振镜式三维激光内雕机的制作方法

文档序号:2657509阅读:631来源:国知局
专利名称:振镜式三维激光内雕机的制作方法
技术领域
本实用新型属于激光加工设备,具体涉及一种在水晶等玻璃制品内进行三维雕刻的振镜激光内雕机。
背景技术
现有的激光内雕机有二种方式一种是三维运动平台方式,由于三维运动平台方式可以采用分光路多头同时加工,可进行大批量生产;一种是采用振镜式。
现在随着人们对水晶工艺品个性化的追求,三维运动平台多光路方式因单头速度低已失去价值,单头振镜方式的优势(速度快)就发挥出来了,特别是与最近刚刚兴起的三维成像系统的配合,单头振镜方式的优势就发挥的淋漓尽致。而现在尚未有文献报道将3KHz激光器用于三维激光内雕机。

发明内容
本实用新型的目的在于提供一种振镜式三维激光内雕机,以提高雕刻速度。
本实用新型的技术方案为振镜式三维激光内雕机,它包括机柜,机柜内设的控制装置,激光器水冷却装置,机柜上设二维振镜扫描装置和升降装置,机柜上还设3KHz半导体泵浦的倍频钇铝石榴石激光器,3KHz半导体泵浦的倍频钇铝石榴石激光器设在二维振镜扫描装置的输入端。
本振镜式三维激光内雕机结构紧凑,能在水晶体内进行快速雕刻。


图1振镜式三维激光内雕机结构示意图图2激光器光路机构示意图图3二维扫描光路示意图具体实施方式
如图1所示,机柜8的上部为3KHz半导体泵浦的倍频钇铝石榴石激光器即YAG激光器1,扩束镜2和二维振镜扫描装置3;机柜8的左边依次为激光器水冷却装置4,它用于激光器的冷却,保证激光器的正常工作;激光电源5,控制系统6,工业计算机7;机柜8的右边为Z轴升降装置9。水晶样品放置在Z轴升降装置9的样品盘9-1上。
如图2所示,3KHz半导体泵浦的倍频钇铝石榴石激光器包括半导体泵浦的倍频钇铝石榴石激光器11,半导体泵浦的倍频钇铝石榴石激光器11的输出端设耦合透镜组12,耦合透镜组12的输出端设谐振腔13、18,谐振腔13、18内依光路依次设YAG棒14和声光调Q晶体15,声光调Q晶体15后还设有镜片16,和倍频晶体17。谐振腔13、18为高斯镜组成的非稳腔。
如图3所示,二维振镜扫描聚焦光路由扩束镜2,扩束镜2后设45度全反镜21、22,45度全反镜21、22的光路输出设F-Θ透镜23组成。F-Θ透镜23是特点是任何角度入射的光线经过F-Θ透镜后的出射光线垂直于F-Θ透镜。
该机工作过程为半导体泵浦激光器11通过耦合透镜组12把光的能量耦合进YAG棒14,如果没有镜片16和倍频晶体17,谐振腔13、18,YAG棒14,声光调Q晶体15组成的激光器将产生1064nm声光调Q激光。加入镜片16和倍频晶体17后,激光器将产生532nm声光调Q倍频激光。通过扩束镜2、45度全反镜21、22,F-Θ透镜23后,在焦点处产生一个高功率密度的激光脉冲,作用于水晶等玻璃制品内,形成一炸裂状的微点,同时控制二维振镜扫描装置及垂直升降工作台作三维运动,从而使水晶等玻璃制品内的微点组成三维的图像。
权利要求1.一种振镜式三维激光内雕机,它包括机柜,机柜内设的控制装置,激光器水冷却装置,机柜上设二维振镜扫描装置和升降装置,其特征在于机柜上还设3KHz半导体泵浦的倍频钇铝石榴石激光器,3KHz半导体泵浦的倍频钇铝石榴石激光器设在二维振镜扫描装置的输入端。
2.如权利要求1所述振镜式三维激光内雕机,其特征在于3KHz半导体泵浦的倍频钇铝石榴石激光器包括半导体泵浦的倍频钇铝石榴石激光器,半导体泵浦的倍频钇铝石榴石激光器的输出端设耦合透镜组,耦合透镜组的输出端设谐振腔,谐振腔内依光路依次设YAG棒和声光调Q晶体。
3.如权利要求2所述振镜式三维激光内雕机,其特征在于谐振腔内的声光调Q晶体后还设有镜片,和倍频晶体。
4.如权利要求2所述振镜式三维激光内雕机,其特征在于所述谐振腔由高斯镜组成的非稳腔。
专利摘要本实用新型公开了一种振镜式三维激光内雕机。它包括机柜,机柜内设的控制装置,激光器水冷却装置,二维振镜扫描装置和升降装置,它还包括3KHz半导体泵浦的倍频钇铝石榴石激光器。本3KHz振镜式三维激光内雕机结构紧凑,能在水晶体内进行快速雕刻。
文档编号B44B1/00GK2871236SQ20052009498
公开日2007年2月21日 申请日期2005年1月20日 优先权日2005年1月20日
发明者柯西军 申请人:柯西军
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