专利名称：标记形成方法及液滴喷出装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及标记形成方法及液滴喷出装置。
背景技术：
通常，液晶显示装置和电致发光显示装置等的显示装置包括用于显示图像的基板。在这种基板上形成有表示包含其制造商和产品编号的制造信息的识别码(例如，二维码)，识别码目的在于质量管理和制造管理。这样的识别码例如包含有有色的薄膜和凹部构成的多个点。配置这些点以便形成规定的图形，此点的配置图形决定识别码。
作为识别码的形成方法，日本特开平11-77340号公报提出了一种对金属箔照射激光来溅射成膜编码图形的激光溅射方法。日本特开2003-127537号公报提出了一种对基板等喷射含有研磨材料的水来刻印点的喷水(water jet)方法。
但是，在所述激光溅射方法中，为了获得所期望尺寸的点，就必须将金属箔和基板的间隙从几μm调整到几十μm。即，对于基板和金属箔的表面要求非常高的平坦性，而且，必须按微米级的精度来调整它们的间隙。由此，所述方法的适用范围受限于基板的限定范围，所以相同的方法通用性差。在喷水方法中，当刻印基板时，水、尘埃、研磨剂等飞溅，就会污染该基板。
为了消除这种生产上的问题，近年来，作为识别码的形成方法，正在关注喷墨方法。在喷墨方法中，通过从喷射头的喷嘴向基板喷出含有金属微粒的液滴，并经过干燥，从而在基板上形成点。由此，可适用相同方法的基板材料的对象范围比较宽，再有能够形成不污染基板的识别码。
但是，在所述喷墨方法中，根据基板的表面状态和液滴的表面张力等，就会导致以下问题。即，着落基板的液滴沿着基板表面直接润湿扩散。由此，液滴干燥需要时间时(例如，100毫秒以上)，液滴会在基板表面过多地湿润扩散，从对应的数据单元内溢出。其结果，就不能读取编码图形，就会损失基板信息。
通过对基板上的液滴照射激光，通过瞬时干燥着落的液滴，就能够回避这样的问题。但是，由于液滴喷射头，使其喷嘴和基板表面之间的间隙保持在几mm左右，就能够提高喷射的液滴的着落位置的位置精度。当对着落之后的液滴照射激光时，就必须向喷射头和基板之间的狭小缝隙发射激光。即，必须使激光的光轴相对于基板表面的法线方向大的倾斜。其结果，相对于基板表面或液滴的激光的光学剖面或光斑就会沿着基板的面方向过多地扩张。在此，就会担心激光的照射强度的降低和照射位置的位置精度的下降。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种维持喷出液滴的着落位置的精度和激光照射位置的精度，并提高由液滴构成的标记形状的控制性的标记形成方法及液滴喷出装置。
为了实现所述目的，在本发明的一个方式中，提供一种标记形成方法，该标记形成方法包括从喷嘴向对象物表面的目标喷出位置沿喷出方向喷出液滴；从照射口向目标喷出位置沿照射方向照射激光，即通过对着落表面的液滴照射激光，从而在表面上形成标记。此方法的特征在于，以目标喷出位置为转动中心喷嘴和照射口一起转动，由此，在维持喷出方向和照射方向的形成角度的状态下，一起改变相对对象物表面的法线和喷出方向的形成角度及法线和照射方向的形成角度。
在本发明的其它方式中，提供一种液滴喷出装置，该液滴喷出装置包括一种具有喷嘴的液滴喷射头和一种具有照射口的激光照射装置，该液滴喷射头从喷嘴向对象物表面的目标喷出位置沿喷出方向喷出液滴，该激光照射装置从照射口向目标喷出位置沿照射方向照射激光。此液滴喷出装置的特征在于，包括转动装置，该转动装置以目标喷出位置为转动中心使喷嘴和照射口一起转动，由此，在维持喷出方向和照射方向的形成角度的状态下，一起改变相对对象物表面的法线和喷出方向的形成角度及法线和照射方向的形成角度。
图1是表示液晶显示装置的俯视图。
图2是表示液滴喷出装置的示意性立体图。
图3是表示本发明的第一实施方式的喷射头的示意性立体图。
图4是图3的喷射头的附图。
图4A是由图4中的圆4A所包围的部分的放大图。
图5是图3的喷射头的附图。
图5A是由图5中的圆5A所包围的部分的放大图。
图6是表示液滴喷出装置的电气结构的电气方框电路图。
具体实施例方式
在下文中，根据图1～图6，说明具体化本发明的一个实施方式。首先，说明具有利用本发明的标记形成方法形成的识别码的液晶显示装置1。
在图1中，在作为对象物的液晶显示装置1的基板2的一个表面即表面2a上，形成有显示部3。显示部3为四角形状，在其大致中央位置封入液晶分子。表面2a是喷出液滴的表面。在显示部3的外侧，形成有扫描线驱动电路4及数据线驱动电路5。液晶显示装置1根据这些扫描线驱动电路4生成的扫描信号和数据线驱动电路5生成的数据信号来控制显示部3内的液晶分子的取向状态。液晶显示装置1根据液晶分子的取向状态来调节来自照明装置(未图示)的平面光，并在显示部3的区域中显示出所期望的图像。
在图1中，在表面2a的左侧下角，划分形成有由一边约为1mm的正方形构成的编码形成区域S(以2点虚线表示的圆形内)。此编码形成区域S假设被分割为16行×16列的数据单元C。在所选择出的数据单元C(some selected data cells)中形成点D(标记)。配置这些多个点D，以便形成规定的图形，这种点D的配置图形构成了液晶显示装置1的别码10。
在本实施方式中，目标喷出位置P是点D形成的数据单元C的中心位置。单元宽度W就是各数据单元C的一边的长度。
各个点D为其外径是数据单元C的一边的长度即单元宽度W的半球。通过在数据单元C上喷出使作为点形成材料的金属微粒(例如，镍微粒或锰微粒)分散在分散剂中的液状体F(参照图4)的液滴Fb，干燥及烘焙在数据单元C上着落的液滴Fb来形成这些点D。通过照射激光B(参照图5)来进行着落的液滴Fb的干燥及烘焙。在本实施方式中，虽然通过干燥及烘焙液滴Fb来形成点D，但不限于此。例如，也可以仅仅通过激光B的干燥来形成。
然后，按照各数据单元C内的点D的图形，识别码10再现含有液晶显示装置1的制造编号和批次编号的制造信息。
按照图1～图5，X方向为基板2的长方向。Y方向为基板2的横方向，是与X方向正交的方向。Z方向为垂直X方向及Y方向的方向。特别地，图中箭头所示的方向作为+X方向、+Y方向、+Z方向，与此相反的方向就分别为-X方向、-Y方向、-Z方向。
接着，说明作为用于形成所述识别码10的装置的液滴喷出装置20。在图2中，液滴喷出装置20具有基台21。基台21被形成为长方体形状，其长方向沿着X方向。在基台21的上面，形成有按X方向延伸的一对引导沟槽22。在基台21的上侧，安装有基板台23。基板台23与在基台21上设置的X轴电动机MX(参照图6)进行驱动连接，沿着引导沟槽22以规定速度(搬运速度Vx)沿X方向平移(translate)。在基板台23的上面，设置有吸引式的紧固机构(未图示)。基板台23定位固定以表面2a(编码形成区域S)为上侧承载的基板2。
沿着基台21的Y方向，架设引导构件24。当从X方向进行观看时，引导构件24为门一样的形状。在引导构件24之上，配设有容纳箱25。容纳箱25容纳液状体F，在喷射头30中导出相同的液状体F。在引导构件24的下侧，形成在Y方向上沿引导构件24的整个宽度延伸的一对导轨26。在一对导轨26上安装滑架27。滑架27与在引导构件24上设置的Y轴电动机MY(参照图6)进行驱动连接，沿此导轨26在Y方向上平移。
在图4中，在滑架27的下侧，设置有导向构件28。导向构件28为长方体形状，在Y方向延伸。导向构件28具有导向面28a，通过滑架27的Y方向的大致整个宽度来形成导向面28a。导向面28a的曲率中心Cr位于基板2的表面2a之上，其截面为圆弧状的凹面。
在导向构件28的导向面28a上，设置有沿Y方向延伸的转动台29。转动台29构成转动装置。转动台29在其导向构件28侧，具有相对于所述导向面28a的凸面即滑动面29a。此外，转动台29在基板台23侧，具有沿着基板2的表面2a的平面即台面29b。转动台29通过在导向构件28内设置的蜗轮等(未图示)与转动电动机MR(参照图6)进行驱动连接，沿着所述导向面28a使此滑动面29a滑动或转动。即，转动台29以所述曲率中心Cr为转动中心使台面29b转动，以便滑动面29a和所述导向面28a成为同一平面。
在本实施方式中，如图4所示，基准位置是指与所述滑动面29a和所述导向面28a一致的转动台29的位置。此外，如图5所示，描绘位置是指所述滑动面29a仅以右旋规定角度(转动角θr)转动的转动台29的位置。
如图3所示，在转动台29的台面29b上，设置与沿基板2侧即-Z方向延伸的脚部连接的板状支承构件31。在支承构件31的基板2的一侧即-Z方向上，支承有喷射头32。
在图3中，在喷射头32之上，具备喷嘴板33。喷嘴板33在基板2一侧的侧面具有沿着所述台面29b的喷嘴形成面33a。喷嘴形成面33a沿着Y方向划分形成以等间隔(所述单元宽度W的间距宽度)排列的16个圆形孔即喷嘴N。
如图4所示，各个喷嘴N沿着各个喷嘴形成面33a的法线方向延伸，且沿着所述滑动面29a的径向方向配置。在图4中，喷出方向A1作为滑动面29a的径向方向称为喷嘴N的取向方向。此外，着落位置PF作为所述曲率中心Cr，位于液滴Fb着落基板2的表面2a上的位置。
在图4A中，在各喷嘴N的上侧，形成有与各个容纳箱25连通的凹槽34。各个凹槽34将从各个容纳箱25中导出的液状体F供给到对应的喷嘴N内。在各个凹槽34的上侧，粘贴有振动板35。振动板35可以在上下各个方向上振动，扩大或缩小凹槽34内的容积。在振动板35的上侧，设置有分别与喷嘴N对应的16个压电元件PZ。各个压电元件PZ接收用于控制各个压电元件PZ的驱动的信号(参照图6压电元件驱动电压COM1)而在上下方向上收缩并伸张，并使对应的振动板35在上下方向上振动。当振动板35在上下方向上进行振动时，对应的喷嘴N就沿着其喷出方向A1喷出液滴Fb。
转动电动机MR接收使位于基准位置处的转动台29以描画位置进行转动的信号(参照图6转动电动机SMR)而进行正向转动。于是，转动台29的台面29b(喷嘴形成面33a)以所述着落位置PF作为转动中心仅以右旋转动角θr进行转动。由此，如图5所示，存在作为激光照射装置的激光头37的喷射头32(喷嘴形成面33a)和基板2之间的距离会在喷射头32的+方向侧扩大即存在激光头37侧扩大。
在数据单元C的目标喷出位置P位于着落位置PF的定时下，各压电元件PZ接收压电元件驱动电压COM1。如图5所示，接收压电元件驱动电压COM1的压电元件PZ就从喷嘴N中沿着喷出方向A1(滑动面29a的径向内侧)喷出液滴Fb。由于喷出的液滴Fb沿着喷出方向A1飞行，所以无论转动角θr的大小如何，都会在着落位置PF处着落。在着落位置PF处着落的液滴Fb就会沿着表面2a湿润扩散，其外径为所述单元宽度W。
因此，当存在激光头37的一侧扩大喷嘴形成面33a和基板2之间的距离时，喷射头32就能够维持液滴Fb的着落位置和液滴Fb的飞行距离(着落位置的位置精度)。
如图3所示，在转动台29的台面29a，在Y方向上延伸的大致三角形柱状的支承构件36相对于所述喷射头32位于+X方向的位置。支承构件36就相对于Z方向具有倾斜的支承面，在此支承面上，支承有在Y方向上延伸的长方体形状的激光头37。
在激光头37的内部，配设有分别对应于所述喷嘴N的半导体激光器LD(参照图6)。各半导体激光器LD接收用于驱动控制各个半导体激光器LD的信号(激光驱动电压COM2参照图6)时，射出对应于液滴Fb的吸收波长的波长区域的激光，激光头37位于此基板2侧的侧面，沿Y方向划分形成以等间隔(所述单元宽度W的形成间距)排列的16个照射口38。照射口38对应于各喷嘴38。
如图4所示，形成朝向分别对应的所述着落位置PF、沿滑动面29a的径向方向延伸的光轴，各喷射口38沿同一光轴发射激光B(参照图5)。
如图4A所示，照射方向A2是光轴延伸的方向，光轴通过各照射口38。照射角θb是指照射方向A2和表面2a的法线方向所成角度。
位于基准位置的转动台29在描绘位置转动时，如图5所示，各照射口38以着落位置PF为转动中心右旋转动。如图5A所示，照射方向A2接近基板2的法线方向，照射角θb仅变小转动角θr。
接着，在数据单元C的目标喷出位置P位于着落位置PF的定时下，激光器LD接收激光驱动电压COM2。接收激光驱动电压COM2的半导体激光器LD从对应的照射口38沿照射方向A2照射激光B。
此时，喷嘴形成面33a和基板2之间的距离由于喷射头32的转动，而在此激光头37的附近扩大。为此，沿照射方向A2射出的激光B就不会被喷射头32遮蔽，并照射着落位置PF(目标喷出位置P)。即，沿照射方向A2照射的激光B的照射角θb变小，且将此照射位置维持在着落位置，对外径由单元宽度W形成的液滴Fb的区域进行照射。
因此，激光头37改变激光B的“照射角θb”(能量密度)时，能够维持激光B的照射位置和此位置精度。
由此，激光头37能够对液滴Fb的区域照射仅变小转动角θr的照射角θb(能量密度高)的激光B。激光头37能够避免液滴Fb的干燥不足，能够在对应的数据单元C内形成具有单元宽度W的外径的点D。
接着，根据图6说明所述结构的液滴喷出装置20的电气结构。
在图6中，控制装置41具备CPU、RAM、ROM等，在ROM等中保存有各种数据和各种控制程序。控制装置41根据这些各种数据和各种控制程序，使基板台23移动，驱动喷射头32、激光头37及转动台29。
在控制装置41上连接有具有启动开关、停止开关等操作开关的输入装置42。将识别码10的图像作为已定形式的描绘数据Ia从输入装置42输入到控制装置41中，同时还将转动台29的转动角度θr作为已定形式的转动角度数据Iθ从输入装置42输入到控制装置41中。然后，控制装置41接收来自输入装置42的描绘数据Ia，生成位映像数据BMD、压电元件驱动电压COM1及激光驱动电压COM2，接收来自输入装置42的转动角度数据Iθ生成转动电动机驱动信号SMR。
位映像数据BMD按照各位的值(0或1)规定压电元件PZ的导通或断开。位映像数据BMD是规定是否对二维描绘平面(编码形成区域S)上的各数据单元C中喷出液滴Fb的数据。
控制装置41连接到X轴电动机驱动电路43，向X轴电动机驱动电路43输出对应的驱动控制信号。X轴电动机驱动数据43响应来自控制装置41的驱动控制信号，使X轴电动机MX正转或反转。控制装置41连接到Y轴电动机驱动电路44，向Y轴电动机驱动电路44输出对应的驱动控制信号。Y轴电动机驱动电路44响应来自控制装置41的驱动控制信号，使Y轴电动机MY正转或反转。控制装置41连接到能够检测基板2的端缘的基板检测装置45，根据来自基板检测装置45的检测信号计算出通过着落位置PF的基板2的位置。
X轴电动机转动检测器46连接到控制41，向控制装置41输出检测信号。控制装置41根据来自X轴电动机转动检测器46的检测信号，运算基板台23(基板2)的移动方向及移动量(移动位置)。然后，控制装置41在各数据单元C的中心位置位于着落位置PF的定时下，向喷射头驱动电路48输出喷出定时信号LP1。
Y轴电动机转动检测器47连接到控制41，向控制装置41输出检测信号。控制装置41根据来自Y轴电动机转动检测器47的检测信号，运算喷射头32(激光头37)的Y方向的移动方向及移动量(移动位置)。然后，控制装置41将对应各喷嘴的着落位置PF配置在各个目标喷出位置P的搬送路径上。
控制装置41连接到喷射头驱动电路48，向喷射头驱动电路48输出喷出定时信号LP1。此外，控制装置41使压电元件驱动电压COM1同步于规定的时钟信号，并向喷射头驱动电路48输出。控制装置41根据位映像数据BMD生成同步于规定的基准时钟信号的喷出控制信号SI，将此喷出控制信号SI串行输送到喷射头驱动电路48。喷射头驱动电路48使来自控制装置41的喷出控制信号SI对应于各个压电元件PZ(多数)并顺序进行串行/并行转换。
喷射头驱动电路48接收来自控制装置41的喷出定时信号LP1时，对根据喷出控制信号SI选择的压电元件PZ分别供给压电元件驱动电压COM1。此外，喷射头驱动电路48向激光驱动电路49输出串行/并行转换的喷出控制信号SI。
控制装置41连接到激光驱动电路49，向激光驱动电路49输出同步于规定的时钟信号的激光驱动电压COM2。激光驱动电路49接收来自喷射头驱动电路48的喷出控制信号SI时，仅为待机规定时间(照射待机时间)，向对应于喷出控制信号SI的各半导体激光器LD分别供给激光驱动电压COM2。即，每当液滴Fb在着落位置着落时，控制装置41都通过激光驱动电路49向此液滴Fb的区域照射激光B。
控制装置41连接到转动电动机驱动电路50，对转动电动机驱动电路50输出转动电动机驱动信号SMR。转动电动机驱动电路50响应来自控制装置41的转动电动机驱动信号SMR使用于使转动台29转动的转动电动机MR正转或反转。转动电动机驱动电路50接收来自控制装置41的转动电动机驱动信号SMR时，正转或逆转转动电动机MR，使转动台29仅转动转动角度θr。
接着，说明使用液滴喷出装置20形成识别码10的方法。
首先，如图2所示，在基板台23上固定基板2使其表面2a为上侧。此时，相对于引导构件24(滑架27)在-X方向一侧配置基板2，在基准位置配置转动台29。
接着，操作输入装置42将描绘数据Ia和转动角度数据Iθ输入到控制装置41。于是，控制装置41根据描绘数据Ia生成并保存位映像数据BMD，生成压电元件驱动电压COM1及激光驱动电压COM2。生成压电元件驱动电压COM1及激光驱动电压COM2时，控制装置41控制Y轴电动机MY的驱动。在+X方向上搬送基板2时，在Y方向上设置滑架27(各喷嘴N)以便各目标喷出位置P通过对应的着落位置PF。
此外，控制装置41根据转动角度数据Iθ生成转动电动机驱动信号SMR，将此转动电动机驱动信号SMR向转动电动机驱动电路50输出。输出转动电动机驱动信号SMR时，控制装置41通过转动电动机驱动电路50，使转动电动机MR正转，使转动台29从基准位置转动到描绘位置。由此，控制装置41维持在使从各喷嘴N喷出的液滴Fb的着落位置和从各照射口38照射的激光B的照射位置共通的着落位置PT，仅使激光B的照射角θb仅减少转动角θr。
使转动台29在照射位置转动时，控制装置41控制X轴电动机MX的驱动，开始向基板2的+X方向进行搬送。控制装置41根据来自基板检测装置45及X轴电动机转动检测器46的检测信号，判断是否将位于最+X方向上的数据单元C的目标喷出位置P搬送到喷嘴N的正下方。
在此期间，控制装置41对喷射头驱动电路48输出喷出控制信号SI，同时对喷射头驱动电路48及激光驱动电路49分别输出压电元件驱动电压COM1及激光驱动电压COM2。
然后，将位于最+X方向一侧的数据单元C的目标喷出位置P搬送到着落位置PF时，控制装置41向喷射头驱动电路48输出喷出定时信号LP1。
对喷射头驱动电路48输出喷出定时信号LP1时，控制装置41通过喷射头驱动电路48，向根据喷出控制信号SI选择出的压电元件PZ分别供给压电元件驱动电压COM1，从选择出的喷嘴N一齐喷出液滴Fb。喷出的液滴Fb着落各自对应的目标喷出位置P，向对应的数据单元C内湿润扩散。当着落目标喷出位置P的液滴Fb从喷出动作的开始仅仅经过照射待机时间时，其外径为单元宽度W。
此外，向喷射头驱动电路48输出喷出定时信号LP1时，控制装置41使激光驱动电路49仅待机照射待机时间后，对根据喷出控制信号SI选择出的半导体激光器LD分别供给激光驱动电压COM2。然后，控制装置41使激光B从选择出的半导体激光器LD一齐射出。
从半导体激光器LD射出的激光B使其照射角θb仅减小转动角θr，使其相对于液滴Fb的能量密度增加。并且，避免了照射到液滴Fb的激光B的能量不足，即干燥不足，激光B在基板2的表面2a上形成外径由单元宽度W构成的点D。由此，控制装置41在位于最+X方向一侧的数据单元C中形成与单元宽度W相匹配的点D。
此后，同样地，控制装置41在+X方向搬送基板2，每当各目标喷出位置P到达着落位置PF时，就从选择出的喷嘴N中喷出液滴Fb，在着落的液滴Fb为单元宽度W的定时下，对液滴Fb的区域照射激光B。由此，在编码形成区域S内，形成所有的点D。
接着，在下文中描述所述结构的本实施方式的优点。
在滑架27上设置以着落位置PF为转动中心的转动台29，在转动台29配设喷射头32和激光头37。使液滴Fb从喷射头32的喷嘴N向着落位置PF沿喷射方向A1喷出。此外，喷出的液滴Fb使激光B从激光头37的照射口38向着落位置PF，沿喷出方向A2照射。即，着落位置PF位于从各喷嘴N沿喷出方向A1喷出的液滴Fb的飞行轨迹和从对应的照射口38沿照射方向A2射出的激光B的光轴的交点。
因此，改变激光B的照射角θb时，就能够将液滴Fb的着落位置维持在着落位置PF，能够使激光B的照射位置维持在着落位置Fb。其结果，改变激光B的照射角θb时，就能够维持喷出液滴Fb的着落位置和其位置精度、激光B的照射位置和其位置精度。因此，能够扩大激光B的照射条件，能够提高由液滴Fb构成的点D形状的控制性。
转动台29右旋转动，照射角θb仅减小转动角θr。因此，激光B的光轴仅接近基板2的法线的部分，能够使其对应于液滴Fb的能量密度增加，能够避免液滴Fb的干燥不足。
在转动台29上搭载滑架27。因此，相对于表面2a上的任意位置，能够仅以激光B的照射角θb进行改变。
在共通的转动台29上配设激光头37和喷射头32。因此，能够维持激光B和喷射头32的相对位置，当改变激光B的照射角θb时，能够使喷射头32从激光B的光路上离开。
再有，所述实施方式也可以进行如下变更。
也可以使照射角θb为0度。如果这样，就能够使对液滴Fb照射的激光B的能量密度为最大，能够更确实地避免液滴Fb的干燥不足。
或者，转动台29也可以左旋转动以增大照射角θb。在表面2a的面方向上扩大照射到液滴Fb的激光B的光剖面，就能够降低其能量密度。如果这样，就能避免激光照射引起的液滴Fb的突然沸腾，能够平滑地干燥及烘焙液滴Fb。
即，转动角θr也能够按照液滴Fb的干燥条件为任何值。
替代在共通的转动台29上配设激光头37和喷射头32，也可以在各个不同的转动台上配设激光头37和喷射头32。此情况下，使激光头37的转动中心和喷射头32的转动中心成为相同的目标喷射位置P。
代替利用激光B干燥及烘焙液滴Fb，也可以通过照射激光B使液滴Fb在所希望的方向上流动。或者，也可以对仅液滴Fb的外缘照射激光B，使液滴Fb锁定。即，也可以通过照射激光B形成由液滴Fb构成的标记。
由液滴Fb形成的标记不限于半圆球的点D，例如也可以是椭圆形状的点和线状的标记。
除了将标记具体化成识别码10的点D外，也可具体化成设置在液晶显示装置、有机电致发光显示装置或包括平面状的电子发射元件的电场效应型装置(FED和SED)的各种薄膜、金属布线、滤色片等。也可以是由着落的液滴Fb形成的标记。电场效应型装置对荧光物质照射从同一元素释放出的电子，使同一荧光物质发光。
基板2也可以是硅基板、柔性基板或金属基板，喷出液滴Fb的面也可以是这些基板的一个侧面。即，喷出液滴Fb的面也可以是由着落的液滴Fb形成标记的对象物的一个侧面。
权利要求
1.一种标记形成方法，具有从喷嘴向对象物表面的目标喷出位置沿喷出方向喷出液滴的步骤；从照射口向所述目标喷出位置沿照射方向照射激光，即通过对着落于所述表面的所述液滴照射激光，而在所述表面上形成标记的步骤，所述标记形成方法的特征在于，以所述目标喷出位置为转动中心使所述喷嘴和所述照射口一起转动，由此，在维持所述喷出方向和所述照射方向所成角度的状态下，一起改变相对所述对象物表面的法线和所述喷出方向形成的角度、及所述法线和所述照射方向形成的角度。
2.根据权利要求1所述的标记形成方法，其特征在于，使所述喷嘴和所述照射口一起转动，以使所述照射方向与所述法线大致平行。
3.一种液滴喷出装置，具有具有喷嘴的液滴喷射头，该液滴喷射头从所述喷嘴向对象物表面的目标喷出位置沿喷出方向喷出液滴；具有照射口的激光照射装置，该激光照射装置从所述照射口向所述目标喷出位置沿照射方向照射所述激光，所述液滴喷出装置的特征在于，具有转动装置，该转动装置以所述目标喷出位置为转动中心使所述喷嘴和所述照射口一起转动，由此，在维持所述喷出方向和所述照射方向所成角度的状态下，一起改变相对所述对象物表面的法线和所述喷出方向形成的角度、及所述法线和所述照射方向形成的角度。
4.根据权利要求3所述的液滴喷出装置，其特征在于，所述转动装置使所述喷嘴和所述照射口一起转动，以使所述照射方向与所述法线大致平行。
5.根据权利要求3或4所述的液滴喷出装置，其特征在于，所述转动装置具有能够以所述目标喷出位置为转动中心转动的转动台，在该转动台上搭载有所述液滴喷射头和所述激光照射装置，所述液滴喷出装置还具有相对于所述对象物的表面能够移动的滑架，所述转动台被搭载在所述滑架上。
全文摘要
一种标记形成方法，从喷嘴向基板表面的目标喷出位置沿喷出方向喷出液滴。从激光头的照射口向所述目标喷出位置沿照射方向发射激光。以目标喷出位置为转动中心同时使喷嘴和照射口转动，由此，在维持所述喷出方向和所述照射方向的形成角度的状态下，同时改变相对所述对象物表面的法线和所述喷出方向的形成角度及所述法线和所述照射方向的形成角度。由此，能够改变激光的照射角度，同时维持激光的位置精度。
文档编号B41M1/26GK1982062SQ2006100640
公开日2007年6月20日 申请日期2006年10月27日 优先权日2005年10月28日
发明者岩田裕二 申请人:精工爱普生株式会社