专利名称：防止光刻胶泄漏的装置和光刻胶输出装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及液体防泄漏技术，特别涉及 一 种防止光刻胶泄漏的装 置、以及一种光刻胶输出装置。
背景技术：
光刻胶是半导体制造过程中必不可少的材料，将光刻胶旋涂在半导体基 片，然后通过光刻版对光刻胶选择性曝光，再通过显影、清洗去除被感光部 分的光刻胶，即可使得旋涂的光刻胶中形成与光刻版中图案对应的沟槽。后 续的离子注入、刻蚀等工艺，都是基于光刻胶形成的沟槽来实现的。
现有的光刻胶旋涂工艺是在流水线中完成的，由如图l所示的光刻胶输
出装置将液态光刻胶输出至旋涂机(Coater)，再由旋涂机将光刻胶连续旋 涂在流水线中传递的各半导体基片表面。
参见图1，现有光刻胶输出装置包括光刻胶导管11、氮气导管12、 储液瓶13、瓶盖14、以及塑料包装袋15。其中，塑料包装袋15内收容有 光刻胶，且塑料包装袋15放置于储液瓶13内；瓶盖14罩在储液瓶13的瓶 口，光刻胶导管11的输入端在对应塑料包装袋15入口的位置穿过瓶盖14 伸入至储液瓶13中的塑料包装袋15内、直至塑料包装袋15的底部，氮气 导管12的输出端则在对应塑料包装袋15入口之外的其他任意位置穿过瓶盖 14伸入在储液瓶13内、但位于塑料包装袋15外。
这样，将大量氮气从氮气导管12充入至储液瓶13内，充入至储液瓶 13内的大量氮气自塑料包装袋15的外部挤压塑料包装袋15,即可使得塑料 包装袋15内部的光刻胶从自光刻胶导管11的输入端输出至光刻胶导管11 内、并最终输出至旋涂机(图1中未示出)。
5当塑料包装袋15内部的光刻胶全部输出、即塑料包装袋15内变为空时，无论如何对其挤压都不会再有光刻胶输出至旋涂机，此时，流水线就会报警。在流水线报警时，就需要流水线操作员手工更换储液瓶13，具体操作为将光刻胶导管ll、氮气导管12连同瓶盖14一起，从塑料包装袋15为空的储液瓶13中拔出，再插入至内部塑料包装袋装满光刻胶的另一个储液瓶。其中，每一储液瓶在使用之前其瓶口都由遮光薄膜密封，而光刻胶导管11和氮气导管12位于瓶盖14下方的部分均为硬塑料管，可直接刺破遮光薄膜分别插入在塑料包装袋之内和之外。
在上述更换储液瓶13的过程中，参见图2，由于光刻胶导管11被拔出，因而残留在光刻胶导管11内的液态光刻胶会从光刻胶导管11的输入端泄漏。而光刻胶是一种对人体有毒害的物质，泄漏出的光刻胶会对流水线操作员的健康造成损害、且污染环境。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提供了一种防止光刻胶泄漏的装置、以及一种光刻胶输出装置，能够防止光刻胶输出装置更换储液瓶时泄漏光刻胶。
本实用新型提供的一种防止光刻胶泄漏的装置，包括第一导管、储液容器、以及抽气装置，其中，
所述储液容器的入口与所述废液导管的一端导通，所述废液导管的另一端与光刻胶输出装置的第二导管导通；
且，所述储液容器还具有一开口 ，该开口与所述抽气装置的入气口导通、
一位置。
所述防止光刻胶泄漏的装置进一步包括具有一路输入和两路输出的三
通；
所述第一导管的所述另一端与所述三通的一路输出相连；所述第二导管包括前段和后段，所述前段和后段分别与所述三通的一路输入和另一路输出相连。
所述光刻胶输出装置还具有一储液瓶，该储液瓶的瓶口罩有一瓶盖；且，所述防止光刻胶泄漏的装置进一步包括装设于所述瓶盖朝向储液瓶
瓶口一侧的光传感器，且所述光传感器表示感测到光亮的信号输出端与所述
抽气装置的启动控制端电连接。
所述第 一导管为半透明或透明材料的塑料软管；
且，所述防止光刻胶泄漏的装置进一步包括气泡传感器，所述气泡传感器套接于所述第一导管外壁，且所述气泡传感器表示无气泡的信号输出端与所述抽气装置的关闭控制端电连接。
所述储液容器进一步设有排放其内部液体的阀门，该阀门与废液排放管道导通。
所述预设第 一位置为所述储液容器的顶部或侧壁的上部。本实用新型提供的一种光刻胶输出装置，包括第三导管、第四导管、储液瓶、瓶盖、以及塑料包装袋，其中，
所述塑料包装袋内收容有光刻胶，且所述塑料包装袋放置于所述储液瓶
内；
所述瓶盖罩在储液瓶的瓶口 ，所述第三导管的输入端穿过所述瓶盖伸入至所述塑料包装袋内，所述第四导管的输出端穿过所述瓶盖伸入在所述储液瓶内、所述塑料包装袋外；
该装置还包括第五导管、储液容器、以及抽气装置，其中，
所述储液容器的入口与所述第五导管的一端导通，所述第五导管的另一端与所述第三导管导通；
且，所述储液容器还具有一开口 ，该开口与所述抽气装置的入气口导通、并位于能够避免所述储液容器内部的液体被抽入至所述抽气装置的预设第二位置。
该装置进一步包括具有一路输入和两路输出的三通；所述第三导管包括前段和后段，所述前段和后段分别与所述三通的一路
7输入和一^各输出相连；
所述第五导管的所述另一端与所述三通的另一路输出相连。
该装置进一 步包括装设于所述瓶盖朝向储液瓶瓶口 一侧的光传感器，所
述光传感器表示感测到光亮的信号输出端与所述抽气装置的启动控制端电连接。
所述第五导管为半透明或透明材料的塑料软管；
且，所述装置进一步包括气泡传感器，所述气泡传感器套接于所述第五导管外壁，且所述气泡传感器表示无气泡的信号输出端与所述抽气装置的关闭控制端电连"l妄。
所述储液容器进一步设有排放其内部液体的阀门，该阀门与废液排放管道导通。
所述预设第 一 位置为所述储液容器的顶部或侧壁的上部。由上述技术方案可见，本实用新型将储液容器的入口通过废液导管与光刻胶输出装置的光刻胶导管导通，并利用将储液容器上部与抽气装置的入气口导通，因此，当塑料包装袋内为空时，将光刻胶输出装置的光刻胶导管、氮气导管连同瓶盖一起从塑料包装袋为空的储液瓶中拔出，同时开启抽气装置，使得残留在光刻胶导管内壁的液态光刻胶在气流的带动下，依次经光刻胶导管和废液导管流入至储液容器内部，从而不会自光刻胶导管的输入端泄漏，进而避免了泄漏出的光刻胶对流水线操作员的健康损害、并消除了泄漏出的光刻胶对污染的环境。
图1为现有光刻胶输出装置的结构示意图。
图2为现有光刻胶输出装置更换储液瓶时的示意图。
图3为本实用新型防止光刻胶泄漏的装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本实用新型进一步详细说明。
如图3所示，本实用新型中防止光刻胶泄漏的装置包括废液导管31、储液容器32、以及抽气装置33。
储液容器32为密封罐、其入口与废液导管31的一端导通，而废液导管31的另一端与如图1所示的现有光刻胶输出装置的光刻胶导管11导通。较佳地，为了实现废液导管31的另一端与现有光刻胶输出装置的光刻胶导管11导通，在本实施例中可以进一步设置具有一路输入和两路输出的三通(该三通在图3中未示出、且该三通的一路输入和两路输出是由其内部的单向阀决定的)，并将光刻胶导管11分为前段111和后段112。其中，前段111的输入端插入至储液瓶中的塑料包装袋底部、输出端则连接三通的 一路输入；后段112的输入端连接该三通的一路输出、输出端则连接至旋涂机；废液导管31用于与光刻胶导管11连接的另 一端，则与三通的另 一路输出相连。当然，也可通过本领域技术人员所熟知的其他方式来实现上述导通，在此不再一一赘述。
且，储液容器32上部还具有一开口，该开口与抽气装置33的入气口导通。其中，本实施例中所述的抽气装置33可以是抽气泵等各种具有抽气功能的设备。
这样，当塑料包装袋内为空时，将光刻胶导管ll、氮气导管12连同瓶盖14 一起从塑料包装袋为空的储液瓶中拔出，同时，通过手工或任意一种自动控制方式开启抽气装置33，使得密封的储液容器32内的气压小于外部的大气气压，因而外部空气会从光刻胶导管11的输入端流入，使得残留在光刻胶导管11内壁的液态光刻胶在气流的带动下，依次经光刻胶导管11和废液导管31流入至储液容器32内部，而不会自光刻胶导管的输入端泄漏。
需要说明的是，储液容器32与抽气装置33入气口导通的开口位于上部，这是为了避免从废液导管31流入储液容器32内并沉积在储液容器32底部的残留液态光刻胶被抽入至抽气装置33内，这里所述的上部可以是如图所示的储液容器32顶部、也可以是储液容器32侧壁的上部，只要保证该开口位于储液容器32内的液面上方即可。当然，为了进一步保证从废液导管31流入储液容器32的残留光刻胶不会被吸入至抽气装置33内，还可以将废液导管31伸入至储液容器32内、直至储液容器32底部。
如上所述，抽气装置33可以通过自动控制方式开启，对此，本实施例提供了如下实现方式进一步设置一现有的光传感器(图3中未示出)，该光传感器装设于光刻胶输出装置的瓶盖14下方、即瓶盖14朝向储液瓶的一侧，且光传感器表示感测到光亮的信号输出端与抽气装置33的启动控制端电连接(该电连接的连接关系在图3中未示出)。
由于每一储液瓶的瓶口都由遮光薄膜密封，因而将瓶盖14扣在储液瓶瓶口后，由于遮光薄膜和瓶盖14本身的遮光特性，装设于瓶盖14下方的光传感器无法检测到光亮；当光刻胶导管11、氮气导管12连同瓶盖14 一起从储液瓶中拔出时，光传感器会立即感测到光亮，并产生表示感测到光亮的信号输出至抽气装置33的启动控制端、控制抽气装置33启动。
相应地，在完成储液瓶更换后也可以通过手工或自动控制方式关闭抽气装置33。对于抽气装置33通过自动控制方式关闭，本实施例提供了如下实现方式利用透明或半透明材料的塑料软管作为废液导管31,并进一步设置一基于光学原理的现有气泡传感器34，将该气泡传感器34套接于废液导管31外壁，且该气泡传感器34表示无气泡的信号输出端与抽气装置33的关闭控制端电连接(该电连接的连接关系在图3中未示出)。
当残留在光刻胶导管11内壁的液态光刻胶随气流经过废液导管31时，液态光刻胶内掺杂有气体，此时，气泡传感器34能够根据透射至半透明或透明的废液导管31外的光折射率，判断出废液导管31内存在气泡；而当储液罐更换完毕后，塑料包装袋内部的光刻胶会充满光刻胶导管11,且由于抽气装置33仍然在工作，因而充满光刻胶导管11的光刻胶随后会充满废液
10导管31，此时，气泡传感器34能够根据透射至半透明或透明的废液导管31外的光折射率的变化，判断出废液导管31内无气泡并产生表示无气泡的信号输出至抽气装置33的关闭控制端，控制抽气装置22关闭，此后，由于抽气装置33停止工作，密封储液容器32内的气压保持与外部大气气压一至，因而进入光刻胶导管11内的光刻胶不会流入至废液导管31内、而是直接由光刻胶导管11的输出端输出至旋涂机。
需要说明的是，如果不采用如上方式实现抽气装置33通过自动控制方式的关闭，则无需废液导管31半透明或透明。但为了在光刻胶导管ll、氮气导管12连同瓶盖14一起从塑料包装袋为空的储液瓶中拔出后，便于光刻胶导管11、氮气导管12和瓶盖14的移动，利用塑料软管作为废液导管31更为方4更。
此外，在多次更换储液瓶后，会有较多的液态光刻胶沉积在储液容器32内、甚至有可能充满储液容器32内的全部空间，此时，就需要排放沉积在储液容器32内的光刻胶。对于本领域技术人员均可获知，在现有半导体加工流水线中均设置有废液排放管路，因此，本实施例中，在储液容器32的中部或下部进一步通过一能够排放储液容器内部液体的阀门(图3中未示出)连接至废液排放管道。这样，当流水线运转时，关闭该阀门、以保证储液容器32的密封性；而当流水线停止运转时，即可打开阀门排放沉积在储液容器32内的液态光刻胶。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换以及改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1、一种防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，该装置包括第一导管、储液容器、以及抽气装置，其中，所述储液容器的入口与所述废液导管的一端导通，所述废液导管的另一端与光刻胶输出装置的第二导管导通；且，所述储液容器还具有一开口，该开口与所述抽气装置的入气口导通、并位于能够避免所述储液容器内部的液体被抽入至所述抽气装置的预设第一位置。
2、 如权利要求1所述的防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，所述防 止光刻胶泄漏的装置进一步包括具有一路输入和两路输出的三通；所述第一导管的所述另一端与所述三通的一路输出相连； 所述第二导管包括前段和后段，所述前段和后段分别与所述三通的一路 输入和另一路输出相连。
3、 如权利要求1或2所述的防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，所 述光刻胶输出装置还具有一储液瓶，该储液瓶的瓶口罩有一瓶盖；且，所述防止光刻胶泄漏的装置进一步包括装设于所述瓶盖朝向储液瓶 瓶口一侧的光传感器，且所述光传感器表示感测到光亮的信号输出端与所述 抽气装置的启动控制端电连接。
4、 如权利要求1或2所述的防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，所 述第一导管为半透明或透明材料的塑料软管；且，所述防止光刻胶泄漏的装置进一步包括气泡传感器，所述气泡传感 器套接于所述第一导管外壁，且所述气泡传感器表示无气泡的信号输出端与 所述抽气装置的关闭控制端电连接。
5、 如权利要求1或2所述的防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，所 述储液容器进一步设有排放其内部液体的阀门，该阀门与废液排放管道导 通。
6、 如权利要求1或2所述的防止光刻胶泄漏的装置，其特征在于，所 述预设第 一 位置为所述储液容器的顶部或侧壁的上部。
7、 一种光刻胶输出装置，包括第三导管、第四导管、储液瓶、瓶盖、 以及塑料包装袋，其中，所述塑料包装袋内收容有光刻胶，且所述塑料包装袋放置于所述储液瓶内；所述瓶盖罩在储液瓶的瓶口 ，所述第三导管的输入端穿过所述瓶盖伸入 至所述塑料包装袋内，所述第四导管的输出端穿过所述瓶盖伸入在所述储液 瓶内、所述塑料包装袋外；其特征在于，该装置还包括第五导管、储液容器、以及抽气装置，其中，所述储液容器的入口与所述第五导管的一端导通，所述第五导管的另一 端与所述第三导管导通；且，所述储液容器还具有一开口 ，该开口与所述抽气装置的入气口导通、二位置。
8、 如权利要求7所述的装置，其特征在于，该装置进一步包括具有一 路输入和两路输出的三通；所述第三导管包括前段和后段，所述前段和后段分别与所述三通的一路 输入和一^各输出相连；所述第五导管的所述另一端与所述三通的另一路输出相连。
9、 如权利要求7或8所述的装置，其特征在于，该装置进一步包括装 设于所述瓶盖朝向储液瓶瓶口一侧的光传感器，所述光传感器表示感测到 光亮的信号输出端与所述抽气装置的启动控制端电连接。
10、 如权利要求7或8所述的装置，其特征在于，所述第五导管为半透 明或透明材料的塑料软管；且，所述装置进一步包括气泡传感器，所述气泡传感器套接于所述第五导管外壁，且所述气泡传感器表示无气泡的信号输出端与所述抽气装置的关 闭控制端电连接。
11、 如权利要求7或8所述的装置，其特征在于，所述储液容器进一步 设有排放其内部液体的阀门，该阀门与废液排放管道导通。
12、 如权利要求7或8所述的装置，其特征在于，所述预设第二位置为 所述储液容器的顶部或侧壁的上部。
专利摘要本实用新型公开了一种防止光刻胶泄漏的装置、以及一种包括防止光刻胶泄露装置的光刻胶输出装置。本实用新型中防止光刻胶泄露的装置包括废液导管、储液容器、以及抽气装置，其中，所述储液容器的入口与所述废液导管的一端导通，所述废液导管的另一端与光刻胶输出装置的光刻胶导管导通；且，所述储液容器还具有一与所述抽气装置的入气口导通的开口。这样，当塑料包装袋内为空时，将光刻胶输出装置的光刻胶导管、氮气导管连同瓶盖一起从塑料包装袋为空的储液瓶中拔出，同时开启抽气装置，使得残留在光刻胶导管内壁的液态光刻胶在气流的带动下，依次经光刻胶导管和废液导管流入至储液容器内部，从而不会自光刻胶导管的输入端泄漏。
文档编号G03F7/16GK201266302SQ20082012301
公开日2009年7月1日 申请日期2008年10月14日 优先权日2008年10月14日
发明者任亚然 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司