专利名称：硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种框胶曝光机结构，特别涉及硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构。
背景技术：
LCOS (Liquid Crystal on Silicon，硅基液晶)液晶显示技术是 LCD (Liquid Crystal Display,液晶显不)技术与 CMOS (complementary metal oxide semiconductor, 互补金属氧化物半导体)集成电路技术有机结合的反射型新型显示技术。首先在硅晶圆上运用CMOS工艺制作每行或每列的像素均拥有反射电极的LCOS芯片，然后将LCOS芯片与拥有透明电极的玻璃基板保持适当距离贴合，且在LCOS芯片与拥有透明电极的玻璃基板之间灌入液晶材料，并用适量封结胶把液晶材料固定在LCOS芯片与拥有透明电极的玻璃基板之间形成反射式液晶屏，通过传输不同电压于LCOS芯片上每行或每列的像素的反射电极，从而控制液晶材料导光强弱，实行对入射光的反射程度调制完成(灰度)图像显示。近年来迅速崛起的便携移动通讯及无线显示产品对硅基液晶屏的需求量日趋增大，硅基液晶屏固有的优点决定了移动显示产品的发展前景。目前批量生产硅基液晶屏的方法有(详见发明专利申请公开说明书(申请号20061003^20. 7)，发明名称“液晶显示器LCOS的制作方法及其压合装置”)主要是在整片硅基板上制作LCOS液晶显示器，主要材料是，设计多个 LCOS Die的整片的硅基板和作为硅基液晶显示器公共电极的氧化铟锡玻璃板，工作表面分别经过清洗和真空镀制SiO2取向膜，然后在硅基板上涂布对应的液晶盒边框胶，再将氧化铟锡玻璃板贴合在硅基板上，经压合预固化和热固化后成一体，然后分别进行下表面(硅基板)锯割，上表面(玻璃)金刚刀划痕，再裂片成一个个液晶盒，经对液晶盒灌注后就成为成品。此方法的缺陷是采用热固化框胶，通常需要200度左右的稳定烘烤才能固化框胶，容易引发硅晶圆和玻璃出现形变差异，从而影响硅基液晶屏的品质；所述工序设备没有具体结构可循，因而缺乏实用价值。目前硅基液晶屏生产线均采用热固化框胶。
发明内容本实用新型的目的在于克服已有技术的不足，提供一种常温条件下可以完成框胶固化，避免了硅晶圆与氧化铟锡玻璃材质不同带来的形变差异现象的硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构。为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构，它包括曝光台、曝光控制系统、曝光台扫描动力系统和紫外灯集成器，所述曝光台包括其底部固定在曝光台基座上的硅基液晶屏承载盘气缸，在所述的硅基液晶屏承载盘气缸的顶部两侧分别固定有曝光台A柱和曝光台B 柱，硅基液晶屏承载盘的下部插在所述的硅基液晶屏承载盘气缸内，硅基液晶屏承载盘活塞密封圈设置在所述硅基液晶屏承载盘气缸内壁与所述硅基液晶屏承载盘外壁之间并且与所述硅基液晶屏承载盘气缸和硅基液晶屏承载盘接触面均形成紧配合，由硅基液晶屏承载盘、硅基液晶屏承载盘活塞密封圈与硅基液晶屏承载盘气缸形成的密闭空间构成硅基液晶屏承载盘气腔，进气孔B设置在所述硅基液晶屏承载盘气缸上且与硅基液晶屏承载盘气腔相连通，在所述的硅基液晶屏承载盘的上部开有硅基液晶屏承载盘真空腔，多个硅基液晶屏承载盘真空孔开在硅基液晶屏承载盘顶面上并与硅基液晶屏承载盘真空腔相连通，安装在硅基液晶屏承载盘上的真空排气孔C与硅基液晶屏承载盘真空腔相连通，曝光台铰链转轴的两端分别与固定在所述的曝光台B柱顶面上的两个铰链支撑件转动相连，所述曝光台还包括其中央镶嵌有直径尺寸不小于氧化铟锡玻璃直径尺寸的透明石英玻璃的盖板架， 所述盖板架的一侧与所述的曝光台铰链转轴转动相连并且盖板架的另一侧架设在安装在曝光台基座上的曝光台C柱上，所述的盖板架能够绕所述曝光台铰链中轴线逆时针旋转 180度后接触到所述曝光台A柱顶面与之相接触配合，所述曝光台基座与曝光台扫描动力系统相连并且在所述曝光台扫描动力系统的驱动下能够沿χ轴和y轴方向运动，工控机B 通过紫外光源总线与至少由6只紫外灯构成的紫外灯集成器相连，所述曝光台与所述的紫外灯集成器相对设置以使紫外灯能够照射到安装在硅基液晶屏承载盘顶部的紫外框胶，工控机B通过扫描动力系统总线与所述曝光台扫描动力系统相连接并且工控机B通过曝光机面板控制总线与曝光机面板控制器相连接。本实用新型的优点在于采用本装置在硅基液晶屏成盒工艺流程中，实现了一边压挤硅基液晶屏达到规定的硅晶圆与氧化铟锡玻璃之间的间隙值而成型，一边对紫外框胶进行曝光固化的模式，从而得以实现常温条件下完成框胶固化，避免了硅晶圆与氧化铟锡玻璃材质不同带来的形变差异现象，可以提高硅基液晶屏组装品质，具有批量生产的重大实用价值。
图1是本实用新型的硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构的系统框图；图2是图1所示的装置载入硅基液晶屏时曝光台的顶视示意图；图3是图2所示的装置的截面示意图；图4是采用图1所示的装置进行硅基液晶屏框胶固化曝光时曝光台的顶视示意图；图5是图4所示的装置的截面示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型进行详细描述。如附图所示的本实用新型的硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构，它包括曝光台66、曝光控制系统89、曝光台扫描动力系统86和紫外灯集成器87，所述曝光台66包括其底部固定在曝光台基座59上的硅基液晶屏承载盘气缸M，在所述的硅基液晶屏承载盘气缸M的顶部两侧分别固定有曝光台A柱58和曝光台B柱64，硅基液晶屏承载盘53的下部插在所述的硅基液晶屏承载盘气缸M内，硅基液晶屏承载盘活塞密封圈55设置在所述硅基液晶屏承载盘气缸M内壁与所述硅基液晶屏承载盘53外壁之间并且与所述硅基液晶屏承载盘气缸M和硅基液晶屏承载盘53接触面均形成紧配合，由硅基液晶屏承载盘53、硅基液晶屏承载盘活塞密封圈阳与硅基液晶屏承载盘气缸M形成的密闭空间构成硅基液晶屏承载盘气腔56，进气孔B57设置在所述硅基液晶屏承载盘气缸M上且与硅基液晶屏承载盘气腔56相连通，所述硅基液晶屏承载盘气腔56通过所述进气孔B57进行充、放气。在所述的硅基液晶屏承载盘53的上部开有硅基液晶屏承载盘真空腔52，多个硅基液晶屏承载盘真空孔51开在硅基液晶屏承载盘53顶面上并与硅基液晶屏承载盘真空腔52相连通，安装在硅基液晶屏承载盘53上的真空排气孔C50与硅基液晶屏承载盘真空腔52相连通，通过所述真空排气孔C50对所述硅基液晶(LC0Q屏承载盘真空腔52抽真空或充气。曝光台铰链转轴60与连接在所述的曝光台B柱64顶面上的两个铰链支撑件94相连，曝光台铰链转轴60与固定在所述的曝光台B柱64顶面上的两个铰链支撑件94转动相连，所述曝光台66 还包括其中央镶嵌有直径尺寸不小于氧化铟锡玻璃40直径尺寸的透明石英玻璃61的盖板架62，所述盖板架62的一侧与所述的曝光台铰链转轴60转动相连并且盖板架62的另一侧架设在安装在曝光台基座上的曝光台C柱63上，所述的盖板架62能够绕所述曝光台铰链中轴线48逆时针旋转180度后接触到所述曝光台A柱58顶面相接触配合。盖板架62 — 端与所述曝光台C柱63相接触且能够绕所述曝光台铰链中轴线48逆时针旋转180度后接触到所述曝光台A柱58，且能够停留，并且再顺时针绕所述曝光台铰链中轴线48转180度后接触到所述曝光台C柱63。由氧化铟锡玻璃40、具有灌晶口 47的图案框胶37、硅晶圆 24构成的硅基液晶屏46可以放置在硅基液晶屏承载盘53上。所述曝光台基座59与曝光台扫描动力系统86相连并且在所述曝光台扫描动力系统86的驱动下能够沿χ轴92和y 轴91方向运动，所述曝光控制系统89包括紫外光源总线80、工控机B81、扫描动力系统总线82、曝光机面板控制总线83和曝光机面板控制器84，其中所述工控机B81通过所述紫外光源总线80与至少由6只紫外灯87构成的所述紫外灯集成器85相连，所述曝光台66与所述的紫外灯集成器85相对设置以使紫外灯能够照射到安装在硅基液晶屏承载盘53顶部的紫外框胶，工控机B81通过扫描动力系统总线82与所述曝光台扫描动力系统86相连接并且工控机B81通过曝光机面板控制总线83与曝光机面板控制器84相连接以输入运动控制信号。所述的曝光台扫描动力系统86可以为导轨滑块结构或者可以为丝杠螺母等常规现有结构。本装置的工作过程如下1)将所述硅基液晶屏46输送进入所述硅基液晶屏承载盘53上、且硅基液晶屏46 结构中的硅晶圆M与所述硅基液晶屏承载盘53相接触，接着所述硅基液晶屏承载盘真空腔52通过所述真空排气孔C50排气形成真空状态、且通过所述硅基液晶屏承载盘真空孔51 将承载的硅基液晶屏46吸附在所述硅基液晶屏承载盘53上，2)所述盖板架62 (内嵌有透明石英玻璃61)绕所述曝光台铰链中轴线48逆时针至少旋转180度以后，且使得所述盖板架62的一端接触到所述曝光台A柱58，且与所述曝光台A柱58保持接触，3)所述硅基液晶屏承载盘气腔56通过所述进气孔B57充气使得吸附着所述硅基液晶屏46的所述硅基液晶屏承载盘53接近所述盖板架62的内嵌所述透明石英玻璃61直至所述硅基液晶屏46的氧化铟锡玻璃40与所述透明石英玻璃61紧密接触，[0021]4)根据所述硅基液晶屏46使用的图案框胶37材质情况、硅晶圆M与氧化铟锡玻璃40之间的间隙要求，保持对所述进气孔B57有1个大气压 2个大气压的压力1分钟 10分钟、且同时通过曝光控制系统89预设程序的控制，使得所述曝光台66受到所述曝光台扫描动力系统86的作用、所述硅基液晶屏46在点亮的所述紫外灯87照射下沿χ轴92运动或者沿y轴91运动30秒 2分钟，使得所述图案框胶37在所述紫外灯87照射下固化，5)当所述图案框胶37固化以后，这时对所述进气孔B57放气使得吸附着所述硅基液晶屏46的所述硅基液晶屏承载盘53在自身重力的作用下离开所述盖板架62的内嵌所述透明石英玻璃61 —定距离，接着将所述盖板架62绕所述曝光台铰链中轴线48顺时针至少旋转180度以后，且使得所述盖板架62的一端接触到所述曝光台C柱63，且同时对真空排气孔C50充气直至解除所述硅基液晶屏承载盘真空孔51对所述硅基液晶屏46的吸附作用，得以完成框胶曝光工艺过程。
权利要求1.硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构，它包括曝光台、曝光控制系统、曝光台扫描动力系统和紫外灯集成器，其特征在于所述曝光台包括其底部固定在曝光台基座上的硅基液晶屏承载盘气缸，在所述的硅基液晶屏承载盘气缸的顶部两侧分别固定有曝光台A柱和曝光台B柱，硅基液晶屏承载盘的下部插在所述的硅基液晶屏承载盘气缸内，硅基液晶屏承载盘活塞密封圈设置在所述硅基液晶屏承载盘气缸内壁与所述硅基液晶屏承载盘外壁之间并且与所述硅基液晶屏承载盘气缸和硅基液晶屏承载盘接触面均形成紧配合，由硅基液晶屏承载盘、硅基液晶屏承载盘活塞密封圈与硅基液晶屏承载盘气缸形成的密闭空间构成硅基液晶屏承载盘气腔，进气孔B设置在所述硅基液晶屏承载盘气缸上且与硅基液晶屏承载盘气腔相连通，在所述的硅基液晶屏承载盘的上部开有硅基液晶屏承载盘真空腔， 多个硅基液晶屏承载盘真空孔开在硅基液晶屏承载盘顶面上并与硅基液晶屏承载盘真空腔相连通，安装在硅基液晶屏承载盘上的真空排气孔C与硅基液晶屏承载盘真空腔相连通，曝光台铰链转轴的两端分别与固定在所述的曝光台B柱顶面上的两个铰链支撑件转动相连，所述曝光台还包括其上开有凹槽的盖板架，所述盖板架的一侧与所述的曝光台铰链转轴转动相连并且盖板架的另一侧架设在安装在曝光台基座上的曝光台C柱上，所述的盖板架能够绕所述曝光台铰链中轴线逆时针旋转180度后接触到所述曝光台A柱顶面与之相接触配合，所述曝光台基座与曝光台扫描动力系统相连并且在所述曝光台扫描动力系统的驱动下能够沿χ轴和y轴方向运动，工控机B通过紫外光源总线与至少由6只紫外灯构成的紫外灯集成器相连，所述曝光台与所述的紫外灯集成器相对设置以使紫外灯能够照射到安装在硅基液晶屏承载盘顶部的紫外框胶，工控机B通过扫描动力系统总线与所述曝光台扫描动力系统相连接并且工控机B通过曝光机面板控制总线与曝光机面板控制器相连接。
专利摘要本实用新型公开了硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构，它包括曝光台、曝光控制系统、曝光台扫描动力系统和紫外灯集成器，曝光台包括其底部固定在曝光台基座上的硅基液晶屏承载盘气缸，在硅基液晶屏承载盘气缸的顶部两侧固定有曝光台A柱和B柱，硅基液晶屏承载盘的下部插在所述的硅基液晶屏承载盘气缸内，由硅基液晶屏承载盘、硅基液晶屏承载盘活塞密封圈与硅基液晶屏承载盘气缸形成的密闭空间构成硅基液晶屏承载盘气腔，曝光台还包括其中央镶嵌有透明石英玻璃的盖板架，盖板架能够接触到曝光台A柱顶面与之相接触配合。本结构实现了一边压挤硅基液晶屏达到规定的硅晶圆与氧化铟锡玻璃之间的间隙值而成型，一边对紫外框胶进行曝光固化的模式。
文档编号G03F7/20GK202230270SQ20112032432
公开日2012年5月23日 申请日期2011年8月31日 优先权日2011年8月31日
发明者代永平, 范义, 范伟, 董续怀 申请人:深圳市长江力伟股份有限公司