施方式2所涉及的基板输送装置101的动作与实施方式1所涉及的基板输送装置101的动作相同，因此省略其详细的说明。

即使是这样构成的本实施方式2所涉及的基板输送装置101，也起到与实施方式1所涉及的基板输送装置101相同的作用效果。

(实施方式3)

如图10和图11所示，机器人系统200具备基板输送装置201、和作为载置台的容器112。在该机器人系统200中，通过在该容器112收纳基板1来在载置台载置基板1。作为容器112，例如可以是foup(frontopeningunifiedpod)，也可以是石英舟皿。

图10的左右方向和上下方向表示基板输送装置201的前后方向和上下方向。另外，图11的左右方向表示基板输送装置201的前后方向。图11的上下方向向下表示基板输送装置201的左右方向向左。

基板1例如是半导体基板和玻璃基板等半导体设备的基板。该基板1例如是圆形的薄板。该基板1具备一对圆形的主面1a、1b、和主面1a与主面1b之间的外周面1c。该基板1是薄板状即可，例如也可以是多边形的薄板。作为半导体基板，例示硅基板、蓝宝石(单晶氧化铝)基板、其他的各种基板等。作为玻璃基板，例示fpd(flatpaneldisplay)用玻璃基板、mems(microelectromechanicalsystems)用玻璃基板等。

基板输送装置201具备机械手120、操纵装置30以及控制装置70。基板输送装置201通过机械手120保持在容器112内收纳的基板1。机械手120安装于操纵装置30。通过用该操纵装置30使机械手120移动来输送基板1。在图10中，在机械手120保持有基板1。

此外，以下，作为操纵装置30，对水平多关节机器人的结构进行说明。然而，本发明所涉及的操纵装置30并不限定于水平多关节机器人。该操纵装置30也可以是基于垂直多关节机器人的装置。

操纵装置30具备多个臂(这里为第1臂32和第2臂34)、第1连接部31、第2连接部33，第3连接部35、升降部件40以及壳体50。

在壳体50的上部设置有升降部件40。升降部件40能够相对于壳体50在上下方向上移动。另外，在壳体50的内部配置有直动致动器41和控制装置70。此外，控制装置70也可以设置于壳体50的外部。

直动致动器41能够使升降部件40升降(能够在上下方向上移动)。作为直动致动器41，例如也可以使用驱动马达(伺服马达)和滚珠丝杠、线性引导件、或者齿轮齿条等，也可以使用气缸等。

此外，也可以在壳体50的内部配置有检测该驱动马达的旋转位置并向控制装置70输出的旋转传感器、和检测控制驱动马达的旋转的电流的电流传感器等。

在升降部件40，经由第1连接部31连接有第1臂32的基端部。第1臂32能够绕着旋转轴l1转动。旋转轴l1通过升降部件40的轴心并在上下方向上延伸。在升降部件40例如配置有用于使第1臂32旋转的驱动马达、和检测驱动马达的旋转位置的旋转传感器等。此外，驱动马达等也可以配置于第1臂32。

在第1臂32的前端部，经由第2连接部33连接有第2臂34的基端部。第2臂34能够绕着旋转轴l2旋转。旋转轴l2在上下方向上延伸。在第1臂32例如配置有用于使第2臂34旋转的驱动马达、和检测驱动马达的旋转位置的旋转传感器等。此外，驱动马达等也可以配置于第2臂34。

在第2臂34的前端部，经由第3连接部35连接有机械手120。机械手120能够绕着旋转轴l3旋转。旋转轴l3在上下方向上延伸。在第2臂34例如配置有用于使机械手120旋转的驱动马达、和检测驱动马达的旋转位置的旋转传感器等。此外，驱动马达等也可以配置于机械手120。

如图11所示，机械手120具有主体部121和多个爪部22。如图11所示，从上方观察，主体部121形成为大致y字状，具有一对指部121a、121b。在主体部121的前端部(指部121a、121b的前端部)和基端部分别设置有爪部22。从水平方向观察，爪部22形成为l字状(铅垂方向的剖面形成为l字状)。爪部22构成为在其底部载置基板1。在该底部载置基板1的主面1a。此外，机械手120也可以如抓边机械手或者吸附机械手那样为机械手120和基板1不相对位移的构造。

在指部121a、121b的前端部分别配置有作为第1基板检测器的基板检测器160a。各个基板检测器160a在前后方向上配置于相互相同的位置。该基板检测器160a探测距对置的基板1的主面1a的距离。在该基板输送装置201中，例如，作为基板检测器160a，使用静电电容传感器。通过该基板检测器160a，探测在与和机械手120对置的基板1的主面1a之间产生的静电电容。该基板检测器160a能够根据产生的静电电容的变化来探测距主面1a的距离的变化。此外，这里，基板检测器160a配置于主体部121的前端部，但也可以配置于主体部121的中间部或者基端部。基板检测器160a只要配置于能够与基板1的主面1a对置的位置即可。

虽然未图示，但控制装置70具备微处理器、cpu等运算器、rom、ram等存储器。在存储器存储有基本程序、各种固定数据等信息。运算器通过读出并执行在存储器存储的基本程序等软件来控制机器人系统200的各种动作。

控制装置70也可以由进行集中控制的单独的控制装置70构成。另外，控制装置70也可以由相互配合来进行分散控制的多个控制部构成。另外，控制装置70可以由微型计算机构成，也可以由mpu、plc(programmablelogiccontroller)、逻辑电路等构成。

在图12的(a)和图12的(b)中与基板1一起示出了容器112。容器112具备箱状的外壳113。在外壳113形成有开口114和在上下方向上并列的多个槽115。各个槽115在水平方向上延伸。槽115沿着外壳113的内壁延伸。槽115能够支承基板1的主面1a的边。

在图12的(a)和图12的(b)中，槽115支承基板1的主面1a。通过该槽115，使主面1a与水平方向平行地保持多个基板1。如图12的(b)中所示，多个基板1在上下方向上并列。图12的(b)所示的两个箭头dp表示槽115的间隔。在该容器112中，多个基板1在上下方向上以一定的间隔dp并列。该间隔dp并不特别地限定，但例如为5mm以上20mm以下。

在图13中示出了基板1和机械手120。虽然未图示，但该基板1被保持于容器112的槽115。使主面1a与水平方向平行地来保持该基板1。基板检测器160a以上下方向朝上来检测。基板检测器160a与主面1a对置。基板检测器160a与未图示的静电电容测定部电连接。该静电电容测定部与控制装置70电连接。该基板检测器160a通过电传导体161与静电电容测定部连接。该电传导体161沿着机械手120的主体部121的下表面121c延伸。

图13的两个箭头ha表示上下方向上的基板检测器160a与主面1a的距离。通过该距离ha变化，从而基板检测器160a探测的静电电容变化。基板检测器160a构成为将探测到的静电电容向静电电容测定部输出。静电电容测定部构成为将根据所输入的静电电容的大小变化的电压信号向控制装置70输出。

在图14的(a)～图14的(c)中示出了容纳于容器112的基板1。该基板1的主面1a与水平方向平行地延伸。该基板1位于机械手21的上方，与机械手21最近。在图14的(a)中示出了将机械手21的前端部从开口114插入至容器112的状态。在图14的(a)中，基板检测器160a与基板1的主面1a对置。在图14的(b)中示出了将机械手21插入至容器112的深处的状态。在图14的(c)中示出了将机械手21插入至容器112的更深处的状态。

在图14的(a)～图14的(c)中，基板检测器160a与基板1的主面1a对置。图14的(a)的两个箭头ha1表示在上下方向上的基板检测器160a与基板1的主面1a的距离。在图14的(a)～图14的(c)中，机械手120在水平方向上移动。在图14的(b)～图14的(c)中，基板检测器160a与基板1的主面1a的距离和图14的(a)的距离ha1相同。

在图15的(a)～图15的(c)中示出了容纳于容器112的另一基板1。该基板1的主面1a从开口114朝向深处向下倾斜地延伸。在图15的(a)～图15的(c)中，其他的结构分别与图14的(a)～图14的(b)相同。图15的(a)的两个箭头ha2表示在上下方向上的基板检测器160a与基板1的主面1a的距离。图15的(b)的两个箭头ha3表示在上下方向上的基板检测器160a与基板1的主面1a的距离。图15的(c)的两箭头ha4表示在上下方向上的基板检测器160a与基板1的主面1a的距离。该距离ha2大于距离ha3，距离ha3大于距离ha4。

在图16的(a)～图16的(c)中示出了容纳于容器112的又一基板1。该基板1翘曲。该基板1的主面1a弯曲为向下凸起的圆弧状。在图16的(a)～图16的(c)中，其他的结构与图14的(a)～图14的(c)相同。图16的(a)的两个箭头ha5表示在上下方向上的基板检测器160a与基板1的主面1a的距离。图16(b)的两个箭头ha6表示在上下方向上的基板检测器160a与基板1的主面1a的距离。图16的(c)的两个箭头ha7表示在上下方向上的基板检测器160a与基板1的主面1a的距离。该距离ha5大于距离ha6，距离ha7小于距离ha5且大于距离ha6。

这里，对本发明所涉及的基板输送装置201的运行方法进行说明。

如图12的(a)和图12的(b)所示，准备容纳有基板1的容器112(step1)。

通过基板检测器160a探测距基板1的主面1a的距离ha(step2)。在该step2中，将机械手120从容器112的开口114向外壳113的内部插入。如图14的(a)所示，基板检测器160a与基板1的主面1a对置。基板检测器160a探测距主面1a的距离ha1作为静电电容。

在step2中，机械手120从图14的(a)的状态经由图14的(b)的状态移动至图14的(c)的状态。在该机械手120从图14的(a)移动至图14的(c)的状态的期间，基板检测器160a探测距离ha1作为静电电容。将所探测距的静电电容转换为电压信号来向控制装置70输出。控制装置70根据该电压信号求出距离ha1。

控制装置70判定是否由机械手120保持该基板1(step3)。在该step3中，距离ha1为预先决定好的规定的距离的范围以内。控制装置70决定由机械手120保持该基板1。

控制装置70通过机械手120保持基板1(step4)。通过机械手120的爪部22保持基板1。此时，主面1a的边缘部与爪部22抵接。

通过操纵装置30，将由机械手120保持的基板1向下一个工序输送(step5)。

接下来，使用图15的(a)～图15的(c)的状态的基板1来说明该运行方法。在该运行方法的step2中，在该机械手120从图15的(a)的状态移动至图15的(c)的状态的期间，基板检测器160a探测距离ha作为静电电容。从距离ha2朝向距离ha4产生的静电电容增大。将所探测距的静电电容转换为电压信号来向控制装置70输出。控制装置70根据该电压信号求出距离ha2、距离ha3以及距离ha4。

在step3中，该距离ha4较小，不满足规定的距离的范围。控制装置70决定不通过机械手120保持该基板1。机械手120返回至规定的待机位置。控制装置70通过未图示的报告器向工作人员等报告。作为报告器，例如也可以使用显示器等显示装置、扬声器、警报器等。

并且，使用图16的(a)～图16的(c)的状态的基板1来说明该运行方法。在该运行方法的step2中，在该机械手120从图16的(a)的状态移动至图16的(c)的状态的期间，基板检测器160a探测距离ha作为静电电容。从距离ha5朝向距离ha6产生的静电电容增大。在从距离ha6朝向距离ha7的途中静电电容达到最大值。其后，朝向距离ha7静电电容减少。将所探测到的静电电容转换为电压信号来向控制装置70输出。控制装置70根据该电压信号求出距离ha5、距离ha6以及距离ha7。

在step3中，该距离ha6较小，不满足规定的距离的范围。控制装置70决定不通过机械手120保持该基板1。机械手120返回至规定的待机位置。控制装置70通过未图示的报告器向工作人员等报告。作为报告器，例如也可以使用显示器等显示装置、扬声器、警报器等。

该基板输送装置201具备探测距基板1的主面1a的距离ha的基板检测器160a。与检测到主面1a的距离ha是否在规定的范围的检测器相比，基板检测器160a能够准确地检测到主面1a的距离ha。

在基板输送装置201的运行方法的step2中，基板输送装置201能够使机械手120移动并且求出距离ha的变化。在距离ha不足规定的下限值时，基板输送装置201能够使机械手12的移动停止。该基板输送装置201能够预先避免机械手120与基板1的干涉。另外，在该距离ha变为了规定的下限值以下时，能够通过未图示的报告器向工作人员等报告。该基板输送装置201能够容易地确认与机械手120干涉的基板1。

该基板检测器160a配置于机械手120。将机械手120插入至基板1之间的较小的间隔dp。因此，优选该基板检测器160a小型且轻型。优选该基板检测器160较薄。另外，优选该基板检测器160能够成型为与机械手120的表面形状一致的所希望的形状。从这些观点出发，静电电容传感器也适合作为基板检测器160a。

在该运行方法的step2中，在由基板检测器160a求出的距离ha小于规定的下限值时，也可以变更该机械手120的移动路径，使得距离ha相隔规定的下限值以上。由此，能够避免机械手120与基板1的干涉。

在该运行方法的step2中，基板检测器160a配置于机械手120的前端部。在将机械手120整体插入至容器112之前，基板检测器160a能够探测距离ha。由此，能够抑制机械手120与基板1的干涉。从该观点出发，优选基板检测器160a配置于机械手120的前端部。这里所说的前端部表示当在前后方向上将从机械手120的主体部121的最前端到主体部121的后端的范围三等分时的最前方的范围部分。

在该运行方法的step2中，优选判定基板检测器160a检测到的静电电容是否在预先决定好的规定的范围内。由此，能够探测基板1的带电异常。该基板输送装置201能够抑制由基板1的带电异常引起的基板检测器160a的误检测。

在该基板输送装置201中，如图15的(a)～图15的(c)所示，在前后方向上测定了距离ha。由此，能够测定基板1的主面1a的前后方向的倾斜。从测定该倾斜的观点出发，优选基板检测器160a在前后方向上在2点以上的多个部位测定距离ha，更优选在3点以上的多个部位测定。特别是优选基板检测器160a呈在前后方向上连续的线状地测定距离ha。

在该基板输送装置201的运行方法的step2中，也可以判定主面1a的前后方向的倾斜是否在规定的范围以内。由此，能够检测基板1的姿势的异常。

在该基板输送装置201中，如图16的(a)～图16的(c)所示，在前后方向上测定了距离ha。由此，能够测定基板1的前后方向的翘曲。从测定该翘曲的观点出发，优选基板检测器160a在前后方向上在3点以上的多个部位测定距离ha，更优选在4点以上的多个部位测定。特别是优选基板检测器160a呈在前后方向上连续的线状地测定距离ha。

在该基板输送装置201的运行方法的step2中，也可以判定主面1a的前后方向的翘曲是否在规定的范围以内。由此，能够检测基板1的姿势的异常、基板1的形状的异常。

在该运行方法的step2中，通过测定基板1的倾斜、翘曲，能够抑制基板1与机械手120的干涉。能够通过机械手120以稳定的姿势保持基板1。从这些观点出发，在该运行方法的step2中，优选控制装置70能够判定基板1的倾斜、翘曲。

该基板检测器160a只要能够探测距离ha的变化即可。该基板检测器160a并不限定于静电电容传感器。该基板检测器160a也可以以向下检测的方式配置于机械手120。也可以通过该基板检测器160a检测距朝上的主面1b的距离来代替距基板1的主面1a的距离。也可以使用该基板检测器160a来探测基板1的有无。另外，该基板检测器160a也可以检测到机械手120保持的基板1的主面1a的距离ha。由此，能够有助于基板1的输送的稳定性的提高。

通过具备该基板检测器160a，基板输送装置201能够在由机械手120保持基板1前比以往更准确地检测基板1的姿势的异常、基板1的形状的异常。通过具备该基板检测器160a，基板输送装置201能够预先避免朝向基板1移动的机械手120与基板1的干涉。由此，基板输送装置201能够省略或者简化基板1的测绘动作。

该基板检测器160a配置于主体部121，但主体部121的全部或者其一部分也可以构成基板检测器160。例如，使由铝合金构成的主体部121的一部分或者全部为基板检测器160。

在图17的(a)和图17的(b)中示出了本发明所涉及的另一基板输送装置211的机械手212。该基板输送装置211除了代替机械手120而具备机械手212之外具备与基板输送装置201相同的结构。这里，主要对与基板输送装置201不同的结构进行说明。对于与基板输送装置201相同的结构，省略其说明。另外，对于与基板输送装置201相同的结构，标注相同的附图标记来说明。

机械手212具有主体部213和多个爪部22。如图17所示，从上方观察，主体部213形成为大致y字状，具有一对指部213a、213b。在主体部213的前端部(指部213a、213b的前端部)和基端部分别设置有爪部22。

基板输送装置211除了基板检测器160a之外还具备作为第2基板检测器的基板检测器160f。该基板输送装置211还具备多个基板检测器160b～160e。这多个基板检测器160a～160f配置于主体部213。基板检测器160a～基板检测器160f分别在前后方向上配置于不同的位置。在指部213a、213b沿着前后方向分别并列有基板检测器160a～基板检测器160e。在指部213a、213b，在沿着前后方向相同的位置配置有基板检测器160a～基板检测器160e。并且，在左右方向上，在一对基板检测器160a之间也配置有基板检测器160f。这里，将基板检测器160f作为第2基板检测器。然而，也可以代替该基板检测器160f而使基板检测器160b～基板检测器160e中的任意一个为第2基板检测器。

在基板输送装置211中，能够通过基板检测器160a～基板检测器160f同时检测距离ha。由此，能够更准确地把握基板1的主面1a的形状。在基板输送装置211中，能够容易地把握作为面的倾斜、翘曲。从该观点出发，优选基板检测器160在3个以上的部位探测。优选基板检测器160配置于在前后方向上不同的两个以上的多个部位。同样，优选基板检测器160配置于在左右方向上不同的3个以上的多个部位。

(实施方式4)

在图18中示出了本发明所涉及的又一基板输送装置221的机械手222。该基板输送装置221除了代替机械手120而具备机械手222之外具备与基板输送装置201相同的结构。这里，主要对与基板输送装置201不同的结构进行说明。对于与基板输送装置201相同的结构，省略其说明。另外，对于与基板输送装置201相同的结构，标注相同的附图标记来说明。

机械手222具有主体部223和吸盘224。机械手222是吸附机械手的一种。虽然未图示，但与主体部121相同，从上方观察，主体部223形成为大致y字状，具有一对指部223a、223b。在该机械手222，以与机械手120的爪部22对应的方式设置有4个吸盘224。作为该吸盘224，例示真空式吸盘、伯努利式吸盘。

对于该吸盘224而言，通过使其吸附面的整个区域与基板1的主面1a的距离均匀化来发挥较高的吸附力。较高的吸附力有助于基板1的定位精度和输送的稳定性的提高。

该基板输送装置221的基板检测器160a探测距基板1的主面1a的距离ha。通过探测多个部位的距离ha，能够求出主面1a的斜率、翘曲。根据该斜率、翘曲，使机械手222位于吸盘224能够发挥较高的吸附力的位置，从而能够通过吸盘224吸附基板1。另外，通过在由吸盘224吸附基板1的状态下检测到基板1的主面1a的距离ha，能够确认正以规定的位置和姿势吸附基板1这一情况。由此，能够稳定地输送基板1。

在基板输送装置211中，通过由多个基板检测器160检测基板1，也能够更准确地把握主面1a的倾斜、翘曲。另外，能够准确地把握机械手222保持的基板1的位置。从这些观点出发，在该机械手222中，优选与机械手212相同地配置多个基板检测器160。

根据上述说明，对于本领域技术人员来说，本发明的许多改进或者其他的实施方式是显而易见的。因此，上述说明应仅作为例示来解释，并且是以向本领域技术人员示教执行本发明的最优的形态的目的而提供的。不脱离本发明就能够实质地变更其构造和/或功能的详细内容。另外，能够通过上述实施方式所公开的多个结构要素的适当的组合来形成各种发明。

工业实用性

与以往的基板处理装置相比，本发明的基板输送装置及其运行方法能够更准确地检测基板的位置偏移，因此是有用的。

附图标记说明

1…基板；1a…主面；20、120、212、222…机械手；21…主体部；21a…指部；21b…指部；22…爪部；30…操纵装置；31…第1连接部；32…第1臂；33…第2连接部；34…第2臂；35…第3连接部；40…升降部件；41…直动致动器；50…壳体；60、160(160a～160f)…基板检测器；61…第1投光部；62…第1受光部；70…控制装置；80…测绘装置；81…第2投光部；82…第2受光部；100、200…机器人系统；101、201、211、221…基板输送装置；102、112…容器。