感光性组合物、感光性薄膜、永久图案形成方法及印刷电路板的制作方法

专利名称：：感光性组合物、感光性薄膜、永久图案形成方法及印刷电路板的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种可以有效地形成高精细的永久图案的感光性组合物、感光性薄膜、永久图案形成方法及印刷电路板。
背景技术：
：一直以来，在形成阻焊剂(solderresist)等的等永久图案时，使用的是通过在支撑体上涂布、干燥感光性树脂组合物而形成感光层的感光性薄膜。作为所述永久图案的制造方法，例如在形成所述永久图案的镀铜层叠板等的基材上，层叠所述感光性薄膜从而形成层叠体，对该层叠体中的所述感光层进行曝光，在该曝光后，显影所述感光层进而形成图案，然后通过进行固化处理等形成所述永久图案。在此已知，在所述感光性组合物中，不管其用途如何，为了提高永久图案的表面硬度或将线膨胀系数抑制为低值，或者为了将固化膜自身的介电常数或电介质损耗角正切抑制为低值，通常使用无机颜料，通过表面处理该无机颜料，可以赋予涂敷液的分散性或得到的固化物的低吸水性及强韧性。另外，在阻焊剂用途中，为了防止在使用硫酸钡作为无机颜料的情况下显影残渣剩余，从而显影性恶化，还提出了对无机颜料实施表面处理(特开2002—296771号公报)。但是，在所述提议中，由于利用使用的光聚合引发剂得到的灵敏度未必充分，所以难以高精细而且有效地得到永久图案。进而，为了使所述永久图案高精细，使显影后的粘附性(细线粘附性)良好也是很重要的。因而，目前，可以有效地形成灵敏度、显影性及粘附性良好而且高精细的永久图案的感光性组合物、感光性薄膜、使用了所述感光性组合物的永久图案形成方法以及利用所述永久图案形成方法形成图案的印刷电路板有待开发。
发明内容本发明正是鉴于这种现状而提出的，其课题在于提供一种解决以往的所述各问题从而实现以下目的。即，本发明的目的在于提供一种可以有效地形成灵敏度、显影性及粘附性良好而且高精细的永久图案的感光性组合物、感光性薄膜、使用了所述感光性组合物的永久图案形成方法以及利用所述永久图案形成方法形成图案的印刷电路板。作为用于解决所述课题的手段，如下所述。艮口，<1>一种感光性组合物，其特征在于，含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、热交联剂及无机颜料，所述光聚合引发剂含有肟衍生物，所述无机颜料被硅烷偶合剂表面处理。<2>根据所述<1>记载的感光性组合物，其中，硅垸偶合剂具有从垸氧基甲硅烷基、氯甲硅烷基及乙酰氧基甲硅垸基中选择的至少一种官能团、和从乙烯基、氨基、巯基、环氧基及(甲基)丙烯酰基中选择的至少一种官能团。<3>根据所述<1>或<2>记载的感光性组合物，其中，无机颜料为二氧化硅。<4>根据所述<1><3>中任意一项记载的感光性组合物，其中，肟衍生物为至少具有芳香族基的化合物。<5>根据所述<1〉<4>中任意一项记载的感光性组合物，其中，肟衍生物具有用下述通式(I)、通式(II)及通式(X)的任意一种表示的部分结构。化4Ar如(Y，)^N-0-Y化5Ar如0-C(Y')-N-0-Y化6通式(I)m通式(II)汰足，《」，00通式(X)其中，所述通式(I)及(II)中，Ar表示芳香族基及杂环基中的任意一种。Yi表示氢原子及一价的取代基中的任意一种。￥2表示脂肪族基、芳香族基、杂环基、coy3、co2y3及cony4y5中的任意一种。y3、y4及ys表示脂肪族基、芳香族基及杂环基中的任意一种。m表示l以上的整数。另外，所述通式(X)中，R^表示酰基、垸氧基羰基及芳氧基羰基中的任意一种，这些取代基也可以进一步具有取代基。a表示0以上的任意整数。R^表示取代基，在a为2以上的情况下，该R^可以相同或不同。Ar表示芳香族环及杂芳香族环中的任意一种。A表示4、5、6及7员环的任意一种，这些环也可以分别含有杂原子。<6>根据所述<5>记载的感光性组合物，其中，通式(I)、通式(II)及通式(X)中的Ar具有苯基及萘基中的任意一种。<7>根据所述<6>记载的感光性组合物，其中，通式(I)、通式(II)及通式(X)中的Ar具有萘基。<8>根据所述<5><7>中任意一项记载的感光性组合物，其中，通式(I)进而可以用下述通式(III)及通式(IV)表示。化7<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>其中，所述通式(III)及通式(IV)中，Rhu表示与通式(I)及通式(n)中的Yi相同的意义，y"表示表示与通式(i)及通式(ii)中的￥2相同的意义。<9>根据所述<1><8>中任意一项记载的感光性组合物，其中，粘合剂含有在侧链具有酸性基和乙烯性不饱和键的高分子化合物。<10>根据所述<9>记载的感光性组合物，其中，粘合剂含有在侧链具有酸性基、可含有杂环的芳香族基和乙烯性不饱和键的高分子化合物。<11>根据所述<9>或<10>记载的感光性组合物，其中，高分子化合物含有0.53.0m叫/g乙烯性不饱和键。<12>根据所述<9><11>中任意一项记载的感光性组合物，其中，高分子化合物在侧链具有羧基，所述羧基在高分子化合物中的含量为1.04.0meq/g。<13>根据所述<9><12>中任意一项记载的感光性组合物，其中，高分子化合物的质均分子量为10，000以上、不到100，000。<14>根据所述<10><13>中任意一项记载的感光性组合物，其中，高分子化合物含有20mol^以上下述通式(A—3)表示的结构单元。[化8]其中，在所述结构式(A—3)中，R"R2及R3表示氢原子或1价的有机基。L表示有机基，也可以没有。Ar表示芳香族基。<15>根据所述<1><14〉中任意一项记载的感光性组合物，其中，聚合性化合物含有从具有(甲基)丙烯酸基的单体中选择的至少一种。<16>根据所述<1><15>中任意一项记载的感光性组合物，其中，热交联剂为从环氧化合物、氧杂环丁烷化合物、聚异氰酸酯化合物、使嵌段(block)剂与聚异氰酸酯化合物发生反应得到的化合物、以及蜜胺衍生物中选择的至少一种。<17>根据所述<16>记载的感光性组合物，其中，热交联剂含有环氧化合物，该环氧化合物为从双酚型环氧树脂、酚醛清漆型环氧树脂、含脂环式基型环氧树脂及难溶性环氧树脂中选择的至少一种。<18>根据所述<1><17>中任意一项记载的感光性组合物，其中，含有增感剂。<19〉根据所述<18>记载的感光性组合物，其中，增感剂含有杂縮环系化合物。<20>根据所述<19>记载的感光性组合物，其中，杂縮环系化合物为噻吨酮化合物。<21>—种感光性薄膜，其特征在于，在支撑体上具有所述<1><20>中任意一项记载的感光性组合物构成的感光层而成。<22>根据所述<21>记载的感光性薄膜，其中，感光层的厚度为llOOjnm。<23>根据所述<21>或<22>记载的感光性薄膜，其中，支撑体含有合成树脂且为透明。<24>根据所述<21><23>中任意一项记载的感光性薄膜，其中，支撑体为长条状。<25>根据所述<21><24>中任意一项记载的感光性薄膜，其中，为长条状，且被巻成辊状而成。<26>根据所述<21><25>中任意一项记载的感光性薄膜，其中，在感光层上具有保护薄膜。<27>—种永久图案形成方法，其特征在于，包括相对利用所述<1><20>中任意一项记载的感光性组合物形成的感光层进行曝光。<28>根据所述<27>记载的永久图案形成方法，其中，感光层利用所述<21><26>中任意一项记载的感光性薄膜形成。<29>根据所述<27>或<28>记载的永久图案形成方法，其中，不使用光掩模进行曝光。<30>根据所述<29>记载的永久图案形成方法，其中，曝光在使曝光光与感光层相对移动的同时进行。<31>根据所述<29>或<30>记载的永久图案形成方法，其中，曝光是使至少具备光照射机构及光调制机构的曝光头和所述感光层的至少任意一个移动，同时，利用所述光调制机构对应图案信息调制从所述光照射机构射出的光，并同时从所述曝光头对所述感光层照射来进行的。<32>根据所述<31>记载的永久图案形成方法，其中，光调制机构可以对应图案信息，对从n个描绘部中连续地配置的任意的不到n个所述描绘部进行控制。<33>根据所述<31>或<32>记载的永久图案形成方法，其中，光调制机构为空间光调制元件。<34>根据所述<33>记载的永久图案形成方法，其中，空间光调制元件是数字微镜器件(digitalmicromirrordevice)(DMD)。<35>根据所述<31><34>中任意一项记载的永久图案形成方法，其中，曝光是通过孔径阵列进行的。<36>根据所述<31><35>中任意一项记载的永久图案形成方法，其中，光照射机构可以复合照射两种以上的光。<37>根据所述<31><36>中任意一项记载的永久图案形成方法，其中，光照射机构具备多种激光器、多模光纤、和将从该多种激光器分别照射的激光束进行聚光从而耦合于所述多模光纤的聚光光学系。<38>根据所述<27><37>中任意一项记载的永久图案形成方法，其中，曝光使用350420nm的波长的激光进行。<39>根据所述<27><38>中任意一项记载的永久图案形成方法，其中，在进行了曝光之后，进行感光层的显影。<40>根据所述<39>记载的永久图案形成方法，其中，在进行了显影之后，进行永久图案的形成。<41>根据所述<40>记载的永久图案形成方法，其中，在进行了显影之后，对感光层进行固化处理。<42>根据所述<41>记载的永久图案形成方法，其中，固化处理为全面曝光处理及在12020(TC下进行的全面加热处理的至少任意一种。<43>—种永久图案，其特征在于，利用所述<27><42>中任意一项记载的永久图案形成方法形成。<44>根据所述<43>记载的图案，其中，为保护膜、层间绝缘膜及阻焊剂图案中的至少任意一种。<45>—种印刷电路板，其特征在于，利用所述<27><42>中任意一项记载的永久图案形成方法形成永久图案。本发明的感光性组合物含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、热交联剂及无机颜料，所述光聚合引发剂含有肟衍生物，利用硅垸偶合剂表面处理所述无机颜料。所以可以有效地形成灵敏度、显影性及粘附性良好且为高精细的永久图案。利用本发明，可以解决以往问题，可以提供一种可以有效地形成灵敏度、显影性及粘附性良好且为高精细的永久图案的感光性组合物、感光性薄膜、使用所述感光性组合物的永久图案形成方法及利用所述永久图案形成方法形成图案的印刷电路板。具体实施方式本发明的感光性组合物含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、热交联剂及无机颜料，进而根据需要含有其他成分。一无机颜料一所述无机颜料是为了提高永久图案的表面硬度或将线膨胀系数抑制为低值，或者为了将固化膜自身的介电常数或电介质损耗角正切抑制为低值而添加的。所述无机颜料在热固化之后，为了提高无机颜料与粘合剂的粘附性，利用硅垸偶合剂进行表面处理。作为所述硅垸偶合剂，优选具有从烷氧基甲硅烷基、氯甲硅垸基及乙酰氧基(7i卜年、乂)甲硅烷基中选择的至少一种官能团(以下也称为"第1官能团"。)和从乙烯基、氨基、巯基、环氧基及(甲基)丙烯酰基中选择的至少一种官能团(以下也称为"第2官能团"。)，更优选第2官能团为(甲基)丙烯酸酯基或环氧基。另外，还可以同样优选使用特公平7—68256号公报中记载的具有从烷氧基甲硅烷基、氯甲硅烷基及乙酰氧基甲硅烷基中选择的至少一种作为第1官能团和从咪唑基、烷基咪唑基及乙烯基咪唑基中选择的至少一种作为第2官能团的方式。作为所述硅垸偶合剂，没有特别限制，例如可以优选举出乙烯基三氯硅烷、乙烯基三乙氧基硅垸、Y—氨丙基三乙氧基硅院、N—(P—氨乙基)—Y—氨丙基三乙氧基硅烷、N—((3—氨乙基)一Y—氨丙基甲基二甲氧基硅烷、Y一巯基丙基三甲氧基硅垸、Y一环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、Y一环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅垸、Y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、Y一甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、乙烯基三乙酸基硅垸、特公平7—68256号公报中记载的a—[[3—(三甲氧基甲硅垸基)丙氧基]甲基]一咪唑基一1—乙醇、2—乙基一4—甲基一a—[[3—(三甲氧基甲硅垸基)丙氧基]甲基]一咪唑基一l一乙醇、4一乙烯基一a—[[3—(三甲氧基甲硅烷基)丙氧基]甲基]一咪唑基一l一乙醇、2—乙基一4一甲基咪唑并丙基三甲氧基硅烷、以及它们的盐、分子内縮合物、分子间缩合物等。所述利用硅垸偶合剂的无机颜料的表面处理可以预先只对该无机颜料进行(这种情况以下也称为"预处理"。)，也可以与其他感光组合物中的成分的一部分或全部一起进行。作为进行所述预处理的方法，没有特别限制，例如可以举出干式法、水溶液法、有机溶媒法、喷射法等方法。对进行所述预处理的温度没有特别限制，优选常温200'C。在进行所述预处理时也优选加入催化剂。作为该催化剂，没有特别限制，例如可以举出酸、碱、金属化合物、有机金属化合物等。对进行所述预处理时的所述硅烷偶合剂的添加量没有特别限制，相对无机颜料100质量份，优选为0.0150质量份的范围，更优选为0.0550质量份的范围。所述添加量如果不到0.01质量份，则表面处理不充分，有时不能得到需要的效果，如果超过50质量份，则无机填充剂变得容易凝聚，操作性有时会降低。由于所述硅烷偶合剂中的所述第1官能团与基材表面、无机填充剂表面及粘合剂的活性基反应，进而所述第2官能团与粘合剂的羧基及乙烯性不饱和基反应，所以具有提高基材与感光层的粘附性的作用。另一方面，所述硅烷偶合剂的反应性高，所以在将其添加到感光性组合物中的情况下，扩散作用会引起在保存中主要是第2官能团发生反应或失活，保存期(shelflife)或有效期(potlife)可能会变短。但是，只要如上所述用硅垸偶合剂预处理所述无机颜料地使用，通过抑制扩散作用，可以大幅度地改善保存期或有效期的问题，也可以作为单组分。进而，在对无机颜料实施预处理的情况下，自由地选择搅拌条件、温度条件及催化剂的使用之类的条件，所以与不进行预处理即添加的情况相比，可以显著地提高硅垸偶合剂的第1官能团与无机颜料中的活性基的转化率。因而，特别是在非电解金镀层、非电解软钎料镀层、耐湿负荷试验之类的严酷要求特性中，可以得到非常好的结果。另外，通过进行预处理，可以减少硅垸偶合剂的使用量，可以进一步改善保存期和有效期。作为所述无机颜料，没有特别限制，可以从公知的无机颜料中适当选择，例如可以举出高岭土、硫酸钡、钛酸钡、氧化硅粉、微粉状氧化硅、气相法二氧化硅、无定形二氧化硅、结晶性二氧化硅、熔融二氧化硅、球状二氧化硅、滑石、粘土、碳酸镁、碳酸钙、氧化铝、氢氧化铝、云母等。所述无机颜料的平均粒径优选不到10pm，更优选3pm以下。如果该平均粒径为10pm以上，则光弥散有时引起析像度变差。所述感光性组合物中，根据需要也可以一起添加有机微粒。作为所述有机微粒，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出蜜胺树脂、苯鸟粪胺树脂、交联聚苯乙烯树脂等。另外，还可以使用平均粒径0.015pm、吸油量100200mVg左右的由二氧化硅、交联树脂构成的球状多孔微粒等。将所述无机颜料和有机微粒加在一起的添加量，相对感光性组合物的全部成分，优选为160质量％。如果该添加量不到1质量％，则有时不能充分地降低线膨胀系数，如果超过60质量％，则在感光层表面形成固化膜时，有时该固化膜的膜质变脆，用永久图案形成布线时，有时作为布线的保护膜的功能被破坏。一光聚合引发剂一作为所述光聚合引发剂，使用肟衍生物。另外，根据需要也可以含有其他光聚合引发剂。作为所述肟衍生物，没有特别限制，可以根据目的适当选择，优选至少具有芳香族基的化合物，更优选具有下述通式(I)及通式(II)的任意一种表示的部分结构的化合物。所述肟衍生物也可以并用两种以上。化9<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>通式(II)其中，所述通式(I)及(II)中，Ar表示芳香族基及杂环基中的任意一种。Yi表示氢原子及一价取代基中的任意一种。￥2表示脂肪族基、芳香族基、杂环基、coy3、co2y3及cony4y5中的任意一种。y3、y4及ys表示脂肪族基、芳香族基及杂环基中的任意一种。m表示l以上的通式(I)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>作为所述Y1，优选为氢原子、脂肪族基及芳香族基中的任意一种。作为所述Y2，优选脂肪族基、一CO—(脂肪族基)、一CO—(芳香族基)、一co—(杂环基)、—C02—(脂肪族基)、一co广(芳香族基)及一co2—(杂环基)中的任意一种。作为所述Y3及Y4，优选为脂肪族基及芳香族基中的任意一种。作为肟衍生物，也可以为用所述通式(I)及通式(II)表示的结构经由连结基结合多个而成的化合物。其中，在所述通式(I)及通式(II)中，所述脂肪族基表示可分别具有取代基的垸基、链烯基、炔基，所述芳香族基表示可分别具有取代基的芳基、杂环(hetero环)基，作为所述一价的取代基，表示卤素原子、可具有取代基的氨基、垸氧基羰基、羟基、醚基、硫醇基、硫醚基、甲硅烷基、硝基、氰基、可分别具有取代基的烷基、链烯基、炔基、芳基、杂环基。作为所述芳香族基，可以举出13个苯环形成稠环的基、苯环与5员不饱和环形成稠环的基，作为具体例，可以举出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基，其中，优选具有苯基及萘基中的任意一种的基，特别优选具有萘基的基。另外，这些芳香族基也可以具有取代基，作为这样的取代基，可以举出由除了氢原子以外的一价非金属原子团构成的基。例如可以举出后述的浣基、取代垸基、或作为取代垸基中的取代基表示的基等。另外，作为所述杂环(hetero环)基，可以举出吡咯环基、呋喃环基、噻吩环基、吲哚环基、苯并呋喃环基、苯并噻吩环基、吡唑环基、异噁唑环基、异噻唑环基、刚唑环基、苯并异噁唑环基、苯并异噻唑环基、咪唑环基、噁唑环基、噻唑环基、苯并咪唑环基、苯并噁唑环基、苯并噻唑环基、吡啶环基、喹啉环基、异喹啉环基、哒嗪环基、嘧啶环基、吡嗪环基、酞嗪环基、喹唑啉环基、喹喔啉环基、氮丙啶(7-!J-:/)环基、菲啶环基、咔唑环基、嘌呤环基、吡喃环基、哌啶环基、哌嗪环基、吗啉环基、B引哚环基、fJ引哚嗪环基、色烯环基、肉啉环基、吖徒环基、吩噻嗪环基、四唑环基、三嗪环基等，其中，特别优选呋喃环基、噻吩环基、咪唑环基、噻唑环基、苯并噻唑环基、嘧啶环基、B引哚环基、吖啶环基。另外，这些杂环基也可以具有取代基，作为这样的取代基，可以举出除了氢原子以外的1价非金属原子团构成的基。例如可以举出后述的烷基、作为取代烷基或取代烷基中的取代基显示的基。作为所述一价取代基，优选卤素原子、可具有取代基的氨基、烷氧基羰基、羟基、醚基、硫醇基、硫醚基、甲硅烷基、硝基、氰基、可分别具有取代基的烷基、链烯基、炔基、芳基、杂环基。另外，作为所述由非金属原子构成的l价取代基，优选可分别具有取代基的垸基、链烯基、炔基、芳基、杂环基。作为所述可具有取代基的垸基，可以举出碳原子数为120的直链状、分支状及环状的烷基，作为其具体例，可以举出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二垸基、十三烷基、十六垸基、十八垸基、二十烷基、异丙基、异丁基、仲丁基、叔丁基、异戊基、新戊基、l一甲基丁基、异己基、2—乙基己基、2—甲基己基、环己基、环戊基、2—降冰片基。其中，更优选碳原子数为112的直链状、碳原子数为312的分支状以及碳原子数为510的环状的垸基。作为所述可具有取代基的烷基的取代基，可以举出去除氢原子的一价非金属原子构成的取代基，作为优选例，可以举出卤素原子(一F、一Br、一C1、一I)、羟基、烷氧基、芳氧基、巯基、烷基硫代基、芳基硫代基、烷基二硫代基、芳基二硫代基、氨基、N—烷基氨基、N，N—二垸基氨基、N—芳基氨基、N，N—二芳基氨基、N—烷基一N—芳基氨基、酰氧基、氨基甲酰氧基、N—垸基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、N，N—二垸基氨基甲酰氧基、N，N—二芳基氨基甲酰氧基、N—烷基—N—芳基氨基甲酰氧基、垸基硫氧基、芳基硫氧(sulfoxy)基、酰基硫代基、酰胺基、N—烷基酰胺基、N—芳基酰胺基、脲基、N'—垸基脲基、N'，N'—二垸基脲基、N'—芳基脲基、N'，N'—二芳基脲基、N'—烷基一N'一芳基脲基、N—烷基脲基、N—芳基脲基、N'—烷基一N—垸基脲基、N'一烷基一N-芳基脲基、N，，N,-二烷基一N—烷基脲基、N，，N，—二烷基一N—芳基脲基、N'—芳基一N—垸基脲基、N'—芳基一N—芳基脲基、N，，N，一二芳基一N—烷基脲基、N，，N，一二芳基一N—芳基脲基、N，一垸基一N，一芳基一N—垸基脲基、N，一烷基一N'—芳基一N—芳基脲基、烷氧基羰基氨基、芳氧基羰基氨基、N—烷基一N—垸氧基羰基氨基、N一烷基一N—芳氧基羰基氨基、N—芳基一N—垸氧基羰基氨基、N—芳基一N—芳氧基羰基氨基、甲酸基、酰基、羧基、垸氧羰基、芳氧基羰基、氨基甲酰基、N—烷基氨基甲酰基、N，N—二烷基氨基甲酰基、N—芳基氨基甲酰基、N，N—二芳基氨基甲酰基、N—烷基一N—芳基氨基甲酰基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、垸基磺酰基、芳基磺酰基、磺基(一S03H)及其共轭碱(称为磺酸根(sulfonato)基)、烷氧基磺酰基、芳氧基磺酰基、亚磺酸酰基(sulfinamoyl,7少7,于千,少)基、N—垸基亚磺酸酰基、N，N—二烷基亚磺酸酰基、N—芳基亚磺酸酰基、N，N—二芳基亚磺酸酰基、N—垸基一N—芳基亚磺酸酰基、氨磺酰基、N—垸基氨磺酰基、N，N—二烷基氨磺酰基、N—芳基氨磺酰基、N，N—二芳基氨磺酰基、N—烷基一N—芳基氨磺酰基、膦酰基(—P03H2)及其共轭碱(称为膦酸根(phosphonato，沐7沐于卜)基)、二烷基膦酰基(一P03(alkyl)2)"alkyl二烷基，以下同"、二芳基膦酰基(一PCb(aryl)2)"aryl-芳基，以下同"、烷基芳基膦酰基(—P03(alkyl)(aryl))、一烷基膦酰基(一P03(alkyl))及其共轭碱(称为垸基膦酸根基)、一芳基膦酰基(—P03H(aryl))及其共轭碱(称为芳基膦酸根基)、膦酰氧基(—OP03H2)及其共轭碱(称为膦酸根氧基)、二垸基膦酰氧基(—OP03H(alkyl)2)、二芳基膦酰氧基(—OP03(aryl)2)、院基芳基膦酰氧基("~OP03(alkyl)(aryl))、一垸基膦酰氧基(—OP03H(alkyl))及其共轭碱(称为烷基膦酸根氧基)、一芳基膦酰氧基(—OP03H(aryl))及其共轭碱(称为芳基膦酸根氧基)、氰基、硝基、芳基、链烯基、炔基、杂环基、甲硅烷基等。作为这些取代基中的垸基的具体例，可以举出上述的垸基，作为所述取代基中的芳基的具体例，可以举出苯基、联苯基、萘基、甲苯基、二甲苯基、米(mesityl)基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氯甲基苯基、羟基苯基、甲氧苯基、乙氧苯基、苯氧苯基、乙酸基苯基、苯甲酸基苯基、甲硫基苯基、苯硫基苯基、甲胺基苯基、二甲胺基苯基、乙酰胺基苯基、羧苯基、甲氧羰基苯基、乙氧苯基羰基、苯氧羰基苯基、N—苯羰基苯基、氰基苯基、磺基苯基、磺酸根苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基等。另外，作为所述取代基中的链烯基的例子，可以举出乙烯基、l一丙烯基、l一丁烯基、肉桂基、2—氯一1一乙烯基等，作为所述取代基中的炔基的例子，可以举出乙炔基、l一丙炔基、l一丁炔基、三甲基甲硅烷基乙炔基等。作为所述取代基中的杂环基，例如可以举出吡啶基、哌啶基等。作为所述取代基中的甲硅垸基，可以举出三甲基甲硅垸基等。在所述取代基中也可以含有酰基(RQ1C0—)，作为该酰基，例如可以举出该RW为氢原子、上述烷基、芳基等的酰基。作为酰基(rq1co—)的rW，可以举出氢原子以及所述烷基、芳基。在这些取代基中，进而优选卤素原子(一F、—Br、一c1、一I)、烷氧基、芳氧基、烷基硫代基、芳基硫代基、n—垸基氨基、n，n—二垸基氨基、酰氧基、n—烷基氨基甲酰氧基、n—芳基氨基甲酰氧基、酰胺基、甲酸基、酰基、羧基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨基甲酰基、n—烷基氨基甲酰基、n，n—二烷基氨基甲酰基、n—芳基氨基甲酰基、n—烷基一n一芳基氨基甲酰基、磺基、磺酸根基、氨磺酰基、n—烷基氨磺酰基、n，n—二烷基氨磺酰基、n—芳基氨磺酰基、n—烷基一n—芳基氨磺酰基、膦酰基、膦酸根基、二烷基膦酰基、二芳基膦酰基、一烷基膦酰基、烷基膦酸根基、一芳基膦酰基、芳基膦酸根基、膦酰氧基、膦酸根氧基、芳基、链烯基。另一方面，作为取代垸基中的亚垸基，可以举出除去所述碳原子数为120的烷基上的氢原子的任意一个而成为2价的有机残基的亚烷基，可以优选举出碳原子数为112的直链状、碳原子数为312的分支状以及碳原子数为510的环状的亚垸基。作为这样通过组合取代基和亚烷基得到的取代烷基的优选具体例，可以举出氯甲基、溴甲基、2—氯乙基、三氟甲基、甲氧基甲基、异丙氧基甲基、丁氧基甲基、叔丁氧基丁基、甲氧基乙氧基乙基、烯丙氧基甲基、苯氧基甲基、苯氧甲基、甲硫基甲基、甲苯基硫代甲基、吡啶基甲基、四甲基哌啶基甲基、n—乙酰基四甲基哌啶基甲基、三甲基甲硅烷基甲基、甲氧基乙基、乙胺基乙基、二乙胺基丙基、吗啉代丙基、乙酰氧基甲基、苯甲酸基甲基、n—环己基氨基甲酰氧基乙基、n—苯基氨基甲酰氧基乙基、乙酰胺基乙基、n—甲基苯甲酰基氨基丙基、2—氧基乙基、2—氧基丙基、羧基丙基、甲氧羰基乙基、烯丙氧基羰基丁基、氯苯氧羰基甲基、氨基甲酰基甲基、n—甲基氨基甲酰基乙基、n，n—二丙基氨基甲酰基甲基、n—(甲氧苯基)氨基甲酰基乙基、n—甲基一n—(磺基苯基)氨基甲酰基甲基、磺基丁基、膦磺酸根丁基、氨磺酰丁基、n—乙基氨磺酰甲基、n，n—二丙基氨磺酰丙基、n—甲苯基氨磺酰丙基、n，n—二丙基氨磺酰丙基、n—甲苯基氨磺酰丙基、n—甲基一n—(膦酰苯基)氨磺酰辛基、膦酰丁基、膦酸根已基、二乙基膦酰丁基、二苯基膦酰丙基、甲基膦酰丁基、甲基膦酸根丁基、甲苯基膦酰己基、甲苯基膦酸根己基、膦酰氧基丙基、膦酸根氧基丁基、苄基、苯乙基、0C—甲基苄基、l一甲基一l一苯乙基、对甲苄基、肉桂基、烯丙基、1—丙烯基甲基、2—丁烯基、2—甲代烯丙基、2—甲基丙烯基甲基、2—丙炔基、2—丁炔基、3—丁炔基等。作为所述芳基，可以举出13个苯环形成稠环而成的基、苯环与5员不饱和环形成稠环而成的基，作为具体例，可以举出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基，其中，更优选苯基、萘基。作为所述取代芳基，作为在所述芳基的环形成碳原子上的取代基，可以使用具有去掉氢原子的一价非金属原子团构成的基的取代基。作为优选取代基的例子，可以举出所述的垸基、取代垸基以及在前面作为取代烷基中的取代基显示的基。作为所述取代芳基的优选具体例，可以举出联苯基、甲苯基、二甲苯基、米基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氟苯基、氯甲基苯基、三氟甲基苯基、羟苯基、甲氧苯基、甲氧基乙氧基苯基、烯丙氧基苯基、苯氧苯基、甲硫基苯基、苯硫基苯基、乙胺基苯基、二乙胺基苯基、吗啉代苯基、乙酰氧基苯基、苯甲酸基苯基、N—环己基氨基甲酰氧基苯基、N—苯基氨基甲酰氧基苯基、乙酰胺基苯基、N—甲基苯甲酰基氨基苯基、羧苯基、甲氧羰基苯基、烯丙氧基羰基苯基、氯苯氧羰基苯基、氨基甲酰基苯基、N—甲基氨基甲酰基苯基、N，N—二丙基氨基甲酰基苯基、N—(甲氧苯基)氨基甲酰基苯基、N—甲基一N—(磺基苯基)氨基甲酰基苯基、磺基苯基、磺酸根苯基、氨磺酰苯基、N—乙基氨磺酰苯基、N，N—二丙基氨磺酰苯基、N—甲苯基氨磺酰苯基、N—甲基一N—(膦酰苯基)氨磺酰苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基、二乙基膦酰苯基、二苯基膦酰苯基、甲基膦酰苯基、甲基膦酸根苯基、甲苯基膦酰苯基、甲苯基膦酸根苯基、烯丙基苯基、l一丙烯基甲基苯基、2—丁烯基苯基、2—甲基烯丙基苯基、2—甲基丙烯基苯基、2—丙炔基苯基、2—丁炔基苯基、3—丁炔基苯基等。作为所述链烯基、所述取代链烯基、所述炔基及所述取代炔基(一C(R02)=C(R03)(R04)及一C三C(R05))，可以使用R02、R03、R04、R05为由一价的非金属原子构成的基的基。作为rq2、rq3、rq4、rGs，优选氢原子、卤素原子、烷基、取代垸基、芳基及取代芳基，作为它们的具体例，可以举出作为上述例子显示的基。其中，更优选为氢原子、卤素原子、碳原子数为110的直链状、分支状、环状的烷基。具体而言，可以举出乙烯基、1—丙烯基、l一丁烯基、1—戊烯基、1—己烯基、l一辛烯基、1—甲基一l一丙烯基、2—甲基一1一丙烯基、2—甲基一l一丁烯基、2—苯基一l一乙烯基、2—氯一1—乙烯基、乙炔基、l一丙炔基、l一丁炔基、苯基乙炔基等。作为杂环基，可以举出作为取代烷基的取代基例示的吡啶基等。作为所述取代氧基(rq60—)，可以使用rq6为去除氢原子的一价的非金属原子构成的基的取代基。作为优选的取代氧基，可以举出垸氧基、芳氧基、酰氧基、氨基甲酰氧基、n—垸基氨基甲酰氧基、n—芳基氨基甲酰氧基、n，n—二烷基氨基甲酰氧基、n，n—二芳基氨基甲酰氧基、n—烷基一n—芳基氨基甲酰氧基、垸基硫氧基、芳基硫氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基。作为它们中的垸基以及芳基，可以举出所述作为垸基、取代烷基以及芳基、取代芳基显示的基。另外，作为酰氧基中的酰基(rq7co一)，可以举出r^为作为前面的例子举出的烷基、取代垸基、芳基以及取代芳基的酰基。在这些取代基中，更优选烷氧基、芳氧基、酰氧基、芳基硫氧基。作为优选的取代氧基的具体例，可以举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、异丙氧基、丁氧基、戊氧基、己氧基、十二垸氧基、苄氧基、烯丙氧基、苯乙氧基、羧基乙氧基、甲氧羰基乙氧基、乙氧羰基乙氧基、甲氧基乙氧基、苯氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、吗啉代乙氧基、吗啉代丙氧基、烯丙氧基乙氧基乙氧基、苯氧基、甲苯氧基、二甲苯氧基、菜氧基、米氧基、异丙苯氧基、甲氧基苯氧基、乙氧基苯氧基、氯苯氧基、溴苯氧基、乙酰氧基、苯甲酸基、萘氧基、苯磺酰氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基等。作为也含有酰胺基的取代氨基(rq8nh—、(rq9)(rq1q)n—)，可以使用rq8、rq9、rq^为去除氢原子的一价非金属原子团构成的基的取代基。其中，rq9、r,也可以结合形成环。作为取代氨基的优选例，可以举出n一烷基氨基、n，n—二垸基氨基、n—芳基氨基、n，n—二芳基氨基、N—烷基一N—芳基氨基、酰胺(7、乂々7$/)基、N—垸基酰胺基、N一芳基酰胺基、脲基、N，一烷基脲基、N'，N'—二烷基脲基、N'—芳基脲基、N'，N'—二芳基脲基、N'—烷基一N'—芳基脲基、N—烷基脲基、N—芳基脲基、N'—垸基一N—垸基脲基、N'—垸基一N—芳基脲基、N'，N，一二烷基一N—烷基脲基、N，一垸基一N'—芳基脲基、N'，N，一二烷基一N-烷基脲基、N，，N，—二烷基一N，一芳基脲基、N，一芳基一N-烷基脲基、N，一芳基一N—芳基脲基、N，，N，一二芳基一N—垸基脲基、N，，N'—二芳基一N—芳基脲基、N'—烷基一N'—芳基一N—垸基脲基、N'—烷基一N'—芳基一N—芳基脲基、垸氧羰基氨基、芳氧羰基氨基、N—垸基一N—烷氧羰基氨基、N—垸基一N—垸氧羰基氨基、N—芳基一N—烷氧羰基氨基、N—芳基一N—芳氧羰基氨基。作为它们中的烷基、芳基，可以举出上述的作为烷基、取代垸基以及芳基、取代芳基显示的基，酰胺基、N—烷基酰胺基、N—芳基酰胺基中的酰基(RD7CO—)的R"如上所述。其中，更优选N—垸基氨基、N，N—二垸基氨基、N—芳基氨基、酰胺基。作为取代氨基的优选具体例，可以举出甲胺基、乙胺基、二乙胺基、吗啉代基、哌啶基、吡咯代基、苯胺基、苯甲酰胺基、乙酰胺基等。作为取代磺酰基(RQ11—S02—)，可以使用RG"为由一价非金属原子团构成的基的取代基。作为更优选的例子，可以举出烷基磺酰基、芳基磺酰基。作为它们中的烷基、芳基，可以举出上述的作为垸基、取代垸基以及芳基、取代芳基显示的基。作为这样的取代磺酰基的具体例，可以举出丁基磺酰基、苯磺酰基、氯苯基磺酰基等。如上所述，磺酸根(sulfonato，^》'于、于卜)基(一SOD是指磺基(sulpho)基(一S03H)的共轭碱阴离子基，通常优选与对阳离子(対陽^才y)—起使用。作为这样的对阳离子，可以举出通常已知的对阳离子，即各种鑰类(铵类、锍类、鳞类、碘鐵类、叠氮鎗(7-二々厶)类等)以及金属离子类(Na+、K+、Ca2+、ZnD。作为取代羰基(RG13—CO—)，可以使用R^为由一价非金属原子构成的基的取代基。作为取代羰基的优选例，可以举出甲酰基、酰基、羧基、烷氧羰基、芳氧羰基、氨基甲酰基、N—烷基氨基甲酰基、N，N—二烷基氨基甲酰基、N—芳基氨基甲酰基、N，N—二芳基氨基甲酰基、N—烷基一N'—芳基氨基甲酰基。作为它们中的烷基、芳基，可以举出上述作为烷基、取代烷基以及芳基、取代芳基显示的基。其中，作为更优选的取代羰基，可以举出甲酰基、酰基、羧基、烷氧羰基、芳氧羰基、氨基甲酰基、N—烷基氨基甲酰基、N，N—二烷基氨基甲酰基、N—芳基氨基甲酰基，作为进而更优选的取代羰基，可以举出甲酰基、酰基、烷氧羰基以及芳氧羰基。作为优选的取代羰基的具体例，可以举出甲酰基、乙酰基、苯甲酰基、羧基、甲氧羰基、乙氧羰基、烯丙氧基羰基、二甲胺基苯基乙烯基羰基、甲氧羰基甲氧羰基、N—甲基氨基甲酰基、N—苯基氨基甲酰基、N，N—二乙基氨基甲酰基、吗啉代羰基等。作为取代亚磺酰基(R^—SO—)，可以使用R^为由一价非金属原子构成的基的取代基。作为优选例，可以举出烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、亚磺酰基、N—垸基亚磺酰基、N，N—二垸基亚磺酰基、N—芳基亚磺酰基、N,N—二芳基亚磺酰基、N—垸基一N—芳基亚磺酰基。作为它们中的垸基、芳基，可以举出所述作为烷基、取代烷基以及芳基、取代芳基显示的基。其中，更优选垸基亚磺酰基、芳基亚磺酰基。作为这样的取代亚磺酰基的具体例，可以举出己基亚磺酰基、苄基亚磺酰基、甲苯基亚磺酰基等。取代膦酰基是指膦酰基上的一个或两个羟基被其他有机氧基取代的基，作为优选例，可以举出上述的二烷基膦酰基、二芳基膦酰基、垸基芳基膦酰基、一垸基膦酰基、一芳基膦酰基。其中，更优选二烷基膦酰基以及二芳基膦酰基。作为这样的具体例，可以举出二乙基膦酰基、二丁基膦酰基、二苯基膦酰基等。如上所述，膦酸根基(—P03H2—、—P03HT)是指膦酰基(—P03H2)的来源于酸第一离解或酸第二离解的共轭碱阴离子基。通常优选与对阳离子一起使用。作为这样的对阳离子，可以举出通常已知的对阳离子，即各种鏺类(铵类、锍类、鳞类、碘鎗类、叠氮鐵(7-二夕厶)类等)以及金属离子类(Na+、K+、Ca2+、Zn"等)。取代膦酸根基是指上述的取代膦酰基中将一个羟基取代成有机氧基的基的共轭碱阴离子基，作为具体例，可以举出上述的一垸基膦酰基(一P03H(alkyl))、一芳基膦酰基(—P03H(aryl))的共轭碱。作为所述肟衍生物，更优选用下述通式(m)及通式(iv)的任意一个表示的化合物。[化ii]通式(in)其中，所述通式(III)及通式(IV)中，Run表示与通式(I)及通式(II)中的￥1相同的意义，Y^表示与通式(I)及通式(II)中的Y2相同的意义。作为所述Run，更优选为氢原子及脂肪族基中的任意一个，特别优选为碳原子数为110的脂肪族基。作为所述脂肪族基，例如可以举出甲基、乙基、丙基、辛基、烯丙基等。作为所述Y12，特别优选为一CO—(脂肪族基)。作为所述￥12中的脂肪族基，优选碳原子数为110的脂肪族基。具体而言，例如优选甲基、乙基、丙基、丁基、辛基、环己基、苄基等。作为所述肟衍生物的其他具体例，例如可以举出在特开2001—233842号公报、特表2004—534797号公报以及特表2002—519732号公报等中公开的化合物以及下述结构式表示的化合物等。化12<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>上述结构式中，R表示n—C3H7、n—C8H17、樟脑以及p—CH3C6H4中的任意一种。化l5<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>上述结构式中，R表示n—C3H7、以及p—CH3C6H4中的任意一种。化16<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage27</formula>作为所述肟化合物，也可以优选使用下述通式(X)表示的肟化合物。化19<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>通式(X)另外，所述通式(X)中，R^表示酰基、烷氧羰基以及芳氧基羰基中的任意一种，这些取代基也可以进一步具有取代基。(x表示0以上的任意一个整数。R^表示取代基，(i为2以上的情况下，该R^可以相同或不同。Ar表示芳香族环及杂芳香族环的任意一种。A表示4、5、6及7员环的任意一种，这些环也可以分别含有杂原子。在所述通式(X)表示的肟化合物中，更优选为下述通式(XI)表示的化合物，特别优选为下述通式(xn)及(xm)的任意一种表示的化合物。化20<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>通式(XI)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>其中，所述通式(XI)中，R1W)、R2QQ、a及Ar表示与通式(X)中的相同的意义。X表示O及S的任意一种。A表示5及6员环的任意一种。化21<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>通式(XII)化2228其中，所述通式(xii)及通式(xin)中，r^也可以具有取代基，表示烷基。l表示06的任意一个整数。R^表示垸基、烷氧基、芳氧基、卤素原子、磺酰基以及酰氧基的任意一种，l为2以上的情况下，该R,可以相同或不同。X及A表示与通式(XI)相同的意义。所述通式(X)及(XI)中，作为用所述R^表示的酰基，可以为脂肪族、芳香族以及杂环的任意一种，也可以进而具有取代基。作为所述脂肪族的酰基，例如可以举出乙酰基、丙酰基、丁酰基、己酰基、癸酰基、苯氧基乙酰基、氯乙酰基等。作为所述芳香族的酰基，例如可以举出苯甲酰基、萘甲酰基、甲氧苯甲酰基、硝基苯甲酰基等。作为所述杂环的酰基，例如可以举出呋喃酰(fiiranoyl)基、硫代苯酰基(thiophenoyl)等。作为所述取代基，例如优选为烷氧基、芳氧基以及卤素原子的任意一种。作为所述酰基，优选总碳原子数为230的基，更优选总碳原子数为220的基，特别优选总碳原子数为216的基。作为这样的酰基，例如可以举出乙酰基、丙酰基、甲基丙酰基、丁酰基、三甲基乙酰基、己酰基、环己烷羰基、辛酰基、癸酰基、十二烷酰基、十八垸酰基、苄基羰基、苯氧基乙酰基、2—乙基己酰基、氯乙酰基、苯甲酰基、对甲氧基苯甲酰基、2，5—二丁氧基苯甲酰基、l一萘酰基、2—萘酰基、吡啶羰基、呋喃酰基、硫代苯酰基、甲基丙烯酰基、丙烯酰基等。所述通式(X)及(XI)中，作为用所述R^表示的垸氧基羰基，也可以具有取代基，优选为总碳原子数为230的垸氧羰基，更优选为总碳原子数为220的烷氧羰基，特别优选为总碳原子数为26的烷氧羰基。作为这样的烷氧羰基，例如可以举出甲氧羰基、乙氧羰基、异丙氧基羰基、丁氧基羰基、异丁氧基羰基、芳氧基羰基、辛氧基羰基、十二烷氧基羰基、所述通式(X)及(XI)中，作为用所述R^表示的芳氧基羰基，也可以具有取代基，优选为总碳原子数为730的垸氧羰基，更优选总碳原子数为720，特别优选总碳原子数为716。作为这样的芳氧羰基，例如可以举出苯氧基羰基、2—萘氧基羰基、对甲氧基苯氧基羰基、2，5—二乙氧基苯氧基羰基、对氯苯氧基羰基、对硝基苯氧基羰基、对氰基苯氧所述通式(X)及(XI)中，作为用R^表示的取代基，没有特别限制，例如可以举出垸基、垸氧基、芳氧基、卤素原子、磺酰基、酰氧基、硝基、酰胺基等。其中，优选为烷基、烷氧基、芳氧基、卤素原子、磺酰基及酰氧基的任意一种。在此，作为所述用通式(X)表示的肟化合物的具体例，可以举出下述结构式(1)(54)表示的化合物，在本发明中，不被这些所限定。化23<formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula>化24<formula>formulaseeoriginaldocumentpage30</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage31</formula>一一其他光聚合引发剂一一作为所述其他光聚合引发剂，只要具有引发所述聚合性化合物的聚合的能力，则没有特别限制，可以从公知的光聚合引发剂中适当选择，例如优选对紫外线区域到可见的光线具有感光性的光聚合引发剂，可以为与被光激发的增感剂发生某种作用、产生活性自由基的活化剂，也可以为对应单体的种类而引发阳离子聚合的引发剂。另外，所述光聚合引发剂优选至少含有一种在约300800nm的范围内至少具有约50的摩尔消光系数的成分。所述波长更优选330500nm。作为所述其他光聚合引发剂，例如可以举出卤代烃衍生物(例如具有三嗪骨架的卤化烃衍生物、具有噁二唑骨架的卤化烃衍生物等)、六芳基联咪唑、有机过氧化物、硫代化合物、酮化合物、吖啶化合物、芳环烯金属衍生物等。具体而言，可以举出在特开2005—258431号公报中记载的的灵敏度、保存性及感光层与基板的粘附性等观点出发，优选酮化合物及吖啶化合物。所述其他光聚合引发剂可以单独使用一种或并用两种以上。所述光聚合引发剂在所述感光性组合物中的固体成分含量优选为0.130质量％，更优选为0.520质量Q/^，特别优选为0.515质量％。一增感剂一作为所述感光性组合物，也可以含有增感剂。在对所述感光层进行曝光、显影的情况下，从提高在该曝光及显影后不使该感光层需要曝光的部分的厚度发生变化的所述光的最小能量(灵敏度)的观点出发，特别优选并用所述增感剂。作为所述增感剂，可以根据所述光照射机构(例如可见光线或紫外光及可见光激光)来适当选择。所述增感剂在活性能量线的作用下成为激发状态，可以通过与其他物质(例如自由基产生剂、酸产生剂等)相互作用(例如能量移动、电子移动等)，产生自由基或酸等有用基。作为所述增感剂，至少含有一种从縮环系化合物、氨基苯基甲酮系化合物、多环芳香族类、具有酸性环的化合物、具有碱性环的化合物、具有荧光增白剂环的化合物中选择的至少一种，根据需要也可以含有其他增感剂。作为增感剂，从提高灵敏度的点出发，进而优选为杂縮环系化合物、氨基二苯甲酮系化合物，特别优选为杂縮环系化合物。—一縮环系化合物一一在所述例示化合物中，作为芳香族环或杂环发生縮环的化合物(縮环系化合物)，优选为杂縮环系化合物。所述杂縮环系化合物是指在环中具有杂元素的多环式化合物，在所述环中，优选含有氮原子。作为所述杂缩环系化合物，例如可以举出杂縮环系酮化合物。在所述杂縮环系化合物中，更优选吖啶酮化合物及噻吨酮化合物，其中特别优选噻吨酮化合物。作为所述杂縮环系酮化合物，具体而言，例如可以举出吖啶酮、氯吖啶酮、N—甲基吖啶酮、N—丁基吖啶酮、N—丁基一氯吖啶酮等吖啶酮化合物；噻吨酮、异丙基噻吨酮、2，4一二乙基噻吨酮、l一氯一4一丙氧基噻吨酮、QuantacureQTX(商品名)等噻吨酮化合物；3—(2—苯并呋喃甲酰基)一7—二乙基氨基香豆素、3—(2—苯并呋喃甲酰基)一7—(1一吡咯烷基)香豆素、3—苯甲酰一7—二乙基氨基香豆素、3—(2—甲氧基苯甲酰)一7—二乙基氨基香豆素、3—(4—二甲基氨基苯甲酰)—7一二乙基氨基香豆素、3，3，一羰基双(5，7—二一正丙氧基香豆素)、3，3，—羰基双(7—二乙基氨基香豆素)、3—苯甲酰一7—甲氧基香豆素、3一(2—呋喃甲酰)一7—二乙基氨基香豆素、3—(4一二乙基氨基肉桂酰基)一7—二乙基氨基香豆素、7—甲氧基一3—(3—吡啶基羰基)香豆素、3—苯甲酰一5，7—二丙氧基香豆素、7—苯并三唑一2—酰基香豆素、7一二乙基氨基一4一甲基香豆素、此外还有特开平5—19475号、特开平7—271028号、特开2002—363206号、特开2002—363207号、特开2002一363208号、特开2002—363209号公报等中记载的香豆素化合物等香豆素类等。另外，还可以举出公知的多环芳香族类(例如芘、茈、9，IO—苯并菲)、氧杂蒽类(例如荧光素、四溴萤光素、四碘荧光素、若丹明B、孟加拉玫瑰红)、花青苷类(例如吲哚羰花青、硫代羰花青、氧杂羰花青)、部花青类(例如部花青、羰部花青)、噻嗪类(例如硫堇、亚甲蓝、甲苯胺蓝)、蒽醌类(例如蒽醌)、斯夸琳(^夕7U々^)类(例如斯夸琳)等。上述增感剂的含量，相对所述感光性组合物的全部固体成分，优选为0.014质量％，更优选为0.022质量％，特别优选为0.051质量％。该含量如果不到0.01质量％，那么有时灵敏度降低，如果超过4质量。％，那么图案的形状有时会恶化。所述感光性组合物中的所述增感剂与光聚合引发剂的含量的质量比优选为[(增感剂)/(肟衍生物)]=1/0.11/100，更优选为1/11/50。所述增感剂的含量与所述光聚合引发剂的含量的质量比如果在上述范围外，则灵敏度可能会降低，而且灵敏度的经时变化可能会恶化。一粘合剂一作为所述粘合剂，优选在侧链含有酸性基和乙烯性不饱和键的高分子化合物。作为所述酸性基，可以举出羧基、磷酸基、磺酸基等，而从获得原料的点的出发，优选羧基。所述粘合剂优选为对水不溶而且在碱性水溶液下溶胀或溶解的化合另外，作为所述粘合剂，在分子内可以使用至少一个可以聚合的双键例如(甲基)丙烯酸酯基或(甲基)丙烯酰胺基等丙烯酸基，羧酸的乙烯酯、乙烯醚、烯丙醚等的各种聚合性双键。更具体而言，作为酸性基，可以举出向含有作为酸性基的羧基的丙烯酸树脂，加成含环状醚基的聚合性化合物例如縮水甘油基丙烯酸酯、縮水甘油基甲基丙烯酸酯、桂皮酸等不饱和脂肪酸的缩水甘油酸酯或脂环式环氧基(例如在同一分子中具有环己烯氧化物等的环氧基)和(甲基)丙烯酰基的化合物等含环氧基的聚合性化合物得到的化合物等。另外，还可以举出向含有酸性基及羟基的丙烯酸树脂加成异氰酸酯(甲基)丙烯酸乙酯等含异氰酸酯基的聚合性化合物得到的化合物，向含有酐基的丙烯酸树脂加成(甲基)丙烯酸羟基烷基酯等含有羟基的聚合性化合物得到的化合物等。另外，还可以举出共聚合缩水甘油基甲基丙烯酸酯等含环状醚基的聚合物化合物和(甲基)丙烯酰基烷基酯等乙烯系单体，向侧链的环氧基加成(甲基)丙烯酸得到的化合物等。进而，还可以举出具有环氧化合物来源的骨架而且在分子中含有双键和羧基的化合物。这样的化合物例如可以用使多官能环氧化合物与含羧基单体发生反应，进而使多元酸酐加成的方法等得到。这些例子可以举出专利2763775号公报、特开平3—172301号公报、特开2000—232264号公报、特开平1—54390号公报等。其中，所述粘合剂更优选从向高分子化合物的酸性基的一部分加成含环状醚基(例如部分结构具有环氧基、氧杂环丁烷基的基)聚合性化合物得到的高分子化合物以及向高分子化合物的环状醚基的一部分或全部加成含羧基聚合性化合物得到的高分子化合物的任意一种中选择的高分子化合物。此时，酸性基与具有环状醚基的化合物的加成反应优选在催化剂存在下实施，特别优选该催化剂为从酸性化合物及中性化合物中选择的催化剂。其中，从感光性组合物的经时显影稳定性的点出发，粘合剂优选为在侧链含有羧基、可含有杂环的芳香族基、且在侧链含有乙烯性不饱和键的高分子化合物。_一可含有杂环的芳香族基一一作为所述可含有杂环的芳香族基(以下有时简称为"芳香族基"。)，例如可以举出苯环、由23个苯环形成稠环的基、苯环与5员不饱和环形成稠环的基等。作为所述芳香族基的具体例，可以举出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基、吲哚环基、苯并呋喃环基、苯并噻吩环基、吡唑环基、异噁唑环基、异噻唑环基、(J引唑环基、苯并异噁唑环基、苯并异噻唑环基、咪唑环基、噁唑环基、噻唑环基、苯并咪唑环基、苯并噁唑环基、苯并噻唑环基、妣啶环基、喹啉环基、异喹啉环基、哒嗪环基、嘧啶环基、妣嗪环基、酞嗪环基、喹唑啉环基、喹喔啉环基、氮丙啶环基、菲啶环基、咔唑环基、嘌呤环基、吡喃环基、哌啶环基、哌嗪环基、吲哚环基、吲哚嗪环基、色烯环基、肉啉环基、吖啶环基、吩噻嗪环基、四唑环基、三嗪环基等，其中，优选具有烃芳香族基，更优选苯基、萘基。所述芳香族基也可以具有取代基，作为所述取代基，例如可以举出卤素原子、可具有取代基的氨基、垸氧羰基、羟基、醚基、硫醇基、硫醚基、甲硅烷基、硝基、氰基、可分别具有取代基的垸基、链烯基、炔基、芳基、杂环基等。作为所述垸基，例如可以举出碳原子数为120的直链状的烷基、分支状的烷基、环状的烷基等。作为所述烷基的具体例，可以举出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二垸基、十三烷基、十六垸基、十八垸基、二十垸基、异丙基、异丁基、仲丁基、叔丁基、异戊基、新戊基、l一甲基丁基、异己基、2—乙基己基、2—甲基己基、环己基、环戊基、2—降冰片基等。其中，更优选碳原子数为112的直链状的烷基、碳原子数为312的分支状的烷基以及碳原子数为510的环状的垸基。作为所述垸基可具有的取代基，例如可以举出去除氢原子的一价非金属原子团构成的基，作为这样的取代基，例如可以举出卤素原子(一F、一Br、一C1、一I)、羟基、烷氧基、芳氧基、巯基、烷基硫代基、芳基硫代基、垸基二硫代基、芳基二硫代基、氨基、N—垸基氨基、N，N—二垸基氨基、N—芳基氨基、N，N—二芳基氨基、N—烷基一N—芳基氨基、酰氧基、氨基甲酰氧基、N—烷基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、N，N—二垸基氨基甲酰氧基、N，N—二芳基氨基甲酰氧基、N—烷基一N—芳基氨基甲酰氧基、垸基硫氧基、芳基硫氧基、酰基硫代基、酰胺基、N—垸基酰胺基、N—芳基酰胺基、脲基、N，一烷基脲基、N'，N'—二垸基脲基、N，一芳基脲基、N'，N'—二芳基脲基、N'—烷基—N'—芳基脲基、N—垸基脲基、N—芳基脲基、N'—垸基一N—烷基脲基、N，一烷基一N—芳基脲基、N，，N，—二垸基一N—烷基脲基、N'，N'—二烷基一N一芳基脲基、N'—芳基一N—垸基脲基、N'—芳基一N—芳基脲基、N'，N，一二芳基一N—烷基脲基、N，，N'—二芳基一N—芳基脲基、N'—烷基一N，一芳基一N—烷基脲基、N，一烷基一N'—芳基一N—芳基脲基、垸氧基羰基氨基、芳氧基羰基氨基、N—烷基一N—烷氧基羰基氨基、N—烷基一N—芳氧基羰基氨基、N—芳基一N—垸氧基羰基氨基、N—芳基一N一芳氧基羰基氨基、甲酸基、酰基、羧基、垸氧羰基、芳氧基羰基、氨基甲酰基、N—垸基氨基甲酰基、N，N—二垸基氨基甲酰基、N—芳基氨基甲酰基、N，N—二芳基氨基甲酰基、N—垸基一N—芳基氨基甲酰基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、磺基(—S03H)及其共轭碱(称为磺酸根基)、烷氧基磺酰基、芳氧基磺酰基、亚磺酰基、N—烷基亚磺酰基、N，N—二垸基亚磺酰基、N—芳基亚磺酰基、N，N一二芳基亚磺酰基、N—垸基一N—芳基亚磺酰基、氨磺酰基、N—垸基氨磺酰基、N，N—二垸基氨磺酰基、N—芳基氨磺酰基、N，N—二芳基氨磺酰基、N—烷基一N—芳基氨磺酰基、膦酰基(—P03H2)及其共轭碱(称为膦酸根基)、二烷基膦酰基(—P03(alkyl)2)"以下"alkyl"是指垸基。"、二芳基膦酰基(—P03(aryl)2)"以下"aryl"是指芳基。"、烷基芳基膦酰基(—P03(alkyl)(aryl))、一垸基膦酰基(—P03(alkyl))及其共轭碱(称为垸基膦酸根基)、一芳基膦酰基(—P03H(aryl))及其共轭碱(称为芳基膦酸根基)、膦酰氧基(—OP03H2)及其共轭碱(称为膦酸根氧基)、二烷基膦酰氧基(—OP03H(alkyl)2)、二芳基膦酰氧基(—OP03(aryl)2)、垸基芳基膦酰氧基(—OP03(alkyl)(aryl))、一垸基膦酰氧基(—OP03H(alkyl))及其共轭碱(称为垸基膦酸根氧基)、一芳基膦酰氧基(—OP03H(aryl))及其共轭碱(称为芳基膦酸根氧基)、氰基、硝基、芳基、链烯基、炔基、杂环基、甲硅烷基等。作为这些取代基中的烷基的具体例，可以举出上述的烷基。作为所述取代基中的芳基的具体例，可以举出苯基、联苯基、萘基、甲苯基、二甲苯基、米基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氯甲基苯基、羟基苯基、甲氧苯基、乙氧苯基、苯氧苯基、乙酸基苯基、苯甲酸基苯基、甲硫基苯基、苯硫基苯基、甲胺基苯基、二甲胺基苯基、乙酰胺基苯基、羧苯基、甲氧羰基苯基、乙氧苯基羰基、苯氧羰基苯基、N—苯羰基苯基、氰基苯基、磺基苯基、磺酸根苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基等。作为所述取代基中的链烯基的具体例，可以举出乙烯基、l一丙烯基、l一丁烯基、肉桂基、2—氯一1一乙烯基等。作为所述取代基中的炔基的具体例，可以举出乙炔基、l一丙炔基、1一丁炔基、三甲基甲硅烷基乙炔基等。作为所述取代基中的酰基(RQ1CO—)的RQ1，可以举出氢原子、所述的烷基、芳基等。在这些取代基中，优选卤素原子(一F、一Br、一C1、一I)、烷氧基、芳氧基、垸基硫代基、芳基硫代基、N—烷基氨基、N，N—二垸基氨基、酰氧基、N—烷基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、酰胺基、甲酸基、酰基、羧基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨基甲酰基、N—烷基氨基甲酰基、N，N—二烷基氨基甲酰基、N—芳基氨基甲酰基、N—烷基一N一芳基氨基甲酰基、磺基、磺酸根基、氨磺酰基、N—烷基氨磺酰基、N，N—二烷基氨磺酰基、N—芳基氨磺酰基、N—垸基一N—芳基氨磺酰基、膦酰基、膦酸根基、二垸基膦酰基、二芳基膦酰基、一烷基膦酰基、垸基膦酸根基、一芳基膦酰基、芳基膦酸根基、膦酰氧基、膦酸根氧基、芳基、链烯基等。另外，作为所述取代基中的杂环基，例如可以举出吡啶基、哌啶基等，作为所述取代基中的甲硅烷基，可以举出三甲基甲硅烷基等。另一方面，作为取代垸基中的亚烷基，例如可以举出除去所述碳原子数为120的垸基上的氢原子的任意一个而成为2价的有机残基的亚烷基，可以优选举出碳原子数为112的直链状的亚烷基、碳原子数为312的分支状的亚烷基以及碳原子数为510的环状的亚烷基等。作为这样通过组合取代基和亚烷基得到的取代垸基的优选具体例，可以举出氯甲基、溴甲基、2—氯乙基、三氟甲基、甲氧基甲基、异丙氧基甲基、丁氧基甲基、叔丁氧基丁基、甲氧基乙氧基乙基、烯丙氧基甲基、苯氧基甲基、苯氧甲基、甲硫基甲基、甲苯基硫代甲基、吡啶基甲基、四甲基哌啶基甲基、N—乙酰基四甲基哌啶基甲基、三甲基甲硅烷基甲基、甲氧基乙基、乙胺基乙基、二乙胺基丙基、吗啉代丙基、乙酰氧基甲基、苯甲酸基甲基、N—环己基氨基甲酰氧基乙基、N—苯基氨基甲酰氧基乙基、乙酰胺基乙基、N—甲基苯甲酰基氨基丙基、2—氧基乙基、2—氧基丙基、羧基丙基、甲氧羰基乙基、烯丙氧基羰基丁基、氯苯氧羰基甲基、氨基甲酰基甲基、N—甲基氨基甲酰基乙基、N，N—二丙基氨基甲酰基甲基、N—(甲氧苯基)氨基甲酰基乙基、N—甲基一N—(磺基苯基)氨基甲酰基甲基、磺基丁基、磺酸根丁基、氨磺酰丁基、N—乙基氨磺酰甲基、N，N—二丙基氨磺酰丙基、N—甲苯基氨磺酰丙基、N，N—二丙基氨磺酰丙基、N—甲苯基氨磺酰丙基、N—甲基一N—(膦酰苯基)氨磺酰辛基、膦酰丁基、膦酸根已基、二乙基膦酰丁基、二苯基膦酰丙基、甲基膦酰丁基、甲基膦酸根丁基、甲苯基膦酰膦酸根己基、甲苯基膦酸根己基、膦酰氧基丙基、膦酸根氧基丁基、苄基、苯乙基、a—甲基苄基、1一甲基一l一苯乙基、对甲苄基、肉桂基、烯丙基、l一丙烯基甲基、2—丁烯基、2—甲基烯丙基、2—甲基丙烯基甲基、2—丙炔基、2—丁炔基、3—丁炔基等。作为所述芳基，例如可以举出苯环、23个苯环形成稠环而成的基、苯环与5员不饱和环形成稠环而成的基等。作为芳基的具体例，例如可以举出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基等。其中，更优选苯基、萘基。所述烷基也可以具有取代基，作为具有这样的取代基的芳基(以下有时也称为"取代芳基"。)，例如作为在所述芳基的环形成碳原子上的取代基，可以举出具有去掉氢原子的一价非金属原子团构成的基的取代基。作为所述芳基可具有的取代基，例如可以举出所述的烷基、取代垸基、作为所述烷基可具有的取代基显示的基。作为所述取代芳基的优选具体例，可以举出联苯基、甲苯基、二甲苯基、米基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氟苯基、氯甲基苯基、三氟甲基苯基、羟苯基、甲氧苯基、甲氧基乙氧基苯基、烯丙氧基苯基、苯氧苯基、甲硫基苯基、苯硫基苯基、乙胺基苯基、二乙胺基苯基、吗啉代苯基、乙酰氧基苯基、苯甲酸基苯基、N—环己基氨基甲酰氧基苯基、N—苯基氨基甲酰氧基苯基、乙酰胺基苯基、N—甲基苯甲酰基氨基苯基、羧苯基、甲氧羰基苯基、烯丙氧基羰基苯基、氯苯氧羰基苯基、氨基甲酰基苯基、N—甲基氨基甲酰基苯基、N，N—二丙基氨基甲酰基苯基、N—(甲氧苯基)氨基甲酰基苯基、N—甲基一N—(磺基苯基)氨基甲酰基苯基、磺基苯基、磺酸根苯基、氨磺酰苯基、N—乙基氨磺酰苯基、N，N—二丙基氨磺酰苯基、N—甲苯基氨磺酰苯基、N—甲基一N—(膦酰苯基)氨磺酰苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基、二乙基膦酰苯基、二苯基膦酰苯基、甲基膦酰苯基、甲基膦酸根苯基、甲苯基膦酰苯基、甲苯基膦酸根苯基、烯丙基苯基、l一丙烯基甲基苯基、2—丁烯基苯基、2—甲基烯丙基苯基、2—甲基丙烯基苯基、2—丙炔基苯基、2—丁炔基苯基、3—丁炔基苯基等。作为所述链烯基(一C(R02)=C(Rw)(R04))及炔基(一C三C(RG5))，例如可以举出R152、RQ3、RM及RM为由一价非金属原子团构成的基的基。作为RQ2、RQ3、RQ4、RD5，优选氢原子、卤素原子、垸基、取代烷基、芳基、取代芳基等。作为它们的具体例，可以举出作为上述例子显示的基。其中，更优选为氢原子、卤素原子、碳原子数为110的直链状的烷基、分支状的烷基、环状的烷基。作为所述链烯基及炔基的优选具体例，可以举出乙烯基、l一丙烯基、l一丁烯基、l一戊烯基、l一己烯基、l一辛烯基、l一甲基一l一丙烯基、2—甲基一1一丙烯基、2—甲基一l一丁烯基、2—苯基一1一乙烯基、2—氯一l一乙烯基、乙炔基、l一丙炔基、l一丁炔基、苯基乙炔基等。作为杂环基，可以举出作为取代烷基的取代基例示的吡啶基等。作为所述氧基(RQ60—)，可以使用RQ6为去除氢原子的一价的非金属原子团构成的基的取代基。作为这样的氧基，可以举出垸氧基、芳氧基、酰氧基、氨基甲酰氧基、N—院基氨基甲酰氧基、N—芳基氨基甲酰氧基、N，N—二烷基氨基甲酰氧基、N，N—二芳基氨基甲酰氧基、N—烷基一N—芳基氨基甲酰氧基、垸基硫氧基、芳基硫氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基等。作为它们中的烷基以及芳基，可以举出所述作为烷基、取代烷基、芳基、取代芳基显示的基。另外，作为酰氧基中的酰基(RQ7CO—),可以举出R^为作为前面的例子举出的烷基、取代烷基、芳基以及取代芳基的酰基。在这些取代基中，更优选垸氧基、芳氧基、酰氧基、芳基硫氧基。作为优选的氧基的具体例，可以举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、异丙氧基、丁氧基、戊氧基、己氧基、十二垸氧基、苄氧基、烯丙氧基、苯乙氧基、羧基乙氧基、甲氧羰基乙氧基、乙氧羰基乙氧基、甲氧基乙氧基、苯氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、吗啉代乙氧基、吗啉代丙氧基、烯丙氧基乙氧基乙氧基、苯氧基、甲苯氧基、二甲苯氧基、菜氧基、菜氧基、异丙苯氧基、甲氧基苯氧基、乙氧基苯氧基、氯苯氧基、溴苯氧基、乙酰氧基、苯甲酸基、萘氧基、苯磺酰氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基等。作为也含有酰胺基的氨基(RQ8NH—、(R09)(R,)N—)，例如可以举出R°8、RD9、R,为去除氢原子的一价非金属原子团构成的基的取代基。其中，Re9、R,也可以结合形成环。作为所述氨基，例如可以举出N—垸基氨基、N，N—二烷基氨基、N—芳基氨基、N，N—二芳基氨基、N—烷基一N—芳基氨基、酰胺基、N—垸基酰胺基、N—芳基酰胺基、脲基、N'—垸基脲基、N'，N'—二烷基脲基、N，一芳基脲基、N，，N，一二芳基脲基、N'—烷基一N'—芳基脲基、N—烷基脲基、N—芳基脲基、N'—垸基一N—烷基脲基、N'—烷基一N—芳基脲基、N，，N，一二烷基一N—垸基脲基、N'—烷基一N'—芳基脲基、N，，N，一二烷基一N—烷基脲基、N，，N'—二烷基一N'—芳基脲基、N，一芳基一N—烷基脲基、N，一芳基一N—芳基脲基、N，，N'—二芳基一N—烷基脲基、N，，N，一二芳基—N—芳基脲基、N'—烷基一N'—芳基一N—垸基脲基、N'—垸基一N'—芳基一N—芳基脲基、烷氧羰基氨基、芳氧羰基氨基、N—烷基一N—烷氧羰基氨基、N—垸基一N—烷氧羰基氨基、N—芳基一N—垸氧羰基氨基、N—芳基一N—芳氧羰基氨基等。作为它们中的烷基及芳基，可以举出上述的作为烷基、取代垸基、芳基、以及取代芳基显示的基。另外，酰胺(7$乂)基、N—垸基酰胺基、N——)的R^如上所述。其中，更优选N—垸基氨基、N，N—二垸基氨基、N—芳基氨基、酰胺基。作为取代氨基的优选具体例，可以举出甲胺基、乙胺基、二乙胺基、吗啉代基、哌啶基、吡咯代基、苯胺基、苯甲酰胺基、乙酰胺基等。作为磺酰基(RG11—S02—)，例如可以举出RG"为由一价非金属原子团构成的基的基。作为这样的磺酰基，例如优选垸基磺酰基、芳基磺酰基等。作为它们中的烷基、芳基，可以举出上述的作为烷基、取代烷基、芳基、以及取代芳基显示的基。作为所述磺酰基的具体例，可以举出丁基磺酰基、苯磺酰基、氯苯基磺酰基等。如上所述，所述磺酸根基(一SOr)是指磺基(sulpho)基(—S03H)的共轭碱阴离子基，通常优选与对阳离子一起使用。作为这样的对阳离子，可以适当使用通常已知的对阳离子，例如鎗类(例如铵类、锍类、鳞类、碘鎗类、叠氮鎗(7-二々厶)类等)、金属离子类(例如Na+、K+、Ca2+、Zn2+等)。作为所述羰基(R0"—CO—)，例如可以使用R^为由一价非金属原子团构成的基的基。作为这样的羰基，例如可以举出甲酸基、酰基、羧基、垸氧羰基、芳氧羰基、氨基甲酰基、N—烷基氨基甲酰基、N，N—二垸基氨基甲酰基、N—芳基氨基甲酰基、N，N—二芳基氨基甲酰基、N—垸基一N'—芳基氨基甲酰基等。作为它们中的烷基及芳基，可以举出上述作为烷基、取代烷基芳基、以及取代芳基显示的基。作为所述羰基，可以举出甲酰基、酰基、羧基、垸氧羰基、芳氧羰基、氨基甲酰基、N—垸基氨基甲酰基、N，N—二烷基氨基甲酰基、N—芳基氨基甲酰基，进而更优选甲酸基、酰基、烷氧羰基以及芳氧羰基。作为所述羰基的具体例，可以举出甲酰基、乙酰基、苯甲酰基、羧基、甲氧羰基、乙氧羰基、烯丙氧基羰基、二甲胺基苯基乙烯基羰基、甲氧羰基甲氧羰基、N—甲基氨基甲酰基、N—苯基氨基甲酰基、N，N—二乙基氨基甲酰基、吗啉代羰基等。作为所述亚磺酰基(R^—SO—)，可以使用R^"为由一价非金属原子团构成的基的基。作为这样的亚磺酰基，例如可以举出烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、亚磺酸酰基、N—烷基亚磺酸酰基、N，N—二垸基亚磺酸酰基、N—芳基亚磺酸酰基、N，N—二芳基亚磺酸酰基、N—垸基一N—芳基亚磺酸酰基等。作为它们中的烷基及芳基，可以举出所述作为烷基、取代垸基、芳基、以及取代芳基显示的基。其中，更优选垸基亚磺酰基、芳基亚磺酰基。作为这样的取代亚磺酰基的具体例，可以举出己基亚磺酰基、苄基亚磺酰基、甲苯基亚磺酰基等。所述取代膦酰基是指膦酰基上的一个或两个羟基被其他有机氧基取代的基，例如可以举出上述的二烷基膦酰基、二芳基膦酰基、烷基芳基膦酰基、一烷基膦酰基、一芳基膦酰基等。其中，更优选二烷基膦酰基、二芳基膦酰基。作为所述膦酰基的更优选的具体例，可以举出二乙基膦酰基、二丁基膦酰基、二苯基膦酰基等。如上所述，所述膦酸根基(—P03H2_、一P03H—)是指膦酰基(—P03H2)的来源于酸第一离解或酸第二离解的共轭碱阴离子基。通常优选与对阳离子一起使用。作为这样的对阳离子，可以适当选择通常已知的对阳离子，例如各种鑰类(铵类、锍类、鳞类、碘鎿类、叠氮鎗(7-二々厶)类等)以及金属离子类(Na+、K+、Ca2+、Zn2+等)。所述膦酸根基是指上述的膦酰基中将一个羟基取代成有机氧基的基的共轭碱阴离子基，作为这样的具体例，可以举出上述的一垸基膦酰基(一P03H(alkyl))、一芳基膦酰基(—P03H(aryl))的共轭碱。所述芳香族基可以通过通常的自由基聚合法利用含有芳香族基的自由基聚合性化合物一种以上和根据需要作为共聚合成分的其他自由基聚合性化合物一种以上制造。作为所述自由基聚合法，通常可以举出例如悬浮聚合法或者溶液聚合法等。作为所述含有芳香族基的自由基聚合性化合物，例如优选通式(A—1)表示的化合物、通式(A—2)表示的化合物。化25<formula>formulaseeoriginaldocumentpage43</formula>其中，所述通式(A—l)中，R,、R2及R3表示氢原子或1价的有机基。L表示有机基，也可以没有。Ar表示可含有杂环的芳香族基。化26通式(A—2)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage43</formula>其中，所述通式(A—2)中，R,、R2及R3以及Ar表示与所述通式(A—l)相同的意义。作为所述L的有机基，例如为由非金属原子构成的多价的有机基，可以举出由160个碳原子、010个氮原子、050个氧原子、1100个氢原子以及020个硫原子构成的有机基。更具体而言，作为所述L的有机基，可以举出组合下述结构单元而构成的有机基、多价萘、多价蒽等。化27<formula>formulaseeoriginaldocumentpage44</formula>所述L的连结基也可以具有取代基，作为所述取代基，可以举出所述的卤素原子、羟基、羧基、磺酸根、硝基、氰基、酰胺基、氨基、烷基、链烯基、炔基、芳基、取代氧基、取代磺酰基、取代羰基、取代亚磺酰基、磺基、膦酰基、膦酸根基、甲硅垸基、杂环基。在所述通式(A—1)表示的化合物以及通式(A—2)表示的化合物中，从灵敏度的方面出发，优选通式(A—l)。另外，在所述通式(A—l)中，从稳定性的点出发，优选具有连结基，作为所述L的有机基，从非图像部的除去性(显影性)的方面出发，优选碳原子数为14的亚垸基。所述通式(A—l)表示的化合物成为含有下述通式(A—3)的结构单元的化合物。另外，所述通式(A—2)表示的化合物成为含有下述通式(A—4)的结构单元的化合物。其中，从贮存稳定性的方面出发，优选通式(A—3)的结构单元。化28<formula>formulaseeoriginaldocumentpage44</formula>通式(A—3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage45</formula>通式(A—4)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage45</formula>其中，在所述通式(A—3)及通式(A—4)中，R,、R2及R3以及Ar表示与所述通式(A—l)及通式(A—2)相同的意义。在所述通式(A—3)及通式(A—4)中，从非图像部的除去性(显影性)的方面出发，优选^及R2为氢原子，R3为甲基。另外，从非图像部的除去性(显影性)的方面出发，所述通式(A—3)的L优选为碳原子数为14的亚垸基。作为所述通式(A—l)表示的化合物或通式(A—2)表示的化合物，没有特别限制，例如可以举出以下的例示化合物(1)(30)。化30<formula>formulaseeoriginaldocumentpage46</formula>在所述例示化合物(1)(30)中，优选(5)、(6)、(11)、(14)及(28)，其中，从贮存稳定性及显影性的方面出发，更优选(5)及(6)。对所述可含有杂环的芳香族基在所述粘合剂中的含量，没有特别限制，在将高分子化合物的全部结构单元设为100mol^的情况下，优选含有20mol^以上所述通式(A—3)表示的结构单元，更优选含有3045mol%。如果所述含量不到20mo1，则贮存稳定性可能会变低，如果超过45mo1%，则显影性可能会降低。——乙烯性不饱和键一—作为所述乙烯性不饱和键，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如优选下述通式(A—5)(A—7)表示的乙烯性不饱和键。化32Qii一X-CR3)=(通式(A-5)通式(A-6)通式(A-6)其中，所述通式(A—5)(A—7)中，RtRu彼此独立，表示l价有机基。X及Y彼此独立，表示氧原子、硫原子或一N—R4。Z表示氧原子、硫原子、一N—R4或亚苯基。R4表示氢原子或l价的有机基。在所述通式(A—5)中，作为^，彼此独立，例如优选为氢原子、可具有取代基的烷基等，从自由基反应性高的方面出发，更优选氢原子、甲基。作为所述R2及R3，彼此独立，例如可以举出氢原子、卤素原子、氨基、羧基、烷氧羰基、磺基、硝基、氰基、可具有取代基的烷基、可具有取代基的芳基、可具有取代基的垸氧基、可具有取代基的芳氧基、可具有取代基的烷基氨基、可具有取代基的芳基氨基、可具有取代基的垸基磺酰基、可具有取代基的芳基磺酰基等，从自由基反应性高的方面出发，更优选氢原子、羧基、垸氧羰基、可具有取代基的烷基、可具有取代基的芳基。作为所述R4，例如优选可具有取代基的垸基等，从自由基反应性高-右的点出发，更优选氢原子、甲基、乙基、异丙基。在此，作为可以导入的所述取代基，例如可以举出烷基、链烯基、炔基、芳基、烷氧基、芳氧基、卤素原子、氰基、烷基氨基、芳基氨基、羧基、烷氧羰基、磺基、硝基、氰基、酰胺基、烷基磺酰基、芳基磺酰基等。在所述通式(A—6)中，作为R4Rs，例如优选氢原子、卤素原子、氨基、二烷基氨基、羧基、垸氧羰基、磺基、硝基、氰基、可具有取代基的烷基、可具有取代基的芳基、可具有取代基的烷氧基、可具有取代基的芳氧基、可具有取代基的烷基氨基、可具有取代基的芳基氨基、可具有取代基的烷基磺酰基、可具有取代基的芳基磺酰基等，更优选氢原子、羧基、烷氧羰基、可具有取代基的烷基、可具有取代基的芳基。作为可以导入的所述取代基，例示在所述通式(A—5)中举出的取代基。在所述通式(A—7)中，作为R9，例如优选氢原子、可具有取代基的烷基等，从自由基反应性高的方面出发，更优选氢原子、甲基。作为所述R^、R，彼此独立，例如优选氢原子、卤素原子、氨基、二垸基氨基、羧基、烷氧羰基、磺基、硝基、氰基、可具有取代基的垸基、可具有取代基的芳基、可具有取代基的烷氧基、可具有取代基的芳氧基、可具有取代基的垸基氨基、可具有取代基的芳基氨基、可具有取代基的垸基磺酰基、可具有取代基的芳基磺酰基等，从自由基反应性高的方面出发，更优选氢原子、羧基、烷氧拨基、可具有取代基的垸基、可具有取代基的芳基。在此，作为可以导入的所述取代基，例示在所述通式(A—5)中举出的取代基。作为Z，表示氧原子、硫原子、一NRu—或可具有取代基的亚苯基。r13表示可具有取代基的垸基等，从自由基反应性高的方面出发，优选氢原子、甲基、乙基、异丙基。在所述通式(A—5)(A—7)表示的侧链乙烯性不饱和键中，从聚合反应性高、灵敏度高的方面出发，更优选通常(A—5)的化合物。对所述乙烯性不饱和键在所述高分子化合物中的含量，没有特别限制，优选为0.53.0meq/g，更优选为1.03.0meq/g，特别优选为1.52.8meq/g。如果所述含量不到0.5meq/g，则固化反应量少，因而可能会成为低灵敏度，如果多于3.0meq/g，则贮存稳定性可能会劣化。在此，所述含量(meq/g)例如可以利用碘值滴定来测定。作为向侧链导入所述通式(A—5)表示的乙烯性不饱和键的方法，没有特别限制，例如可以通过使在侧链含有羧基的高分子化合物与乙烯性不饱和键及含有环氧基的化合物发生加成反应得到。所述在侧链具有羧基的高分子化合物，例如可以通过通常的自由基聚合法利用含有羧基的自由基聚合性化合物一种以上和根据需要作为共聚合成分的其他自由基聚合性化合物一种以上制造，作为所述自由基聚合法，例如可以举出悬浮聚合法、溶液聚合法等。作为所述具有乙烯性不饱和键及环氧基的化合物，只要具有它们即可，没有特别限制，例如优选下述通式(A—8)表示的化合物及通式(A一9)表示的化合物。化333b通式(A—8)其中，所述通式(A—8)中，f^表示氢原子或甲基。1^表示有机基。化34其中，所述通式(A—9)中，R2表示氢原子或甲基。L2表示有机基。W表示47员环的脂肪族烃基。在所述通式(A—8)表示的化合物及通式(A—9)表示的化合物中，优选通式(A—8)表示的化合物，在所述通式(A—8)中，更优选Ll为碳原子数14的亚烷基。作为所述通式(A—8)表示的化合物及通式(A—9)表示的化合物，H没有特别限制，例如可以举出以下的例示化合物(31)(40)。化35作为所述含有羧基的自由基聚合性化合物，例如包括丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、异巴豆酸、马来酸、对羧基苯乙烯等，特别优选丙烯酸、甲基丙烯酸等。作为所述向侧链的导入反应，例如可以通过将三乙胺、苄基甲胺等叔胺，十二垸基三甲基氯化铵、四甲基氯化铵、四乙基氯化铵等季铵盐，吡啶，三苯膦等作为催化剂，在有机溶剂中，使其在反应温度5015(TC下反应数小时数十小时来进行。作为所述在侧链具有乙烯性不饱和键的结构单元，没有特别限制，例如优选下述通式(A—IO)表示的结构、通式(A—ll)表示的结构以及利用它们的混合表示的结构。化36通式(A—IO)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage52</formula>^20HS通式(A—ll)其中，所述通式(A—10)及通式(A-ll)中，RaRc表示氢原子或l价的有机基。R,表示氢原子或甲基。L,表示可具有连结基的有机基。在所述通式(A—IO)表示的结构或通式(A—ll)表示的结构的高分子化合物中的含量，优选为20mol^以上，更优选为2050molX，特别优选为2545molX。如果所述含量不到20mol%，则固化反应量少，因而可能会成为低灵敏度，如果多于50molX，则贮存稳定性可能会劣化。—一羧基——在本发明的高分子化合物中，为了提高非图像部除去性等各性能，也可以具有羧基。所述羧基可以通过使具有酸基的自由基聚合性化合物发生共聚合而向所述高分子化合物赋予。作为这样的具有自由基聚合性的酸基，例如可以举出羧酸、磺酸、磷酸基等，特别优选羧酸。作为所述具有羧基的自由基聚合性化合物，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、异巴豆酸、马来酸、对羧基苯乙烯等，其中，优选丙烯酸、甲基丙烯酸、对羧基苯乙烯。它们可以单独使用一种，也可以并用两种以上。所述羧基在粘合剂中的含量，为1.04.0meq/g，优选为1.53.0meq/g。所述含量不到1.0m叫/g时，显影性有时会变得不充分，如果超过4.0meq/g，则可能会变得容易受到碱水显影引起的图像强度受损。为了提高图像强度等各性能，本发明的高分子化合物除了所述自由基聚合性化合物以外，还优选使其他自由基聚合性化合物共聚合。作为所述其他自由基聚合性化合物，例如可以举出从丙烯酸酯类、甲基丙烯酸酯类、苯乙烯类等中选择的自由基聚合性化合物等。具体而言，可以举出丙烯酸垸基酯等丙烯酸酯类，丙烯酸芳基酯，甲基丙烯酸烷基酯等甲基丙烯酸酯类，甲基丙烯酸芳基酯，苯乙烯、烷基苯乙烯等苯乙烯类，烷氧基苯乙烯，卤代苯乙烯等。作为所述丙烯酸酯类，烷基的碳原子数优选为120，例如可以举出丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸戊酯、丙烯酸乙基己基酯、丙烯酸辛酯、丙烯酸叔辛酯、丙烯酸氯乙基酯、丙烯酸2，2—二甲基羟基丙基酯、丙烯酸5—羟基烷基酯、三羟甲基丙烷一丙烯酸酯、季戊四醇一丙烯酸酯、縮水甘油丙烯酸酯、丙烯酸苄基酯、丙烯酸甲氧基苄基酯、丙烯酸糠酯、四氢糠基丙烯酸酯等。作为所述丙烯酸芳基酯，例如可以举出丙烯酸苯基酯等。作为所述甲基丙烯酸酯类，垸基的碳原子数优选为120，例如可以举出甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸戊基酯、甲基丙烯酸己酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸苄基酯、甲基丙烯酸氯苄基酯、甲基丙烯酸辛基酯、甲基丙烯酸4一羟基丁基酯、甲基丙烯酸5—羟基戊基酯、甲基丙烯酸2，2—二甲基一3一羟基丙基酯、三羟甲基丙烷一甲基丙烯酸酯、季戊四醇一甲基丙烯酸酯、縮水甘油基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸糠酯、四氢糠基甲基丙烯酸酯等。作为所述甲基丙烯酸芳基酯，例如可以举出甲基丙烯酸苯基酯、甲基丙烯酸甲苯基酯、甲基丙烯酸萘基酯等。作为所述苯乙烯类，例如可以举出甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、异丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、环己基苯乙烯、癸基苯乙烯、苄基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、三氟甲基苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯、乙酸基甲基苯乙烯等。作为所述烷氧基苯乙烯，例如可以举出甲氧基苯乙烯、4一甲氧基一3—甲基苯乙烯、二甲氧基苯乙烯等。作为所述卤代苯乙烯，例如可以举出氯苯乙烯、二氯苯乙烯、三氯苯乙烯、四氯苯乙烯、五氯苯乙烯、溴苯乙烯、二溴苯乙烯、碘苯乙烯、氟苯乙烯、三氟苯乙烯、2—溴一4一三氟甲基苯乙烯、4一氟一3—三氟甲基苯乙烯等。这些自由基聚合性化合物可以单独使用一种，也可以并用两种以上。作为在合成本发明的高分子化合物时使用的溶剂，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出二氯化乙烯、环己酮、甲基乙基甲酮、丙酮、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、2—甲氧基乙基乙酸酯、l一甲氧基一2—丙醇、l一甲氧基一2—丙基乙酸酯、N，N—二甲基甲酰胺、N，N—二甲基乙酰胺、二甲亚砜、甲苯、醋酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯等。它们可以单独使用一种，也可以混合使用两种以上。本发明的高分子化合物的分子量以质均分子量优选为10，000以上，更优选为10，00050，000。所述质均分子量如果低于10，000，则固化膜强度可能会不足，如果超过50，000，则显影性存在降低的趋势。另外，在本发明的高分子化合物中也可以含有未反应的单体。这种情况下，所述单体在所述高分子化合物中的含量优选为15质量％以下。本发明中的高分子化合物可以单独使用一种，也可以混合使用两种以上。另外，也可以混合使用其他高分子化合物。这种情况下，所述其他高分子化合物在所述本发明的高分子化合物中的含量，优选为50质量％以下，更优选为30质量％以下。所述粘合剂在所述感光性组合物中的固体成分含量优选为580质量％，更优选为1070质量％。该固体成分含量如果不到5质量％，则感光层的膜强度容易变弱，该感光层的表面的粘性(tack)有时会恶化，如果超过80质量％，则曝光灵敏度可能会降低。一聚合性化合物一作为所述聚合性化合物，没有特别限制，可以根据目的适当选择，优选分子中至少具有一个可以加聚的基、沸点在常压下为IO(TC以上的化合物，例如可以优选举出从具有(甲基)丙烯酸基的单体中选择的至少一种。其中，在本发明中，"聚合性化合物"不包括粘合剂中可以含有的聚合性化合物。作为所述具有(甲基)丙烯酸基的单体，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出聚乙二醇一(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇一(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙基酯等单官能丙烯酸酯或单官能甲基丙烯酸酯；聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙垸二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)三聚异氰酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)氰尿酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙垸或甘油、双酚等向多官能醇加成反应环氧乙烷或环氧丙垸之后进行(甲基)丙烯酸酯化的产物；特公昭48—41708号、特公昭50—6034号、特开昭51—37193号等各公报中记载的氨基甲酸乙酯丙烯酸酯类；特开昭48—64183号、特公昭49—43191号、特公昭52—30490号等各公报中记载的聚酯丙烯酸酯类；作为环氧树脂与(甲基)丙烯酸的反应产物的环氧丙烯酸酯类等多官能丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯等。其中，特别优选三羟甲基丙垸三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯。所述聚合性化合物在所述感光性组合物固体成分中的固体成分含量，优选为550质量％，更优选为1040质量％。如果该固体成分含量不到5质量％，则会产生显影性的恶化、曝光灵敏度的降低等问题，如果超过50质量％，则感光层的粘合性有时会变得过强，不优选。一热交联剂一作为所述热交联剂，没有特别限制，可以根据目的适当选择，为了改良用所述感光性薄膜形成的感光层在固化后的膜强度，在不给显影性等带来不良影响的范围内，例如可以使用在1分子内至少具有2个环氧乙烷基的环氧化合物、在1分子中至少具有2个氧杂环丁垸基的氧杂环丁垸(oxetane)化合物。作为所述在1分子内至少具有2个环氧乙烷基的环氧化合物，例如可以举出联二甲苯酚型或联酚型环氧树脂("YX4000日本环氧树脂(JapanEpoxyResin)公司制"等)或它们的混合物、具有三聚异氰酸酯骨架等的杂环式环氧树脂("TEIPIC;日产化学工业公司制"、"7，》夕、V卜PT810;西巴特殊化学药品(CIBASPECIALTYCHEMICALS)公司制"等)、双酚A型环氧树脂、酚醛清漆型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、氢化双酚A型环氧树脂、双酚S型环氧树脂、苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、卤素化环氧树脂(例如低溴化环氧树脂、高卤素化环氧树脂、溴化苯酚酚醛清漆型环氧树脂等)、含丙烯基双酚A型环氧树脂、三苯酚甲烷型环氧树脂、二苯基二甲醇型环氧树脂、苯酚联苯撑型环氧树脂、双环戊二烯型环氧树脂("HP—7200、HP—7200H;大日本油墨化学工业公司制"等)、缩水甘油胺型环氧树脂(二氨基二苯基甲垸型环氧树脂、二縮水甘油基苯胺、三縮水甘油基氨基苯酚等)、縮水甘油酯型环氧树脂(邻苯二甲酸二縮水甘油基酯、己二酸二縮水甘油基酯、六氢化邻苯二甲酸二縮水甘油基酯、二聚酸二縮水甘油基酯等)、乙内酰脲型环氧树脂、脂环式环氧树脂(3，4一环氧基环己基甲基一3'，4'一环氧基环己烷羧酸酯、双(3，4一环氧基环己基甲基)己二酸酯、二环戊二烯二环氧化物、"GT—300、GT-400、ZEHPE3150;夕'^ir少化学工业制"等)、酰亚胺型脂环式环氧树脂、三羟基苯基甲垸型环氧树脂、双酚A型酚醛清漆型环氧树脂、四苯酚基乙烷型环氧树脂、邻苯二甲酸縮水甘油基酯树脂、四缩水甘油基二甲苯酰基乙垸树脂、含萘基环氧树脂(萘酚芳垸基型环氧树脂、萘酚酚醛清漆型环氧树脂、4官能萘型环氧树脂、作为市售品的"ESN—190、ESN—360;新日铁化学公司制"、"HP—4032、EXA一4750、EXA—4700;大日本油墨化学工业公司制"等)、利用苯酚化合物与二乙烯基苯或二环戊二烯等二烯烃化合物的加成反应得到的聚苯酚化合物与表氯醇的反应物、用过乙酸等环氧化4一乙烯基环己烯一1一氧化物的开环聚合物得到的产物、具有线状含磷结构的环氧树脂、具有环状含磷结构的环氧树脂、a—甲基芪型液晶环氧树脂、二苯甲酰氧化苯型液晶环氧树脂、苯偶氮基型液晶环氧树脂、偶氮甲基苯基型液晶环氧树脂、联萘型液晶环氧树脂、连氮型环氧树脂、縮水甘油甲基丙烯酸酯共聚物系环氧树脂("CP—50S、CP—50M;日本油脂公司制"等)、环己基马来酰亚胺与縮水甘油甲基丙烯酸酯的共聚合环氧树脂、双(缩水甘油氧基苯基)金刚烷型环氧树脂等，但不被这些所限定。这些环氧树脂可以单独使用一种或并用两种以上。另外，除了在1分子中具有2个环氧乙烷基的所述环氧化合物以外，还可以使用至少在1分子中含有2个在p位具有烷基的环氧基的环氧化合物，特别优选含有P位被烷基取代的环氧基(更具体而言卩一烷基取代縮水甘油基等)的化合物。所述至少含有在卩位具有垸基的环氧基的环氧化合物可以为1分子中含有的2个以上的环氧基全部为卩一烷基取代縮水甘油基，也可以为至少1个环氧基为卩一烷基取代縮水甘油基。从在室温下的贮存稳定性的观点出发，所述含有在卩位具有垸基的环氧基的环氧化合物，所述感光性组合物中含有的所述环氧化合物总量中的总环氧基中的P—垸基取代縮水甘油基的比例，优选为30%以上，更优选为40%以上，特别优选为50%以上。作为所述P—垸基取代縮水甘油基，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出卩一甲基縮水甘油基、(3—乙基縮水甘油基、卩一丙基縮水甘油基、P—丁基縮水甘油基等，其中，从提高所述感光性组合物的贮存稳定性的观点及合成的容易性的观点出发，优选P—甲基缩水甘油基。作为所述含有卩位具有垸基的环氧基的环氧化合物，例如优选多元酚化合物与(3—烷基表卤醇衍生而成的环氧化合物。作为所述P—垸基表卤醇，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出(3—甲基表氯醇、|3—甲基环氧溴丙烷、P—甲基表氟醇等卩一甲基表卤醇；(3—乙基表氯醇、P—乙基环氧溴丙烷、P—乙基表氟醇等卩一乙基表卤醇；P—丙基表氯醇、(3—丙基环氧溴丙垸、P—丙基表氟醇等卩一丙基表卤醇；P—丁基表氯醇、(3—丁基环氧溴丙烷、P—丁基表氟醇等(3—丁基表卤醇等。其中，从与所述多元酚的反应性及流动性的观点出发，优选卩一甲基表卤醇。作为所述多元酚化合物，只要是在1分子中含有2以上的芳香族系羟基的化合物即可，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出双酚A、双酚F、双酚S等双酚化合物，联酚、四甲基联酚等联酚化合物，二羟萘、联萘酚等萘酚化合物，苯酚一甲醛縮聚物等苯酚酚醛清漆树脂，甲酚一甲醛縮聚物等碳原子数为110的一垸基取代苯酚一甲醛縮聚物，二甲苯酚一甲醛縮聚物等碳原子数为110的二烷基取代苯酚一甲醛縮聚物，双酚A—甲醛縮聚物等双酚化合物一甲醛縮聚物，苯酚与碳原子数为110的一烷基取代苯酚与甲醛的共聚縮合物，苯酚化合物与二乙烯基苯的加聚物等。其中，例如在为了提高流动性及贮存稳定性而进行选择的情况下，优选所述双酚化合物。作为所述含有在卩位具有垸基的环氧基的环氧化合物，例如可以举出双酚A的二一(3—垸基縮水甘油醚、双酚F的二一P—烷基缩水甘油醚、双酚S的二一J3—垸基縮水甘油醚等双酚化合物的二一(3—烷基縮水甘油醚；联酚的二一P—烷基縮水甘油醚、四甲基联酚的二一P—縮水甘油醚等联酚化合物的二一(3—烷基縮水甘油醚；二羟萘的二一p—烷基縮水甘油醚、联萘酚的二一p—烷基縮水甘油醚等萘酚化合物的p—烷基縮水甘油醚；苯酚一甲醛缩聚物的聚一I3—垸基縮水甘油醚；甲酚一甲醛縮聚物的聚一P—垸基縮水甘油醚等碳原子数为110的一烷基取代苯酚一甲醛縮聚物的聚一P—垸基縮水甘油醚；二甲苯酚一甲醛縮聚物的聚一(3—烷基縮水甘油醚等碳原子数为110的二垸基取代苯酚一甲醛縮聚物的聚一卩一烷基縮水甘油醚；双酚A—甲醛縮聚物的聚一(3—垸基縮水甘油醚等双酚化合物一甲醛缩聚物的聚一P—烷基縮水甘油醚；苯酚化合物与二乙烯基苯的加聚物的聚一卩一垸基缩水甘油醚等。其中，优选下述通式(D—O表示的双酚化合物、以及从其与表氯醇等得到的聚合物衍生的P—垸基缩水甘油醚、以及下述通式(D—2)表示的苯酚化合物一甲醛縮聚物的聚一(3—烷基縮水甘油醚。化37通式<formula>formulaseeoriginaldocumentpage58</formula>化38<formula>formulaseeoriginaldocumentpage59</formula>其中，所述通式(D—l)中，R表示氢原子及碳原子数为16的垸基的任意一种，n表示020的整数。其中，所述通式(D—2)中，R表示氢原子及碳原子数为16的烷基的任意一种，R"表示氢原子及CH3的任意一种，n表示020的整数。这些含有在卩位具有烷基的环氧基的环氧化合物可以单独使用一种，也可以并用两种以上。另外，还可以并用在1分子中至少具有2个环氧乙垸环的环氧化合物以及含有在卩位具有烷基的环氧基的环氧化合物。作为所述环氧化合物的骨架，优选从双酚型环氧树脂、酚醛清漆型环氧树脂、含脂环式基型环氧树脂以及难溶性环氧树脂中选择的至少一种。作为所述氧杂环丁烷化合物，例如可以举出双[(3—甲基一3—氧杂环丁烷基甲氧基)甲基]醚、双[(3—乙基一3—氧杂环丁烷基甲氧基)甲基]醚、1，4_双[(3—甲基一3—氧杂环丁烷基甲氧基)甲基]苯、1，4一双[(3—乙基一3—氧杂环丁垸基甲氧基)甲基]苯、丙烯酸(3—甲基一3—氧杂环丁垸基)甲基酯、丙烯酸(3—乙基一3—氧杂环丁烷基)甲基酯、甲基丙烯酸(3—甲基一3—氧杂环丁垸基)甲基酯、甲基丙烯酸(3一乙基一3—氧杂环丁烷基)甲基酯或它们的寡聚物或者共聚物等多官能氧杂环丁烷类，除此以外，还可以举出具有氧杂环丁垸基的化合物与酚醛清漆树脂、聚(对羟基苯乙烯)、卡尔多(力々K)型双酚类、杯(Calix，力li、乂夕7)芳烃类、杯(Calix，力U，夕7)间苯二酚芳烃类、倍半硅氧烷(Silsesquioxane，、乂々ir7^才年寸乂)等具有羟基的树脂等之间的醚化合物，此外，还可以举出具有氧杂环丁烷环的不饱和单体与(甲基)丙烯酸垸基酯之间的共聚物等。另外，为了促进所述环氧化合物或所述氧杂环丁垸化合物的热固化，例如可以使用胺化合物(例如双氰二酰胺、苄基二甲胺、4一(二甲胺基)—N，N—二甲节胺、4—甲氧基一N，N—二甲节胺、4—甲基一N，N—二甲节胺等)、季铵盐化合物(例如三乙基苄基氯化铵等)、嵌段异氰酸酯化合物(例如二甲胺等)、咪唑衍生物二环式脒化合物及其盐(例如咪唑、2—甲基咪唑、2—乙基咪唑、2—乙基一4一甲基咪唑、2—苯基咪唑、4一苯基咪唑、1—氰乙基一2—苯基咪唑、1—(2—氰乙基)一2—乙基一4一甲基咪唑等)、磷化合物(例如三苯膦等)、鸟粪胺化合物(例如蜜胺、鸟粪胺、甲基胍胺、苯鸟粪胺等)、S—三嗪衍生物(例如2，4一二氨基—6—甲基丙烯酰氧基乙基)—S—三嗪、2—乙烯基一2，4—二氨基一S一三嗪、2—乙烯基一4，6—二氨基一S—三嗪'三聚异氰酸加成物、2，4一二氨基一6—甲基丙烯酰氧基乙基—S—三嗪*三聚异氰酸加成物等)等。它们可以单独使用一种或并用两种以上。此外，只要是所述环氧化合物或所述氧杂环丁垸化合物的固化催化剂或者可以促进羧基与它们进行反应的物质即可，没有特别限制，也可以使用上述以外的可以促进热固化的化合物。所述环氧树脂、所述氧杂环丁垸化合物以及可以促进羧酸与它们进行热固化的化合物，在所述感光性组合物固体成分中的固体成分含量通常为0.0115质量％。另外，作为所述热交联剂，可以使用特开平5—9407号公报中记载的聚异氰酸酯化合物，该聚异氰酸酯化合物也可以从至少含有两个异氰酸酯基的脂肪族、环式脂肪族或芳基取代脂肪族化合物衍生而来。具体而言，可以举出二官能异氰酸酯(例如1，3—亚苯基二异氰酸酯与1，4一亚苯基二异氰酸酯的混合物、2，4一及2，6—甲苯二异氰酸酯、1，3—及1，4一二甲苯二异氰酸酯、双(4一异氰酸酯一苯基)甲烷、双(4一异氰酸酯环己基)甲垸、异佛尔酮二异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯、三甲基六亚甲基二异氰酸酯等)、该二官能异氰酸酯与三羟甲基丙烷、季戊四醇、甘油等之间的多官能醇；该多官能醇的环氧垸烃加成物与所述二官能异氰酸酯之间的加成物；六亚甲基二异氰酸酯、六亚甲基一l，6—二异氰酸酯及其衍生物等的环式三聚体等。进而，为了提高本发明的感光性薄膜的保存性，也可以使用使嵌段剂与所述聚异氰酸酯及其衍生物的异氰酸酯基反应得到的化合物。作为所述异氰酸酯基嵌段剂，可以举出醇类(例如异丙醇、叔丁醇等)、内酰胺类(例如S—己内酰胺等)、苯酚类(例如苯酚、甲酚、对叔丁基苯酚、对仲丁基苯酚、对仲戊基苯酚、对辛基苯酚、对壬基苯酚等)、杂环式羟基化合物(例如3—羟基吡啶、8—羟基喹啉等)、活性亚甲基化合物(例如丙二酸二烷基酯、甲基乙基甲酮肟、乙酰丙酮、烷基乙酰乙酸肟、丙酮肟、环己酮肟等)等。此外，还可以使用特开平6—295060号公报中记载的在分子内具有至少一个可以聚合的双键及至少一个嵌段异氰酸酯基的任意一方的化合物等。另外，作为所述热交联剂，可以使用蜜胺衍生物。作为该蜜胺衍生物，例如可以举出羟甲基蜜胺、烷基化羟甲基蜜胺(用甲基、乙基、丁基等醚化羟甲基得到的化合物)等。它们可以单独使用一种或并用两种以上。其中，从贮存稳定性良好、在感光层的表面硬度或固化膜的膜强度本身的提高上是有效的点出发，优选烷基化羟甲基蜜胺，特别优选六甲基化羟甲基蜜胺。所述热交联剂在所述感光性组合物固体成分中的固体成分含量优选为150质量％，更优选为330质量％。如果该固体成分含量不到1质量％，则没有固化膜的膜强度的提高，如果超过50质量％，则有时发生显影性的恶化或曝光灵敏度的降低。—其他成分—作为所述其他成分，例如可以举出热聚合抑制剂、增塑剂、着色剂(着色颜料或染料)等，进而也可以并用对基材表面的粘附促进剂及其他辅助剂类(例如导电性颗粒、填充剂、消泡剂、阻燃剂、流平剂、剥离促进剂、抗氧化剂、香料、表面张力调节剂、链移动剂等)。通过适当含有这些成分，可以调节需要的感光性薄膜的稳定性、照相性、膜物理性能等性质。—热聚合抑制剂一所述热聚合抑制剂可以防止发生所述感光层中的所述聚合性化合物的热聚合或经时地聚合，所以也可以添加。作为所述热聚合抑制剂，例如可以举出4一甲氧基苯酚、氢醌、烷基或芳基取代氢醌、叔丁基儿茶酚、焦酚、2—羟基苯甲酮、4一甲氧基一2—羟基苯甲酮、氯化亚铜、吩噻嗪、四氢醌、萘胺、P—萘酚、2，6—二叔丁基一4一甲酚、2,2，一亚甲基双(4—甲基一6—叔丁基苯酚)、吡啶、硝基苯、二硝基苯、苦味酸、4一甲苯胺、亚甲蓝、铜与有机螯合剂反应物、水杨酸甲酯及吩噻嗪、亚硝基化合物、亚硝基化合物与Al的螯合物等。作为所述热聚合抑制剂的含量，相对所述聚合性化合物，优选0.0015质量％，更优选0.0052质量％，特别优选0.011质量％。该含量如果不到0.001质量％，则有时保存时的稳定性会降低，如果超过5质量％，则相对活性能量线的灵敏度会降低。一增塑剂一为了控制所述感光层的膜物理性能(挠性)，也可以添加所述增塑剂。作为所述增塑剂，例如可以举出邻苯二酸二甲酯、邻苯二甲酸二丁酯、邻苯二甲酸二异丁酯、邻苯二甲酸二庚酯、邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二环己酯、邻苯二甲酸二十三烷基酯、邻苯二甲酸丁基苄基酯、邻苯二甲酸二异癸酯、邻苯二甲酸二苯基酯、邻苯二甲酸二烯丙基酯、邻苯二甲酸辛基癸酰基酯等邻苯二甲酸酯类；三甘醇二乙酸酯、四甘醇二乙酸酯、邻苯二甲酸二甲基葡萄糖酯、乙基邻苯二甲酰基乙基乙醇酸酯、甲基邻苯二甲酰基乙基乙醇酸酯、丁基邻苯二甲酰基丁基乙醇酸酯、三甘醇二辛酸酯等二醇酯类；磷酸三甲苯酚酯、磷酸三苯酯等磷酸酯类；4一甲苯磺酰胺、苯磺酰胺、N—正丁基苯磺酰胺、N—正丁基乙酰胺等酰胺类；己二酸二异丁酯、己二酸二辛酯、癸二酸二甲酯、癸二酸二丁酯、癸二酸二辛酯、壬二酸二辛酯、顺丁烯二酸二丁酯等脂肪酸二元酸酯类；柠檬酸三乙酯、柠檬酸三丁酯、甘油三乙酸酯、月桂酸丁酯、4，5—二乙氧基环己烷一l，2—二羧酸二辛酯等聚乙二醇、聚丙二醇等乙二醇类。所述增塑剂的含量，相对所述感光性组合物的全部成分，优选0.150质量％，更优选0.540质量％，特别优选130质量％。一着色颜料一作为所述着色颜料，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出维多利亚纯蓝BO(C丄42595)、(碱性)槐黄(C丄41000)、脂溶(fat)黒HB(C丄26150)、莫诺赖特，黄GT(C.I.颜料黄12)、永久黄GR(C丄颜料黄17)、永久黄HR(C.I.颜料黄83)、永久胭脂红FBB(C.I.颜料红146)、广告画颜料红ESB(C丄颜料紫19)、永久红宝石FBH(C丄颜料红11)、法斯特尔粉红B苏普拉(C丄颜料红81)、莫钠斯特拉尔坚牢蓝(C丄颜料蓝15)、莫诺赖特坚牢黒B(C.I.颜料黒1)、碳、C.I.颜料红97、C.I.颜料红122、C丄颜料红149、C丄颜料红168、C.I.颜料红177、C丄颜料红180、C.I.颜料红192、C丄颜料红215、C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料蓝15:1、C丄颜料蓝15:4、C丄颜料蓝15:6、C丄颜料蓝22、C丄颜料蓝60、C.I.颜料蓝64等。它们可以单独使用一种或并用两种以上。另外，根据需要，也可以使用从公知的染料中适当选择的染料。所述着色颜料在所述感光性组合物中的固体成分含量，可以考虑永久图案形成时的感光层的曝光灵敏度、析像度等决定，根据所述着色颜料的种类不同而不同，通常优选为0.0110质量％，更优选为0.055质量％。一粘附促进剂一为了提高各层间的粘附性或感光层与基材之间的粘附性，可以在各层中使用公知的所谓粘附促进剂。作为所述粘附促进剂，例如可以优选举出特开平5—11439号公报、特开平5—341532号公报及特开平6—43638号公报等中记载的粘附促进剂。具体而言，可以举出苯并咪唑、苯并噁唑、苯并噻唑、2—巯基苯并咪唑、2—巯基苯并噁唑、2—巯基苯并噻唑、3—吗啉代甲基一1一苯基一三唑一2—硫酮、3—吗啉代甲基一5—苯基一噁二唑一2—硫酮、5—氨基一3—吗啉代甲基一噻二唑一2—硫酮、及2—巯基一5—甲基硫代一噻二唑、三唑、四唑、苯并三唑、羧基苯并三唑、含氨基苯并三唑、硅垸偶合剂等。作为所述粘附促进剂的含量，相对所述感光层的全部成分，优选为0.001质量％20质量％，更优选为0.0110质量％，特别优选为0.1质量％5质量％。一感光层一在对由所述感光性组合物形成的感光层进行曝光、显影的情况下，作为该感光层的曝光部分的厚度在该曝光及显影后的前后不发生变化的、在所述曝光中使用的光的最小能量，优选为0.1200mJ/cm2，更优选为0.2100mJ/cm2,特别优选为0.550mJ/cm2。所述最小能量如果不到0.1mJ/cm2，则有时在处理工序中发生灰雾，如果超过200mJ/cm2,则有时曝光所需时间变长，处理速度变慢。在此，所述"使该感光层的曝光部分的厚度在该曝光及显影后不发生变化的、在所述曝光中使用的光的最小能量"(以下有时简称为"光的最小能量"。)是指所谓的显影灵敏度，例如可以从表示对所述感光层进行曝光时的所述曝光中使用的光的能量(曝光量)与接着所述曝光而利用所述显影处理产生的所述固化层的厚度之间的关系的曲线图(灵敏度曲线)求得。所述固化层的厚度随着所述曝光量增加而增加，然后变成与所述曝光前的所述感光层的厚度大致相同而且大致恒定。所述显影灵敏度是通过读取所述固化层的厚度成为大致恒定时的最小曝光量而求得的值。在此，所述固化层的厚度与所述曝光前的所述感光层的厚度之间的差为土lpm以内时，认为所述固化层的厚度不被曝光及显影改变。作为所述固化层及所述曝光前的所述感光层的厚度的测定方法，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出使用膜厚测定装置、表面粗糙度测定机(例如寸一7〕厶1400D(东京精密公司制))等进行测定的方法等。另外，波长400410nm的光下的所述光的最小能量的变动率(％)(以下有时也称为"灵敏度的偏移"。)优选为20%以内。如果所述变动率超过20%，则面内的图案形状可能会产生偏移。在此，所述变动率例如可以通过在测定波长400nm的光下的所述光的最小能量之后，每错开lnm波长，测定一次直至波长410nm的光的所述光的最小能量，利用以下的式，从这些光的最小能量的最大值(Emax)和最小值(Emin)的差求得。[式](Emax—Emin)/Emax对所述感光层的厚度没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如优选为1100pm，更优选为25(Him，特别优选为430pm。(感光性薄膜)作为本发明中的感光性薄膜，优选至少具有支撑体和在该支撑体上形成的由所述本发明的感光性组合物构成的感光层，根据需要适当具有热塑性树脂层等其他层。此外，对于感光层，如上所述。<支撑体>作为所述支撑体，没有特别限制，可以根据目的适当选择，优选可以剥离所述感光层而且光的透过性良好的支撑体，进而更优选表面的平滑性良好。所述支撑体优选为合成树脂制而且透明的支撑体，例如可以举出聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、三乙酸纤维素、二乙酸纤维素、聚(甲基)丙烯酸垸基酯、聚(甲基)丙烯酸酯共聚物、聚氯乙烯、聚乙烯醇、聚碳酸酯、聚苯乙烯、赛璐玢、聚偏二氯乙烯共聚物、聚酰胺、聚酰亚胺、氯乙烯*醋酸乙烯共聚物、聚四氟乙烯、聚三氯乙烯、纤维素系薄膜、尼龙薄膜等各种塑料薄膜，其中，特别优选聚对苯二甲酸乙二醇酯。它们可以单独使用1种或并用2种以上。作为所述支撑体的厚度，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如优选2150pm，更优选5100pm，特别优选850pm。所述支撑体可以为单层，也可以具有多层。作为所述支撑体的形状，没有特别限制，可以根据目的适当选择，但优选长条状。作为所述长条状的支撑体的长度，没有特别限制，例如可以举出1020，OOOm的长度。<保护薄膜>所述感光性薄膜也可以在感光层上形成保护薄膜。作为所述保护薄膜，例如可以举出在所述支撑体中使用的保护薄膜，纸，层叠有聚乙烯、聚丙烯的纸等，其中，优选聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜。作为所述保护薄膜的厚度，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如优选5100pm，更优选850^im，特别优选1030(am。作为所述支撑体与保护薄膜的组合(支撑体/保护薄膜)，例如可以举出聚对苯二甲酸乙二醇酯/聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯/聚乙烯、聚氯乙烯/赛璐玢、聚酰亚胺/聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯/聚对苯二甲酸乙二醇酯等。另外，通过表面处理支撑体及保护薄膜的至少一个，能够调节层间粘接力。所述支撑体的表面处理也可以用于提高与所述感光层的粘接力而实施，例如可以举出底涂层的涂设、电晕放电处理、火焰处理、紫外线照射处理、高频照射处理、辉光放电照射处理、活性等离子照射处理、激光光线照射处理等。另外，作为所述支撑体与所述保护薄膜之间的静摩擦系数，优选为0.31.4，更优选为0.51.2。如果所述静摩擦系数不到0.3，则由于过滑，在成为辊状的情况下，可能会发生巻偏离，如果超过1.4，可能会难以巻成良好的辊状。所述感光性薄膜例如优选巻绕在圆筒状的巻芯上，以长条状巻成辊状保管。作为所述长条状的感光性薄膜的长度，没有特别限制，例如可以从1020，000m的范围适当选择。另外，为了便于用户使用，也可以进行切断加工，使1001,000m范围的长条状成为辊状。此外，这种情况下，优选所述支撑体被巻绕成为最外侧。另外，也可以将所述辊状的感光性薄膜切成薄片状。保管时，从保护端面、防止边缘熔合的观点出发，优选在端面设置隔离件(separator)(特别是防湿性的隔离件、放干燥剂的隔离件)，另外还优选包装也使用透湿性低的材料。所述保护薄膜也可以为了调节所述保护薄膜与所述感光层之间的粘接性而进行表面处理。所述表面处理例如在所述保护薄膜的表面形成由聚有机硅氧烷、氟化聚烯烃、聚氟乙烯、聚乙烯醇等聚合物构成的底涂层。该底涂层的形成可以通过在所述保护薄膜的表面涂敷所述聚合物的涂敷液之后，使其在3015(TC下干燥130分钟形成。所述使其干燥时的温度特别优选为50120°C。<其他层>作为所述感光性薄膜中的其他层，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出缓冲层、阻氧层(PC层)、剥离层、粘接层、光吸收层、表面保护层等层。可以单独具有这些层中的l层，也可以具有2层以上。另外，也可以在所述感光层上具有保护薄膜。一缓冲层一作为所述缓冲层，没有特别限制，可以根据目的适当选择，可以对碱性液为溶胀性或者可溶性，也可以为不溶性。所述缓冲层相对碱性液为溶胀性或者可溶性的情况下，作为所述热塑性树脂，例如可以举出乙烯与丙烯酸酯共聚物的皂化物、苯乙烯与(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、乙烯基甲苯与(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸丁酯与醋酸乙烯酯等的(甲基)丙烯酸酯共聚物等的皂化物、(甲基)丙烯酸酯与(甲基)丙烯酸酯的共聚物、苯乙烯与(甲基)丙烯酸酯与(甲基)丙烯酸的共聚物等。作为这种情况下的热塑性树脂的软化点(Vicat)没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如优选为80'C以下。作为所述软化点为8(TC以下的热塑性树脂，除了上述热塑性树脂以外，还可以举出在"塑料性能便览"(日本塑料工业连盟，全日本塑料成形工业连合会编著，工业调查会发行，1968年10月25日发行)的软化点约为8(TC以下的有机高分子中对碱性液为可溶的热塑性树脂。另外，在软化点为8(TC以上的有机高分子物质中，也可以将向该有机高分子物质中添加与该有机高分子物质具有互溶性的各种增塑剂，将实际上的软化点降到8(TC以下。另外，所述缓冲层相对碱性液为溶胀性或可溶性的情况下，作为所述感光性薄膜的层间粘接力，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如在各层的层间粘接力中，优选所述支撑体与所述缓冲层之间的层间粘接力为最小。通过成为这样的层间粘接力，可以在从所述感光性薄膜只剥离所述支撑体并经由所述缓冲层对所述感光层进行曝光之后，用碱性的显影液对该感光层进行显影。另外，还可以留下所述支撑体，在对所述感光层进行曝光之后，从所述感光性薄膜只剥离所述支撑体，用碱性的显影液对该感光层进行显影。作为所述层间粘接力的调节方法，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出向所述热塑性树脂中添加公知的聚合物、过冷却物质、粘附改良剂、表面活性剂、脱模剂等的方法。作为所述增塑剂，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出聚丙二醇、聚乙二醇、邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二庚酯、邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二丁酯、磷酸三甲苯酚酯、磷酸甲苯二苯基酯、磷酸联苯基二苯基酯等醇类或酯类；甲苯磺酰胺等酰胺类等。所述缓冲层相对碱性液为不溶性的情况下，作为所述热塑性树脂，例如可以举出主要成分为将乙烯作为必须的共聚合成分的共聚物。作为将乙烯作为必须的共聚合成分的共聚物，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出乙烯一醋酸乙烯酯共聚物(EVA)、乙烯一丙烯酸乙酯共聚物(EEA)等。所述缓冲层相对碱性液为不溶性的情况下，作为所述感光性薄膜的层间粘接力，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如在各层的层间粘接力中，优选所述感光层与所述缓冲层之间的粘接力为最小。通过成为这样的层间粘接力，可以在从所述感光性薄膜只剥离所述支撑体及缓冲层、对所述感光层进行曝光之后，用碱性的显影液对该感光层进行显影。另外，还可以留下所述支撑体，在对所述感光层进行曝光之后，从所述感光性薄膜剥离所述支撑体和所述缓冲层，用碱性的显影液对该感光层进行显影。作为所述层间粘接力的调节方法，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出向所述热塑性树脂中添加各种聚合物、过冷却物质、粘附改良剂、表面活性剂、脱模剂等的方法，以下说明的调节乙烯共聚合比的方法等。对将所述乙烯作为必须的共聚合成分的共聚物中的乙烯共聚合比，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如优选6090质量％，更优选6080质量％，特别优选6580质量％。所述乙烯的共聚合比如果不到60质量％，则所述缓冲层与所述感光层之间的层间粘接力变高，有时会难以在该缓冲层与该感光层之间的界面进行剥离，如果超过90质量％，则由于所述缓冲层与所述感光层之间的层间粘接力变得过小，所以该缓冲层与该感光层之间非常容易剥离，有时会难以制造含有所述缓冲层的感光性薄膜。对所述缓冲层的厚度没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如优选550pm，更优选1050pm，特别优选1540pm。如果所述厚度不到5pm，则基体的表面中的凹凸或对气泡等的凹凸追随性降低，有时不能形成高精细的永久图案，如果超过5(Him，则有时会产生制造上的干燥负荷增大等不良情况。一阻氧层(PC层)—所述阻氧层通常优选以聚乙烯醇为主要成分形成，优选为厚度在0.55nm左右的被膜。所述感光性薄膜例如可以如下所述制造。首先，将所述感光性组合物中含有的材料溶解、乳化或分散于水或溶剂中，配制感光性薄膜用的感光性组合物溶液。作为所述溶剂，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、仲丁醇、正己醇等醇类；丙酮、甲基乙基甲酮、甲基异丁基甲酮、环己酮、二异丁基甲酮等酮类；醋酸乙酯、醋酸丁酯、乙酸正戊酯、硫酸二甲酯、丙酸乙酯、酞酸二甲酯、苯甲酸乙酯及甲氧基丙基乙酸酯等酯类；甲苯、二甲苯、苯、乙苯等芳香族烃类；四氯化碳、三氯乙烯、氯仿、1，1,l一三氯乙烷、二氯甲烷、一氯苯等卤代烃类；四氢呋喃、二乙醚、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、l一甲氧基一2—丙醇等醚类；二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、二甲亚砜、环丁砜等。它们可以单独使用l种或并用2种以上。另外，也可以添加公知的表面活性剂。接着，可以在所述支撑体上涂敷所述感光性组合物溶液，使其干燥，形成感光层，制造感光性薄膜。作为所述感光性组合物溶液的涂敷方法，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出喷射法、辊涂法、旋涂法、缝隙涂布法、挤压涂布法、帘涂法、模涂法、凹板印刷涂布法、拉丝锭涂布法、气刀涂法等公知涂敷方法。作为所述干燥的条件，根据各成分、溶媒的种类、使用比例等而不同，但通常在60110。C的温度下为30秒15分钟左右。所述感光性薄膜例如优选例如优选巻绕在圆筒状的巻芯上，以长条状巻成辊状保管。作为所述长条状的感光性薄膜的长度，没有特别限制，例如可以从1020，OOOm的范围适当选择。另外，为了便于用户使用，也可以进行切断加工，使100l,000m范围的长条状成为辊状。此外，这种情况下，优选所述支撑体被巻绕成为最外侧。另外，也可以将所述辊状的感光性薄膜切成薄片状。保管时，从保护端面、防止边缘熔合的观点出发，优选在端面设置隔离件(separator)(特别是防湿性的隔离件、放干燥剂的隔离件)，另外还优选包装也使用透湿性低的材料。(感光性层叠体)所述感光性层叠体是在基体上至少具有所述感光层、层叠根据目的适当选择的其他层而成的。_基体—所述基体应该成为形成有感光层的被处理基体或转印有本发明的感光性薄膜的至少感光层的被转印体，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以从表面平滑性高的基体到具有有凸凹的表面的基体中任意选择。优选板状的基体，可以使用所谓的基板。具体而言，可以举出公知的印刷线路板制造用基板(印刷电路板)、玻璃板(例如钠钙玻璃板等)、合成树脂性薄膜、纸、金属板等。作为所述感光性层叠体的制造方法，作为第一方式，可以举出在所述基体的表面涂敷并干燥所述感光性组合物的方法，作为第二方式，可以举出对本发明的感光性薄膜中的至少感光层进行加热及加压的至少一种，并同时转印进而层叠的方法。所述第一方式分感光性层叠体的制造方法是在所述基体上涂敷及干燥所述感光性组合物，从而形成感光层。作为所述涂敷及干燥的方法，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如优选在所述基体的表面上，使所述感光性组合物溶解、乳化或分散于水或溶剂，配制感光性组合物溶液，直接涂敷并干燥该溶液从而层叠的方法。作为所述感光性组合物溶液的溶剂没有特别限制，可以根据目的适当选择，可以举出与所述感光性薄膜中使用的相同的溶剂。它们可以单独使用一种或并用两种以上。另外，也可以添加公知的表面活性剂。作为所述涂敷方法及干燥条件，没有特别限制，可以根据目的适当选择，与在所述感光性薄膜中使用的相同的方法及条件下进行。所述第二方式的感光性层叠体的制造方法是在所述基体的表面边进行加热及加压的至少一方边层叠本发明的感光性薄膜。其中，所述感光性薄膜具有所述保护薄膜的情况下，优选剥离该保护薄膜，在所述基体上重叠所述感光层从而进行层叠。作为所述加热温度，没有特别限制，可以根据目的适当选择，但例如优选15180。C，更优选60140。C。作为所述加压的压力，没有特别限制，可以根据目的适当选择，但例如优选0.11.OMPa，更优选0.20.8MPa。作为进行所述加热及加压的至少任意一种的装置，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以优选举出层压机(例如大成层压机公司制，VP—II，二于rf一乇一卜乂(株)制VP130)等。本发明的所述感光性薄膜及所述感光性层叠体由于使用本发明的所述感光性组合物，所以可以有效地形成灵敏度、析像度、及粘附性良好且高精细的永久图案，所以可以优选用于保护膜、层间绝缘膜及阻焊剂图案等永久图案等各种图案的形成、滤色片、柱材、肋材、间隔件、隔壁等液晶结构构件的制造、全息摄影、微型电机，印样等图案形成用等，特别可以优选用于印刷电路板等永久图案形成用。特别是由于本发明的感光性薄膜的该薄膜的厚度均一，所以在形成永久图案时，即使薄层化永久图案(保护膜、层间绝缘膜及阻焊剂等)，在高加速度试验(HAST)中也不会发生离子迁移(ionmigration),可以得到耐湿性出色的高精细的永久图案，所以可以高精细地进行向基材的层叠。(图案形成装置及永久图案形成方法)本发明的图案形成装置具备所述感光层，至少具有光照射机构和光调制机构。本发明的图案形成方法至少包括曝光工序，还包括适当选择的显影工序等其他工序。此外，本发明的所述图案形成装置与本发明的所述永久图案形成方法的说明相通并加以明确。[曝光工序]所述曝光工序是对本发明的感光层进行曝光的工序。本发明的所述感光层及基体的材料如上所述。作为所述曝光的对象，只要是所述感光层即可，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如，如上所述，优选对在基体上边进行加热及加压的至少一方边层叠感光性组合物从而形成的感光性层叠体中的感光层进行。作为所述曝光，没有特别限制，可以根据目的适当选择，可以举出数字曝光、模拟曝光等，其中，优选数字曝光。作为所述模拟曝光，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出借助具有规定的图案的光掩模，用(超)高压汞灯、氙气灯、卤素灯等进行曝光的方法。作为所述数字曝光，只要是不用所述光掩模进行的曝光即可，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如优选使至少具备光照射机构及光调制机构的曝光头和所述感光层的至少任意一个移动，同时，利用所述光调制机构对应图案信息调制从所述光照射机构射出的光并同时从所述曝光头对所述感光层进行照射从而进行曝光。作为所述数字曝光中使用的光源，只要是发出从紫外到近红外线的光源即可，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以使用(超)高压汞灯、氙气灯、炭棒弧光灯、卤素灯及复印机用等的荧光管或激光等公知光源，其中优选(超)高压汞灯，更优选激光。(超)高压汞灯是向硅玻璃管等中密封汞的放电灯，将汞的蒸气压设定在高值来提高发光效率的装置。亮线光谱中，可以使用用ND过滤器等而只有1种波长的亮线光谱，也可以使用具有多种亮线光谱的光线。所述激光的"laser"是LightAmplificationbyStimulatedEmissionofRadiation(利用光的受激射出的光的放大)的首字母简称。作为发出所述激光的装置，是利用在具有旋转分布的物质中发生的诱导射出的现象，利用光波的放大、振荡，创造相干性、方向性更强的单色光的振荡器及放大器。作为所述激光的激发介质，有结晶、玻璃、液体、色素、气体等，可以从这些介质中使用固体激光、液体激光、气体激光、半导体激光等公知的激光。具体而言，作为气体激光，可以举出Ar离子激光(364nrn、351nm)、Kr离子激光(356nm、351nm)、He—Cd激光(325nm)，作为固体激光，可以举出YAG激光、YV04激光(1，064nm)、YAG激光或YVCV激光的2倍波(532nm)、3倍波(355nm)、4倍波(266nm)、波导型波长转换元件与AlGaAs、InGaAs半导体的组合(380400nm)、波导型波长转换元件与AlGalnP或AlGaAs半导体t的组合(300350nm)、AlGalnN(350470nm)等。作为其中优选的激光，从成本方面出发，可以举出AlGalnN半导体激光(市售InGaN系半导体激光375nm或405nm)在生产率方面为高输出的355nm激光。所述激光的波长例如优选为2001，500nm，更优选为300800nm，进而优选为330500nm，特别优选为350420nm。一光调制机构一作为所述光调制机构，具有代表性的方法可以举出优选具有n个描绘部，对应所述图案信息控制所述描绘部的方法。具体而言，可以举出数字'微镜'器件(DMD)、MEMS(微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystems))型的空间光调制元件(SLM;空间光调节器(SpecialLightModulator))、利用电光学效果调制透过光的光学元件(PLZT元件)、液晶光开闭器(FLC)等，其中，可以优选举出DMD。使用所述DMD的情况下，来自光源的光被适当的光学系照射在所述DMD上，来自在DMD上二维排列的各镜的反射光，经过其他光学系等，在感光层上形成排列成二维的光点的像。可以以如下所述的形式，对感光层的全面进行曝光，即如果不直接在光点与光点之间曝光，而使上述二维排列的光点的像，相对二维的排列方向略微倾斜的方向摇动，后方列的光点在最初列的光点与光点之间进行曝光。所述DMD通过控制各镜角度，接通一关断(ON—OFF)上述光点，可以形成图像图案。通过排列使用具有这样的所述DMD的曝光头，可以对应各种宽度的基板。在上述DMD中，上述光点的亮度只有接通或关断2个等级，但如果使用镜等级型空间调制元件，则可以进行256个等级的曝光。另外，所述光调制机构优选具有基于要形成的图案信息生成控制信号的图案信号生成机构。这种情况下，所述光调制机构对应所述图案信号生成机构所生成的控制信号来调制光。作为所述控制信号，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以优选举出数字信号。另一方面，所述光调制机构的其他代表性方法，可以举出使用多角镜(polygonmirror)的方法。在此，多角镜是指在周围具有一列的平面反射面的旋转构件。所述多角镜在感光层上反射照射来自光源的光，而反射光的光点被该平面镜的旋转扫描。通过使基板相对该扫描方向成直角地移动，可以对基板上的感光层的全面进行曝光。接着，可以通过接通一关断来自光源的光的强度或将其控制为中间色调，形成图像图案。此时，可以通过使来自光源的光成为多束，縮短扫描时间。作为本发明的光调制机构，除了上述以外，还可以举出特开平5—150175号公报中记载的使用多角镜描绘的例子；特表2004—523101号公报(国际公开第2002/039793号手册)中记载的视觉地获取下部层的图像的一部分，利用使用多角镜的装置，使上部层的位置与下部层的位置一致、曝光的例子；特开2004—56080号公报中记载的具有DMD曝光的例子；特表2002—523905号公报中记载的具备多角镜的曝光装置、特开2001—255661号公报中记载的具备多角镜的曝光装置、特开2003—50469号公报中记载的组合DMD、LD、多重曝光的例子；特开2003—156853号公报中记载的利用基板的部位改变曝光量的曝光方法的例子；特开2005—43576号公报中记载的错位调整的曝光方法的例子等。一光照射机构一作为所述光照射机构即光的照射方法，没有特别限制，可以根据目的适当选择所述曝光光源，优选举出复合进而照射2种以上的来自这些光源的光，特别优选举出照射复合2种以上的光的激光(合波激光)。作为所述合波激光的照射方法，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以优选举出利用具有多种激光光源、多模光纤和从该多种激光光源照射的激光进行聚光并使其在所述多模光纤复合的聚光光学系的机构，构成并照射合波激光的方法。对所述激光的光束直径，没有特别限制，可以根据目的适当选择，从深色隔离壁的析像度的观点出发，在高斯(Gaussian)光束的1/62值下优选为530}im，更优选为720阿。在本发明中，优选对应图像数据对激光进行空间光调制。因而，为此优选使用作为空间光调制元件的所述DMD。作为具有所述光调制机构及所述光照射机构的曝光装置，例如可以使用特开2005—222039号公报、特开2005—258431号公报、特开2006—30966号公报等中记载的装置，但本发明中的曝光装置不被其所限定。[显影工序]作为所述显影，是通过除去所述感光层的未曝光部分进行的。作为所述未固化区域的除去方法，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出使用显影液除去的方法等。作为所述显影液，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出碱性水溶液、水系显影液、有机溶剂等，其中，优选弱碱性的水溶液。作为该弱碱水溶液的碱成分，例如可以举出氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸锂、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢锂、碳酸氢钠、碳酸氢钾、磷酸钠、磷酸钾、焦磷酸钠、焦磷酸钾、硼砂等。作为所述弱碱性的水溶液的pH,例如优选约为812，更优选约为911。作为所述弱碱性的水溶液，例如可以举出0.15质量％的碳酸钠水溶液或碳酸钾水溶液等。作为所述显影液的温度，可以根据所述感光层的显影性适当选择，例如优选约为2540°C。所述显影液也可以与表面活性剂、消泡剂、有机碱(例如乙二胺、乙醇胺、四甲基氢氧化铵、二亚乙基三胺、三亚乙基五胺、吗啉、三乙醇胺等)或用于促进显影的有机溶剂(例如醇类、酮类、酯类、醚类、酰胺类、内酯类等)等并用。另外，所述显影液可以为混合水或碱水溶液与有机溶剂的水系显影液，也可以单独为有机溶剂。在所述图案的形成中，也可以包括例如固化处理工序、蚀刻工序、镀敷工序等。它们可以单独使用一种，也可以并用两种以上。[固化处理工序]所述图案的形成方法在为形成保护膜、层间绝缘膜、阻焊剂图案等永久图案或滤色片的永久图案形成方法的情况下，优选具备在进行所述显影工序之后，对感光层进行固化处理的固化处理工序。作为所述固化处理，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以优选举出全面曝光处理、全面加热处理等。作为所述全面曝光处理的方法，例如可以举出在所述显影之后，对形成有所述永久图案的所述层叠体上的全面进行曝光的方法。利用该全面曝光，可以促进将要形成所述感光层的感光性组合物中的树脂的固化，可以使所述永久图案的表面固化。作为进行所述全面曝光的装置，没有特别限制，可以根据目的适当选择，例如可以举出超高压汞灯等uv曝光机、^气灯使用的曝光机、激光曝光机等。曝光量通常为102，000mJ/cm2。作为所述全面加热处理的方法，可以举出在所述显影之后，对已形成的所述永久图案的所述层叠体上的全面进行加热的方法。利用该全面加热，可以提高所述永久图案的表面的膜强度。作为所述全面加热中的加热温度，优选为120250°C，更优选为120200°C。如果该加热温度不到120°C，则有时不能得到利用加热处理的膜强度的提高，如果超过250'C，则有时发生所述感光性组合物中的树脂的分解，膜质轻微变脆。作为所述全面加热的加热时间，优选为10120分钟，更优选为1560分钟。作为进行所述全面加热的装置，没有特别限制，可以从公知的装置中根据目的适当选择，例如可以举出干烤箱(dryoven)、热板、IR加热器等。所述图案的形成方法可以用于在利用405nm的激光曝光的直接描绘中必需防止氧引起的感光层的灵敏度降低的各种图案的形成等中，可以优选用于兼顾高密度化和高生产率的图案的形成。在所述永久图案形成方法中，利用所述永久图案形成方法形成的永久图案如果为所述保护膜、所述层间绝缘膜及阻焊剂图案，则可以保护布线不受来自外部的冲击或弯曲，特别是在为所述层间绝缘膜的情况下，例如可以用于半导体或构件向多层布线基板或内装布线基板等的高密度实装。本发明的所述永久图案形成方法由于使用本发明的所述感光性组合物，所以可以优选用于保护膜、层间绝缘膜及阻焊剂图案等永久图案等各种图案的形成用、滤色片、柱材、肋材、间隔件、隔壁等液晶结构构件的制造、全息摄影、微型电机，印样等的制造，特别可以优选用于印刷电路板等永久图案形成。实施例以下利用实施例对本发明进行更详细说明，但本发明不被这些实施例所限定。(表面处理例1)一己进行表面处理的无机颜料1的配制一在1,000质量份含有5质量份水及5质量份盐酸(水解用催化剂)的二氯甲烷中，溶解15质量份Y—巯基丙基三甲氧基硅垸，边剧烈搅拌边缓慢加入100质量份硫酸钡(堺化学公司制，B30)。在进行充分搅拌之后，过滤、干燥，得到已进行表面处理的无机颜料l。(表面处理例2)_已进行表面处理的无机颜料2的配制一在表面处理例1中，不加入硫酸钡而加入IOO质量份二氧化硅(利用溶胶凝胶法制作)(日本了工口-》(株)制"7工口^少130")，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料2。(表面处理例3)一已进行表面处理的无机颜料3的配制一在表面处理例1中，不加入硫酸钡而加入98质量份滑石(富士滑石(夕》夕)工业(株)制"LMS弁200")，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料3。(表面处理例4)一已进行表面处理的无机颜料4的配制一在表面处理例1中，代替Y—巯基丙基三甲氧基硅垸而溶解15质量份Y—环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料4。(表面处理例5)一已进行表面处理的无机颜料5的配制一在表面处理例1中，代替Y—巯基丙基三甲氧基硅垸而溶解30质量份Y—氨丙基三乙氧基硅垸，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料5。(表面处理例6)一已进行表面处理的无机颜料6的配制一在表面处理例1中，代替巯基丙基三甲氧基硅烷而溶解30质量份Y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料6。(表面处理例7)一已进行表面处理的无机颜料7的配制一在表面处理例1中，代替Y一巯基丙基三甲氧基硅垸而溶解20质量份a—[[3—(三甲氧基甲硅烷基)丙氧基]甲基]—咪唑基一l一乙醇((株)日本能量(-亇八°:/工于-一)制"IS—1000")，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料7。(表面处理例8)—已进行表面处理的无机颜料8的配制一在表面处理例1中，代替Y—巯基丙基三甲氧基硅烷而溶解20质量份2—乙基—4一甲基咪唑并丙基三甲氧基硅垸盐酸盐(日本维尼卡(二二力一)(株)制"AZ—6160")，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料8。(表面处理例9)—已进行表面处理的无机颜料9的配制一在表面处理例1中，代替Y—巯基丙基三甲氧基硅垸而溶解15质量份乙烯基三乙酸基硅烷，除此以外，同样地得到己进行表面处理的无机颜料9。(表面处理例10)一已进行表面处理的无机颜料10的配制一在表面处理例1中，代替硫酸钡而加入50质量份球状二氧化硅(利用燃烧法制作)((株)阿德马铁克斯(7K^亍、;/夕7)制"阿德马法胤(7H、777^y)SO—Cl"，平均粒径0.25|am)，代替Y—巯基丙基三甲氧基硅烷而溶解2.5质量份Y—环氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸(信越7化学工业(株)制"KBM403")，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料10。(表面处理例11)一己进行表面处理的无机颜料11的配制一在表面处理例1中，代替硫酸钡而加入50质量份球状二氧化硅(利用燃烧法制作)((株)阿德马铁克斯制"阿德马法胤S0—C1"，平均粒径0.25pm)，代替y—巯基丙基三甲氧基硅垸而溶解2.5质量份y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅垸(信越化学工业(株)制"KBM503")，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料ll。(表面处理例12)一已进行表面处理的无机颜料12的配制一在表面处理例1中，代替硫酸钡而加入50质量份球状二氧化硅(利用燃烧法制作)((株)阿德马铁克斯制"阿德马法胤S0—C2"，平均粒径0.5pm)，代替Y—巯基丙基三甲氧基硅垸而溶解2.5质量份Y—环氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸(信越化学工业(株)制"KBM403")，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料12。(表面处理例13)一已进行表面处理的无机颜料13的配制一在表面处理例1中，代替硫酸钡而加入25质量份球状二氧化硅(利用燃烧法制作)((株)阿德马铁克斯制"阿德马法胤S0—C2"，平均粒径0.5pm)，代替y—巯基丙基三甲氧基硅烷而溶解2.5质量份y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(信越化学工业(株)制"KBM503")，除此以外，同样地得到己进行表面处理的无机颜料13。(表面处理例14)一已进行表面处理的无机颜料14的配制一在表面处理例1中，代替硫酸钡而加入50质量份球状二氧化硅(利用燃烧法制作)(电气化学工业(株)制"SFP—30M"，平均粒径0.7pm)，代替Y—巯基丙基三甲氧基硅烷而溶解2.5质量份Y—环氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸(信越化学工业(株)制"KBM403")，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料14。(表面处理例15)一已进行表面处理的无机颜料15的配制一在表面处理例1中，代替硫酸钡而加入50质量份球状二氧化硅(利用燃烧法制作)(电气化学工业(株)制"SFP—30M"，平均粒径0.7pm)，代替Y—巯基丙基三甲氧基硅垸而溶解2.5质量份Y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅垸(信越化学工业(株)制"KBM503")，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料15。(表面处理例16)一已进行表面处理的无机颜料16的配制一在表面处理例1中，代替硫酸钡而加入50质量份球状二氧化硅(利用燃烧法制作)(电气化学工业(株)制"SFP—20M"，平均粒径0.3pm)，代替Y—巯基丙基三甲氧基硅烷而溶解2.5质量份y—环氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸(信越化学工业(株)制"KBM403"),除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料16。(表面处理例17)一已进行表面处理的无机颜料17的配制一在表面处理例1中，代替硫酸钡而加入50质量份球状二氧化硅(利用燃烧法制作)(电气化学工业(株)制"SFP—20M"，平均粒径OJ拜)，代替Y—巯基丙基三甲氧基硅烷而溶解2.5质量份Y—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(信越化学工业(株)制"KBM503")，除此以外，同样地得到已进行表面处理的无机颜料17。(合成例1)一粘合剂1的合成一向1，OOOmL三口烧瓶中加入l一甲氧基一2—丙醇159g，在氮气流下，加热到85'C。用2小时向其中滴甲基丙烯酸苄基酯63.4g、甲基丙烯酸72.3g、V—601(和光纯药制)4.15g的l一甲氧基一2—丙醇159g溶液。滴落结束后，进一步加热5小时，使其反应。接着，停止加热，得到甲基丙烯酸苄基酯/甲基丙烯酸(30/70mol。/U匕)的共聚物。接着，将所述共聚物溶液中的120.0g移至300mL三口烧瓶中，加入縮水甘油甲基丙烯酸酯16.6g、对甲氧基苯酚0.16g，搅拌使其溶解。溶解后，加入三苯基膦3.0g，加热至IO(TC，进行加成反应。用气相色谱法(gaschromatography)确认縮水甘油甲基丙烯酸酯消失后，停止加热。加入1—甲氧基一2—丙醇，配制固体成分为30质量％的下述结构式表示的粘合剂1的溶液。利用将聚苯乙烯作为标准物质的凝胶渗透色谱法(GPC)测定得到的粘合剂的质均分子量(Mw)，结果为15，000。另外，使用氢氧化钠进行滴定，结果，固体成分的酸值约为2.2meq/g。进而，利用碘值滴定求得的固体成分的乙烯性不饱和键的含量(C二C值)约为2.1m叫/g。粘合剂化39其中，所述高分子化合物l中，*1表示下述结构式(a)表示的结构及(b)表示的结构的混合(混合比不明)。化40结构式(a)S结构式(b)(合成例2)一粘合剂2的合成一下，加热到85'C。用2小时向其中滴甲基丙烯酸苄基酯36g、甲基丙烯酸72.3g、V—601(和光纯药制)4.15g的1—甲氧基一2—丙醇159g溶液。滴落结束后，进一步加热5小时，使其反应。接着，停止加热，得到甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸(30/70mol^比)的共聚物。接着，将所述共聚物溶液中的120.0g移至300mL三口烧瓶中，加入縮水甘油甲基丙烯酸酯16.6g、对甲氧基苯酚0.16g，搅拌使其溶解。溶解后，加入三苯基膦2.4g，加热至10(TC，进行加成反应。用气相色谱法确认缩水甘油甲基丙烯酸酯消失后，停止加热。加入1一甲氧基一2—丙醇，配制固体成分为30质量％的下述结构式表示的粘合剂一2的溶液。利用将聚苯乙烯作为标准物质的凝胶渗透色谱法(GPC)测定得到的粘合剂的质均分子量(Mw)，结果为15，000。另外，使用氢氧化钠进行滴定，结果，固体成分的酸值约为2.3meq/g。进而，利用碘值滴定求得的固体成分的乙烯性不饱和键的含量(C二C值)约为2.6meq/g。粘合剂化41<formula>formulaseeoriginaldocumentpage82</formula>其中，所述高分子化合物1中，*1表示与所述高分子化合物1相同的意义。(合成例3)一粘合剂3的合成一向150质量份丙二醇一甲醚乙酸酯中边加热边溶解110质量份苯酚酚醛清漆型环氧树脂(东都化成公司制，YDPN—702)，接着加入34质量份丙烯酸及0.8质量份苄基二甲胺，在10012(TC下继续反应8小时之后，加入四氢化苯二甲酸酐35质量份，在IOO'C下使其反应8小时，得到酸值70mgKOH/g的环氧丙烯酸酯化合物(粘合剂3)。(实施例1)一感光性组合物的配制一以下述量配合各成分，配制感光性组合物溶液。[感光性组合物溶液的各成分量]所述粘合剂1(所述l一甲氧基一2—丙醇溶液中固体成分质量30质量％)…87.4质量份二季戊四醇六丙烯酸酯(聚合性化合物)…13质量份，下述式I一1表示的光聚合引发剂…2.6质量份下述式S—l表示的增感剂…0.5质量份工求卜一卜YD—8125(环氧当量170g/eq.东都化成公司制，双酚A系环氧树脂)…8质量份.热固化剂(二氰胺)…0.77质量份'氟系表面活性剂(^力、77:y夕F—176，大日本油墨化学工业(株)制，30质量％2—丁酮溶液)…0.2质量份已进行表面处理的无机颜料1…21.98质量份甲基乙基甲酮…15质量份化42<formula>formulaseeoriginaldocumentpage83</formula>一感光性薄膜的制造一用棒涂机，将得到的感光性组合物溶液涂敷于作为所述支撑体的厚16jxm、宽300mm、长200m的PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)薄膜上(东1/公司制，16FB50),并在80'C的热风循环式干燥机中使其干燥，形成厚30pm的感光层。接着，在该感光层上，用层压板层叠作为所述保护薄膜的厚20nm、宽310mm、长210m的聚丙烯薄膜(王子制纸公司制，E—200)，制造感光性薄膜。一感光性层叠体的配制一接着，作为所述基材，向作为印刷电路板的已形成布线的两张镀铜叠层板(没有穿通孔，铜厚为12pm)的表面实施化学研磨处理，从而配制。在该镀铜叠层板上，剥离所述感光性薄膜中的保护薄膜，以使所述感光性薄膜的感光层与所述镀铜叠层板接触，同时用真空层压机(二^rf一千一卜y(株)社制，VP130)使其层叠，从而配制成依次层叠所述镀铜叠层板、所述感光层和所述聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撑体)而成的感光性层叠体。压粘条件为真空吸引时间40秒、压粘温度7(TC、压粘压力0,2MPa、加压时间10秒。对感光性层叠体，进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。<显影性的评价>配制所述感光性层叠体之后，立即从所述感光性层叠体剥去聚对苯二甲酸乙二醇酯(支撑体)，用0.15MPa的压力向镀铜叠层板上的所述感光层的全面喷射3(TC的1质量％碳酸钠水溶液，测定从开始喷射碳酸钠水溶液到溶解除去镀铜叠层板上的感光层所需要的时间，将其作为最短显影时间，评价显影性。该最短显影时间越短，则显影性越出色。另外，在配制所述感光性层叠体之后，在4(TC下保存3天的情况下，也同样地评价显影性。<灵敏度的评价>对所述已配制的感光性层叠体中的感光性薄膜的感光层，从支撑体侧，使用作为所述光照射机构的具有405nm的激光光源的特开2006—30966号公报中记载的图案形成装置，照射以21/2倍间隔、从0.1mJ/cm2到100mJ/cii^的光能量不同的光，进行2重曝光，使所述感光层的一部分区域固化。在室温下静置10分钟，然后从所述感光性层叠体剥去所述支撑体，用喷射压0.15MPa向镀铜叠层板上的感光层的全面喷射30。C的1质量％碳酸钠水溶液，喷射时间为所述最短显影时间的2倍，溶解除去未固化的区域，测定残留的固化区域的厚度。接着，绘制光的照射量与固化层的厚度之间的关系的曲线图，得到灵敏度曲线。这样从得到的灵敏度曲线可知，固化区域的厚成为与曝光前的感光层同样为30pm时的光能量，为使感光层固化所必需的光能量。<析像度的评价>在室温下(23°C，55%RH)静置所述感光性层叠体10分钟。从得到的所述感光性层叠体的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撑体)上，使用所述图案形成装置，以线(line)/空间(space)=1/1，从线(line)宽10pm100pm，以每lpm，进行各线宽的曝光。此时的曝光量为固化在所述灵敏度的评价中的所述感光性薄膜的感光层所必需的光能量。在室温下静置IO分钟之后，从所述感光性层叠体剥去聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撑体)。用喷射压0.15MPa向镀铜叠层板上的感光层的全面喷射作为所述显影液的30'C的1质量。％碳酸钠水溶液，喷射时间为所述最短显影时间的2倍，溶解除去未固化的区域。用光学显微镜观察这样得到的带固化树脂图案的镀铜叠层板的表面，在固化树脂图案的线中测定没有堵塞、皱巴等异常而且可以形成空间的最小线宽，将其作为析像度。该析像度的数值越小越为良好。<粘附性的评价>在室温下(23°C，55%RH)静置所述感光性层叠体10分钟。从得到的所述感光性层叠体的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撑体)上，使用所述图案形成装置，以线/空间=1/5，对线宽1(Him5(Him，以每5拜进行各线宽的曝光，以与析像度的评价相同的曝光量进行。与析像度的评价相同地溶解除去未固化区域，然后用光学显微镜观察得到的带固化树脂图案的镀铜叠层板的表面，测定能够确认固化树脂图案没有从铜箔剥离、没有从固化树脂图案周边部进入显影液的最小的线宽，将其作为粘附性的评价结果。(实施例2)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料2的21.98质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例3)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料3的21.98质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例4)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料4的21.98质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例5)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料5的21.98质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例6)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料6的21.98质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例7)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料7的21.98质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例8)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料8的21.98质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例9)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料9的21.98质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例10)在实施例1中，如表1所示，将所述式1—1表示的化合物代替为下述式I一2表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。化43(实施例11)在实施例1中，如表1所示，将所述式I一l表示的化合物代替为下述式1—3表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。化44M,0—COC2H5(实施例12)在实施例1中，如表1所示，将所述式I一1表示的化合物代替为下述式I一4表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。化45(实施例13)在实施例1中，如表1所示，将所述式I一l表示的化合物代替为下述式I一5表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。化46(实施例14)在实施例1中，如表1所示，将所述式I一l表示的化合物代替为下述式I一6表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。化47(实施例15)在实施例1中，如表1所示，将所述式1—1表示的化合物代替为所述式I一1表示的化合物1,3质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例16)在实施例1中，如表1所示，将粘合剂1代替为粘合剂2的87.4质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例17)在实施例1中，如表1所示，将粘合剂1代替为粘合剂3的48.2质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例18)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料10的11.0质量份，进而，如表1所示，将所述式I一l表示的化合物代替为下述式I一7表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。化48(实施例19)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料ll的11.0质量份，进而，如表1所示，将所述式1—1表示的化合物代替为所述式I一7表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例20)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料12的ll.O质量份，进而，如表1所示，将所述式I一l表示的化合物代替为所述式I一7表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例21)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料13的11.0质量份，进而，如表1所示，将所述式I一l表示的化合物代替为所述式I一7表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例22)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料12的11.0质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例23)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料14的11.0质量份，进而，如表l所示，将所述式1—1表示的化合物代替为所述式I一7表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例24)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料15的11.0质量份，进而，如表1所示，将所述式I一l表示的化合物代替为所述式I一7表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例25)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料16的11.0质量份，进而，如表1所示，将所述式I一l表示的化合物代替为所述式I一7表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(实施例26)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为已进行表面处理的无机颜料17的11.0质量份，进而，如表1所示，将所述式1—1表示的化合物代替为所述式I一7表示的化合物2.6质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(比较例1)在实施例1中，如表1所示，将已进行表面处理的无机颜料1代替为没有进行表面处理的硫酸钡(堺化学公司制，B30)的21.98质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(比较例2)在实施例1中，如表1所示，将式I一l表示的化合物代替为逸乐咖科尔(Irgacure)369(碱性类型的光聚合引发剂，西巴特殊化学药品(CIBASPECIALTYCHEMICALS)公司制)的6.1质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。(比较例3)在实施例1中，如表1所示，将式I一l表示的化合物代替为逸乐咖科尔907(碱性类型的光聚合引发剂，西巴特殊化学药品(CIBASPECIALTYCHEMICALS)公司制)的6.1质量份，除此以外，同样地进行显影性、灵敏度、析像度及粘附性的评价。结果如表2所示。[表1]<table>tableseeoriginaldocumentpage91</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage92</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage92</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage93</column></row><table>从表2的结果可以判断，在使用光聚合引发剂含有肟衍生物、无机颜料被硅烷偶合剂表面处理的感光性组合物的实施例126中，可以有效地形成灵敏度、感光性层叠体配制后的显影性以及粘附性良好且高精细的永久图案。特别可以判断，在粘合剂含有在侧链具有酸性基和乙烯性不饱和键的高分子化合物的实施例116及1826中，在4(TC下保存3天后的显影性也出色。另外，向永久图案实施热循环处理(将—65'C下加冷30分钟、125"C下加热30分钟作为1个循环的加热处理进行500个循环的处理)，进行观察2mm见方的孔图案(格子状)中的裂缝的进入方式的热循环试验(thermalcycletest)(27个格子状图案中，几个图案有裂缝(TCT耐性))。结果为，在比较例13中，从孔图案的角容易进入裂缝，与此相对，在实施例126中，难以发生裂缝。特别是在作为无机填充剂使用二氧化硅的情况下(实施例2及1826)，裂缝发生率低。本发明的感光性组合物及感光性薄膜由于可以有效地形成灵敏度、显影性及粘附性良好且高精细的永久图案，所以可以优选用于保护膜、层间绝缘膜及阻焊剂图案等永久图案等各种图案的形成、滤色片、柱材、肋材、间隔件、隔壁等液晶结构构件的制造、全息摄影、微型电机，印样等的制造等，特别可以优选用于印刷电路板等永久图案形成用。本发明的所述永久图案形成方法由于使用本发明的所述感光性组合物，所以可以优选用于保护膜、层间绝缘膜及阻焊剂图案等永久图案等各种图案的形成、滤色片、柱材、肋材、间隔件、隔壁等液晶结构构件的制造、全息摄影、微型电机，印样等的制造等，特别可以优选用于印刷电路板等永久图案形成。权利要求1.一种感光性组合物，其特征在于，含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、热交联剂及无机颜料，所述光聚合引发剂含有肟衍生物，所述无机颜料被硅烷偶合剂表面处理。2.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，硅烷偶合剂具有选自烷氧基甲硅烷基、氯甲硅烷基及乙酰氧基甲硅烷基中的至少一种官能团、和选自乙烯基、氨基、巯基、环氧基及(甲基)丙烯酰基中的至少一种官能团。3.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，无机颜料为二氧化硅。4.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，肟衍生物为至少具有芳香族基的化合物。5.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，肟衍生物具有用下述通式(I)、通式(II)及通式(X)中的任意一种表示的部分结构，化1Ar<C(Y，》=N，0-Y化2Ar如0-CCY'〕=M-O—Y化3通式(I)通式(II)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>通式(X)意一种，Y'表示氢原子及一价取代基中的任意一种，yz表示脂肪族基、芳香族基、杂环基、coy3、co2y3及cony4y5中的任意一种，y3、y4及ys表示脂肪族基、芳香族基及杂环基中的任意一种，m表示l以上的整数，另外，所述通式(x)中，r^表示酰基、垸氧基羰基及芳氧基羰基中的任意一种，这些取代基也可以进一步具有取代基，a表示0以上的任意整数，r，表示取代基，在(x为2以上的情况下，该r^可以相同或不同，Ar表示芳香族环及杂芳香族环中的任意一种，A表示4、5、6及7员环中的任意一种，这些环也可以分别含有杂原子。6.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，粘合剂含有在侧链具有酸性基和乙烯性不饱和键的高分子化合物。7.根据权利要求6所述的感光性组合物，其中，粘合剂含有在侧链具有酸性基、可含有杂环的芳香族基和乙烯性不饱和键的高分子化合物。8.—种感光性薄膜，其特征在于，在支撑体上具有由权利要求1所述的感光性组合物构成的感光层而成。9.一种永久图案形成方法，其特征在于，包括对利用权利要求1所述的感光性组合物形成的感光层进行曝光的步骤。10.—种印刷电路板，其特征在于，利用权利要求9所述的永久图案形成方法形成永久图案。全文摘要本发明的目的在于提供一种可以有效地形成灵敏度、显影性及粘附性良好且为高精细的永久图案的感光性组合物、感光性薄膜、使用所述感光性组合物的永久图案形成方法及利用所述永久图案形成方法形成图案的印刷电路板。本发明是一种含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、热交联剂及无机颜料，所述光聚合引发剂含有肟衍生物，利用硅烷偶合剂表面处理所述无机颜料的感光性组合物。所述硅烷偶合剂优选具有从烷氧基甲硅烷基、氯甲硅烷基及乙酰氧基甲硅烷基中选择的至少一种官能团和从乙烯基、氨基、巯基、环氧基及(甲基)丙烯酰基中选择的至少一种官能团的方式等。文档编号G03F7/027GK101149562SQ20071016185公开日2008年3月26日申请日期2007年9月24日优先权日2006年9月22日发明者林利明,藤田明德,高岛正伸申请人:富士胶片株式会社