专利名称：一种监控温控板性能的方法及采用该方法设置的系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造设备的监控，具体地说，涉及一种监控温控板性能 的方法及采用该方法设置的系统
背景技术：
温控板(Track plate)对光刻制程中图像的形成起很关键的作用。温控板包 括冷却板(Cooling plate )和加热板(Hot plate )。温控板的关4建性能参数是温控 板的温度，加热的均勻性(Hot air uniformity)以及力口热时间。目前测试这些参 数均是操作人员通过温度计观察，所以很容易产生误差。
发明内容
本发明的目的在于提供一种监控温控板性能的方法及采用该方法设置的系 统，其可以精确监控温控板的性能。
为实现上述目的，本发明提供一种监控温控板性能的方法，晶圆置于温控 板上方，其中，该方法首先在晶圆上涂布光阻；进行光刻制程，形成光阻图形； 该方法通过监控光阻图形侧壁的倾斜幅度监控温控板的性能。
温控板的性能与光阻图形侧壁的倾斜幅度呈函数关系。
光阻图形侧壁的倾斜幅度通过光阻图形侧壁的白边影像尺寸表征，所述白 边影像尺寸是光阻图形侧壁的倾斜幅度在电子显微镜下的影像。
温控板的性能包括温度、加热时间以及加热均匀性。
该方法在晶圓上取不同位置进行测量不同位置的光阻图形侧壁的白边影像 尺寸，如果侧壁白边影像尺寸超出了预先设定的基准范围，则说明温控板相应 位置的性能出现异常。
本发明还提供一种采用所述的监控温控板性能的方法设置的系统，该系统 包括接收模块及对比模块，接收模块可以获得晶圓上不同位置光阻图形側壁的倾斜幅度的测量数据，对比模块将测量数据与预先设定的基准数据进行对比， 如果超出基准数据，则发出警告，提示温控板相应位置的性能出现问题。光阻 图形侧壁的倾斜幅度通过光阻图形侧壁的白边影像尺寸表征，所述白边影像尺 寸是光阻图形侧壁的倾斜幅度在电子显孩i镜下的影像。采用电子显樣史镜获取晶 圆上不同位置光阻图形侧壁的白边影像尺寸的测量数据，电子显微镜与接收模 块连接。基准数据由生产工艺要求决定，可以由操作人员预先设定。
与现有技术相比，本发明可以精确监测到温控板性能。该方法很容易实现， 而且实现监测标准化，费用也很低，尤其适用于大规模的生产制程。
通过以下对本发明一实施例结合其附图的描述，可以进一步理解其发明的
目的、具体结构特征和优点。其中，附图为
图1为电子显微镜扫描光阻图形侧壁白边影像的示意图。
图2为温控板加热时间和光阻图形侧壁白边影像尺寸之间线性关系的示意图。
图3为温控板温度和光阻图形侧壁白边影像尺寸之间线性关系的示意图。
具体实施例方式
本发明提供一种监测温控板性能的方法。该方法通过监控光阻图形侧壁的 倾斜幅度监测温控板的性能，温控板的性能包括温度、加热时间以及加热均匀 性。请参阅图l,光阻图形侧壁的倾斜幅度通过光阻图形侧壁的白边影像尺寸d 表征，所述白边影像尺寸是光阻图形侧壁的倾斜幅度在电子显微镜(CD - SEM) 下的影像。温控板的性能与光阻图形侧壁的倾斜幅度呈函数关系，即温控板的 性能与光阻图形侧壁的白边影像尺寸呈函数关系。光刻图形白边影像尺寸d可 以通过电子显微镜精确测量。因此，可以精确监测到温控板性能。该方法很容 易实现，而且实现监测标准化，费用也很低，尤其适用于大规模的生产制程。
本发明通过实验证明了光阻图形侧壁的白边影像尺寸和温控板的性能之间 存在函数关系，温控板的性能包括温控板的温度，加热时间以及加热均匀性， 现以温度和加热时间为例，具体实-验如下保持温度不变，调整加热时间，通过实验证明加热时间和白边影像尺寸大
小之间的关系。在本实-验中，温度保持110。C不变，加热时间分别为60秒，40 秒和20秒，通过电子显微镜测量出光阻图形的侧壁的白边影像尺寸分别为0.702 微米，0.640微米以及0.539微米。从图2可以看出，加热时间越短，白边影像 尺寸越小。
然后保持加热时间不变，调整温度，通过实验证明温度和白边影像尺寸大 小之间的关系。在本实-睑中，加热时间60秒不变，温度分别为70。C，90。C及110°C, 通过电子显微镜测量出光阻图形的侧壁的白边影像尺寸分别为0.349微米，0.398 微米及0.702微米。从图3中可以看出，温度越高，白边影像尺寸越大。
通过上述实验，可以看出温控板的性能与电子显微镜测量出光阻图形侧壁 的白边影像尺寸呈函数关系，根据该实验结论，本发明提出一种监控温控板性 能的方法，晶圆置于温控板上方，该方法包括如下步骤
首先在晶圓上涂布光阻；
进行光刻制程，形成光阻图形；
利用电子显微镜测量光阻图形侧壁的白边影像尺寸；实际操作中，可在晶 圆上多处测量，如取上、下、左、右、中五点位置测量不同位置的光阻图形侧 壁的白边影像尺寸；
操作人员每日监控侧壁白边影像尺寸，如果侧壁白边影像尺寸超出了预先 设定的基准范围，则可以知道温控板相应位置的性能(温度、加热时间及加热 均匀性)出现异常。
本发明设置了 一个采用该监控方法的系统，该系统包括接收模块及对比模 块，接收模块可以获得晶圓上不同位置光阻图形侧壁的倾斜幅度的测量数据， 对比模块将测量数据与预先设定的基准数据进行对比，如果超出基准数据，则 发出警告，提示温控板相应位置的性能出现问题。光阻图形侧壁的倾斜幅度通 过光阻图形侧壁的白边影像尺寸表征，所述白边影像尺寸是光阻图形侧壁的倾 斜幅度在电子显微镜下的影像。
采用电子显微镜获取晶圆上不同位置光阻图形侧壁的白边影像尺寸的测量 数据，电子显微镜与接收模块连接。基准数据由生产工艺要求决定，可以由操 作人员预先设定。本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本 领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改， 因此本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。
权利要求
1、一种监控温控板性能的方法，晶圆置于温控板上方，其特征在于该方法首先在晶圆上涂布光阻；进行光刻制程，形成光阻图形；该方法通过监控光阻图形侧壁的倾斜幅度监控温控板的性能。
2、 如权利要求1所述的监控温控板性能的方法，其特征在于温控板的性能与 光阻图形侧壁的倾斜幅度呈函数关系。
3、 如权利要求1或2所述的监控温控板性能的方法，其特征在于光阻图形侧 壁的倾斜幅度通过光阻图形侧壁的白边影像尺寸表征，所述白边影像尺寸是光 阻图形侧壁的倾斜幅度在电子显微镜下的影像。
4、 如权利要求1或2所述的监控温控板性能的方法，其特征在于温控板的性 能包括温度、加热时间以及加热均匀性。
5、 如权利要求1所述的监控温控板性能的方法，其特征在于该方法在晶圆上 取不同位置进行测量不同位置的光阻图形侧壁的白边影像尺寸，如果侧壁白边 影像尺寸超出了预先设定的基准范围，则说明温控板相应位置的性能出现异常。
6、 一种采用权利要求1所述的监控温控板性能的方法设置的系统，其特征在于 该系统包括接收模块及对比模块，接收模块可以获得晶圓上不同位置光阻图形 侧壁的倾斜幅度的测量数据，对比模块将测量数据与预先设定的基准数据进行 对比，如果超出基准数据，则发出警告，提示温控板相应位置的性能出现问题。
7、 一种如权利要求6所述的系统，其特征在于光阻图形侧壁的倾斜幅度通过 光阻图形侧壁的白边影像尺寸表征，所述白边影像尺寸是光阻图形侧壁的倾斜 幅度在电子显微镜下的影像。
8、 一种如权利要求7所述的系统，其特征在于采用电子显微镜获取晶圓上不 同位置光阻图形侧壁的白边影像尺寸的测量数据，电子显樣i镜与接收模块连接。
9、 一种如权利要求6所述的系统，其特征在于基准数据由生产工艺要求决定， 可以由操作人员预先设定。
全文摘要
本发明提供一种监控温控板性能的方法及采用该方法设置的系统，晶圆置于温控板上方，其中，该方法首先在晶圆上涂布光阻；进行光刻制程，形成光阻图形；该方法通过监控光阻图形侧壁的倾斜幅度监控温控板的性能。光阻图形侧壁的倾斜幅度通过光阻图形侧壁的白边影像尺寸表征，所述白边影像尺寸是光阻图形侧壁的倾斜幅度在电子显微镜下的影像。本发明还提供一种采用所述的监控温控板性能的方法设置的系统。与现有技术相比，本发明可以精确监测到温控板性能。该方法很容易实现，而且实现监测标准化，费用也很低，尤其适用于大规模的生产制程。
文档编号G03F7/20GK101452216SQ20071017161
公开日2009年6月10日 申请日期2007年11月30日 优先权日2007年11月30日
发明者杨金坡 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司