专利名称：多光源感光油墨曝光机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多光源感光油墨曝光机。
背景技术：
曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的 复杂的半导体加工设备，在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电 子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一 定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。目前，现有的曝光机都 是在工件正上方设有单独光源，下方有单独光源，即传统的曝光机只能针对平面工件表面 进行曝光。如对立体工件表面感光油墨曝光时，则会在工件侧面出现曝光死角，导致产品质 量不合格。因此，单光源曝光机无法对立体工件进行曝光，只能针对平面工件进行曝光。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种多光源感光油墨曝光机，在对立体工件表面感光油 墨曝光时，不留曝光死角，使曝光技术可应用于立体工件。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现一种多光源感光油墨曝光机，包括底座、工作台和曝光室，所述工作台固定在底座 的顶端，工作台的中部设有凹槽，凹槽的内部设有滑轨，滑轨上设有曝光平台，曝光平台由 相互扣合的顶盖和支座构成，支座与顶盖活动连接，支座和顶盖的前端相对位置处均固定 把手，所述曝光室固定在工作台的顶端，曝光室的底面、四个内侧面以及相邻两内侧面的夹 角处均设有光源。本实用新型的有益效果为在工件上部的东、南、西、北、东南、东北、西南、西北等 各方向根据立体工件的形状，加装多处光源，使立体工件在曝光时，所有侧面均有光源直接 照射，不留曝光死角，使曝光技术可应用于立体工件。
下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。图1是本实用新型实施例所述的多光源感光油墨曝光机的结构示意图。图中1、底座；2、工作台；3、曝光室；4、凹槽；5、滑轨；6、曝光平台；7、顶盖；8、支座；9、 把手；10、光源。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型实施例所述的一种多光源感光油墨曝光机，包括底座1、 工作台2和曝光室3，所述工作台2固定在底座1的顶端，工作台2的中部设有凹槽4，凹槽 4的内部设有滑轨5，滑轨5上设有曝光平台6，曝光平台6由相互扣合的顶盖7和支座8构成，支座8与顶盖7活动连接，支座8和顶盖7的前端相对位置处均固定把手9，所述曝光室 3固定在工作台2的顶端，曝光室3的底面、四个内侧面以及相邻两内侧面的夹角处均设有 光源10。 具体使用时，将曝光平台6沿滑轨5拉出，打开曝光平台6，放入工件，合上曝光平 台6并将其内部抽成真空，使工件紧紧包裹在曝光平台6中，将曝光平台6推入曝光室3，打 开光源10，开始曝光，曝光完毕后拉出曝光平台6，取出工件。由于在曝光的过程中，在工件 上部的东、南、西、北、东南、东北、西南、西北等各方向根据立体工件的形状，加装多处光源， 使立体工件在曝光时，所有侧面均有光源直接照射，不留曝光死角，使曝光技术可应用于立 体工件。
权利要求一种多光源感光油墨曝光机，包括底座(1)、工作台(2)和曝光室(3)，所述工作台(2)固定在底座(1)的顶端，工作台(2)的中部设有凹槽(4)，凹槽(4)的内部设有滑轨(5)，滑轨(5)上设有曝光平台(6)，曝光平台(6)由相互扣合的顶盖(7)和支座(8)构成，支座(8)与顶盖(7)活动连接，支座(8)和顶盖(7)的前端相对位置处均固定把手(9)，其特征在于所述曝光室(3)固定在工作台(2)的顶端，曝光室(3)的底面、四个内侧面以及相邻两内侧面的夹角处均设有光源(10)。
专利摘要本实用新型涉及一种多光源感光油墨曝光机，包括底座、工作台和曝光室，所述工作台固定在底座的顶端，工作台的中部设有凹槽，凹槽的内部设有滑轨，滑轨上设有曝光平台，曝光平台由相互扣合的顶盖和支座构成，支座与顶盖活动连接，支座和顶盖的前端相对位置处均固定把手，所述曝光室固定在工作台的顶端，曝光室的底面、四个内侧面以及相邻两内侧面的夹角处均设有光源。本实用新型的有益效果为在工件上部的东、南、西、北、东南、东北、西南、西北等各方向根据立体工件的形状，加装多处光源，使立体工件在曝光时，所有侧面均有光源直接照射，不留曝光死角，使曝光技术可应用于立体工件。
文档编号G03F7/20GK201732247SQ20102024082
公开日2011年2月2日 申请日期2010年6月29日 优先权日2010年6月29日
发明者沈再清 申请人:三轴电子(苏州)有限公司