电光调制器的制造方法
【专利摘要】本发明提供一种电光调制器，其包括一个包括一个顶面基底、形成于该顶面上的一个Y型光波导、一个地电极、一个第一调制电极及一个第二调制电极。该Y型光波导包括一个仅用于传输横电波的第一分支及一个与该第一分支平行且仅用于传输横磁波的第二分支。该基底在该顶面形成有一个位于该第一分支与该第二分支之间的第一凹槽、一个位于该第一分支与该第一凹槽相背一侧的第二凹槽及一个位于该第二分支与该第一凹槽相背一侧的第三凹槽。该地电极位于该第一分支与该第二分支之间并完全覆盖该第一凹槽及该第二分支。该第一调制电极覆盖该第二凹槽靠近该第一分支的侧面。该第二调制电极仅覆盖该第三凹槽的底面。如此，可提高信息传输速率。
【专利说明】电光调制器
【技术领域】
[0001]本发明涉及高速光通讯系统，特别涉及一种电光调制器。
【背景技术】
[0002]现有的一种电光调制器(马赫-曾德尔(Mach-Zehner)电光调制器)利用电光效应通过调制电场改变Y型光波导的两个分支之一的折射率，从而改变在其中传输的光束的相位，使之与Y型光波导另外一个分支中传输的光束存在相位差。如此，Y型光波导两个分支中传输的光束重新汇聚后将发生干涉，输出功率取决于相位差，也即是由调制电场决定，从而实现调制。然而，随着信息技术的高速发展，信息传输速率(带宽)已经成为技术发展主要考虑的方向。目前的电光调制器的信息传输速率有待提高。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，有必要提供一种可提高信息传输速率的电光调制器。
[0004]一种电光调制器，其包括一个基底、一个Y型光波导、一个地电极、一个第一调制电极及一个第二调制电极。该基底包括一个顶面。该Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括一个仅用于传输横电波(transverse electric wave)的第一分支及一个与该第一分支平行且仅用于传输横磁波(transverse magnetic wave)的第二分支。该基底在该顶面上向该基底内部形成有条状且平行于该第一分支及该第二分支的一个第一凹槽、一个第二凹槽及一个第三凹槽。该第一凹槽位于该第一分支与该第二分支之间，该第二凹槽位于该第一分支与该第一凹槽相背一侧，该第三凹槽位于该第二分支与该第一凹槽相背一侧。该地电极位于该第一分支与该第二凹槽相背一侧，并完全覆盖该第一凹槽及该第二分支。该第一调制电极位于该第二凹槽内，并覆盖该第二凹槽靠近该第一分支的侧面。该第二调制电极位于该第三凹槽内，并仅覆盖该第三凹槽的底面。
[0005]如此，可通过该第一调制电极与该地电极配合对横电波进行调制，加载、传输信息，还可以通过该第二调制电极与该地电极配合对横磁波进行调制，加载、传输信息，也即是同样的时间内，加载、传输的信息量增加，从而提高信息传输速率。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1为本发明较佳实施方式的电光调制器的立体示意图。
[0007]图2为图1的电光调制器沿线I1-1I的剖面示意图。
[0008]主要元件符号说明
【权利要求】
1.一种电光调制器，其包括一个基底、一个Y型光波导、一个地电极、一个第一调制电极及一个第二调制电极；该基底包括一个顶面；该Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括一个仅用于传输横电波的第一分支及一个与该第一分支平行且仅用于传输横磁波的第二分支；该基底在该顶面上向该基底内部形成有条状且平行于该第一分支及该第二分支的一个第一凹槽、一个第二凹槽及一个第三凹槽；该第一凹槽位于该第一分支与该第二分支之间，该第二凹槽位于该第一分支与该第一凹槽相背一侧，该第三凹槽位于该第二分支与该第一凹槽相背一侧；该地电极位于该第一分支与该第二凹槽相背一侧，并完全覆盖该第一凹槽及该第二分支；该第一调制电极位于该第二凹槽内，并覆盖该第二凹槽靠近该第一分支的侧面；该第二调制电极位于该第三凹槽内，并仅覆盖该第三凹槽的底面。
2.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该基底的材料采用铌酸锂晶体。
3.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该第一凹槽、第二凹槽及第三凹槽与该第一分支长度相同且对齐设置。
4.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该Y型光波导包括一个入射段及一个出射段；该第一分支及该第二分支从该入射段分出，并重新汇聚入该出射段；该第二分支与该入射段及该出射段形成直线的传输通道；该第一分支与该第二分支平行；该Y型光波导还包括一个入射分叉及一个出射分叉；该入射分叉与该第二分支自该入射段分叉并与该第一分支连接；该出射分叉与该第二分支汇聚交叉入该出射段，并与该第一分支连结。
5.如权利要求4所述的电光调制器，其特征在于，该入射段及该出射段通过在该基底上扩散金属钛而形成。
6.如权利要求4所述的电光调制器，其特征在于，该第一分支、该入射分叉及该出射分叉在扩散金属钛后还继续扩散锌镍合金而形成。
7.如权利要求4所述的电光调制器，其特征在于，该第二分支在扩散金属钛后还扩散金属嫁而形成。
8.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该地电极、该第一调制电极及该第二调制电极与该第一凹槽、该第二凹槽及该第三凹槽的长度相同且对齐设置。
9.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该电光调制器还包括设置于该第二分支与该地电极之间的缓冲层，用来防止该第二分支传输的光波被该地电极所吸收。
10.如权利要求9所述的电光调制器，其特征在于，该缓冲层采用二氧化硅制成。
【文档编号】G02F1/035GK103885210SQ201210554102
【公开日】2014年6月25日 申请日期:2012年12月19日 优先权日:2012年12月19日
【发明者】黄新舜 申请人:鸿富锦精密工业（深圳）有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司