专利名称：镀膜用转盘及镀膜机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种镀膜用转盘及镀膜机。
背景技术：
通常，照相机、数码相机、照相手机镜头模组等光学产品的各种光学镜片(Lens)、滤光片等光学元件，因为要避免入射光在经过每个元件时，部分入射光反射而导致的光能损耗，需要在每一个光学镜片的两面镀抗反射膜，或是在滤光片的一面镀上可滤掉某区段光的薄膜(如红外滤光片，紫外滤光片)，而在另一面镀上抗反射膜，通过这些光学薄膜以增加光学元件的抗反射性能，防止光能损耗。
所述光学薄膜的镀膜方式多以热蒸镀或溅镀方式进行。当光学元件两面都需镀上光学薄膜时，其镀膜过程中通常包括抽真空、加热、一面镀膜、冷却、破真空、手动翻转光学元件夹具、抽真空、加热、另一面镀膜、冷却、破真空、取出光学元件等步骤。该镀膜过程中包括两次抽真空、加热、镀膜、冷却以及破真空过程，占去相当多的制程时间，所以如何避免所述过程的重复进行，降低制程的时间，对于两面镀膜的元件量产来讲是极为重要的课题。
有鉴于此，提供一种自动翻面的镀膜用转盘及镀膜机实为必要。
发明内容以下，将以实施例说明一种自动翻面的镀膜用转盘及镀膜机。
一种镀膜用转盘，包括一个转盘本体；设置在该转盘本体上的至少一个安装口；至少一个基片夹具，每个基片夹具对应收容在一个安装口内；每个基片夹具对应设有一个马达，该马达用于驱动对应的基片夹具翻转。
以及，一种镀膜机，其包括一个真空容器；设置在该真空容器内的至少一个靶；及与靶相对设置的镀膜用转盘。其中，该镀膜用转盘具有一个转盘本体；设置在该转盘本体上的至少一个安装口；至少一个基片夹具，每个基片夹具对应收容在一个安装口内；每个基片夹具对应设有一个马达，该马达用于驱动对应的基片夹具翻转。
现有技术相比较，所述基片夹具通过马达控制可相对于所述转盘本体翻转，将现有技术中光学元件夹具的手动翻转结构实现可控电动化，避免由于现有技术中的手动翻转而导致的真空抽气模组、加热器、镀膜靶及充气孔等元件的重复使用，减小设备损耗，降低设备成本。
图1是本发明较佳实施例的镀膜用转盘的示意图。
图2是本发明较佳实施例的镀膜用转盘局部的拆解示意图。
图3是本发明较佳实施例的镀膜机的示意图。
具体实施方式
下面，结合附图对本发明作进一步详细说明。
如图1和图2所示，本发明较佳实施例提供的镀膜用转盘1包括转盘本体11；设置在该转盘本体11上的至少一个安装口12；至少一个基片夹具13，每个基片夹具13分别对应收容在一个安装口12内；每个基片夹具13对应设有一个马达15，该马达15用于驱动对应的基片夹具13翻转。
所述转盘本体11用导热性能良好的金属圆盘制成，如铜圆盘、铝圆盘、铂圆盘、铅圆盘或锌圆盘等。
所述安装口12贯通转盘本体11，其大小要求基片夹具13在所述安装口12内翻转时不与转盘本体11碰撞，可为圆形、正方形、长方形或其它轴线对称形状。
所述基片夹具13用于夹持基片2，可采用螺丝拧固、卡扣或锁固等方式夹持。该基片夹具13可为圆形框体、部分圆弧框体、正方形框体、长方形框体、棱形框体、“∠”形框体、“”形框体或“|”形体等。本实施例中，基片夹具13为长方形框体。
所述基片夹具13和转盘本体11之间通过转轴14连接。所述马达15套设在转轴14上，用于驱动该转轴14旋转。本实施例中，转轴14设在基片夹具13的轴线位置。转轴14还可设置在使基片夹具13和转盘本体11之间达成轴连接的其他位置，如基片夹具13的一端，此时，安装口12应具有足够基片夹具13和基片2翻转的空间。
另外，该转轴14一端和所述基片夹具13可旋转连接，另一端和转盘本体11固接；或者该转轴14一端和所述基片夹具13固接，另一端和转盘本体11可旋转连接；或者该转轴14两端均和所述基片夹具13及转盘本体11可旋转连接。
所述马达15可间接控制基片夹具13翻转。该马达15由一个电池模组(图未示)驱动，而无须另外的电源，此外在该电池模组的开关上装设一个无线装置，利用遥控的方式来控制电池模组工作，从而可实现对基片夹具13翻转的自动控制。
请参阅图3，本图中仅对一个夹持在基片夹具13上的基片2进行表示。使用上述镀膜用转盘1的镀膜机100包括一个真空容器9；设置在该真空容器9内的至少一个靶3；及与靶3相对设置的镀膜用转盘1。
所述镀膜机100还包括设置在真空容器9底部的真空抽气模块4，用于使真空容器9内形成真空环境；带动镀膜用转盘1旋转的旋转杆7；设置在真空容器9底部的加热器6，用于加热基片2；充气孔5，用于向真空容器9内充气。
当使用上述镀膜机100对基片2进行两面镀膜时，具体进行下述操作。
步骤1，将多个具有相对的第一表面21和第二表面22的基片2分别用基片夹具13夹持固定，此时，所述基片2的第一表面21和靶(即阴极)3相对。
步骤2，将真空容器9密封，用真空抽气模组4对真空容器9抽气，使真空容器9内部形成真空环境；镀膜用转盘1在旋转杆7的作用下，在水平面内以旋转杆7为轴心匀速旋转；用加热器6对基片2加热。
步骤3，待所有基片2被均匀加热后，给靶3接上电压使其放出电子8，该电子8沉积在所述基片2的第一表面21上形成镀膜。
步骤4，对靶3断电，遥控马达15驱动基片夹具13翻转。从而，所述基片2的第二表面22和靶3相对。
步骤5，给靶3接上电压使其放出电子8，该电子8沉积在所述基片2的第二表面22上形成镀膜。
步骤6，关掉电源，由充气孔5充气进真空容器9内，冷却后取出两相对表面21、22均镀有镀膜的基片2。
由上述操作步骤可以看出，由于通过马达15控制基片夹具13带动基片2进行翻转，使用本实施例提供的镀膜用转盘1的镀膜机100对基片2进行两面镀膜时，只需要进行抽真空、加热、一面镀膜、翻转基片夹具13、另一面镀膜、冷却、破真空及取出光学元件等步骤，即可实现基片2的两面镀膜，省略现有技术中重复的冷却、破真空、抽真空及加热等步骤，可减小设备重复损耗，降低设备使用成本，同时，可降低制程时间，提高生产效率。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思做出其它各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种镀膜用转盘，其包括一个转盘本体及至少一个基片夹具，其特征在于，该镀膜用转盘还包括设置在该转盘本体上的至少一个安装口，每个基片夹具对应收容在一个安装口内，每个基片夹具对应设有一个马达，该马达用于驱动对应的基片夹具翻转。
2.如权利要求1所述的镀膜用转盘，其特征在于，所述转盘本体选自铜圆盘、铝圆盘、铂圆盘、铅圆盘或锌圆盘。
3.如权利要求1所述的镀膜用转盘，其特征在于，所述安装口为一轴线对称形状。
4.如权利要求3所述的镀膜用转盘，其特征在于，所述安装口选自圆形、正方形或长方形。
5.如权利要求1所述的镀膜用转盘，其特征在于，所述马达由一个电池模组驱动。
6.如权利要求5所述的镀膜用转盘，其特征在于，所述电池模组具有一个开关，该开关由一个无线装置控制。
7.如权利要求1所述的镀膜用转盘，其特征在于，所述基片夹具和所述转盘本体之间通过转轴连接。
8.如权利要求7所述的镀膜用转盘，其特征在于，所述马达套设在所述转轴上，用于驱动该转轴旋转。
9.一种镀膜机，其包括一个真空容器；设置在该真空容器内的至少一个靶；及与靶相对设置的镀膜用转盘，该镀膜用转盘具有一个转盘本体及至少一个基片夹具，其特征在于，该镀膜用转盘还包括设置在该转盘本体上的至少一个安装口，每个基片夹具对应收容在一个安装口内，每个基片夹具对应设有一个马达，该马达用于驱动对应的基片夹具翻转。
10.如权利要求9所述的镀膜机，其特征在于，所述基片夹具和所述转盘本体之间通过转轴连接。
全文摘要
本发明提供一种镀膜用转盘，其包括一个转盘本体；设置在该转盘本体上的至少一个安装口；至少一个基片夹具，每个基片夹具对应收容在一个安装口内；每个基片夹具对应设有一个马达，该马达用于驱动对应的基片夹具翻转。本发明提供的镀膜用转盘避免手动翻转而导致的真空抽气模组、加热器、镀膜靶及充气孔等元件的重复使用，从而，减小设备损耗，降低设备成本。另外，本发明还提供使用上述镀膜用转盘的镀膜机。
文档编号G02B1/10GK1995444SQ20061003281
公开日2007年7月11日 申请日期2006年1月6日 优先权日2006年1月6日
发明者李欣和, 董才士 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司