压电致动器以及透镜镜筒的制作方法

专利名称：压电致动器以及透镜镜筒的制作方法
技术领域：
本发明涉及压电致动器以及透镜镜筒。本申请基于2009年3月31日在日本申请的特愿2009-084113号以及特愿 2009-084114号主张优先权，在此援引其内容。
背景技术：
以往，使用了压电元件压电致动器(驱动装置)已广为人知。作为这种压电致动器，例如，下面的专利文献1公开了通过驱动多个压电元件来使与被驱动体接触的芯片部件进行椭圆运动，由此驱动被驱动体的压电致动器。下面专利文献1中记载的压电致动器在设定了 CTZ直角坐标系的情况下，通过与芯片部件的)(Z平面平行的椭圆运动来向X轴方向驱动被驱动体。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2007-236138号公报

发明内容
发明要解决的问题但是，在上述以往的压电致动器中存在无法将不同的两个方向的振动作为各自独立的振动来取出的问题。在上述专利文献1中，由于无法将芯片部件的X轴方向和Z轴方向的振动作为各自独立的振动来取出，因此存在多个压电元件妨碍相互运动的可能性。如果被驱动成多个压电元件妨碍相互的运动，则驱动被驱动体的压电致动器的输出下降。本发明的方式的目的在于提供能够将不同的两个方向的振动作为各自独立的振动来取出的压电致动器以及使用该压电致动器的透镜镜筒。用于解决问题的手段本发明的一种方式涉及的压电致动器具备多个第一压电元件；第一部件，被上述多个第一压电元件的相互相向的面夹住，由上述多个第一压电元件向第一方向驱动；第二压电元件，设置于上述第一部件；第二部件，与上述第二压电元件接触设置，由上述第二压电元件向与上述第一方向交叉的第二方向驱动；以及第三部件，与上述第二部件抵接，通过上述第二部件被驱动，而相对于上述第一部件相对移动。本发明的其他方式涉及的透镜镜筒具备上述压电致动器。发明效果根据本发明的方式涉及的压电致动器，能够将不同的两个方向的振动作为各自独立的振动来取出。


图1是本发明的一实施方式涉及的压电致动器的主视图。
图2是上述压电致动器的截面图。图3是图1所示的压电致动器的支撑驱动部的立体图。图4是上述支撑驱动部的俯视图。图5A是上述压电致动器的保持部以及驱动挡块的组装主视图。图5B是上述保持部以及上述驱动挡块的主视图。图6A是上述压电致动器的电路图。图6B是上述压电致动器的电路图。图7是上述压电致动器的电源部供给电压的时序图。图8是表示上述压电致动器的驱动挡块的动作的主视图。图9是表示上述驱动挡块的动作的主视图。图10是表示上述驱动挡块的动作的主视图。图11是表示图1所示的压电致动器的驱动挡块的前端部的位移的时间变化的图表。图12是具备上述压电致动器的透镜镜筒的分解立体图。图13A是表示上述压电致动器的变形例的保持部以及驱动挡块的主视图。图1 是表示上述压电致动器的其他变形例的保持部以及驱动挡块的主视图。图14是表示上述压电致动器的驱动挡块的前端部的位移的时间变化的图表。图15是表示上述驱动挡块的前端部的位移的时间变化的图表。图16是表示上述压电致动器的驱动挡块的前端部、支撑部以及压电元件的位移的时间变化的图表。图17A是表示上述压电致动器的驱动挡块以及底部的凸部的动作的主视图。图17B是表示上述压电致动器的驱动挡块以及底部的凸部的动作的主视图。图17C是表示上述压电致动器的驱动挡块以及底部的凸部的动作的主视图。图17D是表示上述压电致动器以及驱动挡块以及底部的凸部的动作的主视图。附图标记说明1:压电致动器；Ia 支撑驱动部(构造体)；2:底部(第四部件)；3 驱动挡块；3a:前端部(第二部件)；3b 基部(第一部件)；4:转动体(第三部件)；5:支撑轴(旋转轴)；6:第一压电元件；7:第二压电元件；10 电源部；31 驱动挡块(第一组)；31a:前端部(第一组)；31b:基部(第一组)；
32 驱动挡块(第二组)；32a:前端部(第二组)；32b基部(第二组)；
61 凍--压电元件(第--组)
62 凍--压电元件(第二二组)
71 A-Ap — 丨弟—二压电元件(第--组)
72 A-Ap — 丨弟—二压电元件(第二二组)
100可换透镜(透镜镜筒)R 旋转方向。
具体实施例方式下面，参照

本发明的一实施方式涉及的压电致动器。本实施方式的压电致动器(驱动装置)1用于例如通过进行使转动体等第一部分和驱动挡块等第二部分相对位移的相对驱动来驱动相机的透镜镜筒等光学设备、电子设备。图1是本实施方式的压电致动器1的主视图，图2是其截面图。如图1以及图2所示，压电致动器1具备设置有多个保持部加的底部(第四部件)2、被保持部加保持的驱动挡块3、与驱动挡块3相邻配置的转动体(第三部件)4、和插通于底部2的支撑轴5。底部2例如由不锈钢等金属材料形成为中空圆筒状，并通过插通支撑轴5而设置成围绕支撑轴5。转动体4经由轴承fe被支撑轴5所支撑(轴支撑)，并以支撑轴5为旋转轴而自由旋转地设置。在转动体4的外周面例如形成有用于驱动相机的透镜镜筒等的齿轮4a。转动体4的底部2侧的面被多个驱动挡块3所支撑。底部2的一端部例如通过未图示的螺栓等固定在安装部IOla上。在底部2的与安装部IOla相向的面的中央部形成有凹部2b。在凹部2b插入(嵌入)有在支撑轴5的基端所形成的扩径部如。通过在该状态下将底部2固定到安装部101a，支撑轴5被固定到底部2以及安装部101a。在底部2的另一端部、在底部2的圆周方向即转动体4的旋转方向R上设置有多个凹状的保持部加。保持部加从垂直于支撑轴5且沿着转动体4的旋转方向R的方向(第二方向)的两侧支撑驱动挡块3，并且将驱动挡块3保持成可在与支撑轴5平行的方向(第一方向)上述驱动。如图2所示，底部2的侧面2c与支撑轴5大致平行地设置。在侧面2c的保持部 2a和安装部IOla侧的端部之间形成有作为抑制从安装部IOla到保持部加的振动传递的振动抑制部的、槽部2d。S卩，槽部2d设置在与大致垂直于支撑轴5且沿转动体4的旋转方向R的方向(第二方向)交叉的底部2的侧面2c上。槽部2d连续设置于底部2的轴方向， 并设置在与保持部加和安装部IOla侧的端部的中间相比靠近安装部IOla侧的端部的位置。槽部2d的深度dl例如为底部2的半径rl的40%以上且80%以下的范围。上述数值只不过是一例，不限定于此。槽部2d的深度例如可以为底部2的半径r 1的10 %、20 %、30%、40%、50%、60%、70%、80%、或者90%。另外，与支撑轴5平行方向(第一方向)的槽部2d的宽度wl形成为大于底部2的振动振幅、且大于由后述的第一压电元件6、第二压电元件7、驱动挡块3以及底部2构成的支撑驱动部(构造部)Ia的共振振动振幅。在一例中，槽部2d的宽度wl可以小于底部2的半径。如图2所示，在底部2和支撑轴5之间设置有用于抑制从安装部IOla到保持部加的振动的间隙(振动抑制部)2e。间隙2e设置在与支撑轴5平行方向上、从底部2的保持部加侧的端部到与槽部2d的安装部IOla侧的边缘相同的位置。另外，间隙2e的宽度w2 与槽部2d的宽度wl相同地形成为大于底部2的振动振幅、且大于后述的支撑驱动部Ia的共振振动振幅。图3是图1所示的压电致动器1的支撑驱动部Ia的立体图，图4是其俯视图。如图3以及图4所示，驱动挡块3具有截面具有山形的六角柱形状的前端部(第二部件)3a、和具有大致长方体形状的基部(第一部件)3b。前端部3a例如由不锈钢等形成。基部北例如由轻金属合金等形成。基部北通过保持部加支撑为可在与支撑轴5平行的方向上驱动。前端部3a支撑从支撑部加突出的转动体4。前端部3a设置有相对于接触面Sl倾斜的倾斜面S2、S3。倾斜面S2、S3沿着与转动体4被旋转驱动的方向交叉的方向设置。倾斜面S2、S3与前端部3a的接触面Sl连续地被设置，以便前端部3a的平行于与转动体4接触的接触面Sl的截面积成为越接近转动体4 越小的前端狭窄状的形状。即，前端部3a成为与转动体4接触的接触面Sl的面积小于基部北侧的底面的面积的、前端狭窄状的形状。倾斜面S2、S3也可以为凹状或凸状的曲面。如图4所示，在驱动挡块3的宽度w3方向(第二方向)设置有两对从宽度w3方向的两侧夹住驱动挡块3的基部北的一对第一压电元件6、6。驱动挡块3的宽度方向w3 是垂直于支撑轴5且沿着转动体4的旋转方向R的方向，并且在底部2的俯视中为与中心线CL大致垂直的方向。第一压电元件6形成为沿着保持部加的深度d2方向延伸的细长的长方形的形状，夹持于基部北和保持部加之间。由此，第一压电元件6配置在设置于底部2的槽部2d(参照图1以及图2)和转动体4之间。第一压电元件6例如通过导电型的粘接剂粘接在驱动挡块3的基部北和保持部 2a上。另外，配置在与通过底部2的中心的中心线CL大致平行的驱动挡块3的进深pi方向上的两个第一压电元件6、6相互大致平行。各第一压电元件6的形状以及尺寸均大致相同。如图3所示，在驱动挡块3的基部北和前端部3a之间相互大致平行地设置有一对第二压电元件7、7。第二压电元件7形成为与驱动挡块3的宽度w3方向大致平行地延伸的细长的长方形状。第二压电元件7夹持于前端部3a的底面和基部北的上表面之间，例如通过导电性粘接剂与前端部3a的底面和基部北的上表面粘接。各第二压电元件7的形状以及尺寸均大致相同。第一压电元件6以及第二压电元件7例如由锆钛酸铅(PZT)形成，其振动模式为厚度切变振动(thickness-shear vibration)。即，第一压电元件6将驱动挡块3向与支撑轴5大致平行的保持部加的深度d2方向对于底部2相对驱动。第二压电元件7将驱动挡块3的前端部3a向驱动挡块3的宽度w3方向(第三方向)对于基部北以及底部2相对驱动。即，在本实施方式中，第一压电元件6夹住驱动挡块3的方向(第二方向)和第二压
7电元件7驱动驱动挡块3的前端部3a的方向(第三方向)大致相同。通过这些多个第一压电元件6、第二压电元件7、驱动挡块3以及底部2构成支撑驱动部la，该支撑驱动部Ia支撑转动体4且与驱动挡块3以及底部2相对地驱动转动体 4。如图3所示，保持部加设置在底部2的端部。在底部2形成有王冠状的凹凸。如图4所示，保持部加大致每隔60°均等地形成在底部2的圆周方向上。保持部加具备在俯视中与通过底部2的中心的中心线CL大致平行地设置的一对支撑面2f、2f。支撑面2f 以从与底部2的中心线CL大致垂直的保持部加的宽度w4方向(第二方向)的两侧经由一对第一压电元件6、6夹住驱动挡块3的基部北的方式保持驱动挡块3的基部北。换言之， 底部2具有设置在轴方向的一端侧的圆周壁。圆周壁具有在圆周方向上隔开间隔而配置的多个槽(保持部加)、和分别配置在相邻的槽之间的多个凸起(凸部》i、2i、第四部件)。在本实施方式中，圆周壁具有实质上等间隔(约60°间距)配置的六个槽(保持部加)、和实质上等间隔(约60°间距)配置的六个凸起(凸部》i、2i)。各槽(保持部2a)包括沿着放射方向的中心线CL、和实质上平行于中心线CL的两个支撑面(凸起2h、2i的圆周方向的壁面2f)。凸起的内侧面窄于外侧面。在本实施方式中，凸起具有宽度沿着径方向内侧逐渐变窄的横截面。在各槽(保持部加)中配置有驱动挡块3。驱动挡块3经由第一压电元件 6夹持于相邻的凸起(凸部》i、2i)之间并被支撑。在其他实施方式中，圆周壁可以具有以约60°以外的间距配置的多个槽，另外，可以具有以约60°以外的间距配置的多个凸起。图5A是放大了保持部加以及驱动挡块3的组装主视图，图5B是放大了保持部加以及驱动挡块3的主视图。如图5A以及图5B所示，设置于底部2的凹状的保持部加的支撑面2f设置成相对于与图2所示支撑轴5大致平行的保持部加的深度d2方向(第一方向)倾斜。支撑面2f倾斜成自被图1所示的驱动挡块3的前端部3a所支撑的转动体4的距离越远，相向的支撑面2f、2f彼此的间隔逐渐变窄。换言之，保持部加越靠近底面2g，宽度 w4越窄。根据各部件的尺寸、公差等的关系，支撑面2f相对于保持部加的深度d2方向的倾斜角α优选为2°以上6°以下。在本实施方式中，支撑面的倾斜角α为4°。另外，如图5Α以及图5Β所示，与支撑面2f相向的驱动挡块3的基部北的侧面与支撑面2f相同地设置成相对于与支撑轴5大致平行的驱动挡块3的高度hi方向(第一方向)倾斜。由此，驱动挡块3的基部北的侧面设置成大致平行于支撑面2f。在此，基部北的保持部加的底面2g侧的端部中的基部北以及一对第一压电元件6、6的宽度w5，小于保持部加的开口部的宽度w4、且大于保持部加的深度d2方向途中的宽度w4’。因此，如果将驱动挡块3的基部北以及一对第一压电元件6、6保持于保持部2a， 则如图5B所示，在驱动挡块3的底面3d和保持部加的底面2g相分离的状态下，基部北从保持部加的宽度w4方向的两侧经由一对第一压电元件6、6被支撑面2f所支撑。S卩，支撑面2f设置成从保持部加的宽度w4方向(第二方向)的两侧支撑驱动挡块3，并且相对于深度d2方向倾斜，以便能够在与支撑轴5大致平行的保持部加的深度d2方向(第一方向)上进行定位。如图3以及图4所示，本实施方式的驱动挡块3在前端部3a和基部北之间具备一对第二压电元件7、7，在基部北的侧面具备两对成对的第一压电元件6、6。压电致动器1具备第一组以及第二组这两组驱动挡块3的组，该驱动挡块3的组中驱动挡块3以及两对第一压电元件6、6分别具备三份。第一组驱动挡块31和第二组驱动挡块32配置在相同的圆周上。另外，各组驱动挡块31、32各自均等地配置在转动体4的旋转方向R上。不同组的驱动挡块31、32交替(依次)地配置在旋转方向R上。另外，为了使各组的驱动挡块31、32在初始状态下所有的接触面Sll、S12与转动体4接触，而设置成从底部2到接触面Sll、S12的高度均等。在以下的说明中，在不区分不同组的驱动挡块31、32的情况下，将这些的附图标记记为驱动挡块3，合并两者而进行说明。对于前端部31a、32a、基部31b、32b、接触面S11、 S12等也相同，说明为前端部3a、基部北、接触面Sl等。图6A是第一压电元件6的示意性的配线图，图6B是第二压电元件7的示意性的配线图。如图6A以及图6B所示，本实施方式的压电致动器1具备向第一压电元件6以及第二压电元件7的各自供给电压的电源部10。电源部10向第一压电元件6以及第二压电元件7供给电压，使得图3以及图4所示的第一组以及第二组各自的驱动挡块31、32的前端部31a、3h依次重复与图1以及图2所示的转动体4的接触、向转动体4的旋转方向R 的进给、从转动体4的分离、与转动体4的旋转方向R相反方向的返回。如图6A所示，第一组的驱动挡块31的各个所具备的第一压电元件61经由第一配线11与电源部10的第一端子Tl连接。第二组的驱动挡块32的各个所具备的第一压电元件62经由第二配线12与电源部10的第二端子T2连接。如图6B所示，第一组的驱动挡块31的各个所具备的第二压电元件71经由第三配线13与电源部10的第三端子T3连接。第二组的驱动挡块32的各个所具备的第二压电元件72经由第四配线14与电源部10的第四端子T4连接。另外，虽然在图6A以及图6B中省略图示，但驱动挡块31、32的基部3lb、32b被接地。图7是电源部10在各端子T1、T2、T3、T4产生的电压的时序图的一例。如图7所示，电源部10对第一端子Tl，在第一相位至第二相位之间产生-1. OV的电压，在第三相位至第七相位的五个相位中产生1. OV的电压，在第八相位至第十相位的三个相位中产生-1. OV的电压。在以后的相位中重复在五个相位期间产生1. OV的电压，且在三个相位期间产生-1. OV的电压。S卩，电源部10对第一端子产生八个相位为一个周期的电压。电源部10对第二端子T2产生与对第一端子Tl产生的电压具有180°的相位差且与产生于第一端子Tl的电压相同的以八个相位为一个周期的电压。即，产生于第一端子的电压和产生于第二端子的电压具有半个周期量的四个相位的相位差。电源部10对第三端子T3，在第一相位中产生的电压维持在0V，在第二相位中产生-3. OV的电压，在第三相位至第八相位中的各相位中将电压各增加1. 0V。在以后的相位中，重复该第一相位至第八相位的电压产生图案。即，电源部10对第三端子T3产生以八个相位为一个周期的电压。电源部10对第四端子T4产生与对第三端子T3产生的电压具有180°的相位差且与产生于第三端子T3的电压相同的以八个相位为一个周期的电压。即，产生于第三端子的电压和产生于第四端子的电压具有半个周期量的四个相位的相位差。在本实施方式中，电源部10向第一压电元件6以及第二压电元件7供给的电压频率与由第一压电元件6、第二压电元件7、驱动挡块3以及底部2构成的支撑驱动部(构造部)Ia的共振振动的振动频率大致相同。接着，下面使用图8至图11说明本实施方式的压电致动器1的作用。图8至图10是表示第一组和第二组的驱动挡块31、32的动作、和转动体4的动作的放大主视图。图11是表示第一组以及第二组的驱动挡块32的前端部32a的各轴方向的位移、 和时间t的关系的图表。在图11的(a)以及图11的(b)中，用虚线表示在Y轴方向上的与转动体4的接触位置yl。图8的(a)至图10的(a)中，使用将沿着转动体4的旋转方向R的第一组驱动挡块3的宽度w31方向(第二方向)作为Xl方向、且将平行于支撑轴5的方向(第一方向) 作为Y方向直角坐标系进行说明。在图8的(b)至图10的(b)中，使用将沿着转动体4的旋转方向R的第二组驱动挡块32的宽度w32方向(第二方向)作为X2方向、且将平行于支撑轴5的方向(第一方向)作为Y方向的直角坐标系进行说明。(第零相位)如图7所示，电源部10在第零相位中对各端子T1、T2、T3、T4不产生电压(OV)，为对图6Α以及图6Β所示的第一压电元件6以及第二压电元件供给OV的电压(即，不供给电压)的状态。如图8的(a)以及图8的(b)所示，在第零相位中，第一组的驱动挡块31和第二组的驱动挡块32分别以其前端部31a、32a的上表面与转动体4接触的状态静止。转动体 4以被驱动挡块31、32的前端部31a、32b所支撑的状态静止。(第一相位)如图7所示，在第一相位中，电源部10对第一端子Tl产生-1. OV的电压，并经由第一配线向图6A所示的第一组驱动挡块31的第一压电元件61供给电压。另外，如图7所示，电源部10在第一相位中，将第三端子T3的电压维持于0V，并经由第二配线12向图6B 所示的第一组驱动挡块31的第二压电元件71供给OV的电压。如果这样，则如图8的(a)所示，在第一相位中，驱动第一组驱动挡块31的第一压电元件61厚度切变变形，而使驱动挡块31的基部31b相对于保持部加的支撑面2f向Y 方向的底部2侧(Y轴负方向侧)移动(参照图11的(a)、第一相位)。另外，如图8的(a) 所示，在第一相位中第二压电元件71不变形。因此，前端部31a不向Xl方向移动(参照图 11的(c)、第一相位)。由此，驱动挡块31的前端部31a向Y轴负方向侧移动而从转动体4 分离。如图7所示，在第一相位中，电源部10对第二端子T2产生1. OV的电压，并经由第二配线对图6A所示的第二组驱动挡块32的第一压电元件62供给电压。另外，如图7所示， 在第一相位中，电源部10将第四端子T4的电压维持在0V，并经由第四配线对图6B所示的第二组驱动挡块32的第二压电元件72供给OV的电压。如果这样，则如图8的(b)所示，在第一相位中，驱动第二组驱动挡块32的第一压电元件62厚度切变变形，从而使驱动挡块32的基部32b相对于保持部加的支撑面2f向Y方向的转动体4侧(Y轴正方向侧)移动(参照图11的(b)、第一相位)。另外，如图8的 (b)所示，在第一相位中，第二压电元件72不变形。因此，前端部3 不向X2方向移动(参照图11的(d)、第一相位)。由此，通过驱动挡块32向Y轴正方向侧移动，前端部3 将转动体4向Y轴正方向侧顶起。S卩，在第一相位中，如图8的(a)所示，第一组驱动挡块31的前端部31a向Y轴负方向侧移动而从转动体4分离。与此同时，如图8的(b)所示，第二组驱动挡块32的前端部3 与转动体4抵接而支撑转动体4，并且将转动体4向Y轴正方向侧顶起。(第二相位)如图7所示，在第二相位中，电源部10将第一端子Tl的电压维持在-1. 0V,并且维持经由第一配线11对图6A所示的第一组驱动挡块31的第一压电元件61供给的电压。另外，如图7所示，在第二相位中，电源部10对第三端子T3产生-3. OV的电压，并经由第三配线13对图6B所示的第一组驱动挡块31的第二压电元件71供给电压。如果这样，则如图8的(a)所示，在第二相位中，维持将第一组的驱动挡块31向Y 方向驱动的第一压电元件61的变形而维持前端部31a从转动体4分离的状态(参照图11 的(a)、第二相位)。在此状态下，如图8的(a)所示，在第二相位中，第二压电元件71厚度切变变形。因此，前端部31a相对于基部31b以及底部2向Xl轴负方向侧移动(参照图11 的(c))。此时的前端部31a的移动量与供给到第二压电元件71的电压的绝对值成比例。如图7所示，在第二相位中，电源部10将第二端子T2的电压维持在1. 0V，并维持经由第二配线12对图6A所示的第二组的驱动挡块32的第一压电元件62供给的电压。另外，如图7所示，在第二相位中，第二电源部10对第四端子T4产生1. OV的电压，并经由第四配线14对图6B所示的第二组的驱动挡块32的第二压电元件72供给电压。如果这样，则如图8的(b)所示，在第二相位中，维持将第二组的驱动挡块32向Y 方向驱动的第一压电元件62的变形，从而维持前端部3a与转动体4接触的状态(参照图 11的(b)，第二相位)。在此状态下，如图8的(b)所示，在第二相位中，第二压电元件72厚度切变变形。因此，前端部3 相对于基部32b以及底部2向X2轴正方向侧移动(参照图 11的(d)、第二相位)。此时的前端部32a的移动量与电压的绝对值成比例，因此小于第一组的前端部31a的向X轴负方向侧的移动量。S卩，在第二相位中，如图8的(b)所示，通过第二组的驱动挡块32的前端部32a向 X2轴正方向侧移动，摩擦力作用于前端部3 的上表面和转动体4的下表面之间。在此，如图3以及图4所示，第二组的驱动挡块32沿着转动体4的旋转方向R配置在底部2的圆周方向上。另外，前端部32a向沿着转动体4的旋转方向R的、驱动挡块32的宽度w32方向 (X2方向)位移。因此，转动体4由驱动挡块32的前端部32a向旋转方向R驱动而开始以图1以及图2所示的支撑轴5为中心的旋转。(第三相位)如图7所示，在第三相位中，电源部10对第一端子Tl产生正负翻转的1. OV的电压，并经由第一配线11对图6A所示的第一组的驱动挡块31的第一压电元件61供给电压。 另外，如图7所示，在第三相位中，电源部10对第三端子T3产生-2. OV的电压，并经由第三配线13对图6B所示的第一组的驱动挡块31的第二压电元件71供给电压。如果这样，则如图8的(a)所示，在第三相位中，驱动第一组的驱动挡块31的第一压电元件61向反方向厚度切变变形，从而使驱动挡块31的基部31b向Y轴正方向侧移动(参照图11 (a)、第三相位)。与此同时，如图8的(a)所示，在第三相位中，第二压电元件71的向Xl轴负方向侧的变形量减少。因此，前端部31a相对于基部31b以及底部2向 Xl轴正方向侧移动(参照图11的(c)、第三相位)。此时的移动量与在第三相位中新供给的-2. OV和在第二相位中供给的-3. OV的电压差成比例。如图7所示，在第三相位中，电源部10维持第二端子T2的电压，并维持经由第二配线12对图6A所示的第二组的驱动挡块32的第一压电元件62供给的电压。另外，如图7 所示，在第三相位中，电源部10对第四端子T4产生2. OV的电压，并经由第四配线14对图 6B所示的第二组的驱动挡块32的第二压电元件72供给电压。如果这样，则如图8的(b)所示，在第三相位中，维持驱动第二组的驱动挡块32的第一压电元件62的变形而维持前端部3 与转动体4接触的状态(参照图11的(b)、第三相位)。在此状态下，如图8的(b)所示，在第三相位中，第二压电元件72厚度切变变形。 因此，前端部3 相对于基部32b以及底部2向X2轴正方向侧移动(参照图11的(d)、第三相位)。此时的移动量与在第三相位中新供给的2. OV和在第二相位中供给的1. OV的电压差的绝对值成比例。S卩，在第三相位中，如图8的(a)所示，第一组的驱动挡块31的前端部31a向沿着转动体4的旋转方向R的Xl轴正方向侧移动的同时，向Y轴正方向侧移动而靠近转动体4。 同时，如图8的(b)所示，第二组的驱动挡块32的前端部32a与转动体4抵接而支撑转动体4的同时，与第一组的驱动挡块31相同地向旋转方向R驱动转动体4。(第四相位)如图7所示，在第四相位中，电源部10将第一端子Tl的电压维持在1. 0V,并维持经由第一配线11对图6A所示的第一组的驱动挡块31的第一压电元件61供给的电压。另外，如图7所示，在第四相位中，电源部10对第三端子T3产生-1. OV的电压，并经由第三配线13对图6B所示的第一组的驱动挡块31的第二压电元件71供给电压。如图这样，则如图9的(a)所示，在第四相位中，将第一组的驱动挡块31向Y轴正方向侧驱动的第一压电元件61的变形继续，而前端部31a与转动体4抵接(参照图11 (a)、 第四相位)。与此同时，如图9的(a)所示，在第四相位中，第二压电元件71的向X轴负方向侧的变形量减少。因此，前端部31a相对于基部31b以及底部2向Xl轴正方向侧移动 (参照图11的(C)、第四相位)。此时的移动量与在第四相位中新供给的-1. OV和在第三相位中供给的-2. OV的电压差的绝对值成比例。如图7所示，在第四相位中，电源部10对第二端子T2产生正负翻转的-1. OV的电压，经由第二配线12对图6A所示的第二组的驱动挡块32的第一压电元件62供给电源。另外，如图7所示，在第四相位中，电源部10对第四端子T4产生3. OV的电压，并经由第四配线14对图6B所示的第二组的驱动挡块32的第二压电元件72供给电压。如果这样，则如图9的(b)所示，在第四相位中，驱动第二组的驱动挡块32的第一压电元件62向反方向厚度切变变形，而使驱动挡块32的基部32b向Y轴负方向侧移动 (参照图11的(b)，第四相位)。与此同时，如图9的(b)所示，在第四相位中，第二压电元件72的向X2轴正方向侧的变形量增加。因此，前端部3 相对于基部32b以及底部2向 X2轴正方向侧移动(参照图11的(d)、第四相位)。此时的移动量与在第四相位中新供给的3. OV和第二相位中供给的2. OV的电压差的绝对值成比例。S卩，在第四相位中，如图9的(a)所示，第一组的驱动挡块31的前端部31a向沿着转动体4的旋转方向R的Xl轴正方向侧移动的同时与转动体4抵接，从而支撑转动体4而使其向旋转方向R驱动。与此同时，如图9的(b)所示，第二组的驱动挡块32的前端部32a 向沿着转动体4的旋转方向R的X2轴正方向侧移动的同时，向Y轴负方向侧移动而从转动体4分离。由此，转动体4由第一组以及第二组的驱动挡块31、32的前端部31a、32a向旋转方向R驱动。与此同时，转动体4从第二组的驱动挡块32的前端部3 传递至第一组的驱动挡块31的前端部31a。此时，如图11的(a)以及图11的(b)所示，在第四相位中存在双方的驱动挡块31、 32从转动体4分离极短的时间的情况。即使在这种情况下，转动体4也由于其惯性而几乎不向Y轴方向位移而停留在被第二组的驱动挡块32的前端部3 所支撑的位置。因此，转动体4维持Y方向的大致一定的位置，在向旋转方向R被驱动的状态下，由第一组的驱动挡块31的前端部31a在Y方向上支撑，并向旋转方向R驱动。由此，转动体4在Y方向的大致一定的位置以支撑轴5为中心继续旋转。(第五相位)如图7所示，在第五相位中，电源部10将第一端子Tl的电压维持在1. 0V,并且维持经由第一配线11对图6A所示的第一组的驱动挡块31的第一压电元件61供给的电压。 另外，如图7所示，在第五相位中，电源部10将产生于第三端子T3的电压设为0V，并将经由第三配线13对图6B所示的第一组的驱动挡块31的第二压电元件71供给的电压设为0V。如果这样，则如图9的(a)所示，在第五相位中，维持将第一组的驱动挡块31向Y 方向驱动的第一压电元件61的变形而维持前端部31a与转动体4接触的状态(参照图11 的(a)、第五相位)。在此状态下，如图9的(a)所示，在第五相位中，第二压电元件71恢复到原来的形状。因此，前端部31a相对于基部31b以及底部2向Xl轴正方向侧移动(参照图11的(c)、第五相位)。此时的前端部31a的移动量与在第四相位中供给至第二压电元件71的电压的绝对值成比例。如图7所示，在第五相位中，电源部10将第二端子T2的电压维持在-1. 0V，并且维持经由第二配线12对图6A所示的第二组的驱动挡块32的第一压电元件62供给的电压。 另外，如图7所示，在第五相位中，电源部10将产生于第四端子T4的电压设为0V，并将经由第四配线14对图6B所示的第二组的驱动挡块32的第二压电元件72供给的电压设为0V。如果这样，则如图9的(b)所示，在第五相位中，将第二组的驱动挡块32向Y方向驱动的第一压电元件62的变形继续，而前端部3 进一步从转动体4分离(参照图11(b)、 第五相位)。与此同时，如图9的(b)所示，在第五相位中第二压电元件72恢复到原来形状。因此，前端部3 相对于基部32b以及底部2向X2轴负方向侧移动(参照图11(d)、第五相位)。此时的前端部3 的移动量与在第四相位中供给至第二压电元件72的电压的绝对值成比例。S卩，在第五相位中，如图9的9(a)所示，第一组的驱动挡块31的前端部31维持与转动体4抵接的状态，支撑转动体4的同时向Xl轴正方向侧移动，向旋转方向R驱动转动体4。与此同时，如图9的(b)所示，第二组的驱动挡块32的前端部32a向Y轴负方向侧移动，维持从转动体4分离的状态的同时，相对于基部32b以及底部2向与转动体4的旋转方向R相反的X2轴负方向侧移动。(第六相位)如图7所示，在第六相位中，电源部10将第一端子Tl的电压维持在1. 0V,并维持经由第一配线11对图6A所示的第一组的驱动挡块31的第一压电元件61供给的电压。另外，如图7所示，在第六相位中，电源部10对第三端子T3产生1. OV的电压，经由第三配线 13对图6B所示的第一组的驱动挡块31的第二压电元件71供给电压。如果这样，则如图9的(a)所示，在第六相位中，维持将第一组的驱动挡块31向Y 方向驱动的第一压电元件61的变形，并且维持前端部31a与转动体4接触的状态(参照图 11的(a)、第六相位)。在此状态下，如图9的(a)所示，在第六相位中，第二压电元件71厚度切变变形。因此，前端部31a相对于基部31b以及底部2向Xl轴正方向侧移动(参照图 11的(c)、第六相位)。此时的移动量与在第六相位中新供给的电压的绝对值成比例。如图7所示，在第六相位中，电源部10将第二端子T2的电压维持在-1. 0V,维持经由第二配线12对图6A所示的第二组的驱动挡块32的第一压电元件62供给的电压。另外，如图7所示，在第六相位中，电源部10对第四端子T4产生-3. OV的电压，经由第四配线 14对图6B所示的第二组的驱动挡块32的第二压电元件72供给电压。如果这样，则如图9的(b)所示，在第六相位中，维持将第二组的驱动挡块32向Y 方向驱动的第一压电元件62的变形，从而维持前端部3 从转动体4分离的状态(参照图 11的(b)、第六相位)。在此状态下，如图9的(b)所示，在第六相位中，第二压电元件72厚度切变变形。因此，前端部3 相对于基部32b以及底部2向X2轴负方向侧移动(参照图 11的(d)、第六相位)。此时的前端部32a的移动量与供给至第二压电元件72的电压的绝对值成比例。S卩，如图9的(a)所示，在第六相位中，第一组的驱动挡块31的前端部31a维持与转动体4抵接的状态，支撑转动体4的同时向Xl轴正方向侧移动，而向旋转方向R驱动转动体4。与此同时，如图9的(b)所示，第二组的驱动挡块32的前端部3 维持从转动体4 分离的状态的同时，相对于基部32b以及底部2进一步向与转动体4的旋转方向R相反的 X2轴负方向侧移动。(第七相位)如图7所示，在第七相位中，电源部10将第一端子Tl的电压维持在1. 0V，维持经由第一配线11对图6A所示的第一组的驱动挡块31的第一压电元件61供给的电压。另外，如图7所示，在第七相位中，电源部10对第三端子T3产生2. OV的电压，经由第三配线 13对图6B所示的第一组的驱动挡块31的第二压电元件71供给电压。如果这样，则如图9的(a)所示，在第七相位中，维持驱动第一组的驱动挡块31的第一压电元件61的变形而维持前端部31a与转动体4接触的状态(参照图11 (a)、第七相位)。在此状态下，如图9的(a)所示，在第七相位中，第二压电元件71厚度切变变形。因此，前端部31a相对于基部31b以及底部2向Xl轴正方向侧移动(参照图11的(c)、第七相位)。此时的移动量与在第七相位中新供给的2. OV和在第六相位中供给的1. OV的电压差的绝对值成比例。如图7所示，在第七相位中，电源部10对第二端子T2产生正负翻转的1. OV的电压，经由第二配线12对图6A所示的第二组的驱动挡块32的第一压电元件62供给电压。另外，如图7所示，在第七相位中，电源部10对第四端子T4产生-2. OV的电压，经由第四配线 14对图6B所示的第二组的驱动挡块32的第二压电元件72供给电压。如果这样，则如图9的(b)所示，在第七相位中，驱动第二组的驱动挡块32的第一压电元件62向反方向厚度切变变形而向Y轴正方向侧移动驱动挡块32的基部32b (参照图11的(b)、第七相位)。与此同时，如图9的(b)所示，在第七相位中，第二压电元件72的向X2轴负方向侧的变形量减少。因此，前端部3 相对于基部32b以及底部2向X2轴正方向侧移动(参照图11的(d)、第七相位)。此时的移动量与在第七相位中新供给的-2. OV 和在第六相位中供给的-3. OV的电压差的绝对值成比例。S卩，在第七相位中，如图9的(a)所示，第一组的驱动挡块31的前端部31a维持与转动体4抵接的状态，支撑转动体4的同时向旋转方向R驱动转动体4。与此同时，如图9 的(b)所示，第二组的驱动挡块32的前端部32a向沿着转动体4的旋转方向R的X2轴正方向侧移动的同时，向Y轴正方向侧移动而靠近转动体4。(第八相位)如图7所示，在第八相位中，电源部10对第一端子Tl产生正负翻转的-1. OV的电压，并经由第一配线11对图6A所示的第二组的驱动挡块32的第一压电元件62供给电压。 另外，如图7所示，在第八相位中，电源部10对第三端子T3产生3. OV的电压，经由第三配线13对图6B所示的第二组的驱动挡块32的第二压电元件72供给电压。如果这样，则如图10的(a)所示，在第八相位中，驱动第一组驱动挡块31的第一压电元件61向反方向厚度切变变形，向Y轴负方向侧移动驱动部3的基部3b (参照图11 的(a)、第八相位)。与此同时，如图10的(a)所示，在第八相位中，第二压电元件71的向 Xl轴正方向侧的变形量增加。因此，前端部31a相对于基部31b以及底部2向Xl轴正方向侧移动(参照图11的(C)、第八相位)。此时的移动量与在第八相位中新供给的3. OV和在第七相位中供给的2. OV的电压差的绝对值成比例。如图7所示，在第八相位中，电源部10将第二端子T2的电压维持在1. 0V,并维持经由第二配线12对图6A所示的第二组的驱动挡块32的第一压电元件62供给的电压。另外，如图7所示，在第八相位中，电源部10对第四端子T4产生-1.0V的电压，经由第四配线 14对图6B所示的第二组的驱动挡块32的第二压电元件72供给电压。如果这样，则如图10的(b)所示，在第八相位中，将第二组的驱动挡块32向Y方向驱动的第一压电元件62的变形继续，而前端部32a与转动体4抵接(参照图11的(b)、 第八相位)。与此同时，如图10的(b)所示，在第八相位中，第二压电元件72的向X2轴负方向侧的变形量减少。因此，前端部3 相对于基部32b以及底部2向X2轴正方向侧移动 (参照图11的(d)、第八相位)。此时的移动量与在第八相位中新供给的-1.0V和在第七相位中供给的-2. OV的电压差的绝对值成比例。S卩，在第八相位中，如图10的(a)所示，第一组的驱动挡块31的前端部31a向沿着转动体4的旋转方向R的Xl轴正方向侧移动的同时，向Y轴负方向侧移动而从转动体4 分离。与此同时，如图10的(b)所示，第二组的驱动挡块32的前端部32a向沿着转动体4 的旋转方向R的X2轴正方向侧移动的同时，与转动体4抵接，支撑转动体4而向旋转方向R 驱动。由此，转动体4由第一组以及第二组的驱动挡块31、32的前端部31a、32a向旋转方向R驱动。与此同时，转动体4从第一组的驱动挡块31的前端部31a传递至第二组的驱动挡块32的前端部32a。此时，如图11的(a)以及图11的(b)所示，在第八相位中，存在双方的驱动挡块 31、32从转动体4分离极短的时间的情况。即使在这种情况下，转动体4也由于其惯性而几乎不向Y轴方向位移，而停留在被第一组的驱动挡块31的前端部31a所支撑的位置。因此，转动体4维持Y方向的大致一定的位置，在向旋转方向R被驱动的状态下，由第二组的驱动挡块32的前端部3 在Y方向上支撑，并向旋转方向R驱动。由此，转动体4在Y方向的大致一定的位置以支撑轴5为中心继续旋转。(第九相位)如图7所示，在第九相位中，电源部10将第一端子Tl的电压维持在-1. 0V,维持经由第一配线11对图6A所示的第一组的驱动挡块31的第一压电元件61供给的电压。另外，如图7所示，在第九相位中，电源部10将产生于第三端子T3的电压设为0V，并将经由第三配线13对图6B所示的第一组的驱动挡块31的第二压电元件71供给的电压设为0V。如果这样，则如图10的(a)所示，在第九相位中，将第一组的驱动挡块31向Y方向驱动的第一压电元件61的变形继续，而前端部31a从转动体4进一步分离(参照图11 的(a)、第九相位)。与此同时，如图10的(a)所示，在第九相位中，第二压电元件71恢复到原来形状。因此，前端部31a相对于基部31b以及底部2向Xl轴负方向侧移动(参照图 11的(c)、第九相位)。此时的前端部31a的移动量与在第八相位中供给至第二压电元件7 的电压的绝对值成比例。如图7所示，在第九相位中，电源部10将第二端子T2的电压维持在1. 0V,并维持经由第二配线12对图6A所示的第二组的驱动挡块32的第一压电元件62供给的电压。另外，如图7所示，在第九相位中，电源部10将产生于第四端子T4的电压设为0V，并将经由第四配线14对图6B所示的第二组的驱动挡块32的第二压电元件72供给的电压设为0V。如果这样，则如图10的(b)所示，在第九相位中，维持将第二组的驱动挡块32向Y 方向驱动的第一压电元件62的变形而维持前端部32a与转动体4接触的状态(参照图11 的(b)、第九相位)。在此状态下，如图10的(b)所示，在第九相位中，第二压电元件72恢复到原来的形状。因此，前端部3 相对于基部32b以及底部2向X2轴正方向侧移动(参照图11的(d)、第九相位)。此时的前端部32a的移动量与在第八相位中供给至第二压电元件72的电压的绝对值成比例。S卩，在第九相位中，如图10的(a)所示，第一组的驱动挡块31的前端部31a向Y轴负方向侧移动而维持从转动体4分离的状态的同时，向与转动体4的旋转方向R相反的Xl 轴负方向侧移动。与此同时，如图10的(b)所示，第二组的驱动挡块32的前端部3 维持与转动体4抵接的状态而支撑转动体4的同时，向沿着转动体4的旋转方向R的Xl轴正方向侧移动而将转动体4向旋转方向R驱动。(第十相位)如图7所示，在第十相位中，电源部10将第一端子Tl的电压维持在-1.0V，并维持经由第一配线11对图6A所示的第一组的驱动挡块31的第一压电元件61供给的电压。另外，如图7所示，在第十相位中，电源部对第三端子T3产生-3. OV的电压，经由配线13对图 6B所示的第一组的驱动挡块31的第二压电元件71供给电压。如果这样，则如图10的(a)所示，在第十相位中，维持将第一组的驱动挡块31向Y方向驱动的第一压电元件61的变形，维持前端部31a从转动体4分离的状态(参照图11 的(a)、第十相位)。在此状态下，如图10的(a)所示，在第十相位中，第二压电元件71厚度切变变形。由此，前端部31a相对于基部31b以及底部2向Xl轴负方向侧移动(参照图 11的(c)、第十相位)。此时的前端部31a的移动量与供给至第二压电元件71的电压的绝对值成比例。如图7所示，在第十相位中，电源部10将第二端子T2的电压维持在1. 0V,并维持经由第二配线12对图6A所示的第二组的驱动挡块32的第一压电元件62供给的电压。另外，如图7所示，在第十相位中，电源部10对第四端子T4产生1. OV的电压，并经由第四配线14对图6B所示的第二组的驱动挡块32的第二压电元件72供给电压。如果这样，则如图10的(b)所示，在第十相位中，维持将第二组的驱动挡块32向Y 方向驱动的第一压电元件62的变形而维持前端部32a与转动体4接触的状态(参照图11 的(b)、第十相位)。在此状态下，如图10的(b)所示，在第十相位中，第二压电元件72厚度切变变形。因此，前端部3 相对于基部32b以及底部2向X2轴正方向侧移动(参照图 11的(d)、第十相位)。此时的移动量与在第十相位中新供给的电压的绝对值成比例。S卩，在第十相位中，如图10的(a)所示，第一组的驱动挡块31的前端部31a维持从转动体4分离的状态的同时，相对于基部31b以及底部2向Xl轴负方向侧进一步移动。 与此同时，如图10的(b)所示，第二组的驱动挡块32的前端部3 维持与转动体4抵接的状态而支撑转动体4的同时，向沿着转动体4的旋转方向的X2轴正方向侧移动而将转动体 4向旋转方向驱动。第十一相位以后，重复进行与从上述的第三相位至第十相位为止的动作相同的动作，从而转动体4继续旋转。由此，通过第一组驱动挡块31的前端部31a和前端部3a和第二组的驱动挡块32的前端部32a，交替(依次)进行转动体4的Y轴方向的支撑以及旋转防线R的驱动，转动体4继续围绕支撑轴5旋转。本实施方式的压电致动器1分别独立地设置有将各驱动挡块3向与支撑轴5平行的方向(第一方向)驱动的第一压电体6、和将驱动挡块3的前端部3a向沿着转动体4 的旋转方向R的驱动挡块3的宽度w3方向(第二方向)驱动的第二压电元件7。因此，能够将各个方向的振动作为独立的振动来取出。因此，通过驱动挡块3旋转转动体4而相对驱动转动体4和驱动挡块3时，与现有技术相比能够稳定地旋转转动体4。另外，与夹住基部北的第一压电元件6向相互不同的方向驱动基部北的情况相比，不容易产生损失，能够提高能量效率，从而能够加大压电致动器1的输出。另外，第一压电元件6从宽度w3方向夹住驱动挡块3的基部北，第一压电元件6 向与宽度《3方向不同的与支撑轴5平行的方向驱动驱动挡块3。另外，夹住基部北的一对第一压电元件6、6的尺寸以及形状大致相等。由此，能够使驱动挡块3的宽度w3方向的刚性变得均等。因此，能够抑制驱动挡块3的基部北的宽度w3方向振动。另外，通过将所有的第一压电元件6以及第二压电元件7设为相同的形状以及尺寸，使制造变得容易，从而能够提高生产率。此外，在底部2设置有以能够向与支撑轴5平行的方向驱动的方式保持驱动挡块3 的保持部2a。在保持部加设置有从驱动挡块3的宽度w3方向支撑驱动挡块3的基部北的支撑面2f。因此，可通过支撑面2f支撑第一压电元件6，并经由第一压电元件6从宽度 3方向支撑驱动挡块3的基部北。由此，能够进一步提高驱动挡块3的宽度w3方向的刚性，能够抑制驱动挡块3的基部北的宽度w3方向的振动。在此，第一压电元件6的厚度方向的弹性模量(纵弹性模量)大于变形方向的弹性模量(横弹性模量)。另外，第二压电元件7的厚度方向的弹性模量(纵弹性模量)也大于变形方向的弹性模量(横弹性模量)。因此，能够提高驱动挡块3的宽度w3方向的刚性，并降低基部北的驱动方向的刚性。由此，能够防止基部北的宽度w3方向的移动而抑制振动。另外，能够使基部北的驱动方向的位移变得容易。在此，本实施方式的驱动挡块3在各前端部3a设置有倾斜面S2、S3，并设置成与前端部3a的接触面Sl平行的截面积越靠近转动体4就越小的前端狭窄状。因此，即使在研磨接触面Sl的情况下、接触面Sl经时间而被磨损的情况下，与未设置倾斜面S2、S3的情况相比，也能够抑制驱动挡块3的体积的减少。因此，能够使驱动挡块3的质量减少变得最小，能够将支撑驱动部Ia的固有振动频率的变动降低到能够忽视的程度。由此，能够将支撑驱动部Ia继续在共振状态下驱动，从而能够长时间维持压电致动器1的高输出。另外，如图5A以及图5B所示，保持部加的支撑面2f相对于与驱动轴3的支撑轴 5平行的方向倾斜设置，从转动体4分离而越靠近保持部加的底面2g，支撑面2f、2f彼此的宽度《4越窄。另外，支撑面2f、2f彼此的宽度w4’与底面2g相比在转动体4侧窄于驱动挡块3的基部北和一对第一压电元件6的宽度w5。因此，如果将驱动挡块3的基部北和夹住其的第一压电元件6、6从转动体4侧沿着与支撑轴5平行的方向插入到保持部加的底面2g侧，则在支撑面2f的途中，基部北和第一压电元件6从宽度w4方向被支撑面2f夹住并支撑。由此，能够将驱动挡块3定位到与支撑轴5平行的方向。另外，支撑面2f不限制驱动挡块3的向转动体4侧的驱动，因此能够保持成可将驱动挡块3向转动体4侧驱动。另外，与支撑面2f相向的驱动挡块3的基部北的侧面3c与支撑面2f相同地倾斜而与支撑面2f大致平行地设置。因此，在将驱动挡块3的基部北和夹住该基部北的第一压电元件6、6从转动体4侧沿着与支撑轴5平行的方向插入到保持部加的底面2g侧时， 使第一压电元件6和保持部加的支撑面2f无间隙地接触，而能够将第一压电元件6压接到支撑面2f。由此，能够抑制驱动挡块3的基部北的宽度w3方向的振动。另外，支撑面2f相对于与支撑轴5平行的方向的倾斜角α为2°以上6°以下， 因此能够将与驱动挡块3的支撑轴5平行的方向上的定位误差纳入到容许误差的范围。在此，如果倾斜角α小于2°，则不仅定位精度下降而且制作困难。另外，如果倾斜角α大于 6°，则对与驱动挡块3的支撑轴5平行的方向上的驱动产生坏影响。在本实施方式中，通过将倾斜角α设为4°，能够使定位精度、制作性以及驱动性变得良好。另外，在驱动挡块3被保持部加的支撑面2f定位的中立位置上，驱动挡块3的基部北的底面3d和保持部加的底面2g在驱动挡块3的基部北的驱动方向即与支撑轴5 平行的方向上分离。因此，能够将驱动挡块3从中立位置向底部2侧驱动。再有，在本实施方式中，在将驱动挡块3从中立位置向底部2侧驱动时，基部北的底面3d和保持部加的底面2g分离。因此，防止在将驱动挡块3向底部2侧驱动时基部北的底面3d和保持部加的底面2g碰撞，能够防止在驱动挡块3的驱动中因碰撞产生坏影响。
另外，驱动挡块3具备支撑转动体4而使其向旋转方向R驱动的前端部3a、和以被一对第一压电元件6所夹住的状态被底部2的保持部加所保持的基部北。再有，驱动挡块 3在前端部3a和基部北之间具备第二压电元件7，其将前端部3a向沿着转动体4的旋转方向R的保持部加以及驱动挡块3的宽度w3方向驱动。因此，通过将驱动挡块3向宽度w3方向驱动，旋转方向R的切线方向的摩擦力作用于转动体4的下面和驱动挡块3的前端部3a之间，从而能够将转动体4向旋转方向R驱动。另外，能够将第一压电元件6以及第二压电元件7分别独立地控制。由此，能够独立地控制驱动挡块3的前端部3a的沿着支撑轴5的方向的驱动、和沿着转动体4的旋转方向R 的方向的驱动。另外，使第一压电元件6以及第二压电元件7同时动作，从而能够同时进行驱动挡块3的前端部3a的沿着支撑轴5的方向的驱动、和沿着转动体4的旋转方向R的方向的驱动。因此，如图8至图10所示，转动体4和前端部3a接触时以及分离时，使驱动挡块 3的前端部3a沿着转动体4的旋转方向R移动，从而不妨碍转动体4的旋转而能够进行转动体4的从第一组的驱动挡块31向第二组的驱动挡块32的传递。另外，构成了第一组和第二组的两组驱动挡块3的组，该驱动挡块3的组中驱动挡块3以及夹住其基部北的两对的第一压电元件6、6各具备三个。因此，能够以不同的时序驱动各组。另外，能够通过各组的驱动挡块31、32的前端部31a、3h三点支撑转动体4。因此，与两点支撑、四点以上的支撑的情况相比能够稳定地进行转动体4的支撑。另外，各组的驱动挡块31、32均等地配置在转动体4的旋转方向R，第一组和第二组的驱动挡块31、32交替地依次配置在旋转方向R。因此，通过各组的驱动挡块31、32高平衡地支撑转动体4，能够高效地向旋转方向R驱动。另外，驱动挡块3的前端部3a驱动的方向为与驱动挡块3的基部北被第一压电元件6以及保持部加的支撑面2f夹住的方向相同的方向。因此，驱动挡块3的前端部3a 进行进给驱动以及返回驱动的情况下，能够从驱动方向的前后支撑驱动挡块3的基部3b。 因此，能够抑制驱动挡块3从与支撑轴5平行的方向偏离，防止对转动体4的驱动产生坏影响。另外，电源部10通过对第一组以及第二组的驱动挡块31、32供给具有相位差的电压，能够由各组的驱动挡块分别驱动转动体4。另外，通过将电源部10供给至各组的第一压电元件6以及第二压电元件7的电压的相位差设为180°，能够通过第一组的驱动挡块31以及第二组的驱动挡块32交替地依次驱动转动体4。另外，通过电源部10对各组的第一压电元件6以及第二压电元件7供给电压，使得驱动挡块3的前端部3a依次重复与转动体4的接触、向驱动挡块3的宽度w3方向的进给、从转动体4的分离、驱动挡块3的宽度w3方向的返回，从而能够连续进行转动体4的旋转驱动。另外，如图7的第三相位、第七相位、第十四相位所示，电源部10使向第一端子Tl 供给的电压和向第二端子T2供给的电压交叠。由此，能够连续且流畅地进行转动体4从第一组的驱动挡块31到第二组的驱动挡块32的传递。
另外，如图7所示，电源部10在使驱动挡块3的前端部3a进行宽度w3方向的进给驱动时，使供给至第三端子T3以及第四端子T4的电压的增加率(倾斜度)和进行返回驱动时的电压的减少率(倾斜度)不同。例如，在第三端子T3中，在进给驱动前端部3a的第二相位至第八相位为止的各相位中将电压各提高1. 0V，在返回驱动前端部3a的第九相位至第十相位为止的各相位中将电压各减少3. 0V。由此，能够使驱动挡块3的前端部3a的进给驱动时间长于返回驱动的时间，从而能够使驱动挡块3的前端部3a和转动体4的接触时间变长。因此，能够将驱动挡块3的动力更加高效地传递至转动体4。另外，电源部10供给至第一压电元件6以及第二压电元件7的电压的频率与由第一压电元件6、第二压电元件7、驱动挡块3以及底部2构成的支撑驱动部Ia的共振振动的振动频率大致相等。因此，能够进一步加大由驱动挡块3的前端部3a进行的转动体4的进给驱动以及返回驱动的振幅。通过适当地选择底部2、压电元件、驱动挡块3的前端部3a以及基部北的材质，能够调节支撑驱动部Ia的共振振动的频率。另外，在本实施方式中，如图7所示，从第一端子Tl以及第二端子T2供给至各组的驱动挡块31、32的第一压电元件61、62的电压的周期，与从第三端子T3以及第四端子T4 供给至各组的第二压电元件71、72的电压的周期相等。因此，平行于驱动挡块31、32的支撑轴5的方向的驱动的振动频率与驱动挡块31、32的宽度w31、w32方向的前端部31a、3h 的驱动的振动频率相等。由此，能够将平行于支撑轴5的方向的驱动挡块31、32的振幅、和驱动挡块31、32的宽度w31、w32方向的前端部3la、32a的振幅设为最大振幅。另外，驱动挡块3前端部3a设置成沿着转动体4的旋转方向R的截面积越靠近转动体4就越小的前端狭窄状。因此，与将前端部3a形成为长方体形状的情况相比，能够减小前端部3a和转动体4的接触面积，能够使因前端部3a的磨损而产生的前端部3a的体积变化率变小。由此，能够使因前端部3a的磨损而产生的前端部3a的重量变化变小，能够使驱动挡块3的共振频率的变化变小。另外，通过将前端部3a设为六角柱形状，与其他形状相比能够提高前端部3a的刚性。另外，在与支撑轴5大致平行地设置且与驱动挡块3的宽度w3方向大致垂直地交叉的底部2的侧面2c上形成有槽部2d。S卩，槽部2d设置成相对于经由底部2传播的与支撑轴5大致平行方向的振动大致垂直地交叉。因此，能够通过槽部2d吸收振动，减少因底部2产生振动的传播。另外，第一压电元件6设置在转动体4和槽部2d之间。因此，能够减少从底部2 的与转动体4的相反侧越过槽部2d而传播的振动。另外，底部2的与保持驱动挡块3的保持部加相反侧的端部固定在安装部IOla 上，槽部2d设置在与驱动挡块3相比靠近安装部IOla的位置。因此，即使在安装部IOla的振动传播到底部2的情况下，在离驱动挡块3比较远的位置减少振动，能够防止安装部IOla 的振动对驱动挡块3的驱动产生坏影响。另外，槽部2d的与支撑轴5平行的方向的宽度wl大于底部2的振动的振幅。因此，能够防止槽部2的两侧的底部2彼此碰撞。另外，槽部2d的与支撑轴5平行方向的宽度wl大于由底部2、驱动挡块3、第一压电元件6以及第二压电元件7构成的支撑驱动部Ia的共振振动的振幅。因此，即使支撑驱动部Ia在共振状态下振动时，也能够防止槽部2d的两侧的底部2彼此碰撞。
另外，通过将槽部2d的深度dl设为底部2的半径的40%以上且80%以下，而在充分确保底部2的强度的同时，能够获得充分的抑制振动传播的效果。另外，在底部2和支撑轴5之间形成有间隙2e，因此能够减少从底部2传播到支撑轴5的振动。另外，能够减少从支撑轴5传播到底部2的振动。因此，能够防止对驱动挡块 3以及转动体4的驱动产生坏影响。接着，作为具备本实施方式的压电致动器1的透镜镜筒的一例说明可换透镜。本实施方式的可换透镜与未图示的相机主体一起形成相机系统，可装卸地安装在相机主体上。可换透镜可切换为根据公知的AF(自动对焦)控制进行对焦动作的AF模式、和根据来自拍摄者的手动输入而进行对焦动作的MF(手动对焦)模式。图12是表示本实施方式的可换透镜100的分解立体图。如图12所示，可换透镜100具备固定筒101、外筒102、对焦操作筒103、驱动部 104。虽然在图12中省略图示，但在固定筒101的内侧设置有透镜组室以及被保持筒保持的三组构成的透镜组。各透镜组配置在光轴方向，由用于变焦动作时的一对透镜组、和设置在其之间而用于对焦动作的透镜组构成。驱动部104是在AF控制时根据来自未图示的AF控制部的信号使对焦操作筒103 围绕光轴旋转的部分。驱动部104具备支撑部105、压电致动器1、对焦操作筒侧齿轮103a以及罩体108。支撑部105是用于将压电致动器1支撑到固定筒101的部分。支撑部105具备安装部IOla以及轴承部101b。安装部IOla支撑压电致动器1的一端侧。安装部IOla是从固定筒101的外周面的一部分向其外径侧以凸缘状突出而形成的部分，与固定筒101 —体形成。轴承部IOlb与安装部IOla相同地从固定筒101的外周面的一部分向其外径侧突出而与固定筒101形成为一体，并设置成支撑一端侧固定在压电致动器1的转动体4上的旋转轴106的另一端侧。压电致动器1的底部2的端部固定在安装部IOla上。在旋转轴106的一端侧设置有输出侧齿轮107，另一端侧与转动体4固定为一体。 旋转轴106独立地设置在压电致动器1的与支撑轴5 (参照图2、相同轴上。输出侧齿轮 107与设置在对焦操作筒103的对焦操作筒侧的齿轮103a啮合。罩体108用于保护上述的压电致动器1，通过未图示的螺丝等固定在固定筒101。可换透镜100经由外筒102装卸自如地设置在相机主体上。可换透镜100在AF模式下，例如根据来自设置在相机主体上的AF控制部的信号， 使压电致动器1的电源部10动作，而使压电致动器1的转动体4旋转。通过转动体4的旋转，旋转轴106旋转，通过此旋转使对焦操作筒103围绕光轴旋转。对焦操作筒103通过此旋转经由未图示的对焦用凸轮机构，使得用于对焦动作的透镜组向光轴方向进退动作。如上在可换透镜100中进行AF动作。另一方面，在MF模式下，对焦操作筒103通过拍摄者手动地围绕光轴旋转操作。对焦操作筒103与AF模式相同地，通过此旋转使得用于对焦动作的透镜组向光轴方向进退动作。如上在可换透镜100中进行MF动作。如上所说明，根据本实施方式的可换透镜100，由于具备能够将不同的两个方向振动作为各自独立的振动取出而能够增大输出的压电致动器1，因此，能够降低在AF模式下的电消耗量。另外，不需要使用中间齿轮、最终齿轮等，能够将压电致动器1的动力直接传递至对焦操作筒103。因此，能量损失较小，能够获得节能的效果。另外，可削减部件个数。此外，本实施方式可以进行多种变形。例如，底部只要是设置成围绕支撑轴，可分割为多个，也可以不完全围绕支撑轴。例如，也可以偏向围绕支撑轴的圆周上的一半而配置，也可以以从两侧夹住支撑轴的方式配置。另外，在上述的实施方式中，说明了以夹住驱动挡块的方式设置有一对第一压电元件的情况，其中，该第一压电元件将驱动挡块向与支撑轴平行的方向驱动。替代此方式， 第一压电元件也可以仅设置于驱动挡块的一个侧面上。另外，也可以使用向厚度方向位移的压电元件作为第一压电元件，将第一压电元件配置在底部的保持部的底面和驱动挡块的基部的底面之间。在此情况下，通过设置在底部的保持部的支撑面不经由压电元件而从沿着转动体的旋转方向的保持部的宽度方向的两侧直接支撑基部。另外，也可以使支撑面起到导向部的作用，其中，该导向部将基部保持成能够向与支撑轴平行的方向滑动。另外，在上述实施方式中，说明了具备两组、包括第一压电元件以及第二压电元件的驱动挡块的组的情况，但驱动挡块组也可以为三组以上。另外，驱动挡块组所具备的驱动挡块的个数也可以为一个、两个或四个以上。例如，在上述的实施方式中，也可以将配置在底部的对角上的两个驱动挡块作为一组，构成三组的驱动挡块组。在此情况下，各组的电压的相位差例如可以为120度。由此，可以始终通过两组的驱动挡块支撑、旋转转动体。驱动挡块的各组的电压相位差可以为将360度除以组数的值(即两组的情况为180度、三组的情况为120度)。另外，在上述实施方式中，说明了第一压电元件夹住驱动挡块的基部的方向(第二方向)、和第二压电元件驱动驱动挡块的前端部的方向(第三方向)相同的情况，但这些方向也可以不同。例如，通过将第三方向设为与驱动挡块的宽度w3方向交叉且沿着转动体的旋转方向的方向，也可以使转动体容易旋转。另外，底部的支撑面也可以不与平行于支撑轴的方向(第一方向)倾斜。例如，如图13A所示，也可以在保持部设置凸起状的卡止部，其用于卡止第一压电元件的保持部的底面侧的端部。另外，如图13B所示，也可以通过使第一压电元件的保持部的底面侧的端部突出于基部的底面而使其起到定位部的作用，并通过使定位部碰到保持部的底面来进行定位。另外，从确保底部的强度的观点，也可以将底部和支撑轴之间的间隙形成至槽部的保持部侧的边缘。另外，也可以将从电源部的各端子向第一压电元件以及第二压电元件供给的电压设为正弦波、正弦波状的电压波形。首先，使用图14以以下情况为例进行说明，即，与上述实施方式相同地，驱动挡块的组为第一组和第二组的两组构成，产生于电源部的第一端子和第二端子的正弦波的电压波形的相位差为180°，产生于第三端子和第四端子的正弦波的电压波形的相位差为 180°的情况。与图11的(a)至图11的(d)相同地，图14的(a)表示第一组的驱动挡块的前端部的Y方向的位移，图14的(b)表示第二组的驱动挡块的Y方向的位移。另外。图14的 (c)表示第一组的驱动挡块的Xl方向的位移，图14的(d)表示第二组的X2方向的位移(参照图8至图10)。在产生于电源部的第一端子和第二端子的正弦波的电压波形的相位差为180°的情况下，如图14的(a)以及图14的(b)所示，向Y轴方向驱动的第一组以及第二组的驱动挡块的前端部描画具有180°的相位差的正弦波状的轨迹。此时，如图14(a)中的粗线所示，如果Y轴方向的位移超过接触位置yl，则第一组的驱动挡块的前端部与转动体接触(参照图8至图10)。另外，如图14的(b)中的粗线所示，第二组的驱动挡块的前端部也同样与转动体接触。在此，图14的(a)所示的第一组的驱动挡块的轨迹与图14的(b)所示的第二组的驱动挡块的轨迹具有180°的相位差。因此，第一组的驱动挡块的前端部和第二组的驱动挡块的前端部交替地与转动体接触而支撑转动体(参照图8至图10)。此时，与上述实施方式相同地，存在双方的驱动挡块的前端部从转动体分离的期间。但是，与上述的实施方式相同地，在此期间，转动体因其惯性而几乎不向Y方向位移。相同地，在产生于电源部的第二端子和第三端子的正弦波的电压波形的相位差为 180°的情况下，如图14的(c)以及图14的(d)所示，向Xl轴方向以及X2轴方向驱动的第一组以及第二组的驱动挡块的前端部描画正弦波状的轨迹(参照图8至图10)。在此，如图14的(C)中粗线所示，第一组的驱动挡块的前端部在与转动体接触期间(图14的(a)所示的粗线部分的期间)，向沿着转动体的旋转方向的Xl轴正方向移动 (参照图8至图10)。另外，如在图14的(d)中用粗线所示，第二组的驱动挡块的前端部也相同地，在与转动体接触期间(图14的(b)所示的粗线部分的期间)，向沿着转动体的旋转方向的X2轴正方向移动。因此，与上述的实施方式相同地，转动体通过第一组的驱动挡块和第二组的驱动挡块交替地向旋转方向驱动(参照图8至图10)。接着，使用图15说明以下情况，S卩，驱动挡块组为第一组至第三组的三组构成，在电源部的各端子产生具有120°相位差的正弦波或正弦波状的电压波形的情况。在此情况下，作为电源部使用如下结构除了具备上述第一端子至第四端子之外，还具备对第三组的驱动挡块的第一压电元件和第二压电元件分别供给电压的第五端子和第六端子。另外，与第一组的驱动挡块的Xl方向以及第二组的驱动挡块的X2方向(参照图8至图10)相同地，将垂直于支撑轴且沿着转动体的旋转方向的第三组驱动挡块的宽度方向(保持部的宽度方向)设为X3方向。图15的(a)表示第一组至第三组的驱动挡块的前端部的Y方向的位移，图15的 (b)表示第一组至第三组的驱动挡块的前端部的Xl至X3方向的位移。在图15的(a)以及图15的(b)中，用实线表示第一组的驱动挡块的前端部的轨迹，用虚线表示第二组的驱动挡块的前端部的轨迹，用点划线表示第三组的驱动挡块的轨迹。在电源部供给至各组的第一压电元件的电压波形具有120°相位差的情况下，如图15的(a)所示，向Y轴方向驱动的各组的驱动挡块的前端部描画具有120°相位差的正弦波状的轨迹。此时，如在图15的(a)中用粗线所示，如果Y轴方向的位移超过接触位置 yl，则各组的驱动挡块的前端部与转动体接触(参照图8至图10)。
在此，如15的(a)所示的各组的驱动挡块的轨迹具有120°的相位差。因此，各组的驱动挡块的前端部依次与转动体接触而支撑转动体(参照图8至图10)。此时，与上述的实施方式相同地，存在各组的驱动挡块的前端部从转动体分离的期间。但是，与上述的实施方式相同地，在此期间，转动体因其惯性而几乎不向Y方向位移。相同地，在电源部供给至各组的第二压电元件的电压波形具有120°的相位差的情况下，如图14的(b)所示，向Xl X3轴方向驱动的各组的驱动挡块的前端部描画正弦波状的轨道(参照图8至图10)。在此，如在图15的(b)中用粗线所示，各组的驱动挡块的前端部在与转动体接触期间(图15的(a)所示的粗线部分的期间)向沿着转动体的旋转方向的Xl X3轴正方向移动(参照图8至图10)。因此，与上述的实施方式相同地，转动体通过各组的驱动挡块依次向旋转方向驱动(参照图8至图10)。在上述的实施方式中，例如，设为底部2通过不锈钢等金属材料形成为中空圆筒状。在其他实施方式中，底部2的全部或一部分可以由具有弹性的弹性体形成。S卩，底部2 的至少一部分可以具有弹性。在该实施方式中，例如底部2的实质上的全部或至少凸部池、 2i (图4)可以为弹性体。在此，底部以外的压电致动器1的构成可以与上述的实施方式相同。在该实施方式中，电源部10供给至第一压电元件6以及第二压电元件7的电压的频率可以与由第一压电元件6、第二压电元件7、驱动挡块3以及底部2构成的支撑驱动部 Ia的共振频率大致相等。另外，从电源部10的各端子向第一压电元件6以及第二压电元件 7供给的电压波形可以为正弦波。代替此，如果供给电压的频率与支撑驱动部Ia的共振频率大致相等，则可以为矩形波等其他波形。在此，使用图16以及图17A至图17D说明底部2的至少一部分由弹性体形成且供给的电压的波形为正弦波的情况的作用。在图16以及图17A至图17D中，使用将沿着转动体4的旋转方向R的方向作为X4 方向且将平行于支撑轴5的方向作为Y方向的坐标系。在图16以及图17A至图17D中，与上述的实施方式相同地，驱动挡块的组由第一组的驱动挡块31以及第二组的驱动挡块32的两组构成，产生于电源部10的第一端子和第二端子的正弦波的电压波形的相位差为180°，产生于第三端子和第四端子的正弦波的电压波形的相位差为180°。此外，如图4所示，将形成于底部2的六个凸部(凸起)中的、第二组的驱动挡块 32位于其旋转方向的前进侧的三个凸部作为第一凸部2h，将第一组的驱动挡块31位于其旋转方向的前进侧的三个凸部作为第二凸部2i。第一凸部池以及第二凸部2i具有弹性。在图16的(a)中，用粗线表示第一组的驱动挡块31的前端部31a的Y方向的位移，用实线表示夹住第一组的驱动挡块31的第一压电元件61的Y方向的厚度切变变形量， 用虚线表示支撑第一组的驱动挡块31的支撑面2f的Y方向的位移。在图16的(b)中，用粗线表示第二组的驱动挡块32的前端部32a的Y方向的位移，用实线表示夹住第二组的驱动挡块32的第一压电元件62的Y方向的厚度切变变形量， 用虚线表示支撑第二组的驱动挡块32的支撑面2f的Y方向的位移。
在图16的(c)中，用粗线表示第一组的驱动挡块31的前端部31a的X4方向的位移，用实线表示设置在第一组的驱动挡块31上的第二压电元件71的X4方向的厚度切变变形量，用虚线表示支撑第一组的驱动挡块31的支撑面2f的X4方向的位移。在图16的(d)中，用粗线表示第二组的驱动挡块32的前端部3 的X4方向的位移，用实线表示设置在第二组的驱动挡块32上的第二压电元件72的X4方向的厚度切变变形量，用虚线表示支撑第二组的驱动挡块32的支撑面2f的X4方向的位移。在产生于电源部10的第一端子和第二端子的正弦波的电压波形的相位差为 180°的情况下，如图16的(a)以及图16的(b)所示，向Y轴方向驱动的第一组以及第二组的驱动挡块3的前端部3a描画具有180°相位差的正弦波状的轨迹。另外，在产生于电源部10的第三端子和第四端子的正弦波的电压波形的相位差为180°的情况下，如图16的 (c)以及图16的(d)所示，向X4轴方向驱动的第一组以及第二组的驱动挡块3的前端部 3a描画具有180°相位差的正弦波状的轨迹。此时，通过该驱动挡块3的振动，底部2发生共振，并且底部2的至少一部分弹性变形。在本实施方式中，设置在底部2且支撑驱动挡块 3的支撑部2f位移。在图16的A点上，第一组的驱动挡块31向Y方向产生正的位移，与此相对地，第二组的驱动挡块32向Y方向产生负的位移。对第一凸部产生剪切力的结果，如图17A所示，第一凸部池通过该剪切力向Y方向剪切变形。支撑第一组的驱动挡块31的支撑部2f 向Y方向产生正的位移，支撑第二组的驱动挡块32的支撑部2f向Y方向产生负的位移。在图16的B点上，第一组的驱动挡块31向Y方向产生负的位移，与此相对地，第二组的驱动挡块32向Y方向产生正的位移。对第一凸部池产生剪切力的结果，如图17B所示，第一凸部池通过该剪切力向Y方向剪切变形。支撑第一组的驱动挡块31的支撑部2f 向Y方向产生负的位移，支撑第二组的驱动挡块32的支撑部2f向Y方向产生正的位移。在图16的C点上，第一组的驱动挡块31向X4方向产生正的位移，与此相对地，第二组的驱动挡块32向X4方向产生负的位移。对第一凸部池产生压缩力的结果，如图17C 所示，第一凸部池通过该压缩力向转动体的旋转方向压缩变形。支撑第一组的驱动挡块31 的支撑部2f向X4方向产生正的位移，支撑第二组的驱动挡块32的支撑部2f向X4方向产生负的位移。在图16的D点上，第一组的驱动挡块31向X4方向产生负的位移，与此相对地，第二组的驱动挡块32向X4方向产生正的位移。对第一凸部池产生张力的结果，如图17D所示，第一凸部池通过该张力向转动体的旋转方向拉伸变形。支撑第一组的驱动挡块31的支撑部2f向X4方向产生负的位移，支撑第二组的驱动挡块32的支撑部2f向X4方向产生正的位移。在此说明了因第一压电元件6以及第二压电元件7的驱动而产生的第一凸部2h 的弹性变形、和由此产生的支撑部2f的位移，但也可以使第二凸部2i的相位与第一凸部的相位相差180°而相同地进行变形。在本实施方式中，通过第一凸部池以及第二凸部2i的弹性变形，支撑部2f以与驱动挡块的位移相同的周期进行位移。驱动挡块3的前端部3a的位移是因第一压电元件 6以及第二压电元件7的厚度切变变形而产生的位移和支撑部2f的位移的相加。在本实施方式中，除了利用因第一压电元件6以及第二压电元件7的厚度切变而产生的位移之外，还利用因底部2的弹性变形而产生的位移，由此使驱动挡块以更大的振幅驱动。由此，能够加大压电致动器的输出，能够将驱动所需的电压进行低电压化。再有， 通过使包括底部2的支撑驱动部Ia共振，利用因设置在底部的凸面的面内的弯曲以及面外的弯曲而产生的振动，能够最大限度地发挥其效果。
权利要求
1.一种压电致动器，其特征在于，具备 多个第一压电元件；第一部件，被上述多个第一压电元件的相互相向的面夹住，由上述多个第一压电元件向第一方向驱动；第二压电元件，设置于上述第一部件；第二部件，与上述第二压电元件接触设置，由上述第二压电元件向与上述第一方向交叉的第二方向驱动；以及第三部件，与上述第二部件抵接，通过上述第二部件被驱动，而相对于上述第一部件相对移动。
2.根据权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，还具备第四部件，该第四部件具有与上述多个第一压电元件各自的上述相互相向的面的相反侧的面抵接的两个面，经由上述多个第一压电元件支撑上述第一部件。
3.根据权利要求2所述的压电致动器，其特征在于， 上述第四部件具备弹性体。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电致动器，其特征在于，具备多组具有上述多个第一压电元件、上述第二压电元件、上述第一部件和上述第二部件的组。
5.根据权利要求4所述的压电致动器，其特征在于，还具备对上述第一压电元件以及上述第二压电元件供给电压的电源部， 上述电源部对各个上述组供给具有相位差的上述电压。
6.根据权利要求5所述的压电致动器，其特征在于，上述电源部供给上述电压，使得各个上述组的上述第二部件重复与上述第三部件的接触、上述第二方向的进给、从上述第三部件的分离、上述第二方向的返回。
7.根据权利要求5或6所述的压电致动器，其特征在于，上述电压的频率与由上述第四部件、上述第一部件、上述第二部件、上述第一压电元件以及上述第二压电元件构成的构造体的共振频率相等。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的压电致动器，其特征在于， 上述相位差为360° /N，其中，N为上述组的组数。
9.根据权利要求4至8中任一项所述的压电致动器，其特征在于，各个上述组具备三对上述第一压电元件、三个上述第二压电元件、三个上述第一部件和三个上述第二部件。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的压电致动器，其特征在于，上述第三部件设置成能够以与上述第一方向平行的旋转轴为中心旋转， 上述第二方向为沿着上述第三部件的旋转方向的方向。
11.根据权利要求10所述的压电致动器，其特征在于，具备多组具有上述多个第一压电元件、上述第二压电元件、上述第一部件和上述第二部件的组，各个上述组的上述第一部件均等地配置在上述旋转方向上， 不同的上述组的上述第一部件依次配置在上述旋转方向上。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的压电致动器，其特征在于，上述第二部件设置成前端狭窄状以使沿着上述第二方向的截面积越靠近上述第三部件就越小。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的压电致动器，其特征在于，上述多个第一压电元件的各自的形状以及尺寸相同。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的压电致动器，其特征在于，上述第一压电元件的纵弹性模量大于上述第一压电元件的横弹性模量，上述第二压电元件的纵弹性模量大于上述第二压电元件的横弹性模量。
15.一种压电致动器，其特征在于，具备第一压电元件，设置在底部；第二压电元件，设置在上述底部的与上述第一压电元件不同的位置；第一部件，被上述第一压电元件驱动；第二部件，被上述第二压电元件驱动；以及第三部件，设置成能够与上述第一部件和上述第二部件接触，通过上述第一部件以及上述第二部件被驱动，而相对于上述第一部件以及上述第二部件相对移动，上述第一部件以及上述第二部件设置有以使平行于与上述第三部件接触的接触面的截面积越靠近上述第三部件就越小的方式相对于上述接触面倾斜的倾斜面。
16.根据权利要求15所述的压电致动器，其特征在于，上述第一部件经由上述第一压电元件支撑于上述底部，上述第二部件经由上述第二压电元件支撑于上述底部。
17.根据权利要求15所述的压电致动器，其特征在于，上述倾斜面沿着与上述第三部件的相对移动方向交叉的方向设置。
18.—种透镜镜筒，具备权利要求1至17中任一项所述的压电致动器。
全文摘要
本发明的压电致动器具备多个第一压电元件；第一部件，被上述多个第一压电元件的相互相向的面夹住，由上述多个第一压电元件向第一方向驱动；第二压电元件，设置于上述第一部件；第二部件，与上述第二压电元件接触设置，由上述第二压电元件向与上述第一方向交叉的第二方向驱动；以及第三部件，与上述第二部件抵接，通过上述第二部件被驱动，而相对于上述第一部件相对移动。
文档编号G02B7/04GK102365815SQ201080015449
公开日2012年2月29日 申请日期2010年3月31日 优先权日2009年3月31日
发明者桑野邦宏, 金满容大 申请人:株式会社尼康