消偏振反射镜的制作方法

专利名称：消偏振反射镜的制作方法
专利说明消偏振反射镜 技术领域：
本发明涉及一种光学测量或光学仪器，尤其涉及一种能有效消除镜面反射带来的偏振问题的反射镜组。
背景技术：
以一定角度入射的镜面反射会使反射光的偏振状态相对入射光发生改变，且其总反射率会因入射光偏振状态不同而不同。如图1所示为一束自然光发射镜面反射后产生偏振的示意图。
以入射光和反射镜的法线所组成的平面为入射平面。任意一束入射光可以分解为垂直于光线传播方向的两个振动方向互相垂直的偏振光，记为s波和p波，其中s波的振动方向垂直于入射平面，而p波的振动方向为平行于入射平面。在光线发生镜面反射后，反射光的光强由下式表示 Im＝Ip·ρp(θ)+Is·ρs(θ) 由于通常p波和s波的反射率不相等，如图2所示，会导致反射光发生一定的附加偏振，即如原来入射光为自然光的，反射光变成了部分偏振光，如原来入射光为偏振光的，反射光的偏振状态会发生改变。而且，随着入射角度的不同，p波和s波的反射率之间的差值也会发生变化，反射光的附加偏振程度会随着入射角度的变化而变化。
在一定角度下，以反射光线与入射光线光强的比值为反射镜组该光线的总反射率。由于自然入射光的p波和s波的光强均为总光强的1/2，在发生镜面反射后，反射镜组自然光的总反射率可表示p波和s波反射率的算术平均值。而对于偏振的入射光，反射镜的总反射率与偏振程度有关，表达要更为复杂。因此在某一入射角度下，反射镜的总反射率会因入射光的偏振状态而发生改变，即反射镜的总反射率对入射光的偏振状态有着强烈的依赖性，当入射角度较大时这种依赖会变得十分明显，以致它在精密光学测量等领域成为一项无法消除的原理性测量误差。
由图2还可知，发生在介质表面的反射与金属表面的反射虽然都会使反射光束产生一定的偏振，但二者又有所区别。金属表面的平均反射率一般高于介质表面的平均反射率，而且随着金属材质的不同，平均反射率以及p波和s波的反射率差值也各不相同。
反射镜是非常重要的光学器件，广泛使用于各个光学领域。虽然偏振是很多光学领域中不容忽略的问题，但长期以来并没有较为方便、经济、有效的方法去解决这一问题，使得光线的总反射率不依赖于偏振，而且使镜面反射不给反射光带来附加偏振。
对反射镜表面镀膜是目前反射镜消偏的常用方法，然而这种方法一方面成本较高，另一方面该方法只能在一定程度上减少上述镜面反射带来的偏振问题，镀膜后的反射镜组p波和s波的反射率差值依然存在，同时镀膜消偏所适用的光谱波段较窄，而且对入射角度有所限制，不能随意调整光线的入射角度，否则消偏效果将受到影响。

发明内容
本发明旨在提供一种消偏振反射镜，以方便、有效地消除镜面反射带来的偏振问题，消偏振反射镜的反射率对入射光的偏振不敏感，并且经过消偏振反射镜后的反射光仍保持入射前的偏振状态。
本发明是通过下述技术方案实现的 一种消偏振反射镜，其特征在于在光路中包括一面以上含一面起偏反射镜和一面以上含一面补偿反射镜组成的一组或多组镜组，每组镜组中起偏反射镜的起偏入射平面和补偿反射镜的补偿入射平面相互垂直，所有镜组中起偏反射镜的s波和p波反射率比的乘积与所有补偿反射镜的s波与p波反射率比的乘积相等。
消偏振反射镜镜组中，任意一光强为I的入射光可以分解为垂直于第一面起偏反射镜入射平面的p波和s波，其光强分别为Ip和Is，即 I＝Ip+Is(1) 相应的p波和s波的振幅分别为Ap和As，入射光经过第一面起偏反射镜后的振幅为 Im＝Ipρ1p(θ1)+Isρ1s(θ1) (2) 其中ρ1p(θ1)为第一起偏反射镜在入射角为θ1时的p波反射率，ρ1s(θ1)为第一起偏反射镜在入射角为θ1是的s波反射率。下文中出现的ρ1p(θ1)和ρ1s(θ1)与式(2)中所表示的意义相同。
经过第一起偏反射镜后p波和s波的振幅分别为

和

以Θp(1)和Θs(1)分别表示第一起偏反射镜分别给Ap和As带来的衰减系数，则经过第一起偏反射镜后的p波和s波可表示为ApΘp(1)和AsΘs(1)。
第一面起偏反射镜的反射光再经过镜组中的第二面反射镜，第二面反射镜可能是起偏反射镜或者补偿反射镜，但无论是起偏反射镜或者补偿反射镜，经过第二面反射镜后，第一起偏反射镜的p波和s波的振幅Ap和As分别衰减为 其中ρ2p(θ1)为第二面反射镜在入射角为θ2时的平行于第二面反射镜入射平面的p波的反射率，ρ2s(θ2)第二面反射镜在ε1入射角为θ2时的垂直于第二反射镜入射平面的s波的反射率。ε2是第一起偏反射镜的入射平面和第二反射镜的入射平面之间的夹角。由式(3)，为Ap经过第二面反射镜后的衰减系数，记为Θp(2)；由式(4)，为As经过第二面反射镜后的衰减系数，即为Θs(2)，若消偏振反射镜镜组中共有m+n面反射镜，则经过这些反射镜后，第一起偏反射镜的p波和s波的振幅Ap和As分别衰减为 Ap(m+n)＝ApΘp(1)·Θp(2)·...·Θp(i)·...·Θp(m+n)(5) As(m+n)＝AsΘs(1)·Θs(2)·...·Θs(i)·...·Θs(m+n)(6) 其中Θp(i)和Θs(i)为第i面反射镜分别给Ap和As带来的衰减系数。
如果式(5)和式(6)满足 Θp(1)·Θp(2)·...·Θp(i)·...·Θp(m+n)＝Θs(1)·Θs(2)·...·Θs(i)·...·Θs(m+n)(7) 则可认为消偏振反射镜镜组没有给反射光带来附加偏振，并且最终的反射光的光强与入射光的偏振状态无关。
而本发明中，使镜组中起偏反射镜的起偏入射平面和补偿反射镜的补偿入射平面相互垂直，镜组中所有起偏反射镜的s波和p波反射率比的乘积与所有补偿反射镜的s波与p波反射率比的乘积相等的条件是使式(7)成立的若干解中的一个，通过本条件，而入射平面之间夹角εi在式(5)和式(6)中可转变为1或0，而式(5)Ap的系数最后可化为镜组中m面起偏反射镜的p波的反射率平方根和n面补偿反射镜的s波的反射率平方根的乘积，式(6)As的系数最后可化为镜组中m面起偏反射镜的s波的反射率平方根和n面补偿反射镜的p波的反射率平方根的乘积，由于m面起偏反射镜的s波和p波反射率比的乘积与n面补偿反射镜的s波与p波反射率比的乘积相等，因此可使式(7)成立，即经过消偏振反射镜镜组没有给反射光带来附加偏振，并且最终的反射光的光强与入射光的偏振状态无关。
本发明可以通过以下技术方案进一步加以限定 作为一种特例，当镜组中的起偏反射镜和补偿反射镜都各只有一面时，起偏入射平面和补偿入射平面相互垂直，若起偏反射镜和补偿反射镜的光学性能相同(即两面反射镜在任意入射角度下的s波和p波的反射率相同)，则起偏反射镜的光线入射角和消偏反射镜的光线入射角相等。
现以各一面起偏反射镜和补偿反射镜组成消偏振反射镜镜组为例具体说明，设镜组中的起偏反射镜的反射光是补偿反射镜的入射光。
入射光以θ1角入射起偏反射镜后，反射光的强度Imq为 Imq＝Ip·ρqp(θ1)+Is·ρqs(θ1)(8) 其中，ρqp(θ1)为起偏反射镜在入射角为θ1时的p波反射率，ρqs(θ1)为起偏反射镜在入射角为θ1时的s波反射率。下文中出现的ρqp(θ1)和ρqs(θ1)与式(8)中所表示的意义相同。
由于起偏入射平面与补偿入射平面相互垂直，因此起偏反射镜的反射光中垂直于起偏入射平面的s波转变为平行于补偿入射平面的p波，而由于p波和s波始终垂直，起偏反射镜的反射光中的p波转变为垂直于补偿入射平面的s波，因而，以θ2入射角入射补偿反射镜后的反射光强度Imb为 Imb＝Ip·ρqp(θ1)ρbs(θ2)+Is·ρqs(θ1)ρbp(θ2)(9) 式中，ρbp(θ2)为补偿反射镜在入射角为θ2时的p波反射率，ρbs(θ2)为补偿反射镜在入射角为θ2时的s波反射率。下文中出现的ρbp(θ2)和ρbs(θ2)与式(9)中所表示的意义相同。
由于即ρqp(θ1)ρbs(θ2)＝ρqs(θ1)ρbp(θ2)＝C (10) 式中，C是一个常数。
经过起偏反射镜和补偿反射镜所组成的消偏振反射镜组后的反射光强度可表达为 Imb＝(Ip+Is)·C(11) 因此最终反射光的强度Imb与入射光的偏振状态无关，并且消偏振反射镜镜组的反射也不会给最终光线带来附加偏振。
如果在上述镜组中的起偏反射镜和补偿反射镜的光学性能相同，即在任意一个入射角θ下，均有 ρqp(θ)＝ρbp(θ)＝ρp(θ)，ρqs(θ)＝ρbs(θ)＝ρs(θ)(12) 则只要保证起偏反射镜的光线入射角和补偿反射镜的光线入射角相同，经过由光学性能且入射平面相互垂直的两面反射镜组成的反射镜组的光的光强就是无偏振依赖性的。在这一特例下，起偏反射镜和补偿反射镜的入射角大小是任意调节的，克服了反射镜镀膜消偏的角度依赖性问题。
上述过程可以理解为消偏振反射镜镜组中的起偏反射镜虽然使入射光发生偏振，但补偿反射镜能有效补偿和抵消起偏反射镜带来的偏振问题。
当镜组中包括m面起偏反射镜和n面消偏反射镜，且n面起偏反射镜的s波和p波反射率比的乘积与m面补偿反射镜的s波与p波反射率比的乘积相等，即 ρqs·ρbp＝ρqp·ρbs＝C(13) 式中ρqs和ρqp为m面起偏反射镜的s波和p波反射率之积，ρbs和ρbp为n面补偿反射镜的s波和p波反射率之积，C是一个常数。
由于起偏入射平面和消偏入射平面相互垂直，起偏反射镜中垂直于起偏入射平面的s波转变为平行于补偿入射平面的p波，起偏反射镜的p波转变为垂直于补偿入射平面的s波，因而，经过该镜组后的反射光强度Imb为 Imb＝Ip·ρqpρbs+Is·ρqsρbp＝(Is与Ip)C(14) 由式(14)的关系可知，此时Imb也与入射光的偏振状态无关，并且消偏振反射镜镜组的反射也不会给最终光线带来附加偏振。但在多面起偏反射镜和补偿反射镜组成的镜组中对其中每一面反射镜的光线入射角度都有严格的限制，必须满足式(14)的关系。
由于多面起偏反射镜和补偿反射镜组成的镜组中，由于起偏入射平面和补偿入射平面之间的关系，镜组中起偏反射镜可以连续设置，位于起偏反射镜之后的光路中，补偿反射镜也连续设置；或者镜组中的起偏反射镜和补偿反射镜间隔设置。
在光路中可包括多组消偏振反射镜镜组，并且这些消偏振反射镜组的组与组之间可以连续设置，即除光路中的最后一组消偏振反射镜组外，每个消偏振反射镜镜组中的最后一面反射镜的反射光成为下一镜组中第一面起偏反射镜的入射光，入射光在经过多个镜组组成的消偏振反射镜反射后，最终反射光的强度可表达为 Ime＝I·ρ1sρ1p·Λ·ρisρip·Λ·ρesρep (15) 式中，ρisρip表示第i组镜组后光强变化系数，即尽管采用了e组镜组，但最终反射光的强度仍与入射光的偏振状态无关，并且这e组镜组组成的消偏振反射镜也不会给最终反射光带来附加偏振问题。
在光路中包括多组消偏振反射镜镜组时，其中的若干镜组中的起偏反射镜和补偿反射镜在光路中也可以间隔设置，组成消偏振反射镜组的起偏反射镜和补偿反射镜之间的光路上包括其它镜组中的起偏反射镜和/或补偿反射镜。这一点可以由式(15)看出，任意调换式(15)中的各系数间的位置，对最后的结果并没有影响。
当光路中设置多组镜组时，所有的起偏反射镜和补偿反射镜在光路中起至少起一次反射作用，如能巧妙布置光路，多对镜组中的若干面反射镜很有可能起到两次或多次反射作用，只要保证每次反射都在消偏振反射镜中发挥起偏反射或补偿反射的作用，入射光束经过消偏振反射镜的最终反射光强度中与入射光的偏振状态无关，多次反射也不会带来附加偏振。
本发明的技术方案还可进一步完善， 上述消偏振反射镜的镜组单组或多组使用，其中的若干组消偏振反射镜组中的第一面反射镜前或/和镜组的反射镜中或/和镜组的最后一面反射镜之后的光路上可以设置光学元件。在镜组中，规定第一面反射镜为起偏反射镜，而镜组中的其它一面或多面反射镜进一步发挥起偏作用的为起偏反射镜，或者发挥补偿作用的称为补偿反射镜，由于起偏反射镜和补偿反射镜可以间隔设置，因此此处以“反射镜”的概念来统称镜组中的起偏反射镜或补偿反射镜。由起偏反射镜上的反射带来的偏振可以通过补偿反射镜补偿或抵消，但在光路中的任意位置设置其它的光学元件可能引起的偏振问题不能通过消偏振反射镜组来解决。
作为上述的消偏振反射镜镜组的一个特例，消偏振反射镜组中的起偏反射镜的反射光直接入射补偿反射镜，起偏反射镜的光线入射角为45°的情况，此时，为满足消偏振反射镜组的条件，起偏反射镜所在平面和补偿反射镜所在平面的角度为60°或120°。设在单组消偏振反射镜组中，入射光以垂直向下的方向，入射与水平面成45°设置的起偏反射镜后反射光变为水平方向入射补偿反射镜，补偿反射镜垂直于水平面设置，且补偿反射镜的法线与起偏反射镜的法线在水平面上的投影成45°角关系，经过补偿反射镜的反射光与起偏反射镜的反射光呈90°角水平方向射出。
上述消偏振反射镜的镜组在使用时，所有的起偏反射镜和补偿反射镜可以是静止不动的。
上述消偏振反射镜的镜组在时，部分或全部的消偏振反射镜组的起偏反射镜或/和补偿反射镜也可以是运动的，在运动中的每一时刻每对消偏振反射镜组中的起偏反射镜和补偿反射镜的相对位置关系都满足上述消偏振反射镜组的关系。作为一个特例，起偏反射镜和补偿反射镜可以同轴同步旋转；或虽不同轴却在同一轴线上同步旋转。
上述的消偏振反射镜的反射镜是平面光学反射镜或同时具有透射和反射功能的分光镜或者是介质或者是其它具有反射功能的光学元件。
上述的消偏振反射镜中的反射镜包括玻璃基板，在玻璃基板上有一层用于镜面反射的反射膜，在反射膜的外侧有保护膜。在玻璃基板表面直接镀膜的方法可以有效减少玻璃对入射到反光镜的光束的吸收，提高反射镜的平均反射率，减小反射镜的p波和s波的反射率差值。
上述的反射镜也可以是如下结构包括在两层玻璃中间有一层用于镜面反射的反射膜，即依次是表面玻璃、反射膜、玻璃基板，表面玻璃、玻璃基板与反射膜之间通过胶粘接。
上述的反射镜也可以是如下结构包括表面玻璃和用于镜面反射的反射膜，反射膜通过胶粘接于表面玻璃的后面。
其它制造反射镜的现有技术也可用于本发明中的偏振依赖反射镜的反射镜。同时为达到更好的消偏振效果，尽量提高反射镜的性能，增加反射镜的平均反射率，减小反射镜的p波和s波的反射率差值。
本发明的消偏振反射镜的镜组中，所有起偏反射镜的s波和p波反射率比的乘积与所有补偿反射镜的s波与p波反射率比的乘积相等，作为一种技术方案，入射平面和补偿入射平面相互垂直，使得经过镜组的反射光光强与入射光的偏振状态无关，且镜组不会给反射带来附加偏振。在镜组由光学性能相同的各一面起偏反射镜和补偿反射镜组成的特例中，只要使起偏反射镜的光线入射角与补偿反射镜的光线入射角相等，起偏反射镜和补偿反射镜产生的偏振就可以相互补偿，与光线入射角的实际大小无关。镜组在光路中可单组或多组使用，只要每次消偏振反射镜中的每次反射都在镜组中发挥起偏或补偿作用，最终的反射光的偏振问题都能得到补偿或抵消。
本发明可以方便、有效地消除镜面反射带来的偏振问题，消偏振反射镜的反射率对入射光的偏振不敏感，并且经过消偏振反射镜后的反射光仍保持入射前的偏振状态。


附图1是自然光发生镜面反射时产生偏振的原理示意图； 附图2a是典型金属的p波和s波的反射率曲线； 附图2b是典型介质的p波和s波的反射率曲线； 附图3是本发明的一个实施例的示意图； 附图4是本发明的另一个实施例的示意图； 附图5是本发明的第三个实施例的示意图； 附图6是本发明的第四个实施例的示意图； 附图7是本发明的第五个实施例的示意图。
具体实施方式

实施例1 如图3所示的本发明的消偏振反射镜的一个实施例示意图，本实施例中的消偏振反射镜仅由一组镜组组成，即一面起偏反射镜1和一面补偿反射镜2。补偿反射镜2直接接收起偏反射镜1的反射光线束。起偏反射镜1与补偿反射镜2的光学性能相同，以起偏反射镜1的入射光5与起偏反射镜1的法线6所成的平面为起偏入射平面，以补偿反射镜2的入射光线7与补偿反射镜2的法线8所成的平面为补偿入射平面，起偏反射镜1的入射角度θ1和起偏入射平面确定后，补偿反射镜的方位可唯一确定如下起偏入射平面和补偿入射平面相互垂直，起偏反射镜的反射光线13与入射补偿反射镜2的法线之间的入射角θ2与θ1相等。
实施例2 如图4所示的本发明的消偏振反射镜组的另一个实施例示意图，本实施例与图2所示的实施例类似，在本实施例中，光线入射角为θ1为45°。入射光5以垂直向下的方向入射法线6与水平面成45°设置的起偏反射镜1后，反射光变为水平方向入射补偿反射镜2，补偿反射镜2垂直于水平面，且补偿反射镜的法线8与起偏反射镜的法线6在水平面上的投影成45°角关系，经过补偿反射镜2的反射光与起偏反射镜1的反射光呈90度角水平方向射出。此时，为满足消偏振反射镜组的条件，起偏反射镜1所在平面和补偿反射镜2所在平面间的角度为60°或120°。
实施例3 如图5所示的本发明的消偏振反射镜组的第三个实施例示意图。本发明消偏振反射镜的光路中仅包括一组镜组，该镜组由两面起偏反射镜1，3和一面补偿反射镜2。第一起偏反射镜1的反射光是第二起偏反射镜2的入射光，经过第二起偏反射镜2的光线又被反射到补偿反射镜2中。第一起偏反射镜1的入射光5和法线6组成的第一起偏入射平面和第二起偏反射镜2的入射光9和法线10组成的第二起偏入射平面相同，而起偏入射平面与第一补偿反射镜的入射光7和法线8组成的补偿入射平面相互垂直。
第一起偏反射镜1在入射角为θ1时的p波和s波反射率分别为ρ1p(θ1)和ρ1s(θ1)，第二起偏反射镜在入射角为θ2时的p波和s波反射率分别为ρ2p(θ2)和ρ2s(θ2)，补偿反射镜在入射角为θ3时的p波和s波反射率分别为ρ3p(θ3)和ρ3s(θ3)，它们之间的关系满足 实施例4 如图6所示的本发明的消偏振反射镜组的第四个实施例示意图。本发明消偏振反射镜的光路中包括两组镜组，每组镜组中都仅由一面起偏反射镜和一面补偿反射镜构成。第一起偏反射镜1和第一补偿反射镜2的光学性能相同，组成一个镜组；第二起偏反射镜3和第二补偿反射镜4的光学性能相同，组成一个镜组。两个镜组连续设置经过第一起偏反射镜1反射的光线入射第一补偿反射镜2，该光线又被第一补偿反射镜2反射到第二起偏反射镜3，经第二起偏反射镜3反射到第二补偿反射镜4后射出。
第一起偏反射镜1和第一补偿反射镜2的光学性能相同，第二起偏反射镜2和第二补偿反射镜3的光学性能相同；第一起偏反射镜1的入射光线束5与法线6组成的第一起偏入射平面和第一补偿反射镜2的入射光线束7与法线8组成的第一补偿入射平面相互垂直，并且第一起偏反射镜1的入射角度θ1和第一补偿反射镜2的入射角度θ2相等；第二起偏反射镜3的入射光线束9与法线10组成的第二起偏入射平面和第二补偿反射镜4的入射光线束11与法线12组成的第二补偿入射平面相互垂直，并且第二起偏反射镜3的入射角度θ3和第二补偿反射镜4的入射角度θ4相等；然而θ1却不一定和θ3相等。
实施例5 如图7所示的本发明的消偏振反射镜的第五个实施例示意图。本发明的消偏振反射镜中包括两组镜组，第一起偏反射镜1和第一补偿反射镜2的光学性能相同，组成一个镜组，第二起偏反射镜3和第二补偿反射镜4的光学性能相同，组成一个镜组。两个消偏振反射镜组中的起偏反射镜和补偿反射镜间隔设置经过第一起偏反射镜1反射的光线入射第二起偏反射镜3，该光线又被第二起偏反射镜3反射到第一补偿反射镜2，经第一补偿反射镜2反射到第二补偿反射镜4后射出。
第一起偏反射镜1的入射光线束5与法线6组成的第一起偏入射平面和第一补偿反射镜2的入射光线束7与法线8组成的第一补偿入射平面相互垂直，并且，第一起偏反射镜1的入射角度θ1和第一补偿反射镜2的入射角度θ2相等。第二起偏反射镜3的入射光线束9与法线10组成的第二起偏入射平面和第二补偿反射镜4的入射光线束11与法线12组成的第二补偿入射平面相互垂直，并且，第二起偏反射镜3的入射角度θ3和第二补偿反射镜4的入射角度θ4相等。然而θ1却不一定和θ3相等。
上述的四面反射镜1，2，3，4可以同轴同步旋转，旋转中仍保持两个镜组的相对位置关系，并且角度θ1和θ3保持不变。
权利要求
1.一种消偏振反射镜，其特征在于在光路中包括一面或一面以上起偏反射镜和一面或一面以上补偿反射镜组成的镜组，镜组中起偏反射镜的起偏入射平面和补偿反射镜的补偿入射平面相互垂直，所有起偏反射镜的s波反射率的乘积和p波反射率的乘积之比与所有补偿反射镜的s波反射率的乘积与p波反射率的乘积之比相等。
2.根据权利要求1所述的消偏振反射镜，其特征在于所述镜组中的起偏反射镜连续设置，镜组中的补偿反射镜连续设置。
3.根据权利要求1所述的消偏振反射镜，其特征在于所述镜组由一面起偏反射镜和一面补偿反射镜组成，起偏反射镜和补偿反射镜的光学性能相同，且起偏反射镜的光线入射角和消偏反射镜的光线入射角相等。
4.根据权利要求1所述的消偏振反射镜，其特征在于在光路中设置一组以上的多组镜组，镜组与镜组之间连续设置前一个镜组中最后一面反射镜的反射光是下一个镜组中第一面起偏反射镜的入射光。
5.根据权利要求1或2所述的消偏振反射镜，其特征在于在光路中设置一组以上的多组镜组，镜组间的起偏反射镜和补偿反射镜间隔设置在同一镜组的起偏反射镜和补偿反射镜之间的光路上，包含有其它若干镜组中的起偏反射镜或/和补偿反射镜。
6.根据权利要求1或2或3或4所述的消偏振反射镜，其特征在于所述的起偏反射镜和补偿反射镜在光路中反射一次或一次以上。
7.根据权利要求1或2或3或4所述的消偏振反射镜，其特征在于在消偏振反射镜的第一面反射镜前或/和镜组的反射镜之间或/和镜组的最后一面反射镜之后的光路上设置有若干其它光学元件。
8.根据权利要求1或2或3或4所述的消偏振反射镜，其特征在于所述镜组是运动着的起偏反射镜或/和运动着的补偿反射镜。
9.根据权利要求3所述的消偏振反射镜组，其特征在于所述起偏反射镜的光线入射角为45°，起偏反射镜所在平面和补偿反射镜所在平面的夹角为60°或120°。
10.根据权利要求1或2或3或4所述的消偏振反射镜组，其特征在于所述反射镜是平面光学反射镜或分光镜或具有反射功能的其它光学元件。
全文摘要
本发明公开了一种消偏振反射镜，包括安装在光路上的由至少一面起偏反射镜和至少一面补偿反射镜的镜组，起偏入射平面和补偿入射平面相互垂直，镜组中所有起偏反射镜的s波和p波反射率比的乘积与所有补偿反射镜的s波与p波反射率比的乘积相等；在光路中，镜组可以单组设置也可以多组设置。本发明可以方便、有效地消除镜面反射带来的偏振问题。
文档编号G02B17/06GK101334520SQ200810063060
公开日2008年12月31日 申请日期2008年7月8日 优先权日2008年7月8日
发明者潘建根 申请人:杭州远方光电信息有限公司