具有冷却功能的基板搬运机器人的制作方法

文档序号:10708514
具有冷却功能的基板搬运机器人的制作方法
【专利摘要】本发明提供了一种具有冷却功能的基板搬运机器人,包括主体支撑部,在所述主体支撑部上设置多个指叉,所述指叉表面嵌入设置温度传感器,所述温度传感器连接控制器,在所述主体支撑部与所述指叉连接处设置向指叉表面喷射冷却流体的喷嘴,所述喷嘴的开关连接控制器。使用本发明时,将指叉置于玻璃基板下方,喷嘴喷射冷却流体,温度传感器测试温度并将温度值传送到控制器,当温度传感器测试到的温度降为室温或者降为设定值时,控制器控制机械手开始搬运基板,同时喷嘴不停止喷射冷却流体,完成搬运过程。本发明的机械手在搬运玻璃基板之前以及搬运过程中持续释放冷却流体对玻璃基板进行冷却,防止基板发生形变进而成为残次品。
【专利说明】
具有冷却功能的基板搬运机器人
技术领域
[0001]本发明涉及机器人技术领域,具体涉及一种具有冷却功能的基板搬运机器人。
【背景技术】
[0002]玻璃基板是平板显示产业的关键基础材料之一,随着IT行业的发展,市场对玻璃基板的需求越来越大,人们努力提高生产自动化水平。
[0003]玻璃基板常常需要进行加热处理,再进行下一步处理之前需要对其进行冷却;搬运机器人在搬运过程中常会进入不同的环境中,其中包括高温环境,机械手受热温度升高,传导至玻璃基板会使基板发生形变,所以需要搬运机器人具有冷却功能。

【发明内容】

[0004]本发明提供了一种具有冷却功能的基板搬运机器人,在搬运之前或搬运中对基板进行冷却,避免基板产生形变。
[0005]为了解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:
一种具有冷却功能的基板搬运机器人,包括主体支撑部I,在所述主体支撑部I上设置多个指叉2,所述指叉表面嵌入设置温度传感器3,所述温度传感器3连接控制器,在所述主体支撑部I与所述指叉2连接处设置能够向指叉表面喷射冷却流体的喷嘴4,所述喷嘴4的开关连接控制器。
[0006]进一步的,在所述主体支撑部I与所述指叉连接处设置风扇5,通过所述风扇5将冷却流体吹向指叉另一端。
[0007]进一步的,所述喷嘴4设置于所述指叉2上方。
[0008]进一步的,所述风扇5设置于所述指叉2之间的间隔内。
[0009]进一步的,所述温度传感器3设置于所述指叉2上远离所述主体支撑部I的端部。
[0010]使用本发明时,将指叉置于玻璃基板下方,控制器控制喷嘴喷射冷却流体,温度传感器测试温度并将温度值传送到控制器,当温度传感器测试到的温度降为室温或者降为设定值时,控制器控制机械手开始搬运基板,同时喷嘴不停止喷射冷却流体,完成搬运过程。
[0011]本发明的有益效果是:本发明的机械手在搬运玻璃基板之前以及搬运过程中持续释放冷却流体对玻璃基板进行冷却,防止基板发生形变进而成为残次品。
【附图说明】
[0012]下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步描述:
图1是本发明的俯视图;
图2是本发明的立体图。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本发明作进一步描述:如图1图2所示:一种具有冷却功能的基板搬运机器人,包括主体支撑部(I),在所述主体支撑部(I)上设置多个指叉(2),所述指叉表面嵌入设置温度传感器(3),所述温度传感器
(3)连接控制器,在所述主体支撑部(I)与所述指叉(2)连接处设置向指叉表面喷射冷却流体的喷嘴(4),所述喷嘴(4)的开关连接控制器。
[0014]进一步的,在所述主体支撑部(I)与所述指叉连接处设置风扇(5),通过所述风扇
(5)将冷却流体吹向指叉另一端。
[0015]进一步的,所述喷嘴(4)设置于所述指叉(2)上方。
[0016]进一步的,所述风扇(5)设置于所述指叉(2)之间的间隔内。
[0017]进一步的,所述温度传感器(3)设置于所述指叉(2)上远离所述主体支撑部(I)的端部。
[0018]使用本发明时,将指叉置于玻璃基板下方,喷嘴喷射冷却流体,温度传感器测试温度并将温度值传送到控制器,当温度传感器测试到的温度降为室温或者降为设定值时,控制器控制机械手开始搬运基板,同时喷嘴不停止喷射冷却流体,完成搬运过程。
[0019]以上所述的仅是本发明的实施例,应当指出,对于本领域的技术人员来说,在不脱离本发明结构的前提下,还可以作出若干变形和改进,这些也应该视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种具有冷却功能的基板搬运机器人,包括主体支撑部(I),在所述主体支撑部(I)上设置多个指叉(2 ),其特征在于,所述指叉表面嵌入设置温度传感器(3 ),所述温度传感器(3)连接控制器,在所述主体支撑部(I)与所述指叉(2)连接处设置能够向指叉表面喷射冷却流体的喷嘴(4),所述喷嘴(4)的开关连接控制器。2.根据权利要求1所述的一种具有冷却功能的基板搬运机器人,其特征在于,在所述主体支撑部(I)与所述指叉连接处设置风扇(5),通过所述风扇(5)将冷却流体吹向指叉另一端。3.根据权利要求1所述的一种具有冷却功能的基板搬运机器人,其特征在于,所述喷嘴(4)设置于所述指叉(2)上方。4.根据权利要求2所述的一种具有冷却功能的基板搬运机器人,其特征在于,所述风扇(5)设置于所述指叉(2)之间的间隔内。5.根据权利要求1所述的一种具有冷却功能的基板搬运机器人,其特征在于,所述温度传感器(3)设置于所述指叉(2)上远离所述主体支撑部(I)的端部。
【文档编号】B25J19/00GK106078804SQ201610613212
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年7月29日 公开号201610613212.6, CN 106078804 A, CN 106078804A, CN 201610613212, CN-A-106078804, CN106078804 A, CN106078804A, CN201610613212, CN201610613212.6
【发明人】汪金旺
【申请人】苏州高通机械科技有限公司
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