入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统的制作方法

文档序号:2804320阅读:383来源:国知局
专利名称:入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统的制作方法
技术领域
本实用新型属于激光技术领域,尤其是涉及一种入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统。
背景技术
激光振镜是一种高精度、高速度和高重复性的光学扫描器,广泛应用于激光材料加工、生物医疗检测、激光投影与显示、图形图像处理和半导体加工等领域,如在激光加工设备中,激光器输出的激光束射到激光振镜上,激光振镜在计算机系统的控制下通过电机驱动进行高速摆动,从而控制激光束实现一定范围内不同位置的加工。在实际使用过程中除了要求激光振镜的精度高、速度快、偏角大、可靠性好外,为了提高生产效率,还要求多台激光打标机能够组建在一起,协同工作。在一条生产线上安装多台现有的激光振镜协同工作比较困难,这是由其所使用的垂直结构光路限制的,解决的方法有两个:减小单个产品的体积或改变激光光路、减小激光振镜的安装体积。目前的技术条件下,减小单个产品的体积基本不能实现,而改变激光光路、减小激光振镜的安装体积目前也没有很好的解决方案。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足,提供一种入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其结构简单,设计合理,加工制作方便,使用操作便捷,能够减少激光振镜的安装体积,便于提高生产效率,实现成本低,实用性强,使用效果好,便于推广使用。为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:一种入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:包括激光振镜壳体以及设置在所述激光振镜壳体内部的第一电机和第二电机,所述第一电机的输出轴上安装有用于反射激光的大镜片,所述第二电机的输出轴上安装有用于反射激光的小镜片,所述激光振镜壳体的内壁上设置有用于反射激光的固定反射镜片,所述激光振镜壳体上设置有供入射激光射入的入射光线孔和供出射激光射出的出射光线孔,所述出射光线孔上安装有F-Theta聚焦镜,所述入射光线孔和出射光线孔分别设置在所述激光振镜壳体相对的两个侧面上;所述第一电机的中心线与激光振镜壳体底面呈-5° 5°的夹角,所述大镜片与激光振镜壳体底面呈25° 65°的夹角,所述第二电机的中心线与激光振镜壳体底面呈70° 80°的夹角,所述小镜片与激光振镜壳体未设置入射光线孔或出射光线孔的侧面呈30° 60°的夹角,所述固定反射镜片与激光振镜壳体底面呈40° 50°的夹角。上述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述固定反射镜片的反射面正对所述入射光线孔设置,所述大镜片的反射面正对所述出射光线孔设置。上述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述小镜片的反射面正对所述入射光线孔设置,所述固定反射镜片的反射面正对所述出射光线孔设置。上述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述激光振镜壳体为立方体形状。上述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述第一电机的中心线与激光振镜壳体底面平行。上述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述大镜片与激光振镜壳体底面呈37.5°的夹角。上述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述第二电机的中心线与激光振镜壳体底面呈75°的夹角。上述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述小镜片与激光振镜壳体未设置入射光线孔或出射光线孔的侧面呈45°的夹角。上述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述固定反射镜片与激光振镜壳体底面呈45°的夹角。本实用新型与现有技术相比具有以下优点:1、本实用新型结构简单,设计合理,加工制作方便。2、本实用新型使用时,不需要外加辅助系统,使用操作便捷。3、本实用新型通过在激光振镜壳体内设置用于反射激光的大镜片、小镜片和固定反射镜片,能够形成平行于入 射激光光线的出射激光光线,即使得出射激光光线与入射激光光线沿着同意方向,能够减少激光振镜的安装体积,有利于设计激光打标机工作流水线,使多台激光打标机协同工作,提高生产效率。4、本实用新型的实现成本低,实用性强,使用效果好,便于推广使用。综上所述,本实用新型结构简单,设计合理,加工制作方便,使用操作便捷,能够减少激光振镜的安装体积,便于提高生产效率,实现成本低,实用性强,使用效果好,便于推广使用。下面通过附图和实施例,对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

图1为本实用新型实施例1的结构示意图。图2为本实用新型实施例2的结构示意图。附图标记说明:1-激光振镜壳体;2-第一电机; 3-第二电机;4一大镜片;5—小镜片;6—固定反射镜片;7-入射光线孔; 8-出射光线孔;9-F-Theta聚焦镜;10—入射激光光线;11一出射激光光线。
具体实施方式
实施例1如图1所示,本实用新型包括激光振镜壳体I以及设置在所述激光振镜壳体I内部的第一电机2和第二电机3,所述第一电机2的输出轴上安装有用于反射激光的大镜片4,所述第二电机3的输出轴上安装有用于反射激光的小镜片5,所述激光振镜壳体I的内壁上设置有用于反射激光的固定反射镜片6,所述激光振镜壳体I上设置有供入射激光射入的入射光线孔7和供出射激光射出的出射光线孔8,所述出射光线孔8上安装有F-Theta聚焦镜9,所述入射光线孔7和出射光线孔8分别设置在所述激光振镜壳体I相对的两个侧面上;所述第一电机2的中心线与激光振镜壳体I底面呈-5° 5。的夹角,所述大镜片4与激光振镜壳体I底面呈25。 65°的夹角,所述第二电机3的中心线与激光振镜壳体I底面呈70° 80°的夹角,所述小镜片5与激光振镜壳体I未设置入射光线孔7或出射光线孔8的侧面呈30° 60°的夹角,所述固定反射镜片6与激光振镜壳体I底面呈40° 50°的夹角。本实施例中,所述固定反射镜片6的反射面正对所述入射光线孔7设置,所述大镜片4的反射面正对所述出射光线孔8设置。所述激光振镜壳体I为立方体形状。所述第一电机2的中心线与激光振镜壳体I底面平行。所述大镜片4与激光振镜壳体I底面呈37.5°的夹角。所述第二电机3的中心线与激光振镜壳体I底面呈75°的夹角。所述小镜片5与激光振镜壳体I未设置入射光线孔7或出射光线孔8的侧面呈45°的夹角。所述固定反射镜片6与激光振镜壳体I底面呈45°的夹角。本实用新型使用时,第一电机2能够带动大镜片4在±7.5°范围内摆动,第二电机3能够带动小镜片5在±7.5°范围内摆动,当入射激光光线10通过所述入射光线孔7射入所述激光振镜壳体I后,首先照射在所述固定反射镜片6上,经过所述固定反射镜片6的反射面反射,再照射到所述小镜片5上,经过所述小镜片5的反射面反射,照射到所述大镜片4上,最后经过所述大镜片4的反射面反射,形成平行于所述入射激光光线10的出射激光光线11并通过出射光线孔8和F-Theta聚焦镜9射出到所述激光振镜壳体I外。实施例2如图2所示,本实施例与实施例1不同的是:所述小镜片5的反射面正对所述入射光线孔7设置,所述固定反射镜片6的反射面正对所述出射光线孔8设置。其余结构均与实施例1相同。本实用新型使用时,与实施例1不同的是:当入射激光光线10通过所述入射光线孔7射入所述激光振镜壳体I后,首先照射在所述小镜片5上,经过所述小镜片5的反射面反射,再照射到所述大镜片4上,经过所述大镜片4的反射面反射,照射到所述固定反射镜片6上,最后经过所述固定反射镜片6的反射面反射,形成平行于所述入射激光光线10的出射激光光线11并通过出射光线孔8和F-Theta聚焦镜9射出到所述激光振镜壳体I外。以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例,并非对本实用新型作任何限制,凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化,均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。
权利要求1.一种入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:包括激光振镜壳体(I)以及设置在所述激光振镜壳体(I)内部的第一电机(2)和第二电机(3),所述第一电机(2)的输出轴上安装有用于反射激光的大镜片(4),所述第二电机(3)的输出轴上安装有用于反射激光的小镜片(5),所述激光振镜壳体(I)的内壁上设置有用于反射激光的固定反射镜片(6),所述激光振镜壳体(I)上设置有供入射激光射入的入射光线孔(7)和供出射激光射出的出射光线孔(8),所述出射光线孔(8)上安装有F-Theta聚焦镜(9),所述入射光线孔(7)和出射光线孔(8)分别设置在所述激光振镜壳体(I)相对的两个侧面上;所述第一电机(2)的中心线与激光振镜壳体(I)底面呈-5° 5°的夹角,所述大镜片(4)与激光振镜壳体(I)底面呈25° 65°的夹角,所述第二电机(3)的中心线与激光振镜壳体(I)底面呈70° 80°的夹角,所述小镜片(5)与激光振镜壳体(I)未设置入射光线孔(7)或出射光线孔(8)的侧面呈30° 60°的夹角,所述固定反射镜片(6)与激光振镜壳体(I)底面呈40° 50°的夹角。
2.按照权利要求1所述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述固定反射镜片(6)的反射面正对所述入射光线孔(7)设置,所述大镜片(4)的反射面正对所述出射光线孔(8)设置。
3.按照权利要求1所述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述小镜片(5)的反射面正对所述入射光线孔(7)设置,所述固定反射镜片(6)的反射面正对所述出射光线孔(8)设置。
4.按照权利要求1、2或3所述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述激光振镜壳体(I)为立方体形状。
5.按照权利要求1、2或3所述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述第一电机(2)的中心线与激光振镜壳体(I)底面平行。
6.按照权利要求1、2或3所述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述大镜片(4)与激光振镜壳体(I)底面呈37.5°的夹角。
7.按照权利要求1、2或3所述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述第二电机(3)的中心线与激光振镜壳体(I)底面呈75°的夹角。
8.按照权利要求1、2或3所述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述小镜片(5)与激光振镜壳体(I)未设置入射光线孔(7)或出射光线孔(8)的侧面呈45°的夹角。
9.按照权利要求1、2或3所述的入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,其特征在于:所述固定反射镜片(6)与激光 振镜壳体(I)底面呈45°的夹角。
专利摘要本实用新型公开了一种入射激光与出射激光同向的激光振镜光路系统,包括激光振镜壳体、第一电机和第二电机,第一电机上安装有大镜片,第二电机上安装有小镜片,激光振镜壳体内壁上设有固定反射镜片,激光振镜壳体上设有入射光线孔和出射光线孔,出射光线孔上安装有F-Theta聚焦镜;第一电机与激光振镜壳体底面呈-5°~5°的夹角,大镜片与激光振镜壳体底面呈25°~65°的夹角,第二电机与激光振镜壳体底面呈70°~80°的夹角,小镜片与激光振镜壳体未设置入射光线孔或出射光线孔的侧面呈30°~60°的夹角,固定反射镜片激光振镜壳体底面呈40°~50°的夹角。本实用新型能够减少激光振镜的安装体积,便于提高生产效率。
文档编号G02B26/08GK203084300SQ201320025409
公开日2013年7月24日 申请日期2013年1月17日 优先权日2013年1月17日
发明者李麒 申请人:西安荷佐里机电科技有限公司
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