涂胶设备的制作方法

文档序号:11189075阅读:482来源:国知局
涂胶设备的制造方法与工艺

本发明涉及涂胶制造技术领域,尤其涉及一种涂胶设备。



背景技术:

电子行业加工生产中经常需要使用到涂胶的制程。涂胶制程使用在半导体、显示器、触摸屏等电子制程中,目前采用的涂胶方式比较多,传统的涂胶设备有滚动、结网、凸版印刷等,随着电子行业节约成本的发展,有一些厂商开始使用喷墨印刷的方式做涂胶制程,该喷墨印刷涂胶方式有可以按需打印的特点,可以直接打印出大概图形,该方式节约材料成本;但是确难以保证涂胶的精度。



技术实现要素:

本发明提供一种提高涂胶精度的涂胶设备。

本申请一种涂胶设备,包括承载基板的移动承载台、具有镂空图案的掩膜板、对位系统以及涂料喷头,所述掩膜板位于所述移动承载台上方与所述基板之间具有间隙,所述掩膜板在所述移动承载台的正投影完全覆盖所述基板,所述对位系统位于所述移动承载台上方掩膜板一侧,所述涂料喷头位于所述掩膜板正上方用于喷射涂料至掩膜板上。

其中,所述涂胶设备包括承载框,所述承载框支撑于移动承载台的上方,所述承载框包括承载边,所述掩膜板的周边通过所述承载边支撑。所述承载框带有真空孔,对所述掩膜板进行吸附固定,避免掩膜板对位使用过程中移动,影响对位精度。

其中,所述掩膜板和所述基板均设有定位标记,用于所述掩膜板和所述基板的对位。

其中,所述定位标记为静态标记,或者为位置感应器。

其中,所述移动承载台包括台板及支撑并带动台板移动的移动部,所述移动部带动台板相对所述掩膜板移动以实现所述基板与掩膜板的对位。所述台版带有真空孔对所述基板进行吸附避免基板移动。

其中,所述移动部包括滑轨及与滑轨配合的滑槽,所述台板支撑于所述滑轨或者滑槽上;或者,所述移动部包括丝杠及滑动设于丝杠的滑块,所述台板支撑于所述滑块上。

其中,所述掩膜板上设有数个镂空区域构成的图案,所述涂料喷头喷射区域对应镂空区域喷射的区域大于该镂空区域的尺寸。

其中,通过调整所述间隙的尺寸调整所述涂料喷头在所述基板喷涂后的图案的均匀性。

其中,所述涂料喷头喷射的涂料为油墨。

所述涂胶设备包括控制器,所述控制器连接对位系统、承载框及移动承载台,用于控制对位系统对位所述承载框上的掩膜板与移动承载台上的基板。

本发明所述的涂胶设备采用对位系统于移动承载台对掩膜板与基板进行多次定位,同时可以调整掩膜板与基板之间的距离来精确喷涂范围的大小,实现精准对位,保证了喷涂印刷的品质。

附图说明

为更清楚地阐述本发明的构造特征和功效,下面结合附图与具体实施例来对其进行详细说明。

图1是本发明涂胶设备的示意图。

具体实施例

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中,附图仅用于示例性说明,表示的仅是示意图,不能理解为对本专利的限制。

本发明提供一种涂胶设备,适用于液晶显示器、触摸屏等层结构图文的形成,本实施例中的涂胶是指喷涂油墨,适用于液晶显示屏的玻璃基板上形成层结构图案。请参阅图1,所述涂胶设备包括承载基板10、移动承载台12、具有镂空图案的掩膜板13、对位系统14以及涂料喷头15。所述掩膜板13位于所述移动承载台12上方与所述基板10之间具有间隙s,所述掩膜板13在所述移动承载台12的正投影完全覆盖所述基板10,所述对位系统14位于所述移动承载台12上方掩膜板13一侧,所述涂料喷头15位于所述掩膜板13正上方用于喷射涂料至掩膜板13上。所述涂料喷头15的涂料为油墨。所述掩膜板13为金属掩膜板。

所述对位系统14可以是ccd图像传感器。所述对位系统包括摄像头及图形处理器和移动部件(图未示),所述喷头开始喷射前,所述移动部件将摄像头移动到对位标志附近进行摄像获取数据进行对位,完成对位动作后所述移动部件将所述摄像头移开所述掩膜板上方避免所述摄像头对喷头移动及喷射干扰。本实施例中,采用两个对位系统进行对位,两个对位系统分别位于掩膜板13的相对两侧,完成对位后两侧的对位系统会移出掩膜板13上方,所述对位系统14对所述掩膜板13相对基板10的位置进行精确对位。

所述涂胶设备使用掩膜板13作为母版,涂料喷头15先移动到掩膜板上方需要喷射的位置将涂料喷于掩膜板13上,掩膜板的图案的镂空部分露出基板10的表面并被涂料涂满,也就相当于转印的方式,如此不需要喷涂的部分被掩膜板遮挡,使转印至基板10的团更为精确。

所述涂胶设备包括承载框16,所述承载框16支撑于移动承载台12的上方,所述承载框16为四边形或者多边形框体,其包括承载边161,所述掩膜板13的周边通过所述承载边161支撑,这样就是掩膜板13的图案漏出来。同时承载框16上的真空孔对掩膜板13进行吸附,避免掩膜板移动影响对位精度。

所述涂胶设备包括控制器,所述控制器连接对位系统14、承载框16及移动承载台,用于控制对位系统14对位所述承载框16上的掩膜板13与移动承载台12上的基板10。控制器控制承载框16与移动承载台10的初步定位,主要根据人眼识别定位标记或者根据位置感应器给控制器的数据控制承载框16与移动承载台10的位移,然后通过对位系统14对掩膜板13于基板10的位置进行精准定位后将数据传递给控制器,再由控制器调整移动承载台10的位置来实现基板10的位置的调整,要保证掩膜板的正投影完全覆盖基板10同时掩膜板的图案对准基板10的成图区域。

在所述将具有待形成于基板10的图案的掩膜板13装于承载框16上进行真空吸附对掩膜板13进行固定,移动承载台12上放置好待喷涂的基板10后进行真空吸附对基板10进行固定,然后调整基板10相对于掩膜板的间隙尺寸s,具体的,所述的承载台具有升降部,所述升降部带动台板相对所述掩膜板升降以实现所述的基板和掩膜板的间隙的尺寸调整。

控制器调整承载框16与移动承载台12的位置使掩膜板13与基板10初步对位,然后控制器控制所述对位系统14再进准基板10与掩膜板13的位置后再次调整移动承载台12的位置,使基板10待涂布区域与掩膜板13的图案区域精准对位,再控制涂料喷头15移动到掩膜板上方需要喷涂的位置进行喷涂。所述的控制器控制喷头喷射量对喷射到所述基板的油墨厚度进行调整,保证喷射膜厚达到要求。所述喷头通过所述掩膜板镂空将油墨喷射到基板10上,所述掩膜板13起到母版作用,最终使所述掩膜板上的图案印刷在所述基板上,实现图案的转移。在喷涂过程中,可以通过控制器调整所述喷头15的喷射量及位置,实现喷头在掩膜板13上喷涂区域的大小。也可以精确到喷涂每个图案区域的大小。由于喷头15和掩膜板13的距离尺寸s可控且掩膜板和基板的平整度可以保证,可以将掩膜板13的和基板10的距离调整得很小,优选的是50um,这样可以将掩膜板13和基板10间的间隙的油墨扩散距离缩小,就可以保证母板掩膜板13更精确的印刷在基板10上面和整体喷涂均一性,只要可以保证图案的完整喷涂。油墨经过喷头喷到掩膜板13上,位于图案区域的油墨在基板10上形成了油墨图形。

也就是说通过调整所述间隙s的尺寸调整所述涂料喷头15在所述基板10喷涂后的图案的均一性及精度。比如,掩膜板13远离基板12,也就是增加s的距离,那么所述涂料喷头15穿过掩膜板13上喷涂到基板10的范围就增大,反之范围就减小,如此可以更精确的调整在基板上形成图案的外型的大小。优选的,喷涂喷头15在掩膜板上喷涂的范围比掩膜板13镂空图案的范围略大些,保证镂空位置全部被喷涂上。

进一步的,所述掩膜板13上设有数个镂空区域构成的图案,所述涂料喷头15对应镂空区域喷射的区域大于该镂空区域的尺寸,如此可以保证喷涂的完整性。

进一步的,所述掩膜板13和所述基板10均设有定位标记,用于所述掩膜板13和所述基板10的对位。所述定位标记为静态标记(如刻度线),或者为位置感应器。比如使用位置感应器对掩膜板13和所述基板10对位位置感应器将数据传递给控制器,控制器控制移动承载台12的位移。

所述移动承载台12包括台板121及支撑并带动台板121移动的移动部(图未示),所述移动部带动台板121相对所述掩膜板13移动以实现所述基板10与掩膜板13的对位。所述移动部包括滑轨及与滑轨配合的滑槽,所述台板支撑于所述滑轨或者滑槽上;或者,所述移动部包括丝杠及滑动设于丝杠的滑块,所述台板支撑于所述滑块上。

本发明所述的涂胶设备采用对位系统于移动承载台对掩膜板与基板进行多次定位,同时可以调整掩膜板与基板之间的距离来精确喷涂范围的大小,实现精准对位,保证了喷涂印刷的品质。

以上所述是本发明的优选实施例,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

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