一种100×无CaF<sub>2</sub>平场复消色差金相显微物镜的制作方法

文档序号:2792267阅读:347来源:国知局
专利名称:一种100×无CaF<sub>2</sub>平场复消色差金相显微物镜的制作方法
技术领域
本发明涉及金相显微镜物镜,特别是镜片数较少,无CaF2的100X平场复消色差金相显微物镜。
背景技术
显微物镜是金相显微镜的重要组成部件,其成像质量的高低,直接影响金相显微镜的性能,平场复消色差金相显微物镜是成像质量优良、档次较高的显微物镜。而要获得质量优良的像素,就要在物镜中同时校正轴向色差和二级光谱,要做到这点,常规的办法是在部分正透镜中引入低折射率、低色散的光学晶体,如氟化钙(CaF2)等作为介质材料,但此种材料质地较脆、易受潮、理化性能不稳定,大尺寸的材料难以获得,而且引入这种光学晶体后还使复消色差物镜的制造工艺过程复杂化,导致成本大大增加。考虑到这些因素,近年来,有人使用特种玻璃(如TF3)来替代或部分替代含CaF2玻璃来设计制作平场复消色差物镜,这在降低成本和改善工艺性方面显示了优越性,但这种特殊的光学玻璃价格不菲,因此较难广泛推广应用。王之江主编的《实用光学技术手册》(2006年,北京机械工业出版社)中提到一种国内同类100X无CaF2平场复消色差油浸显微物镜,它由14片透镜组成,其装调工艺较复杂,其中7片透镜使用了低折射率、价格昂贵的系玻璃,成本相当高,且物镜的工作距离仅 0. 36mm0在前苏联B. A.帕诺夫所著的《显微镜的光学设计与计算》(1982年,北京;机械工业出版社)一书中提到两款100X平场复消色差显微物镜,这两款物镜分别采用了 13片和 11片透镜,其中,有部分透镜材料为CaF2结构(如图9、图10)。由于采用含有CaF2材料制造且镜片数仍较多,因此也存在成本相对高的问题。

发明内容
本发明要解决的技术问题在于提供一种镜片数少、结构较简单、无CaF2材料制造的100X平场复消色差金相显微物镜,这种物镜以较少的镜片数可同时校正C光、F光的轴向初级色差和d光的二级光谱,从而获得很高的成像质量,并且物镜与物面的工作距离可达到1mm,能较好的改善和解决现有高倍显微物镜存在的工作距离过短的问题。本发明是通过如下技术原理实现的根据组合光焦度公式Φ = φ 1+ φ 2-d Φ i Φ 2 ( Φ i、Φ 2分别为光组1、2光焦度,d为光组1的第二主面和光组2的第一主面之间的距离)可确定正负组远分离“反摄远”型的长工作距离的平场复消色差显微物镜, 由此结构型式来选择相近结构的镜头作为初始结构,然后通过适当的焦距缩放和像差的优化设计,最终得到像质优良的100X平场复消色差金相显微物镜。按照上述原理,在设计本发明的100X平场复消色差金相显微物镜中,采用了无 CaF2的高折射率光学玻璃,应用已有的一种平场半复消色差透镜组为初始结构,使用OSLO 光学设计CAD软件,通过焦距缩放,优化设置透镜数及透镜的r、d、n(r 透镜半径、d 透镜曲率厚度、η 透镜折射率)等结构要素,使物镜达到平场复消色差的各项指标和要求。其具体技术方案如下一种100Χ平场复消色差金相显微物镜,包括透镜,与现有技术不同的是它由同轴排列的8块透镜分为三个光组组成,所述透镜为按顺序连接的凸透镜、凹透镜、凹透镜、 凸透镜、凹透镜、凸透镜、凸透镜和齐明厚弯月透镜,且上述透镜不含CaF2。所述三个光组中,光组一由双胶合的凸透镜和凹透镜组成;光组二为两组双胶合透镜组,其中一组为双胶合的凹透镜和凸透镜,另一组为双胶合凹透镜和凸透镜;光组三由凸透镜和齐明厚弯月透镜组合形成;物面经上述透镜系统后成像在无限远像面。本发明的特点是基于光学系统复消色差原理,使用光学设计软件进行100X平场复消色差金相显微物镜设计,通过光学系统的优化组合,设计透镜组的各项参数尺寸,使物镜的成像质量达到最佳要求。这种物镜的优点在于其透镜数比国内外现有同类设计的物镜少,透镜不含CaF2,结构和装调工艺较简单,成本较低,性价比较高,可用于替代成本较高的含CaF2和使用TF3特种玻璃制造的显微物镜(如图2-8所示),因此有广阔的应用前景和商业价值。


图1为本发明的100X平场复消色差金相显微物镜结构示意图;图2为本发明显微物镜的几何像差评价图;图3为本发明显微物镜的点扩散函数图;图4为本发明显微物镜的MTF曲线及极限分辨率下的各视场的MTF值;图5为本发明显微物镜的像差数据图;图6为相同倍数的国内同类物镜;图7为国内同类物镜的像差曲线图;图8为国内同类物镜的MTF曲线图;图9为前苏联B. A.帕诺夫所著《显微镜的光学设计与计算》一书中提到的采用13 片透镜结构的100X平场复消色差显微物镜示意图;图10为前苏联B. A.帕诺夫所著《显微镜的光学设计与计算》一书中提到的采用 11片透镜结构的100X平场复消色差显微物镜示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明做进一步的详细说明。按照图1所示出的本发明100X平场复消色差金相显微物镜,它由镜面形状、曲率半径等各不同的7块凸凹透镜和1块齐明厚弯月透镜9共8块镜片组成,其结构分为分离较远的三个光组,按顺序,处于成像端的光组一由双胶合的凸透镜2和凹透镜3组成;光组二为两组距离较近的双胶合透镜组,其中一组为双胶合的凹透镜4和凸透镜5,另一组为双胶合凹透镜6和凸透镜7 ;光组三由凸透镜8和齐明厚弯月透镜9组合形成;这三个光组的各个透镜与物面10中心同轴,其组合构成100X平场复消色差显微物镜,物面10经上述透镜系统后成像在无限远像面1。在图1中,光组一与光组二及光组二与光组三之间有一定的间距,在光组二中,双胶合的凹透镜4、凸透镜5与双胶合的凹透镜6、凸透镜7之间也有一个很小的间距,光组三前端的齐明厚弯月透镜9其前端面与物面10的间距为1mm。 本发明的上述透镜材料均为无CaF2的高折射率玻璃,所构成的物镜系统其数值孔径为0. 9 ;孔径角2. 3° ;焦距2. 5mm ;工作间距W. D = 1mm。
权利要求
1.一种100X无CaF2平场复消色差金相显微物镜,包括透镜,其特征在于,由同轴排列的8块透镜分为三个光组组成,所述透镜为按顺序连接的凸透镜O)、凹透镜(3)、凹透镜 G)、凸透镜(5)、凹透镜(6)、凸透镜(7)、凸透镜(8)和齐明厚弯月透镜(9),且上述透镜不含 CaF2。
2.根据权利要求1所述的显微物镜,其特征在于所述三个光组中,光组一由双胶合的凸透镜( 和凹透镜C3)组成;光组二为两组双胶合透镜组,其中一组为双胶合的凹透镜 ⑷和凸透镜(5),另一组为双胶合凹透镜(6)和凸透镜(7);光组三由凸透镜⑶和齐明厚弯月透镜(9)组合形成;物面(10)经上述透镜系统后成像在无限远像面(1)。
3.根据权利要求2所述的显微物镜,其特征在于光组一与光组二及光组二与光组三之间有一定的间距,在光组二中,双胶合的凹透镜G)、凸透镜(5)与双胶合的凹透镜(6)、 凸透镜(7)之间也有一个很小的间距,光组三前端的齐明厚弯月透镜(9)其球面顶端与物面(10)的间距为Imm0
4.根据权利要求1所述的显微物镜,其特征在于上述透镜所构成的物镜系统其数值孔径为0. 9 ;孔径角2. 3° ;焦距2. 5mm ;工作距离W. D = 1mm。
全文摘要
本发明公开了一种100×无CaF2平场复消色差金相显微物镜,包括透镜,其特征在于,由同轴排列的8块透镜分为三个光组组成,所述透镜为按顺序连接的凸透镜、凹透镜、凹透镜、凸透镜、凹透镜、凸透镜、凸透镜和齐明厚弯月透镜,且上述透镜不含CaF2。该物镜与国内外同类物镜相比除不含CaF2外,具有透镜片数少,结构和装调工艺较简单,成本较低、性价比高等优点,其各项性能指标均好于现有含CaF2和使用TF3特种玻璃制造的同类显微物镜,因此有着广阔的应用前景和商业价值。
文档编号G02B21/00GK102200629SQ20111014198
公开日2011年9月28日 申请日期2011年5月26日 优先权日2011年5月26日
发明者王民强, 萧泽新 申请人:桂林电子科技大学
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