专利名称：一种太阳能电池网板套刻精度的测量方法
技术领域：
本发明涉及一种太阳能电池网板套刻精度的测量方法。
背景技术：
太阳能电池是利用光伏效应原理把太阳辐射能转换成电能，太阳能电池本质上是一个大面积半导体PN结的二结管。传统的太阳能电池制备方法对太阳能电池转换效率提升已经没有很大的空间。而选择性发射结SE工艺以及正电极两次印刷工艺，可以实现太阳能电池转换效率的大幅度提升。选择性发射结SE工艺，目前成熟的工艺，一般采用两次扩散方法形成。基本原理是将原来的单次扩散，分成两步，形成重扩区和轻扩区。而形成不同扩散方阻，表面浓度和结深的区域，需要对第一次扩散进行掩膜，非掩膜区形成重扩区。 非掩膜区需要进行第一次印刷开出重扩槽。如何保证第一次印刷开出的重扩槽，能和正电极印刷的细栅重合起来，是影响选择性发射结太阳能电池SE工艺批量生产的因素。另外， 提高正电极的高宽比，减少细栅遮光，降低串联电阻，也能大幅度提升太阳能电池的转换效率。目前，很多公司采用的正电极二次印刷工艺，就是基于此原理得以推广。不管是两次扩散的SE工艺，还是正电极二次印刷工艺，都涉及两次印刷的问题。 这两次印刷要保证其对准精度高。如果发生偏移，将造成太阳能电池转换效率的大幅下降。 因此，对两次印刷的网板套刻精度提出了高的要求。现有技术的不足目前传统的太阳能电池工艺都采用正电极一次丝印。所以，对网板的套刻精度没有要求。一般线宽，长度，张力，目数，线距，细栅根数等参数达到设计要求即可。但不符合两次扩散的SE工艺和正电极二次两次印刷工艺要求。传统的测量方法，会造成两次网板X，Y轴向偏移或局部偏移，旋转偏移。这将导致电池片的电性能失效。套刻精度要求在半导体光刻工艺中的应用已经很广泛，但在太阳能工艺中的应用比较少。半导体中套刻精度检测设备价格昂贵，会增加很高的制造成本。本发明主要利用现有的网板测量仪，通过一种简单的方法，实现对两次印刷的网板套刻精度的控制。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种测量网板套刻精度的方法，解决现有测量方法造成两次网板偏移的问题。本发明提供一种测量网板套刻精度的方法，其特征在于包括如下步骤a确定第一块网板的四个定位点中心位置坐标、细栅外框线中心线，分别测量第一块网板四个定位点中心位置到细栅外框线中心线的垂直距离；b确定第二块网板的四个定位点中心位置坐标、细栅外框线中心线，分别测量第二块网板四个定位点中心位置到细栅外框线中心线的垂直距离；c以第一块网板测试的垂直距离为标准，测试出第二块网板X轴，Y轴偏移距离是否在套刻精度要求范围内；d将第一块网板的四个定位点交叉连接成水平线和垂直线，测量水平线或垂直线与相应外框线中心线的平行度或垂直度，再将第二块网板的四个定位点交叉连接成水平线和垂直线，测量其水平线或垂直线与相应外框线中心线的平行度或垂直度，依据两个平行度或垂直度的差值得出网板旋转位置的便移量。上述技术方案中，解决了两块网板的尺寸X轴、Y轴方向偏移问题，并且可以解决网板整面旋转带来的角度偏移。
图1为网板结构示意图；图2为网板定位点中心位置到每根细栅中心线的垂直距离；图3示出了两个网板的平行度，垂直度。
具体实施例方式下面结合附图对本发明技术方案进行详细说明。如图1所示，现有技术中的网板一般包括细栅2、细栅外框线3、主栅6，其中1为定位点。结合图1、图2和图3所示，本发明公开了一种测量网板套刻精度的方法，包括如下步骤a确定第一块网板的四个定位点1中心位置坐标、细栅外框线3中心线，分别测量第一块网板四个定位点1中心位置到细栅外框线3中心线的垂直距离；确定第二块网板的四个定位点1中心位置坐标、细栅外框线3中心线，分别测量第二块网板四个定位点1中心位置到细栅外框线3中心线的垂直距离；以第一块网板测试的垂直距离为标准，测试出第二块网板X轴，Y轴偏移距离是否在套刻精度要求范围内；b确定第一块网板所有的细栅2中心线，测量第一块网板某个定位点中心位置到每根细栅2中心线的垂直距离Ll至Lx ；确定第二块网板的所有的细栅2中心线，测量第二块网板相应定位点中心位置到每根细栅2中心线的垂直距离Ll至Lx ；以第一块网板测量的每根垂直距离为标准，测试出第二块网板每根垂直距离的距离差，判断是否在套刻精度要求范围内；c将第一块网板的四个定位点交叉连接成水平线和垂直线，测量水平线或垂直线与相应外框线中心线的平行度5或垂直度4，再将第二块网板的四个定位点交叉连接成水平线和垂直线，测量其水平线或垂直线与相应外框线中心线的平行度5或垂直度4，依据两个平行度5或垂直度4的差值得出网板旋转位置的便移量。以上步骤只要在前两项中选择一项，再结合最后一项结合测量，就能保证两块网板的套刻精度。需要说明的是，通过软件编辑，可以把以上3种测量方法编辑到一起，连续测量，测量时间也只需要5分钟左右。本发明技术方案的有益效果是，可以确定两次印刷的网板套刻精度是否超出公差。在正式生产前就排除了有偏移或偏差的问题网板。减少了因网板套刻精度差，导致的电池片失效而产生的不良片。根据统计，通过这种网板套刻精度测量方法，将印刷偏移的不
4良率，从8%降低到0.02%。基本实现了选择性发射结SE工艺或正电极两次印刷工艺的量产化。 最后所应说明的是，以上实施例仅用于说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围中。
权利要求
1.一种测量网板套刻精度的方法，其特征在于包括如下步骤a确定第一块网板的四个定位点中心位置坐标、细栅外框线中心线，分别测量第一块网板四个定位点中心位置到细栅外框线中心线的垂直距离；b确定第二块网板的四个定位点中心位置坐标、细栅外框线中心线，分别测量第二块网板四个定位点中心位置到细栅外框线中心线的垂直距离；c以第一块网板测试的垂直距离为标准，测试出第二块网板X轴，Y轴偏移距离是否在套刻精度要求范围内；d将第一块网板的四个定位点交叉连接成水平线和垂直线，测量水平线或垂直线与相应外框线中心线的平行度或垂直度，再将第二块网板的四个定位点交叉连接成水平线和垂直线，测量其水平线或垂直线与相应外框线中心线的平行度或垂直度，依据两个平行度或垂直度的差值得出网板旋转位置的便移量。
2.根据权利要求1所述的一种测量网板套刻精度的方法，其特征在于还包括如下步骤确定第一块网板所有的细栅中心线，测量第一块网板某个定位点中心位置到每根细栅中心线的垂直距离；确定第二块网板的所有的细栅中心线，测量第二块网板相应定位点中心位置到每根细栅中心线的垂直距离；以第一块网板测量的每根垂直距离为标准，测试出第二块网板每根垂直距离的距离差，判断是否在套刻精度要求范围内；
3.一种测量网板套刻精度的方法，其特征在于包括如下步骤a确定第一块网板的四个定位点中心位置坐标、所有的细栅中心线，测量第一块网板某个定位点中心位置到每根细栅中心线的垂直距离；b确定第二块网板的四个定位点中心位置坐标、所有的细栅中心线，测量第二块网板相应定位点中心位置到每根细栅中心线的垂直距离；c以第一块网板测量的每根垂直距离为标准，测试出第二块网板每根垂直距离的距离差，判断是否在套刻精度要求范围内；d将第一块网板的四个定位点交叉连接成水平线和垂直线，测量水平线或垂直线与相应外框线中心线的平行度或垂直度，再将第二块网板的四个定位点交叉连接成水平线和垂直线，测量其水平线或垂直线与相应外框线中心线的平行度或垂直度，依据两个平行度或垂直度的差值得出网板旋转位置的便移量。
全文摘要
本发明公开了一种测量网板套刻精度的方法，包括如下步骤a确定第一块网板的四个定位点中心位置坐标、细栅外框线中心线，分别测量第一块网板四个定位点中心位置到细栅外框线中心线的垂直距离；b同理分别测量第二块网板四个定位点中心位置到细栅外框线中心线的垂直距离；c判断第二块网板X轴，Y轴偏移距离是否在套刻精度要求范围内；d将第一块网板的四个定位点交叉连接成水平线和垂直线，测量水平线或垂直线与相应外框线中心线的平行度或垂直度，同理测量第二块网板的平行度或垂直度，依据两个平行度或垂直度的差值得出网板旋转位置的便移量。解决了两块网板的尺寸X轴、Y轴方向偏移问题，解决了网板整面旋转带来的角度偏移。
文档编号B41F33/00GK102501592SQ2011103350
公开日2012年6月20日 申请日期2011年10月28日 优先权日2011年10月28日
发明者吴国强, 徐华浦, 王庆钱 申请人:浙江鸿禧光伏科技股份有限公司