专利名称：平面内切换型液晶显示装置及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种液晶显示装置及其制造方法，更具体地涉及一种平面内切换型液晶显示装置及其制造方法。
例如栅板、源极、和漏极一般地要用多层的图案在薄膜晶体管(TFT)基板上形成。这样的多层图案中，含有栅极的下层与含有源极和漏极的上层的重叠中相互之间的重合失误必须相当小。
类似地，要在一个公共层中形成多个图案时，相邻图案彼此相接的边界中的重合失误也必须相当地小。
另外，在照像制版步骤中实际形成的图案尺寸与掩模定义的尺寸(也就是说与设计尺寸)之间的偏差必须等于或者小于一个阈值。
因为几乎不可能在液晶器件已经制造之后精确地测量上述的重合失误及尺寸偏差，经常使用一种游标间接地测量所述重合误差和偏差。
例如日本的待批专利公开号6-75243提出一种液晶器件，包括一种用于测量上述的重合失误和显示区偏差的游标图案。
液晶显示器件可以分成第一类型和第二类型，在第一类型中在一个垂直于基板的平面中转动对准的液晶分子的分子轴以显示一定的图像，在第二类型在一个平等于基板的平面中基板的平面中转动对准的液晶分子的分子轴以显示一定的图像。其中，对准的液晶分子的轴线方向称为定向器。
第一类型的典型是扭曲的向列(TN)型液晶显示器件，而第二类型称为平面内切换(IPS)型液晶显示器件。
由于，即使移动了其视点，观察者也只沿液晶分子伸展的次要轴方向上观看，在IPS型的液晶显示器件中，液晶分子取向如何与视角无关，所以，PIS型液晶显示器件可以比TN型液晶显示器件有较宽的视角。
因此，PIS型液晶显示器件比TN型液晶显示器件更加受欢迎。
在平面内切换(PIS)型液晶显示器件中，必须精确地控制含电极的线条宽度。如果线宽与设计宽度有较大的偏差，液晶显示器件显示区的亮度一致性上会有失真，或者液晶显示器会有非理想强度电场，导致亮度失真。
例如，在TN型的液晶显示器件中，一个含电极的线条需要把宽度的精确度控制在±1.5至2.0微米的范围，而在PIS型的液晶显示器件中，一个含电极的线条却需要把宽度精确度控制在±0.2至0.3微米的范围。
要在液晶显示的电极下面形成的底膜一般地由无机材料或者有机材料构成。如上所述，平面切换型液晶显示器件中含电极的线条需要精确控制其宽度。有机膜在蚀刻时常常会放出气体。在有机膜上形成的电极的蚀刻速度大于在无机膜上的蚀刻速度。因此控制在有机膜上形成的电极的线条宽度要比控制在无机膜上形成的电极的线条宽度困难。
日本待批专利公开号8-106100(A)提出一种制造液晶显示器件的方法，这种液晶显示器件包括两个透明的基板，和夹在这两个透明的基板之间的液晶层。在所提出的方法中，至少在透明基板的上和下表面之一上形成透明电极和刻度，然后通过涂覆在透明基板的周边上的密封材料把基板相互粘接在一起。需要时，借助于所述的刻度测量密封材料的线条宽度。
日本待批专利公开号9-258265(A)提出一种制造液晶显示器件的方法，这种液晶显示器件包括两个电绝缘的基板，和一个夹在这两个电绝缘的基板之间的液晶层。电绝缘的基板之一上形成多个安排成矩阵的切换器件、电连接到切换器件的第一和第二连接线、一个用之覆盖第一和第二连接线并且具有上表面和倾斜表面的中间层绝缘膜、和第一及第二电极，第一和第二电极之一电连接切换器件，用于向液晶层施加电场。第一和第二电极覆盖界层绝缘膜的上表面和倾斜表面，从而平行于电绝缘的基板向液晶层施加电场。
有机绝缘膜上进行ITO蚀刻的漂移特性讨论见于“Y.Katoka等，ISSN 1083-1312\00\2001，pp.123-126”。
然而，在这些公开文献中上述问题依然没有解决。
本发明另一个目的是提供一种制造这样的平面内切换型液晶显示器件的方法。
在本发明的一个方面提供有一种平面内切换型液晶显示器件，所述器件包括(a)无机材料构成的第一膜；(b)有机材料构成的第二膜，第一和第二膜都作为底膜形成在电极下；(c)形成在第一膜上的第一游标，用于测量电极的宽度，和(d)形成在第二膜上的第二游标，用于测量电极的宽度。
根据本发明的平面内液晶显示器件包括分别形成在第一膜和第二膜上的第一和第二游标。因此，有可能彼此独立地测量形成在第一膜上的电极的线条宽度以及形成在第二膜上的电极的线条宽度，从而可以控制电极的宽度。这可以确保提高平面内切换型液晶显示器件的生产产出率。
在本发明的另一个方面提供有一种制造平面内切换型液晶显示器件的方法，包括步骤(a)在基板上形成由无机材料构成的膜；(b)在第一膜上的液晶显示器件的显示区中形成第二膜，第二膜由有机材料构成；(c)在第一膜上的围绕显示区展开的终端区制造第一游标，用于测量电极的宽度；(d)在第二膜上制造第二游标用于测量电极的宽度；以及(e)在第一和第二膜上形成电极。
在根据本发明的制造平面内切换型液晶显示器件的方法中，在第一膜上显示区中形成第一游标，在第二膜上终端区中形成第二游标。因此有可能彼此独立地测量形成在第一膜上的电极的线条宽度以及形成在第二膜上的电极的线条宽度，从而可以控制电极的线宽。这可以确保提高平面内切换型液晶显示器件的生产产出率。
图2是沿
图1的II-II线剖取的截面图。
图3是图1所示的单元像素电路图。
图4是图1所示的平面内切换型液晶显示器件的显示区与终端区之间的边界的局部剖视图。
图5是平面图，示出图1所示的平面内切换型液晶显示器件的显示区与终端区之间的位置关系。
图6是平面图，示出图1所示的平面内液晶显示器件所用的游标例子。
本发明优选的实施例图1、2和3示出根据本发明的第一实施例的平面内切换型有源矩阵型液晶显示器件。图1是根据第一实施例的液晶显示器件10的单元像素的平面图，图2是沿图1的II-II线剖取的截面图，而图3是图1所示的单元像素电路图。
如图2所示，液晶显示器件10含有有源器件基板11、对置基板12，和夹在该有源器件基板11和对置基板12之间的液晶层13。
对置基板2包括电绝缘的透明基板16、作为遮光膜而形成在电绝缘透明基板16的第一表面上的黑底层17，形成在电绝缘透明基板16的第一表面上的彩色层18，使彩色层18部分地重迭黑底层17、覆盖该黑底层17和彩色层18的透明的外保护涂层19、为覆盖透明保护层19形成的对准膜20、形成在电绝缘透明基片16的第二表面上的导电层15，和形成在导电层15上的起偏器14。
彩色层18含有含红(R)、绿(G)和蓝(B)颜料的树脂膜。
导电透明层15防止由于液晶显示板与其它材料接触引起的电荷对液晶层13的外部电影响。
有源矩阵基板11包括电绝缘透明基板22、形成在电绝缘基板22上并且在其中确定扫描线28(见图1)和栅极30c(见图3)的第一金属层、形成在电绝缘透明基板22上的第一界层绝缘膜23、形成在第一界层绝缘膜23上的岛状非晶形硅膜、界定数据线24的第二金属层、和其中的薄膜晶体管的源极30b和漏极30a、形成在第一界层绝缘膜23上的第一膜25a、形成在第一膜25a上的第二膜25b、两者都作为透明电极形成在第二膜25b上的公共电极26和像素电极27，及形成在电绝缘透明基板22的下表面上的起偏器21。
第一膜25a和25b构成第二界层绝缘膜25。
有源矩阵基板11进一步包括和数据线24一起形成在第一界层绝缘膜23上的像素辅助电极35。数据线24和像素辅助电极35由第二金属层构成。
在本说明书中，有源器件基板11和对置基板12两者中”上”层指在紧接液晶层13安置的层，而“下层”指远离液晶层13安置的层。
有源器件基板11和对置基板12两者中各自包括对准膜31和20，它们两者都与液晶层13产生接触。如图1所示，对准膜31和20受摩擦使液晶层13一致地对准倾斜于公共电极27和像素电极26伸展方向的方向，倾斜的角度范围是10至30度，然后，分别地粘合至有源器件基板11和对置基板12上，使它们彼此面对。上述角度称为液晶分子的初始对准取向。
尽管图中没有示出，在有源基板11和对置基板12之间夹有垫片，以保证液晶层13的厚度，并且在有源基板11和对置基板12之间围绕液晶层13形成密封50(见图4)，用于避免液晶分子的泄露。
有源器件基板11的起偏器21有垂直于液晶初始对准方向延伸的偏振轴线，而对置基板12的起偏器14有平行于液晶初始对准方向延伸的偏振轴线。偏振轴线彼此垂直延伸。
如图1所示，有源器件基板11包括信号向之传输的数据线24、对之施加基准电压的公共电极线26a和26b、对之施加基准电压的公共电极26、与其中要显示图像的像素相关联的像素电极27、对之施加扫描信号的扫描线28，及薄膜晶体管(TFT)30。
薄膜晶体管30包括栅极30c(见图3)、漏极30a和源极30b。薄膜晶体管30形成在扫描线28和数据线24交点附近与像素相关联。栅极30c电连接至扫描线28，漏极30a电连接至数据线24，而源极30b电连接至像素电极27。
公共电极26和像素电极27都设计成梳齿形，并且公共电极26和像素电极27中的该梳齿平行于数据线24延伸。公共电极26的梳齿和像素电极27的梳齿安排得彼此相啮合，然后再彼此分隔开。
如图1所示，形成为透明电极的公共电极26经第一接触孔39a电连接至公共电极线26b。
如图1所示，公共电极线26a和26b两者都由第一金属层构成，并且平行于扫描线28延伸。公共电极电压施加在公共电极线26a和26b的端部。
形成为透明电极的像素电极27经过第二接触孔39b电连接到像素辅助电极35上，后者由第二金属层构成并且与薄膜晶体管30的源极30b一体形成。
在根据本发明第一实施例的平面内切换型液晶显示器件10中，电场平行于公共电极26和像素电极27之间的电绝缘透明基板16和22，产生在由经扫描线28传输的扫描信号选取的、并且在其中写入经数据线24传输的数据信号的像素上。按照该电场，液晶分子的对准方向在与电绝缘透明基板16和22平行的平面中转动，从而显示一定的图像。在图1中，由公共电极26和像素电极27包围的矩形条称为列。
在根据本发明的第一实施例的平面内切换型液晶显示器件10中，公共电极26和像素电极27两者都含有氧化铟锡(ITO)，一种透明的材料。
第一界层绝缘膜23由无机材料构成的无机膜构成。第一膜25a由无机材料构成的无机膜构成，而第二膜25b由有机材料构成的有机膜构成。
有机膜介电常数小于无机膜的介电常数。因此有这样的多层结构的第二界层绝缘膜25比单层无机膜结构的第二界层绝缘膜25降低了介电常数。结果降低了导线之间的寄生电容。
当把第二界层绝缘膜25设计成有包括第一膜25a和第二膜25b的多层结构时，例如，第一膜25a可由氮化硅SiNx构成，而第二膜25b可以由光敏丙烯树脂构成或者由聚酰亚胺树脂构成。
第二界层绝缘膜25b还可以由单层有机层构成，在这种情况下，第二界层绝缘膜25b可以由诸如苯并环丁烯(benzocyclobutene(BCB))，有机聚硅氮烷(organic polysilazane)，或硅氧烷(siloxane)构成。
图4是根据本发明的第一实施例的平面内切换型液晶显示器件10的显示区40与终端区41之间的绕显示区40的边界的局部剖视图。图5是平面图，示出该平面内切换型液晶显示器件10的显示区40与终端区41之间的位置关系。
如图4所示，构成诸如第一界层绝缘膜23、数据线24和第二界层绝缘膜25之类的有源器件基板11的各层，只在显示区40中形成。相反，终端区41覆盖电绝缘透明基板22、由有机材料构成并且形成在电绝缘透明基板22上的第一界层绝缘膜32层，以及由ITO制成并且形成在第一界层绝缘膜23上的导电透明膜42。
如图5所示，根据本发明的第一实施例的平面内切换型液晶显示器件10的设计包括形成在第二膜25b上于矩形显示区40的四角中的第一游标43，和形成在第一界层绝缘膜23上于矩形终端区41的四角中的第二游标44。
第一和第二游标43和44的安排得使其中线45(见图6)沿相同的方向延伸。如图5所示，在第一实施例中，第一和第二游标43及44的安排得使其中线平行于显示区40的一侧延伸。
第一游标43用于测量公共电极26和像素电极27的线宽，后两者都于显示区40中形成在第二膜25b上，而第二游标44用于测量导电透明膜42的线条宽度，导电透明膜42形成于终端区41中的第一界层绝缘膜23上。
第一和第二游标43和44可以在形态上彼此相同，也可以在形态上互不相同。根据本发明的第一实施例的平面内切换型液晶显示器件10设计成包括在形态上彼此相同的第一和第二游标43及44。
图6是平面图，示出第一和第二游标43及44的例子。
第一和第二游标43及44中的每一个由具有特定图案的金属膜构成。例如每个第一和第二游标43及44可以由ITO膜构成。在图6中，实区域表示其中保留金属膜的区域，而空区域表示其中去掉了金属膜的区域。
每个第一和第二游标43及44各有一个左半边45L和一个右半边45R。中线45在第一和第二游标43及44的纵方向上沿左半边45L和右半边45R之间的边界线延伸。
每个第一和第二游标43及44各包括多个第一金属线性区46R、多个第二金属线性区46L、多个第一裂隙47R和多个第二裂隙47L。第一金属线性区46R和第一裂隙区47R形成在右半边45R中，而第二金属线性区46L和第二裂隙区47L形成在左半区45L中。
第一金属线性区46R沿水平方向延伸，并且沿竖直方向安排，使得第一金属线性区46R彼此均等地间隔开。
第一裂隙47R沿水平方向延伸，并且沿竖直方向安排，使得第一裂隙47R邻接于第一金属线性区46R。
布置在最上端的第一金属线性区46R设计成宽度等于要受测量的公共电极26或者像素电极27的第一宽度，而布置在远离最上端的第一金属线性区46R设计成相对于所述第一宽度等量递减的宽度。
第一裂隙47R设计的宽度等于所述第一宽度。
第一金属线性区46R有一个共同的长度。相反，第一裂隙47R设计成每五个第一裂隙具有一增加的长度。
第二金属线性区46L沿水平方向延伸，并且沿竖直方向安排，使得第二金属线性区46彼此均等地间隔开。
第二裂隙47L沿水平方向延伸，并且沿竖直方向安排，使得第二裂隙47L邻接于第二金属线性区46L。
布置在最上端的第二金属线性区46L设计成具有宽度等于要受测量的公共电极26或者像素电极27的第一宽度，而布置在远离最上端的第二金属线性区46L设计成具有相对于所述第一宽度等量递增的宽度。
第二裂隙47L设计成宽度等于所述第一宽度。
第二金属线性区46L有一个共同的长度。相反，第二裂隙47L设计成每五个第一裂隙具有一增加的长度。
图6中的刻度“0”至“-3”和“0”至“+3”表示第一金属线性区46R和第二金属线性区46L的线宽。刻度“0”表示第一金属线性区46R和第二金属线性区46L的线宽等于掩模的线宽。例如，刻度“-3”表示与之相关的第一金属线性区46R的线宽厚于掩模线宽3微米，而刻度“+3”表示与之相关的第二金属线性区46L的线宽薄于掩模线宽3微米。
在通过使用第一游标43进行的公共电极26或像素电极27的线宽测量中，首先在多个第一金属线性区46R中间找出线宽等于公共电极26或像素电极27的线宽的第一金属线性区46R。按照这样找出的第一金属线性区46R，沿竖直方向可以测量公共电极26或像素电极27的实际线宽与设计的公共电极26或像素电极27的线宽之间的差距。
在通过使用第二游标44进行的导电透明膜42的线宽测量中，首先在多个第二金属线性区46L中间找出线宽等于导电透明膜42的线宽的第二金属线性区46L。按照这样找出的第二金属线性区46L，沿竖直方向可以测量导电透明膜42的实际线宽与设计的线宽或导电透明膜42的掩模线宽之间的差距。
根据本发明的第一实施例的平面内切换型液晶显示器件10的制造工艺除了以下步骤之外与制造同类产品的现有技术工艺相同。
首先，在电绝缘透明基板22上形成第一界层绝缘膜23。然后，只在显示区40中的第一界层绝缘膜23上形成数据线24、像素辅助电极35、第一膜25a和第二膜25b，如图4所示。
其次，第一游标43在第一显示区40中的第二膜25b上形成，而第二游标44在终端区41中的第一界层绝缘膜23上形成。第一和第二游标43和44可以用独立的步骤形成，也可以用公共的步骤形成。
在形成第一和第二游标43和44之后，在显示区40中的第二膜25b上形成公共电极26和像素电极27，然后，形成用以覆盖公共电极26和像素电极27的对准膜31。
在终端区41中，在第一界层绝缘膜23上形成导电透明膜42。
然后把有源器件基板11和对置基板12相互粘合起来，其中间夹有液晶层13。
这样就完成了根据本发明的第一实施例的平面内切换型液晶显示器件10。
根据本发明的第一实施例的平面内切换型液晶显示器件10中第一游标43形成在第一显示区40中的第二膜25b上，而第二游标44形成在终端区41中的第一界层绝缘膜23上。因此，有可能，通过使用第一和第二游标43和44，相互独立地测量形成在第二膜25b上的公共电极26和像素电极27的线宽和形成在第一界层绝缘膜23上的导电透明膜42的线宽。因此，根据本发明的第一实施例的平面内切换型液晶显示器件10使之可能控制电极和膜的线宽，并且确保提高平面内切换型液晶显示器件10的产出量。
权利要求
1.一种平面内切换型液晶显示器件，包括(a)由无机材料构成的第一膜；(b)由有机材料构成的第二膜，第一和第二膜都作为底膜形成在电极下；(c)形成在第一膜上的第一游标，用于测量所述电极的宽度；以及，(d)形成在第二膜上的第二游标，用于测量所述电极的宽度。
2.如权利要求1所述的平面内切换型液晶显示器件，其特征在于，所述第一膜作为底膜在显示区中形成在所述电极下，而所述第二膜在围绕所述显示区展开的终端区中形成在所述电极下。
3.如权利要求1或2所述的平面内切换型液晶显示器件，其特征在于，所述第一游标有沿所述第二游标中心线延伸方向相同方向延伸的中心线。
4.如权利要求1或2所述的平面内切换型液晶显示器件，其特征在于，所述第一游标和第二游标由金属膜构成，包括(c1)多个沿第一方向延伸的第一金属线性区，并且此第一金属线性区沿与所述第一方向垂直的第二方向安排，得使所述第一金属线性区彼此均等地间隔开；(c2)多个沿所述第一方向延伸的第二金属线性区，并且此第二金属线性区沿所述第二方向安排，得使所述第二金属线性区彼此均等地间隔开；(c3)多个沿所述第一方向延伸的第一裂隙，并且此第一裂隙区沿所述第二方向安排，得使所述第一裂隙邻接所述第一金属线性区；(c4)多个沿所述第一方向延伸的第二裂隙，并且此第二裂隙区沿所述第二方向安排，得使所述第二裂隙邻接所述第二金属线性区，其中，安置在一端的第一金属线性区有等于要测量的所述电极的宽度的第一宽度，而安置在远离所述末端的第一金属线性区有一个均等地小于所述第一宽度的宽度，安置在所述末端的第二金属线性区有一个所述的第一宽度，而安置在远离所述末端的第二金属线性区有一个均等地大于所述第一宽度的宽度，并且所述的第一和第二裂隙共同地具有所述第一宽度。
5.如权利要求4所述的平面内切换型液晶显示器件，其特征在于，所述的金属膜由氧化铟锡(ITO)形成。
6.如权利要求1或2所述的平面内切换型液晶显示器件，其特征在于，所述的电极由氧化钢锡(ITO)形成。
7.一种制造平面内切换型液晶显示器件的方法，包括步骤(a)在基板上形成由无机材料构成的膜；(b)在所述液晶显示器件显示区中的所述第一膜上形成第二膜，所述第二膜由有机材料构成；(c)在绕显示区展开的终端区中的第一膜上的制造第一游标，用于测量电极的宽度；(d)在所述第二膜上制造第二游标，用于测量所述电极的宽度，并且(e)在所述第一和第二膜上形成所述电极。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述的步骤(c)和(d)同时进行。
9.如权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述第二游标在所述的步骤(d)中制成的，使它具有与沿所述第一游标的中心线延伸的方向相同的方向延伸的中心线。
全文摘要
一种平面内切换型液晶显示器件，包括(a)由无机材料构成的第一膜；(b)由有机材料构成的第二膜，第一和第二膜都作为底膜形成在电极下；(c)形成在第一膜上的第一游标(43)，用于测量所述电极的宽度，以及(d)形成在第二膜上的第二游标(44)，用于测量所述电极的宽度。
文档编号G02F1/1368GK1395139SQ0214052
公开日2003年2月5日 申请日期2002年7月2日 优先权日2001年7月2日
发明者渡边诚 申请人:日本电气株式会社