一种水冷孔零件拆卸装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型实施例涉及零件拆卸技术，尤其涉及一种水冷孔零件拆卸装置。
【背景技术】
[0002]磁控溅射镀膜仪上通常设置有水冷装置，而水冷孔零件设置在水冷装置中，与水冷管道相连接。
[0003]磁控溅射镀膜仪在经过长时间使用后，会出现水冷装置部分腐蚀的现象。对此，工作人员必须定期更换相关零部件，来防止出现因腐蚀造成的漏水现象。在更换过程中，需要拆卸水冷孔零件，由于目前没有用于拆卸水冷孔零件的专用工具，且水冷孔零件安装比较紧，只能使用钳子夹持拔出水冷孔零件。
[0004]图la和图lb是现有水冷孔零件的俯视图和正视图。水冷孔零件10为中空的管道，在所述水冷孔零件10的外表面的中间附近的位置设置有隔离台11，所述隔离台11将水冷孔零件10的外表面分为上部分外表面12和下部分外表面13。上部分外表面12和下部分外表面13均为水冷孔零件10的密封面。使用时，水冷孔零件10固定在水冷设备上，其下部分外表面13嵌入水冷设备中，而上部分外表面12与水冷管道相连接。
[0005]在拆卸水冷孔零件时，需要用钳子夹持在水冷孔零件10的上部分外表面12和上部分外表面12所对应的内表面上，并用力将水冷孔零件10拔出。在拆卸过程中，容易在水冷孔零件10上部分外表面12上造成夹痕，破坏其密封性能，损伤水冷孔零件10，甚至造成水冷孔零件10报废。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型提供一种水冷孔零件拆卸装置，在拆卸过程中，既可以快捷有效地拆卸水冷孔零件，又不会损伤水冷孔零件。
[0007]第一方面，本实用新型实施例提供了一种水冷孔零件拆卸装置，所述水冷孔零件拆卸装置包括:
[0008]固定部件，包括卡槽和卡销，所述卡槽的一端设置有第一卡台，用于穿过所述水冷孔零件的内孔，并抵持在水冷孔零件内孔的下表面，所述卡销用于填充所述卡槽在水冷孔零件内孔中形成的缝隙；
[0009]提拉部件，用于提拉所述固定部件。
[0010]进一步地，所述卡槽的个数为至少两个，对称设置，且各所述卡槽上的第一卡台相互背对设置，所述卡销用于塞入各卡槽之间的缝隙。
[0011 ] 进一步地，所述卡槽的数量为两个，所述卡槽的横截面形状为圆冠形，所述圆冠形的弧面与所述水冷孔零件内孔的内壁形状匹配；所述卡销的形状为片状，用于填充两个卡槽之间的缝隙。
[0012]进一步地，所述第一卡台的横截面形状为圆形、椭圆形或多边形。
[0013]进一步地，所述卡销包括第二卡台和销体；所述销体用于填充所述缝隙；所述第二卡台用于抵持所述卡槽上远离第一卡台的一端。
[0014]进一步地，所述卡销的个数为一个或多个。
[0015]进一步地，所述提拉部件，包括:支撑架、夹持部件、提拉杆和手柄；所述支撑架的中部设置有竖直孔洞；所述提拉杆穿过所述竖直孔洞，上端与所述手柄相连接，下端与所述夹持部件相连接，所述夹持部件与所述卡槽固定连接。
[0016]进一步地，所述竖直孔洞内部设置有螺纹；所述提拉杆侧壁上设置有与所述竖直孔洞内螺纹相匹配的螺纹。
[0017]进一步地，所述夹持部件的形状为一个开口的方框形，所述开口位置位于所述方框形远离所述手柄的一边，所述开口用于夹持固定所述卡槽。
[0018]进一步地，所述卡槽设置有第三卡台；所述夹持部件开口的两端分别设置有凹槽，所述凹槽与所述第三卡台相互插接固定。
[0019]本实用新型实施例通过将固定部件固定在水冷孔零件内孔的下表面上，利用提拉部件提拉固定部件，解决了在拆卸水冷孔零件过程中易损伤水冷孔零件外表面的密封性能的问题，既可以快捷有效的拆卸水冷孔零件，又不会损伤水冷孔零件的密封效果。
【附图说明】
[0020]图la为现有技术中水冷孔零件的俯视图；
[0021]图lb为现有技术中水冷孔零件的正视图；
[0022]图2是本实用新型实施例中的提供的一种水冷孔零件拆卸装置的示意图；
[0023]图3a是本实用新型实施例中的提供的另一种水冷孔零件拆卸装置的示意图；
[0024]图3b是图3a内虚线框区域内的放大图；
[0025]图4a_4d是利用本实用新型实施例中的提供的水冷孔零件拆卸装置拆卸水冷孔零件的示意图。
【具体实施方式】
[0026]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步地详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
[0027]图2为本实用新型实施例提供的一种水冷孔零件拆卸装置的示意图。所述水冷孔零件拆卸装置包括:固定部件20和提拉部件30。其中，固定部件20包括卡槽21和卡销22，卡槽21的一端设置有第一卡台211，用于穿过所述水冷孔零件的内孔，并抵持在水冷孔零件内孔的下表面，卡销22用于填充卡槽21在水冷孔零件内孔中形成的缝隙；提拉部件30，用于提拉固定部件20。
[0028]上述方案中，卡槽21和卡销22的形状、数量，以及相互配合关系的实现方式有多种，只要能够满足卡槽21从内孔下端抵持内孔，而卡销22能够将卡槽21挤压固定在内孔中即可。下面分别对该拆卸装置的具体可实现方式进行详细说明。
[0029]卡槽21的形状一般为柱形，方便插入内孔中，其横截面可以为圆形、椭圆形或多边形，其长度应大于水冷孔零件内孔的深度。在卡槽21的一端设置有第一卡台211，第一卡台211的形状可以为钩状。但在使用时，钩状的所述第一卡台211与水冷孔零件10的下表面接触的位置只有一个点，容易损伤水冷孔零件10的下表面。优选是，第一卡台211的形状为片状，第一卡台211的横截面形状为圆形、椭圆形或多边形。但要求第一卡台211横截面小于水冷孔零件10内孔的横截面，以便卡槽21能够顺利穿过水冷孔零件的内孔。另外，卡槽21的个数可以为一个或多个。多个卡槽21可以是固定连接在一起，从而一同穿过内孔，或者也可以是分离设置，可分别穿过内孔。当多个卡槽21分别穿过内孔时，应保证在其他的卡槽21都固定好的情况下，最后一个卡槽21的第一卡台211仍可以顺利穿过所述水冷孔零件内孔剩余的空隙。
[0030]值得注意的一点是，若所述卡槽21个数为一个，则利用所述卡槽21固定水冷孔零件10时，卡槽21与水冷孔零件10下表面只有一个接触点，在利用提拉部件提拉固定部件时，由于水冷孔零件受力不平衡，会导致水冷孔零件倾斜，容易损伤水冷孔零件的外表面，甚至可能导致拆卸人员因打滑受伤。优选是，卡槽21的个数为至少两个，对称设置，且各卡槽21上的第一卡台211相互背对设置，卡销22用于塞入各卡槽21之间的缝隙。进一步地，卡槽21的数量可以为两个，卡槽21的横截面形状为圆冠形，该圆冠形的弧面与水冷孔零件内孔的内壁形状匹配；卡销22的形状为片状，用于填充两个卡槽21之间的缝隙。这样既可以有效填充该缝隙，防止在拆卸水冷孔零件10的过程中，所述卡槽21在该缝隙内相对运动，使水冷孔零件10在拆卸的过程中受力方向偏移较大，造成水冷孔零件10拆卸失败。
[0031]卡销22具体可包括第二卡台221和销体222 ;销体222用于填充各卡槽21之间的缝隙；第二卡台221用于抵持卡槽21上远离第一卡台211的一端。第二卡台221的形状为片状，其横截面可以为圆形、椭圆形和多边形等。销体222的形