喷液头以及喷液装置的制造方法

文档序号:9362887阅读:523来源:国知局
喷液头以及喷液装置的制造方法
【专利说明】喷液头以及喷液装置
[0001]本申请是申请号为201210069439.0、发明名称为“喷液头以及喷液装置”、申请日为2012年3月15日的发明专利申请的分案申请。
技术领域
[0002]本发明涉及从喷嘴开口喷射液体的喷液头以及喷液装置,特别涉及作为液体排出墨液的喷墨式记录头以及喷墨式记录装置。
【背景技术】
[0003]作为喷射液滴的喷液头的代表例即喷墨式记录头,有例如如下类型:具备:沿着较长方向形成有多个压力发生室的流路形成基板;和在流路形成基板的一面侧与所述各压力发生室相对应地设置的压电致动器,通过各压电致动器的移位对压力发生室赋予压力,从而使墨滴从各喷嘴开口喷射。在此,各喷嘴开口与各压力发生室相对应并且在其厚度方向上贯通而设置(例如,参照专利文献1、专利文献2)。该喷嘴板贴附于所述流路形成基板的另一面侧以封闭所述压力发生室的另一面侧的开口部。即,在流路形成基板的另一面侧直接粘贴有嗔嘴板。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:特开2006-212478号公报
[0007]专利文献2:特开2009-233870号公报
[0008]但是,喷嘴板为比较高价的部件,这成为该喷墨式记录头的成本高企的原因之一。另外,在喷嘴板中有的涂敷有绝缘性的疏水膜,在这样的情况下,更加显著地成为成本高企的主要原因。
[0009]另外,流路形成基板通过在作为单晶硅基板的流路形成基板用晶片上一次形成了多个之后、分别切制而形成。因此,为了谋求该喷墨式记录头的成本的降低,重要的是增加流路形成基板的切取数量。因此,期待流路形成基板的尽可能的小型化。
[0010]但是,在如上所述的现有技术所涉及的喷墨式记录头中,存在如下问题:在流路形成基板还设置有预先贮存有对各压力发生室供给的墨液的液体贮存部,所以小型化也有限度,这成为阻碍成本减低的主要原因。
[0011 ] 另外,这样的问题不仅在排出墨液的喷墨式记录头中而且在喷液墨液以外的液体的喷液头中也同样存在。

【发明内容】

[0012]本发明鉴于上述情况,其目的在于提供能够通过谋求喷嘴板的小型化和/或具备压力发生室的部件的小型化来谋求整体成本的降低化的喷液头以及具备其的喷液装置。
[0013]解决上述问题的本发明的方式,一种喷液头,其特征在于,具备:设置有喷射液体的喷嘴开口的喷嘴板;致动器单元,其具备设置有与所述喷嘴开口连通的压力发生室的流路形成基板和使所述压力发生室内的液体产生压力变化的压力发生装置;连通板,其设置于所述喷嘴板与所述致动器单元之间,设置有使所述压力发生室和所述喷嘴开口连通的连通路径;第一壳体部件,其为与所述连通板接合使得所述致动器单元配设于内部的框体,与所述致动器单元形成预先贮存向所述压力发生室供给的液体的液体贮存部的一部分;和第二壳体部件,其接合于所述第一壳体部件,形成有将所述液体从外部送到所述液体贮存部的导入路径。
[0014]在该方式中,液体贮存部的喷嘴板侧的面由连通板限定(形成),所以能够将喷嘴板形成为宽度较窄。其结果,能够缩小喷嘴板20的面积,能够降低喷嘴板20的成本。特别是,在嗔嘴板的表面设有具有疏水性的疏水I旲的情况下,能够减小尚价的疏水I旲的面积,所以能够取得显著的减低成本的效果。另外,即使单纯地减小作为喷嘴板的材料的比较高价的金属板和/或陶瓷板的面积,当然也能够有助于成本的减低。
[0015]进而本发明提供一种喷液头,其具备:在喷液面设置的喷嘴开;致动器单元,其具备流路形成基板和压力发生装置,所述流路形成基板设置有与所述喷嘴开口连通的压力发生室,所述压力发生装置使所述压力发生室内的液体产生压力变化;连通板,其设置有使所述压力发生室和所述喷嘴开口连通的连通路径;第一壳体部件,其与所述连通板接合;和第二壳体部件,其接合于所述第一壳体部件,形成有将所述液体从外部送到液体贮存部的导入路径,
[0016]所述液体贮存部由所述连通板、所述第一壳体和所述第二壳体形成,并设置于所述致动器单元的两侧,且该液体贮存部与所述压力发生室连通。
[0017]在本方式中,在框体的内周面与致动器单元的端面之间形成有所述液体贮存部,所以也能够实现致动器单元的小型化,从这一点来看也能够有助于成本的减低。即,在娃晶片等大尺寸的基板上一体地形成多个流路形成基板等时,通过使流路形成基板等小型化,从而能够增加切取数量,其结果是能够谋求成本的降低。
[0018]以第一壳体部件以及第二壳体部件为代表,能够层叠各部件而整体组装,所以也能够与定位的容易性相结合地使制造步骤合理化。
[0019]进而,在本方式中,优选,具备封闭所述液体贮存部的一部分的、至少一部分为具有柔性的柔性部的封闭膜,所述第一壳体部件具有形成于所述框体的层叠所述第二壳体部件侧的面的外周部分的壁面部,所述第二壳体部件具有壳体主体和形成所述柔性部的封闭膜并且嵌入于所述框体所形成的内部空间,使得所述封闭膜在所述壳体主体与所述框体的所述层叠侧的面之间被夹持。在该情况下,通过将封闭膜夹持于壳体主体和框体之间而固定封闭膜,所以能够良好地确保封闭膜和框体之间的密封性。
[0020]进而,优选,所述致动器单元的所述压力发生装置由保护部件覆盖,并且所述保护部件具有面对所述液体贮存部且与所述柔性部相对的缺口部。由此,能够保护压力发生装置并且能够扩展柔性部的面积到与缺口部相对应的区域为止,所以能够使该部分具有较大的柔软性。
[0021]进而,本发明的其他的方式,一种喷液装置,其特征在于,具备上述方式的喷液头。
[0022]在该方式中,能够实现提高了液体的喷射品质的喷液装置。
【附图说明】
[0023]图1是实施方式所涉及的记录头的分解立体图。
[0024]图2是实施方式所涉及的记录头的俯视图。
[0025]图3是图2的A-A线放大剖视图以及放大地表示其一部分的剖视图。
[0026]图4是表示实施方式所涉及的记录装置的概略构成的图。
[0027]附图标记说明
[0028]I喷墨式记录装置(喷液装置)1、1A、IB喷墨式记录头(喷液头)
[0029]2喷墨式记录头单元(喷液头单元)10流路形成基板
[0030]12压力发生室14墨液供给路径15连通板16连通路径
[0031]20喷嘴板21喷嘴开口 30保护基板30A缺口部
[0032]40第一壳体部件40A框体40B壁面部41第二壳体部件
[0033]41B封闭膜42导入路径60第一电极70压电体层
[0034]80第二电极90引线电极100歧管120驱动电路
[0035]121布线基板200致动器单元300压电致动器
【具体实施方式】
[0036]以下,基于实施方式详细地说明本发明。
[0037]图1是表示本发明的实施方式所涉及的喷液头的一例的喷墨式记录头的分解立体图。图2是其俯视图,图3是图2的A-A线放大剖视图以及抽出地表示其致动器单元部分的放大剖视图。
[0038]如图所示,流路形成基板10,在本实施方式中由面方位(110)的单晶硅基板构成,在其一面形成有由二氧化硅构成的弹性膜50。在流路形成基板10中,形成有2列在大致直线上并排设置有多个压力发生室12的列。另外,在大致直线上并排设置有压力发生室12的2列中,相对于一方的压力发生室12的列,另一方的压力发生室12的列配置于按并排设置方向上的压力发生室12的相邻间隔的一半错开的位置。由此,详情将后述的喷嘴开口 21也同样地,喷嘴开口 21的2列按一半的间隔错开配置,使析像度成为2倍。
[0039]另外,在流路形成基板10的压力发生室12的较长方向的一端部侧
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