吸盘、机器人手及机器人的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种吸盘、机器人手及机器人。
【背景技术】
[0002]以往，已知一种用于搬运晶圆或玻璃基板等薄板状的基板的基板搬运装置。
[0003]所述基板搬运装置例如具有机器人臂，通过一边使用设于所述机器人臂的前端部的机器人手来保持基板，一边使机器人臂在水平方向等进行动作来搬运基板。
[0004]另外，在搬运中，由于需要切实地保持基板而防止错位，因此上述机器人手在具备利用了真空吸引方式等的吸盘的基础上，通过所述吸盘一边吸附基板，一边搬运基板(例如，参照专利文献I)。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2007-53313号公报
【发明内容】
[0008]本发明所要解决的问题
[0009]然而，在上述现有技术中，对于切实地吸附产生了弯曲的基板而言，存在进一步改善的余地。
[0010]之所以这样是因为，例如上述的基板搬运装置利用于半导体制造工艺等时，由于基板经过成膜处理这样的热处理工序，因此存在因受到热影响而产生弯曲的情况。
[0011]此外，还因为，不限于上述这样的热影响的情况，也作为将基板薄型化或大型化的情况、因基板材质不同的情况等所产生的共同问题。
[0012]本实施方式的一个技术方案是鉴于上述情况而做出的，其目的是提供一种即使在产生弯曲的情况下，也可以切实地吸附基板的吸盘、机器人手及机器人。
[0013]为解决问题的方法
[0014]本实施方式的一个技术方案涉及的吸盘具有盘部、一对固定部与一对支承部。所述盘部对对象物体进行吸附。所述一对固定部在从所述盘部分离的位置隔着该盘部相对而设置，并作为所述盘部的固定端。所述一对支承部分别具有比所述盘部以及所述固定部的分离距离还长的延伸长度，并从所述盘部的中心轴线上的连接端部至所述固定部分别连结。
[0015]发明效果
[0016]根据本实施方式的一个技术方案，即使在产生弯曲的情况下，也可以切实地吸附基板。
【附图说明】
[0017]图1是实施方式涉及的机器人的立体示意图。
[0018]图2是手的俯视不意图。
[0019]图3A是吸盘的俯视不意图。
[0020]图3B是图3A所示的A-A^线的大致剖视图。
[0021]图4A是表示吸盘的安装结构的大致剖视图(之一)。
[0022]图4B是表示吸盘的安装结构的大致剖视图(之二)。
[0023]图5A是表示固定部的变形例的大致剖视图(之一)。
[0024]图5B是表示固定部的变形例的大致剖视图(之二)。
[0025]图6A是表示吸盘的配置例的俯视示意图。
[0026]图6B是表示吸盘的动作的俯视示意图。
[0027]图7是第一变形例涉及的吸盘的俯视示意图。
[0028]图8是第二变形例涉及的吸盘的俯视示意图。
[0029]附图标记说明
[0030]1:机器人2:基台
[0031]3:升降部4:第一关节部
[0032]5:第一臂6:第二关节部
[0033]7:第二臂8:第三关节部
[0034]10:手11:板支承部
[0035]12 -M12a:进气孔
[0036]12b:孔部12c:环状壁部
[0037]12d:通孔
[0038]13、13，、13A、13B:吸盘
[0039]13a:盘部13aa:接触部
[0040]13ab:主面部13ac:进气孔
[0041]13b:固定部13ba:通孔
[0042]13bb:开口销部 13c:支承部
[0043]14:真空路15:密封部件
[0044]20:控制装置30:上位装置
[0045]C:位于规定位置的晶圆的中心CC:同一圆周
[0046]SC:连结部件W:晶圆
[0047]ax_c:中心线
[0048]d:分离距离
【具体实施方式】
[0049]以下，参照附图来详细地说明本发明的吸盘、机器人手以及机器人的实施方式。此夕卜，本发明不限于以下所示的实施方式。
[0050]另外，在以下中，例举机器人是搬运作为被搬运物的晶圆的基板搬运用机器人的情况来进行说明。对晶圆标注附图标记“W”。另外，在以下中，将“构成机械结构，能相互进行相对运动的各刚性构件”作为“连杆”，有时将所述“连杆”记为“臂”。另外，将机器人手记为“手”。
[0051]首先，使用图1来说明实施方式涉及的机器人I的结构。图1是实施方式涉及的机器人I的立体示意图。
[0052]另外，在图1中，为了使说明容易理解，图示了包含将垂直向上作为正方向、垂直向下作为负方向的Z轴的三维正交坐标系。因此，沿XY平面的方向是指“水平方向”。在以下的说明中使用的其他附图中有时也示出所述正交坐标系。
[0053]另外，在以下中，为了方便说明，设定机器人I的旋转位置与指尖的朝向为图1所示的状态来说明机器人I的各部位的位置关系。
[0054]另外，在以下中，关于由多个构成的构成要素，有时仅对多个中的一部分标注附图标记而省略对其他部分标注附图标记。此时，设定标注了附图标记的这部分与其他部分为同一结构。
[0055]如图1所示，机器人I具有基台2、升降部3、第一关节部4、第一臂5、第二关节部6、第二臂7、第三关节部8与手10。第一臂5和第二臂7构成臂部。
[0056]基台2作为机器人I的基部，除了与地面或壁面固定之外，有时也与位于基部上面的装置固定。升降部3设为能从所述基台2向铅垂方向(Z轴方向)滑动(参照图中的双箭头a0)，而使机器人I的臂部沿铅垂方向升降。
[0057]第一关节部4是绕轴al的旋转关节。第一臂5经由所述第一关节部4，相对于升降部3以能旋转的方式进行连结(参照图中的绕轴al的双箭头)。
[0058]另外，第二关节部6是绕轴a2的旋转关节。第二臂7经由所述第二关节部6，相对于第一臂5以能旋转的方式进行连结(参照图中的绕轴a2的双箭头)。
[0059]另外，第三关节部8是绕轴a3的旋转关节。手10经由所述第三关节部8，相对于第二臂7以能旋转的方式进行连结(参照图中的绕轴a3的双箭头)。
[0060]此外，在机器人I上搭载有电机等驱动源(省略图示)，第一关节部4、第二关节部6以及第三关节部8分别通过所述驱动源的驱动进行旋转。
[0061]手10是真空吸附并保持晶圆W的末端执行器。使用图2之后的图，在后面叙述关于手10的详细结构。此外，在图1中，图示了机器人I具有一个手10的情况，但不限定手10的个数。
[0062]例如，也可以设置多个以轴a3为同心重叠而设，并能分别独立地绕轴a3旋转的手10。
[0063]然后，机器人I通过组合经由升降部3实现的升降动作、各臂5、7以及手10的旋转动作来搬运晶圆W。此外，根据来自以经由通信网络能与机器人I相互通信的方式连接的控制装置20的指示，来进行这些各种动作。
[0064]控制装置20是进行机器人I的动作控制的控制器。例如，控制装置20对上述的驱动源的驱动进行指示。然后，机器人I根据来自所述控制装置20的指示，使驱动源旋转任意的角度，由此使臂部进行旋转动作。
[0065]此外，根据预先保存于控制装置20的示教数据来进行所述动作控制，有时也从以能相互通信的方式连接的上位装置30获取示教数据。
[0066]接着，使用图2来说明手10的结构。图2是手10的俯视示意图。此外，在图2中，由双点划线表示位于规定位置的晶圆W。以下，对位于所述规定位置的晶圆W的中心标注附图标记“C”。
[0067]如图2所示，手10位于第二臂7的前端部，经由第三关节部8能绕轴a3旋转。手10具有板支承部11、板12、吸盘13与真空路14。
[0068]板支承部11与第三关节部8相连结，对板12进行支承。板12是相当于手10的基部的部件，由陶瓷等形成。此外，在图2中，例示了前端侧分成两个分支的形状的板12，但不限定板12的形状。
[0069]吸盘13是通过真空吸附将晶圆W保持于手10上的部件。在本实施方式中，所述吸盘13被设于图2所示的三个位置，在三个点上吸附并保持晶圆W。