感光性组合物及其用途的制作方法

文档序号:2815614阅读:238来源:国知局
专利名称:感光性组合物及其用途的制作方法
技术领域
本发明涉及一种具有感光性的组合物,尤其涉及一种含有六芳基二咪唑类化合物的感光性组合物,以及在制造印刷线路中的应用。
背景技术
感光性组合物是一种为人熟知的材料,常被用来制作印刷电路和平板印刷板。感光性组合物作为光致抗蚀剂分为正性和负性两类,其中负性光致抗蚀剂主要由聚合物粘结齐U、可聚合的单体或稀释剂、光引发剂、溶剂以及各种助剂组成。在负性感光组合物中,曝光引起组合物中单体发生交联和聚合,形成潜像,曝光部分在显影液中的可溶解性下降,通过显影液处理,未曝光部分被除去,形成影像;再经过蚀刻、电镀、剥离等工序形成印刷电路和平板印刷板。六芳基二咪唑(简称HABI)是一类光引发剂,早在上世纪七十年代就用于光致抗蚀 齐U。传统的印刷电路板制作采用高压汞灯进行曝光,汞灯的紫外光主波长为365nm,因而大部分感光组合物都是针对365nm光源设计。近年来激光曝光设备正在逐步被采用,该设备米用405nm激光光源,以扫描式曝光,不需要掩模板。由于特殊的曝光方式和曝光能量较低,要求感光组合物具有较高的感光灵敏度。因此,提高感光组合物的感光灵敏度具有重要意义。

发明内容
本发明的一个目的在于提供一种具有更高感光灵敏度的感光性组合物,其含有氰基的六芳基二咪唑类化合物,以满足365nm和405nm曝光设备的应用要求。本发明的另一个目的在于提供一种具有更高感光灵敏度的感光性组合物,以氰基的六芳基二咪唑类化合物为光引发剂,以满足365nm和405nm曝光设备的应用要求,提高应用效率。本发明又一个目的在于提供一种具有更高感光灵敏度的感光性组合物,适于在制造印刷线路中应用。本发明提供的一种感光性组合物,以除溶剂后的组合物净重为计量,含有
O. 01wt%-20wt%式I所示的六芳基二咪唑化合物
权利要求
1.ー种感光性组合物,以除溶剂后的组合物净重为计量,含有O. 01wt%-20wt%式I所示的六芳基ニ咪唑化合物
2.根据权利要求I所述的感光性组合物,其特征在于所述的R2选自于2-氟、2-氯、2-溴或2-烷基。
3.根据权利要求I所述的感光性组合物,其特征在于所述的R3选自于3,4-ニ甲氧基。
4.ー种感光性组合物,以除溶剂后的组合物净重为计量,含有O. 01wt%-20wt%六芳基ニ咪唑化合物、25wt%-75wt%粘结剂、10wt%-70wt%烯键式不饱和化合物和O. 01wt%-5wt%隐色染料; 所述的六芳基ニ咪唑化合物如式1所示,
5.根据权利要求4所述的感光性组合物,其特征在于所述的六芳基ニ咪唑化合物含量为 O.lwt%-15wt%0
6.根据权利要求4所述的感光性组合物,其特征在于还包括供氢体、增塑剂、溶剤、阻聚剂、除氧剂和增粘剂之ー种或几种。
7.ー种感光性组合物,以除溶剂后的组合物净重为计量,含有O. 01wt%-20wt%六芳基ニ咪唑化合物、25wt%-75wt%粘结剂、10wt%-70wt%烯键式不饱和化合物和O. 01wt%-5wt%隐色染料; 所述的六芳基ニ咪唑化合物,选自于 2,2,- ニ (2-氣-4-氛基苯基)-4, 4,- ニ (2-氣苯基)-5, 5,- ニ (3, 4- ニ 甲氧基苯基)ニ咪唑、2,2’ - ニ (2-氣-4-氛基苯基)-4, 4,- ニ (2-氣苯基)-5, 5,- ニ (3, 4- ニ 甲氧基苯基)ニ咪唑、2,2’ - ニ(2_ 漠 _4_ 氛基苯基)-4, 4’ - ニ(2_ 氣苯基)-5, 5’ - ニ(3,4- ニ 甲氧基苯基)ニ咪唑、 · 2,2’ - ニ (2-氣-4-氛基苯基)-4, 4,- ニ (2-氣苯基)-5, 5,- ニ (3, 4- ニ 甲氧基苯基)ニ咪唑、 · 2,2’ - ニ (2-氣-4-氛基苯基)-4, 4,- ニ (2-氣苯基)-5, 5,- ニ (3, 4- ニ 甲氧基苯基)ニ咪唑、 ·2,2’ - ニ (2-漠-4-氛基苯基)-4, 4,- ニ (2-氣苯基)-5, 5,- ニ (3, 4- ニ 甲氧基苯基)ニ咪唑、 ·2,2’ - ニ (2-氣-4-氛基苯基)-4, 4,- ニ (2-漠苯基)-5, 5,- ニ (3, 4- ニ 甲氧基苯基)ニ咪唑、 ·2,2’ - ニ (2-氣-4-氛基苯基)-4, 4,- ニ (2-漠苯基)-5, 5,- ニ (3, 4- ニ 甲氧基苯基)ニ咪唑和 ·2,2’ - ニ(2_ 漠 _4_ 氛基苯基)-4, 4’ - ニ(2_ 漠苯基)-5,5’ - ニ(3,4- ニ 甲氧基苯基)ニ咪唑之ー种; 所述的粘结剂为丙烯酸、马来酸和富马酸之一种或几种不饱和酸与其它烯类単体共聚而成的,分子量在5,000-500, 000,优先选择5,000-80, 000聚合物。
8.根据权利要求7所述的感光性组合物,其特征在于所述的隐色染料选自于甲川隐色体类、肼苯哒嗪类、靛隐色染料类、氨基_2,3- ニ氢蒽醌类、四卤代-4,4’ -联苯酚类、2-(4-羟基苯基)-4,5-ニ苯基咪唑类、苯こ基苯胺类,以及氨基取代的下述类别的化合物或其与酸形成的铵盐三芳基甲烷类、咕吨类、硫咕吨类、9,10-吖啶类、吩噁嗪类、吩噻嗪类、ニ氢吩嗪类和吲达胺隐色体类之ー种或几种。
9.根据权利要求1、4和7之一所述的感光性组合物,作为光刻胶用于印刷线路板和平板印刷板的制造。
全文摘要
一种感光性组合物,以除溶剂后的组合物净重为计量,含有0.01wt%-20wt%式Ⅰ所示的六芳基二咪唑化合物。将本发明感光性组合物作为光刻胶,用于印刷线路板和平板印刷板的制造,不仅满足365nm和405nm曝光设备的应用要求,还有效提高印刷电路板的生产效率。式Ⅰ
文档编号G03F7/033GK102854748SQ20121036816
公开日2013年1月2日 申请日期2012年9月27日 优先权日2012年9月27日
发明者狄宁宇, 王宝湖, 孟彩红, 郭海明, 曹万荣 申请人:浙江荣泰科技企业有限公司, 嘉兴荣泰高分子新材料研究所
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